JPS61234924A - 真空パ−ジ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は真空パージ装置に関し、特に真空槽内へのパ
ージガスの導入に際して、真空槽内に及ぼすパージガス
の乱流の影響を小さくさせ、かつ併せて槽内圧力の変換
に要する時間（以下、真空パージ時間と呼ぶ）を短縮さ
せるように改良した真空パージ装置に係るものである。

〔従来の技術〕

従来例によるこの種の真空パージ装置においては、第２
図に示すように、真空槽１内へのパージガスの導入に関
し、この操作を導入管路２に介在させたストップバルブ
３の開閉操作のみによって行なうようにしていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このため前記従来例による装置構成では、パージガスの
圧力と真空槽の内圧との差圧が大きい場合、ストップバ
ルブを開いたときに、パージガスの導入による乱流の影
響によって、槽内での塵埃を舞い上げるなどのトラブル
を発生するという問題点があった。

従ってこの発明の目的とするところは、パージガスの導
入による真空槽内での乱流の影響を解消し、併せてこれ
に伴なう真空パージ時間の遅延を防止し得るように改良
した真空パージ装置を提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

前記目的を達成するために、この発明に係る真空パージ
装置は、真空槽内にその内圧を検出する第１の圧力検出
器を配し、またこの真空槽内へのパージガスの導入管路
に、導入パージガス圧を検出する第２の圧力検出器、ス
トップバルブ、および流量の可変制御バルブを順次に配
しておき、パージガスの導入時にあって、ストップバル
ブを開くと共に、第１．第２の両圧力検出器の差圧に対
応して、可変制御バルブの開度を制御させ、導入パージ
ガスの流速を常時一定に保持させるようにしたものであ
る。

〔作　　　用〕

すなわち、この発明装置においては、第１．第２の両圧
力検出器の差圧に対応して、可変制御バルブの開度を制
御させることにより、導入パージガスの流速が常時一定
になるようにしたから、このパージガスの真空槽内への
流入が安定して、この流入に伴なう真空槽内での乱流に
よる影響を最少限に抑制し得る。

〔実　施　例〕

以下この発明に係る真空パージ装置の一実施例につき、
第１図を参照して詳細に説明する。

第１図はこの実施例を適用した真空パージ装置の概要を
示す構成説明図である。

この第１図実施例装置において、符号１１は制御対象と
なる真空槽、１２および１３はこの真空槽１１に対する
パージガスの導入管路および排気ガスの排出管路である
。

しかして前記真空槽１１内には、槽内々圧を検出する第
１の圧力検出器１４が設けられており、また前記導入管
路１２には、導入されるパージガス圧を検出する第２の
圧力検出器１５と、パージガスの流入、遮断をなすスト
ップバルブ１８と、パージガスの流量を加減する可変制
御バルブ１７とが順次に配されており、また前記排出管
路１ａには、公知のラフィングバルブ１８と、真空引き
するロータリポンプ１９とが同様に順次に配されている
。

そして前記第１の圧力検出器１４と、第２の圧力検出器
１５との各検出々力信号ａ、ｂは、差圧検出器２０に入
力されて相互に比較され、かつこの差圧検出器２０の差
圧信号Ｃは、バルブ開閉制御器２１に入力されて、この
バルブ開閉制御器２１からの開閉制御出力信号ｄ、ｅお
よびｆにより、前記した各バルブ１Ｂ’、１７および１
８を開閉制御し得るようにしたものである。

従ってこの実施例での装置構成の場合、真空槽１１の槽
内々圧は、第１の圧力検出器１４により、またパージガ
ス圧は、第２の圧力検出器１５によってそれぞれに検出
され、かつどれらの各検出圧力信号ａ、ｂは、それぞれ
差圧検出器２０に入力され、両信号間の差圧を検出する
ため相互に比較されている。

しかして今、この状態で、パージガス導入のためのパー
ジ命令ｇがバルブ開閉制御器２１に与えられると、この
バルブ開閉制御器２１は、まず可変制御バルブ１７を一
旦閉じるか、もしくは閉じられていることを確認した上
で、出力信号ｄによってストップバルブ１Ｂを開くと共
に、その後、数秒程度の間を置いて、前記パージガス差
圧検出器２ｏからの差圧信号Ｃに対応する開度制御の下
に、出力信号ｅにより可変制御バルブ１７を徐々に開い
て、真空槽ｌｌ内へパージガスを導入する。

ご覧で、前記可変制御バルブ１７の開度Ｓと、真空槽１
１の内圧、および導入パージガス圧の差圧Ｐとは、次式
のような関係にある。すなわち。

Ｆ：パージガスの流速 ρ：定　数 であり、そしてこの場合、パージガスの流速が一定であ
るとすれば５Ｃｘ３１／Ｐであるため、この関係式から
明らかなように、差圧信号Ｃに対応した可変制御バルブ
１７の開度制御によって、真空槽１１内への導入パージ
ガスの流速を常時一定に保持させることができる。

ついで、その後、差圧信号Ｃが零になってパージガス導
入が達成されると、前記バルブ開閉制御器２１からの出
力信号ｄにより、ストップバルブ１Ｂが閉じられてパー
ジガスの導入を遮断させると共に、可変制御バルブ１７
については、バルブ開閉制御器２１での次回のストップ
バルブＩＢに対するところの、開作動のための条件判断
のときまで、開度状態をそのまへに維持させるのである
。

すなわち、この実施例装置においては、このように真空
槽内への導入パージガスの流速を常時一定に保持させ得
て、真空槽内での導入時の乱流による影響を少なくさせ
得るのであり、また前記した通り、ストップバルブの開
作動から可変制御バルブの開度制御作動までに数秒程度
の間を置き、その開閉時期をずらせることによって、導
入パージガスの自流れを阻止できるのである。

〔発明の効果〕

以上詳述したようにこの発明によれば、真空槽内へのパ
ージガスの導入に際して、ストップバルブを開くと共に
、真空槽の内圧と導入パージガス圧との差圧に対応して
、可変制御バルブの開度を制御させ得るようにしたから
、導入パージガスの流速を常時一定に保持できるもので
、これによって真空槽内での導入パージガスの乱流によ
る影響を最小限に抑制し得て、従来のような塵埃を舞い
上げるなどのトラブルの発生を確実に防止でき、また併
せて真空パージ時間の短縮が可能になるなどの優れた特
長を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る真空パージ装置の一実施例によ
る概要を示す構成説明図であり、また第２図は同上装置
の従来例による概要を示す構成説明図である。 １１・・・・真空槽、１２および１３・・・・パージガ
スの導入管路および排気ガスの排出管路、！４・・・・
第１の圧力検出器、１５・・・・第２の圧力検出器、Ｉ
Ｂ・・・・ストップバルブ、１７・・・・可変制御バル
ブ、２０・・・・差圧検出器、２１・・・・バルブ開閉
制御器。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）槽内々圧を検出する第１の圧力検出器を配した真
   空槽を有し、この真空槽内へのパージガスの導入管路に
   は、導入されるパージガス圧を検出する第２の圧力検出
   器、ストップバルブ、および流量の可変制御バルブを順
   次に設け、パージガスの導入時にあつて、前記ストップ
   バルブを開くと共に、前記第１、第２両圧力検出器での
   検出圧力の差圧に対応して、前記可変制御バルブの開度
   を制御させ、導入パージガスの流速を常時一定に保持さ
   せるようにしたことを特徴とする真空パージ装置。
2. （２）ストップバルブと可変制御バルブとの開閉時期を
   ずらせて、導入パージガスの出流れを阻止し得るように
   したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空
   パージ装置。