JPH0331913A - 流量制御装置 - Google Patents
流量制御装置Info
- Publication number
- JPH0331913A JPH0331913A JP16623689A JP16623689A JPH0331913A JP H0331913 A JPH0331913 A JP H0331913A JP 16623689 A JP16623689 A JP 16623689A JP 16623689 A JP16623689 A JP 16623689A JP H0331913 A JPH0331913 A JP H0331913A
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- Japan
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- flow rate
- control
- valve
- pressure
- valve opening
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- Pending
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 abstract description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 235000020289 caffè mocha Nutrition 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、流量制御弁の弁開Ｉｆに対して閉ｌレープ制
御を行うことによって管状流路を流れる流体の流量を制
御する流量制御装置、特に流量制御精度のよい装置に関
する。
御を行うことによって管状流路を流れる流体の流量を制
御する流量制御装置、特に流量制御精度のよい装置に関
する。
ｆａ２図は従来の流量制御装置をとりつげた液体処理プ
ラントの要部の構成図で１図において、１は液体２が流
れるようにされかつ終ｆｌｓｌ ａが大気３に開放され
た管状流路、４は流路終ｌＰｔ１１ ａから排出された
液体２が注入されるようにした大気開放の受液槽である
。そうして、５は終端１ａ近傍の流路ｌＶｃ設げられて
該流路を流れる液体２の流量を入力される操作信号７３
に応じて制御するようにした電動式の流量制御弁、６は
流量制御弁５にとりつげられて該弁の弁開度に応じた弁
開度信号６ａを出力するようにした弁開度信号発信器。
ラントの要部の構成図で１図において、１は液体２が流
れるようにされかつ終ｆｌｓｌ ａが大気３に開放され
た管状流路、４は流路終ｌＰｔ１１ ａから排出された
液体２が注入されるようにした大気開放の受液槽である
。そうして、５は終端１ａ近傍の流路ｌＶｃ設げられて
該流路を流れる液体２の流量を入力される操作信号７３
に応じて制御するようにした電動式の流量制御弁、６は
流量制御弁５にとりつげられて該弁の弁開度に応じた弁
開度信号６ａを出力するようにした弁開度信号発信器。
７は弁開度設定器８が出力する弁開度設定信号８ａと前
記の弁開度信号６ａとが入力されて弁５の弁開度が信号
８１が表す弁開度設定値に一致するようＫする操作信号
７ａを弁５に向けて出力するようにした弁開度調節器で
、９は弁開度信号発信器６と調節器７とからなる弁開度
制御部である。
記の弁開度信号６ａとが入力されて弁５の弁開度が信号
８１が表す弁開度設定値に一致するようＫする操作信号
７ａを弁５に向けて出力するようにした弁開度調節器で
、９は弁開度信号発信器６と調節器７とからなる弁開度
制御部である。
制御部９においては発信器６と調節器７とが上述のよう
に動作するので、この制御部９は入力される弁開度設定
信号８ａに応じた弁開度になるように弁５を制御するも
のであるということができる。
に動作するので、この制御部９は入力される弁開度設定
信号８ａに応じた弁開度になるように弁５を制御するも
のであるということができる。
１０はｆＭ流量制御弁５弁開度制御部９と弁開度設定器
８とからなる従来の流量制御装置で、この場合弁５が上
述のように構成されているので、この弁５は液体入口５
１に管状流路１が接続されかつ液体出口５ｂが一定の圧
力を有する液体流出部としての大気３に連通させられた
液体流量制御弁である。
８とからなる従来の流量制御装置で、この場合弁５が上
述のように構成されているので、この弁５は液体入口５
１に管状流路１が接続されかつ液体出口５ｂが一定の圧
力を有する液体流出部としての大気３に連通させられた
液体流量制御弁である。
〔発明が解決しようとするＩ１１１１
題〕流壕流量制御弁置述のように構成されているので、
この場合、弁５を流れる液体２の流量が弁開度設定信号
Ｆｌ ａ ＶＣ応じた流量になって、したＯ″−って弁
開度設定器８で信号８ａの値を変えることによって受液
槽４に注入する液体２の流量を変えることができること
ｂ″−明らかである。そうして。
この場合、弁５を流れる液体２の流量が弁開度設定信号
Ｆｌ ａ ＶＣ応じた流量になって、したＯ″−って弁
開度設定器８で信号８ａの値を変えることによって受液
槽４に注入する液体２の流量を変えることができること
ｂ″−明らかである。そうして。
また、この場合、液体２の流量を測定する流量発信器と
流！調節器と流量制御弁とを用いた通常の流量に対する
閉ループ制御によらなくても液体２の流１を所定値に制
御することができるので、流ｆＭ ＝ｌＩ 副装置１０
には、上記の閉ループ制御を行うための流量発信器と流
量制御弁とを近接して設置することｂ：流路終端１８の
近傍において物理的に不可能な場合や、流路路′ｇｓ１
ａの近傍ＶＣねいて上記の流量発信器に通常必要とさ
れる長さを有する流路ｌの１１管部を設けることが不１
１１ｉＴ能な場合に。
流！調節器と流量制御弁とを用いた通常の流量に対する
閉ループ制御によらなくても液体２の流１を所定値に制
御することができるので、流ｆＭ ＝ｌＩ 副装置１０
には、上記の閉ループ制御を行うための流量発信器と流
量制御弁とを近接して設置することｂ：流路終端１８の
近傍において物理的に不可能な場合や、流路路′ｇｓ１
ａの近傍ＶＣねいて上記の流量発信器に通常必要とさ
れる長さを有する流路ｌの１１管部を設けることが不１
１１ｉＴ能な場合に。
流量側副が行えるという利点０１あるが、この場合。
弁５の上流側の液体圧力が変動すると弁５の開度に変化
がなくても液体２の流量が変化することは明らかである
。
がなくても液体２の流量が変化することは明らかである
。
す々わち、上述した流量制御装置 ＋、 ｏ ｉでは弁
５の上流側における液体２のＦＥ刀によって流量が変動
するので流量制御の１１度が悪いという問題点がある。
５の上流側における液体２のＦＥ刀によって流量が変動
するので流量制御の１１度が悪いという問題点がある。
本発明の目的は、上述のように流路終端ｌａの近傍に設
げた流量制御弁の上流側の流路内圧力が変動しないよう
にしてＪ亥ｉ、ｉｔ制御弁の弁開度を制御するだけで（
良好ｔｌ流量制御精度が得られるようにすることにある
。
げた流量制御弁の上流側の流路内圧力が変動しないよう
にしてＪ亥ｉ、ｉｔ制御弁の弁開度を制御するだけで（
良好ｔｌ流量制御精度が得られるようにすることにある
。
ＣＵａを解決するための手段〕
上記目的を達成するため１本発明によれば、流体入口に
管状流路が接続されかつ流体出口が一定の圧力を有する
流体流出部に連通させられた流体流量制御弁と、入力さ
れる弁開度設定信号に応じた弁開度ＶＣ々るようＶＣＦ
ＩＪＩＪ記流体流量制御弁流体流量制御弁御部と、前記
管状流路の所定値ｆｆ１における圧力に対して定値制御
を行う圧力制御部とを備え、前記弁開度制御部で前記流
体流量制御弁の弁開度を制御することによって前記弁開
度設定信号に応じた流量になるように前記流体を制御す
るようにして流量制御装置を構成する。
管状流路が接続されかつ流体出口が一定の圧力を有する
流体流出部に連通させられた流体流量制御弁と、入力さ
れる弁開度設定信号に応じた弁開度ＶＣ々るようＶＣＦ
ＩＪＩＪ記流体流量制御弁流体流量制御弁御部と、前記
管状流路の所定値ｆｆ１における圧力に対して定値制御
を行う圧力制御部とを備え、前記弁開度制御部で前記流
体流量制御弁の弁開度を制御することによって前記弁開
度設定信号に応じた流量になるように前記流体を制御す
るようにして流量制御装置を構成する。
上記のように！成すると、流体流量制御弁の上流側にお
ける管状流路の所定位置のモカが圧力制御部によって所
定値に保持されるので、流量制御弁を通る流体の流量が
該制御弁における弁開度に正しく対応した流量になって
、したがって、流量制御弁の弁開度を制御するだけでも
制御Ｍｌｆのよい流量制御結果が得られることにたる。
ける管状流路の所定位置のモカが圧力制御部によって所
定値に保持されるので、流量制御弁を通る流体の流量が
該制御弁における弁開度に正しく対応した流量になって
、したがって、流量制御弁の弁開度を制御するだけでも
制御Ｍｌｆのよい流量制御結果が得られることにたる。
第１図は本発明の一実施例をとりつげた液体処理プラン
トの要部の構成図で１図においては第２図におけるもの
と同じものＫは第２図におけろと同様な符号が付しであ
る。
トの要部の構成図で１図においては第２図におけるもの
と同じものＫは第２図におけろと同様な符号が付しであ
る。
第１図において、１１は流量制闘升５の上流側の流路ｌ
における所定位置の圧力を検出してその結果としての圧
力検出信号１１ａを出力するようにした圧力検出器、１
２は信号１１ａが入力されかつ該信号１１ａが表す圧力
Ｐｍと内、ＭのＦｆ刀設ポ値Ｐ８とを比較して（Ｐｍ−
Ｐｓ）ＶＣ応じた操作信号１２ａを出力するようにした
圧力調節器、１３は圧力検出器ＩＩが接続された流路Ｉ
Ｋおける圧力取出口１ｂよりも上流側の流路ｌにおいて
、入力される操作信号１２ａに応じた弁開閉動作を行っ
て、この結果圧力取出口１ｂＶＣおける液体２の圧力Ｐ
ｍを変化させるようにした正月制御弁で。
における所定位置の圧力を検出してその結果としての圧
力検出信号１１ａを出力するようにした圧力検出器、１
２は信号１１ａが入力されかつ該信号１１ａが表す圧力
Ｐｍと内、ＭのＦｆ刀設ポ値Ｐ８とを比較して（Ｐｍ−
Ｐｓ）ＶＣ応じた操作信号１２ａを出力するようにした
圧力調節器、１３は圧力検出器ＩＩが接続された流路Ｉ
Ｋおける圧力取出口１ｂよりも上流側の流路ｌにおいて
、入力される操作信号１２ａに応じた弁開閉動作を行っ
て、この結果圧力取出口１ｂＶＣおける液体２の圧力Ｐ
ｍを変化させるようにした正月制御弁で。
ことに、圧力調節器１２が出力する操作信号１２ａは弁
１３ｂ″−信号１２ａＫ応じた弁開閉動作をすることに
よって圧力検出値Ｐｍが圧力設定値Ｐｓに一致すること
になるようにする信号である。
１３ｂ″−信号１２ａＫ応じた弁開閉動作をすることに
よって圧力検出値Ｐｍが圧力設定値Ｐｓに一致すること
になるようにする信号である。
１４は圧力検出器１１と正月調ｇＢ器１２と正力制何升
１３とからなる圧力制御部で、この制御部１４では各部
が上述のように構成されているので、１４は流量制御弁
５の上流側の管状流路ｌの所定位置にす６ける圧力に対
して定値制御を行う圧力制御部であるということができ
る。１５は管状流路ｌと受ｇ？！４４とを除く図示の各
部からなる流量制御装置である。
１３とからなる圧力制御部で、この制御部１４では各部
が上述のように構成されているので、１４は流量制御弁
５の上流側の管状流路ｌの所定位置にす６ける圧力に対
して定値制御を行う圧力制御部であるということができ
る。１５は管状流路ｌと受ｇ？！４４とを除く図示の各
部からなる流量制御装置である。
流量制御装置ｔＳは上述のように構成されているので、
この場合モカ取出口ｔｂＶｃおける流路ｌの圧力Ｐｍが
圧力制御部１４によって所定の設定値Ｐｓに常時保持さ
れる。した１５１って、流路！における液体２の流量が
流量制御弁５の弁開度に正しく対応した流＠になるので
、弁開度制御部９で流量制御弁５の弁開度を制御するだ
けで制御晴度のよい流量制御結果が得られることになる
。なお。
この場合モカ取出口ｔｂＶｃおける流路ｌの圧力Ｐｍが
圧力制御部１４によって所定の設定値Ｐｓに常時保持さ
れる。した１５１って、流路！における液体２の流量が
流量制御弁５の弁開度に正しく対応した流＠になるので
、弁開度制御部９で流量制御弁５の弁開度を制御するだ
けで制御晴度のよい流量制御結果が得られることになる
。なお。
流量制御装置１５は上述のようにして流量制御を行うの
で、この制御装置１５は、弁５の近傍に流ｔに対する閉
ループ制御を行うための流量発信器を設置することが物
理的に不可能な場合や上記の流量発信器を設置すること
はできるが該発信器に必要ｔｘ長さを有する流路ｌの直
管部をとることが不可能な場合にも、精度のよい流量制
御が行えることが明らかである。
で、この制御装置１５は、弁５の近傍に流ｔに対する閉
ループ制御を行うための流量発信器を設置することが物
理的に不可能な場合や上記の流量発信器を設置すること
はできるが該発信器に必要ｔｘ長さを有する流路ｌの直
管部をとることが不可能な場合にも、精度のよい流量制
御が行えることが明らかである。
上述の１！施例においては流路ｌを液体２が流れるもの
としたが１本発明においては液体２６”−気体であって
もよく、また本発明においては、流路ｌの終端１ａが大
気３ではなくて圧力が所定カ一定値に設定された空所の
ような流体流出部に連通させられていても差し支えない
、また、上述の実施例では弁開度設定信号８ ａ ｂｓ
弁開度設定器８から出力された信号であるとしたが１本
発明では信号８ａがカスケード制御におけるカスケード
信号であってもよいことは説明するまでもなく明らかで
ある。
としたが１本発明においては液体２６”−気体であって
もよく、また本発明においては、流路ｌの終端１ａが大
気３ではなくて圧力が所定カ一定値に設定された空所の
ような流体流出部に連通させられていても差し支えない
、また、上述の実施例では弁開度設定信号８ ａ ｂｓ
弁開度設定器８から出力された信号であるとしたが１本
発明では信号８ａがカスケード制御におけるカスケード
信号であってもよいことは説明するまでもなく明らかで
ある。
上述したように１本発明においては、流体入口に管状流
路が接続されかつ流体出口が一定の圧力を有する流体流
出部に連通させられた流体流量制御弁と、入力される弁
開度設定信号に応じた弁開度にたるように流体流量制御
弁を制御する弁開度制御部と、管状流路の所定位置にお
ける圧力に対して定値制御を行う圧力制御部とを備え、
弁開度制御部で流体流量制御弁の弁開度を制御すること
によって弁開度設定信号に応じた流量にたるように流体
を制御するようにして流量制御装置を構成した。
路が接続されかつ流体出口が一定の圧力を有する流体流
出部に連通させられた流体流量制御弁と、入力される弁
開度設定信号に応じた弁開度にたるように流体流量制御
弁を制御する弁開度制御部と、管状流路の所定位置にお
ける圧力に対して定値制御を行う圧力制御部とを備え、
弁開度制御部で流体流量制御弁の弁開度を制御すること
によって弁開度設定信号に応じた流量にたるように流体
を制御するようにして流量制御装置を構成した。
このため、上記のように構成すると、流体流量制御弁の
上流側における管状流路の所定位置の圧力が圧力制御部
によって所定値に保持されるので。
上流側における管状流路の所定位置の圧力が圧力制御部
によって所定値に保持されるので。
流量制御弁を通る流体の流量が該制御弁における弁開度
に正しく対応した流ｔＶＣたって、したがって１本発明
によれば、流量制御弁の弁開度を制御するだけでも制御
精度のよい流量制ｍ結果が得られる効果がある。
に正しく対応した流ｔＶＣたって、したがって１本発明
によれば、流量制御弁の弁開度を制御するだけでも制御
精度のよい流量制ｍ結果が得られる効果がある。
ｗｃ１図は本発明の一実施例をとりつけた液体処理プラ
ントの要部の構成図。 第２図は従来の流量制御装置をとりつげた液体処理プラ
ントの要部の構成図である。 １・・・・・・管状流路、３・・・・・・大気、５・・
・・・・流量制閤弁。 ５ａ・・・・−・液体入口。 ５ｂ・・・・・・液体出口。 ８ａ・・・・・弁開度 設定信号。 ９・・・・・・弁開度制御部。 ０１ １５・・・・・・流量 ヲ糺ｆ制寵シ１置 ノ５ 鴬 菌 午 蔦 図
ントの要部の構成図。 第２図は従来の流量制御装置をとりつげた液体処理プラ
ントの要部の構成図である。 １・・・・・・管状流路、３・・・・・・大気、５・・
・・・・流量制閤弁。 ５ａ・・・・−・液体入口。 ５ｂ・・・・・・液体出口。 ８ａ・・・・・弁開度 設定信号。 ９・・・・・・弁開度制御部。 ０１ １５・・・・・・流量 ヲ糺ｆ制寵シ１置 ノ５ 鴬 菌 午 蔦 図
Claims (1)
- １）流体入口に管状流路が接続されかつ流体出口が一定
の圧力を有する流体流出部に連通させられた流体流量制
御弁と、入力される弁開度設定信号に応じた弁開度にな
るように前記流体流量制御弁を制御する弁開度制御部と
、前記管状流路の所定位置における圧力に対して定値制
御を行う圧力制御部とを備え、前記弁開度制御部で前記
流体流量制御弁の弁開度を制御することによつて前記弁
開度設定信号に応じた流量になるように前記流体を制御
することを特徴とする流量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16623689A JPH0331913A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16623689A JPH0331913A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 流量制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0331913A true JPH0331913A (ja) | 1991-02-12 |
Family
ID=15827638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16623689A Pending JPH0331913A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0331913A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003081361A1 (fr) * | 2002-03-25 | 2003-10-02 | Stec Inc. | Regulateur de debit massique |
-
1989
- 1989-06-28 JP JP16623689A patent/JPH0331913A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003081361A1 (fr) * | 2002-03-25 | 2003-10-02 | Stec Inc. | Regulateur de debit massique |
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