JPH07210253A - 流量制御弁のアクチュエータを制御するシステム - Google Patents
流量制御弁のアクチュエータを制御するシステムInfo
- Publication number
- JPH07210253A JPH07210253A JP4304865A JP30486592A JPH07210253A JP H07210253 A JPH07210253 A JP H07210253A JP 4304865 A JP4304865 A JP 4304865A JP 30486592 A JP30486592 A JP 30486592A JP H07210253 A JPH07210253 A JP H07210253A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- valve
- control valve
- flow rate
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 流量制御弁アクチュエータ制御システムの改
良。 【構成】 流量制御弁前後の圧力降下測定値Δpと設定
流量値Qsとを第1の機能ブロック5に入力し、この第
1の機能ブロック5で√(Δp0)・Qs/√Δp=Cvs
を演算する。ここでΔp0は、異なる弁プラグ位置の関
数としてCvの特性曲線を決定するために用いられる流
量制御弁前後の一定圧力降下である。前記値Cvsを第2
の機能ブロック7に入力し、これをこの第2の機能ブロ
ックで前記特性曲線に従って前記弁プラグのための位置
決めの値に変換し、この値で前記弁のアクチュエータ1
を制御する。
良。 【構成】 流量制御弁前後の圧力降下測定値Δpと設定
流量値Qsとを第1の機能ブロック5に入力し、この第
1の機能ブロック5で√(Δp0)・Qs/√Δp=Cvs
を演算する。ここでΔp0は、異なる弁プラグ位置の関
数としてCvの特性曲線を決定するために用いられる流
量制御弁前後の一定圧力降下である。前記値Cvsを第2
の機能ブロック7に入力し、これをこの第2の機能ブロ
ックで前記特性曲線に従って前記弁プラグのための位置
決めの値に変換し、この値で前記弁のアクチュエータ1
を制御する。
Description
【0001】本発明は、流量制御弁のアクチュエータを
制御する新規なシステムに関する。これは、ひとつの作
動条件から他の作動条件へと可変の作動パラメータを適
宜設定することを必要とする従来のコントローラを用い
ず、作動条件とは関係なくハンチングないしは遅れなし
に正しく精密に流量制御を行なえるシステムである。
制御する新規なシステムに関する。これは、ひとつの作
動条件から他の作動条件へと可変の作動パラメータを適
宜設定することを必要とする従来のコントローラを用い
ず、作動条件とは関係なくハンチングないしは遅れなし
に正しく精密に流量制御を行なえるシステムである。
【0002】当該技術分野の現状から明かなように、弁
の流量制御は通常、PID型の制御ユニットで発する位
置決めコマンドで弁アクチュエータを制御することで行
なわれている。この制御ユニットは、設定流量値と従来
法で測定した有効流量値Qmとの間の差に基づいて作動
する有効流量値Qmはオリフィス板のふたつの端子に接
続した差圧センサと平方根演算器とにより、式Qm=A
K√Δpを使い測定算出する。ここでAはオリフィス板
のオリフィスの横断面積、Κはオリフィス板の特性係
数、Δpはオリフィス板前後の圧力降下とする。
の流量制御は通常、PID型の制御ユニットで発する位
置決めコマンドで弁アクチュエータを制御することで行
なわれている。この制御ユニットは、設定流量値と従来
法で測定した有効流量値Qmとの間の差に基づいて作動
する有効流量値Qmはオリフィス板のふたつの端子に接
続した差圧センサと平方根演算器とにより、式Qm=A
K√Δpを使い測定算出する。ここでAはオリフィス板
のオリフィスの横断面積、Κはオリフィス板の特性係
数、Δpはオリフィス板前後の圧力降下とする。
【0003】しかしながらこの既知制御システムはいく
つかの欠点を有する。そのうちの主要なものは、PID
コントローラの存在である。PIDコントローラは、制
御しようとする変数(流量)のハンチングまたは流量を
設定値に調節することの遅れのほかに、もしも設定作動
パラメータが既に一致していないとすれば、プロセスの
ダイナミックレスポンスが変化するにつれて前記作動パ
ラメータの連続的な調節もまた要求されるのである。次
の欠点は、流量が制御できる範囲がせまいことである。
これはオリフィス板の作動限界によって決定される。オ
リフィス板の存在、設置および接続はこのシステムの全
体のコストおよび大きさに影響を与えるという別な欠点
をも生ずる。
つかの欠点を有する。そのうちの主要なものは、PID
コントローラの存在である。PIDコントローラは、制
御しようとする変数(流量)のハンチングまたは流量を
設定値に調節することの遅れのほかに、もしも設定作動
パラメータが既に一致していないとすれば、プロセスの
ダイナミックレスポンスが変化するにつれて前記作動パ
ラメータの連続的な調節もまた要求されるのである。次
の欠点は、流量が制御できる範囲がせまいことである。
これはオリフィス板の作動限界によって決定される。オ
リフィス板の存在、設置および接続はこのシステムの全
体のコストおよび大きさに影響を与えるという別な欠点
をも生ずる。
【0004】後者の欠点は、有効流量Qmを差圧Δpで
再び決定するという別の既知システムでは解決されてい
る。この場合、差圧Δpは、CVを標準の一定差圧Δp0
でこの弁を流れる流量と定義する時、この一定差圧Δp
0が弁の前後に存在する時弁プラグの位置の関数として
Cvの値を与える、弁の特性曲線を使って制御弁自体の
前後で決定される。さらに詳しくは、流量Qmは、ふた
つの入力に弁前後の圧力降下をあらわす値と、弁プラグ
の位置をあらわす値とを受ける論理ユニットによって決
定される。この論理ユニットは式 から値を算出する。ここで、Cvの値は弁プラグ位置を
あらわす前述の値における前述特性曲線上から与えられ
る。このQmの値はPID型の制御ユニットで所要流量
すなわち設定流量と比較され、このPIDユニットの出
力で弁アクチュエータのための新たな位置コマンドを提
供するのである。
再び決定するという別の既知システムでは解決されてい
る。この場合、差圧Δpは、CVを標準の一定差圧Δp0
でこの弁を流れる流量と定義する時、この一定差圧Δp
0が弁の前後に存在する時弁プラグの位置の関数として
Cvの値を与える、弁の特性曲線を使って制御弁自体の
前後で決定される。さらに詳しくは、流量Qmは、ふた
つの入力に弁前後の圧力降下をあらわす値と、弁プラグ
の位置をあらわす値とを受ける論理ユニットによって決
定される。この論理ユニットは式 から値を算出する。ここで、Cvの値は弁プラグ位置を
あらわす前述の値における前述特性曲線上から与えられ
る。このQmの値はPID型の制御ユニットで所要流量
すなわち設定流量と比較され、このPIDユニットの出
力で弁アクチュエータのための新たな位置コマンドを提
供するのである。
【0005】しかしながらこの第2の型式の既知システ
ムでもPIDコントローラの存在に関係する欠点のすべ
てが残る。
ムでもPIDコントローラの存在に関係する欠点のすべ
てが残る。
【0006】本発明の目的は、流量制御弁のアクチュエ
ータを、ハンチングないしは遅れなしに直接に、ことに
作動条件とは無関係に制御するシステムを提供すること
によって、上述の諸欠点を解決することにある。
ータを、ハンチングないしは遅れなしに直接に、ことに
作動条件とは無関係に制御するシステムを提供すること
によって、上述の諸欠点を解決することにある。
【0007】これは、流量制御弁のアクチュエータのた
めの位置決めコマンドを、弁作動条件が変っても変らな
い特性曲線すなわち設定流量に対応するCv値の特性曲
線上で得ることで実質的に達成される。
めの位置決めコマンドを、弁作動条件が変っても変らな
い特性曲線すなわち設定流量に対応するCv値の特性曲
線上で得ることで実質的に達成される。
【0008】換言すれば、弁を通って流れる流量Qおよ
びそのCv値は前記式による関係を有するので、次の式
が成立する。
びそのCv値は前記式による関係を有するので、次の式
が成立する。
【0009】各設定流量Qsに対しては、精密な値Cvs
がある。これは弁前後の圧力降下Δpを知ると上式から
容易に計算できる。弁を通って流れる流量Qsを達成す
るためにアクチュエータに供給すべき位置決めコマンド
の特定値は弁の特性曲線から直ちに得ることができる。
がある。これは弁前後の圧力降下Δpを知ると上式から
容易に計算できる。弁を通って流れる流量Qsを達成す
るためにアクチュエータに供給すべき位置決めコマンド
の特定値は弁の特性曲線から直ちに得ることができる。
【00010】このようにすることにより、設定流量は
もはやPIDコントローラによる比較で達成されるので
はなく、直接に達成されるようになる。
もはやPIDコントローラによる比較で達成されるので
はなく、直接に達成されるようになる。
【0011】従って、本発明は、流量制御弁前後の圧力
降下を測定する差圧センサと流量制御弁のアクチュエー
タに位置決めコマンドを与える演算ユニットとを包含す
る、流量制御弁のアクチュエータを制御するシステムに
おいて、前記演算ユニットが、前記差圧センサによって
測定した差圧値Δpを与えられた入力と設定流量値Qs
を与えられた入力とを有する第1の機能ブロックから成
り、この第1の機能ブロックが、Δp0を弁特性曲線が
決定された前記流量制御弁前後の標準の一定圧力降下と
するとき√(Δp0)・Qs/√Δp=Cvsの演算、すな
わち各種弁プラグ位置のための値Cvの変化の演算を実
行し、この第1の演算ブロックの出力を、前記特性曲線
のためのトランスジューサとして作用する第2の機能ブ
ロックに接続して、この第2の機能ブロックの出力にお
いて前記値Cvsに対応する前記弁プラグのための位置決
めコマンドを得て、このコマンドを前記アクチュエータ
に送ることを特徴とする、流量制御弁のアクチュエータ
を制御するシステムにある。
降下を測定する差圧センサと流量制御弁のアクチュエー
タに位置決めコマンドを与える演算ユニットとを包含す
る、流量制御弁のアクチュエータを制御するシステムに
おいて、前記演算ユニットが、前記差圧センサによって
測定した差圧値Δpを与えられた入力と設定流量値Qs
を与えられた入力とを有する第1の機能ブロックから成
り、この第1の機能ブロックが、Δp0を弁特性曲線が
決定された前記流量制御弁前後の標準の一定圧力降下と
するとき√(Δp0)・Qs/√Δp=Cvsの演算、すな
わち各種弁プラグ位置のための値Cvの変化の演算を実
行し、この第1の演算ブロックの出力を、前記特性曲線
のためのトランスジューサとして作用する第2の機能ブ
ロックに接続して、この第2の機能ブロックの出力にお
いて前記値Cvsに対応する前記弁プラグのための位置決
めコマンドを得て、このコマンドを前記アクチュエータ
に送ることを特徴とする、流量制御弁のアクチュエータ
を制御するシステムにある。
【0012】以下、本発明を添付図面に例示した非限定
的な好適な実施例について詳述するが、本発明はこの特
定の実施例に限定されるものではなく、本発明の精神を
逸脱しないで幾多の変化変形がなし得ることはもちろん
である。たとえば液相の流量を制御する代りに、ガス相
の流量も制御することができる。この場合には、設定流
量値Qsを対応Cvs値に変換する前述の第1の機能ブロ
ックを、ガスのためこの変換を行なう、すなわち標準の
既知関係に従ってガスの圧力、温度および種類を考慮に
入れて変換を行なう新たな機能ブロックに置き換えるこ
とだけが必要である。
的な好適な実施例について詳述するが、本発明はこの特
定の実施例に限定されるものではなく、本発明の精神を
逸脱しないで幾多の変化変形がなし得ることはもちろん
である。たとえば液相の流量を制御する代りに、ガス相
の流量も制御することができる。この場合には、設定流
量値Qsを対応Cvs値に変換する前述の第1の機能ブロ
ックを、ガスのためこの変換を行なう、すなわち標準の
既知関係に従ってガスの圧力、温度および種類を考慮に
入れて変換を行なう新たな機能ブロックに置き換えるこ
とだけが必要である。
【0013】図面において、符号1は流量制御弁2のア
クチュエータを示す。この流量制御弁にはセンサ3が接
続されており、これによって流量制御弁を横切る圧力降
下Δpを測定する。センサ3の出力は接続4を介して第
1の機能ブロック5の入力に接続してあり、この第1の
機能ブロック5には設定流量値Qsも与えられる。
クチュエータを示す。この流量制御弁にはセンサ3が接
続されており、これによって流量制御弁を横切る圧力降
下Δpを測定する。センサ3の出力は接続4を介して第
1の機能ブロック5の入力に接続してあり、この第1の
機能ブロック5には設定流量値Qsも与えられる。
【0014】機能ブロック5はその入力値を式√(Δp
0)・Qs/√Δpに従って処理する。ここでΔp0は弁
を横切る一定圧力降下をあらわす。この処理によって図
2に示す特性曲線7′すなわち弁プラグ位置Sに対する
値Cvの変化を決定する。
0)・Qs/√Δpに従って処理する。ここでΔp0は弁
を横切る一定圧力降下をあらわす。この処理によって図
2に示す特性曲線7′すなわち弁プラグ位置Sに対する
値Cvの変化を決定する。
【0015】従って、機能ブロック5の出力6では、圧
力降下Δpのための流量Qsに対応する値Cvsがある。
次いでこの値Cvsを第2の機能ブロック7へ送る。ここ
では弁の特性曲線7′が記憶されており、機能ブロック
7の出力8には前記値Cvsに対応する値Ssが生ずる
(図2参照)。すなわち値Cvsが保証され流量Qsが達
成されるように弁アクチュエータが実質的にとる位置が
与えられる。次いで弁2のアクチュエータ1はこの値S
sを用いて位置決めされる。
力降下Δpのための流量Qsに対応する値Cvsがある。
次いでこの値Cvsを第2の機能ブロック7へ送る。ここ
では弁の特性曲線7′が記憶されており、機能ブロック
7の出力8には前記値Cvsに対応する値Ssが生ずる
(図2参照)。すなわち値Cvsが保証され流量Qsが達
成されるように弁アクチュエータが実質的にとる位置が
与えられる。次いで弁2のアクチュエータ1はこの値S
sを用いて位置決めされる。
【図1】本発明により形成した、流量制御弁のアクチュ
エータ制御システムのブロック図である。
エータ制御システムのブロック図である。
【図2】上記流量制御弁の特性曲線すなわち弁前後の一
定圧力降下Δp0に対する弁プラグ位置Sについての値
Cvの変化を示すグラフである。
定圧力降下Δp0に対する弁プラグ位置Sについての値
Cvの変化を示すグラフである。
1 アクチュエータ 2 流量制御弁 3 センサ 4 接続 5 第1の機能ブロック 6 出力 7 第2の機能ブロック 7′ 特性曲線 8 出力 Qs 設定流量値 Cv 弁プラグ位置に対する値 S 弁プラグ位置 Δp 弁前後の圧力降下
Claims (1)
- 【請求項1】流量制御弁前後の圧力降下を測定する差圧
センサと流量制御弁のアクチュエータに位置決めコマン
ドを与える演算ユニットとを包含する、流量制御弁のア
クチュエータを制御するシステムにおいて、前記演算ユ
ニットが、前記差圧センサによって測定した差圧値Δp
を与えられた入力と設定流量値Qsを与えられた入力と
を有する第1の機能ブロックから成り、この第1の機能
ブロックが、Δp0を弁特性曲線が決定された前記流量
制御弁前後の標準の一定圧力降下とするとき√(Δ
p0)・Qs/√Δp=Cvsの演算、すなわち各種弁プラ
グ位置のための値Cvの変化の演算を実行し、この第1
の演算ブロックの出力を、前記特性曲線のためのトラン
スジューサとして作用する第2の機能ブロックに接続し
て、この第2の機能ブロックの出力において前記値Cvs
に対応する前記弁プラグのための位置決めコマンドを得
て、このコマンドを前記アクチュエータに送ることを特
徴とする、流量制御弁のアクチュエータを制御するシス
テム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT91A002746 | 1991-10-17 | ||
ITMI912746A IT1251941B (it) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | Sistema perfezionato di comando dell'attuatore di una valvola di regolazione della portata. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07210253A true JPH07210253A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=11360884
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4304865A Withdrawn JPH07210253A (ja) | 1991-10-17 | 1992-10-16 | 流量制御弁のアクチュエータを制御するシステム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0540079B1 (ja) |
JP (1) | JPH07210253A (ja) |
DE (1) | DE69206955T2 (ja) |
FI (1) | FI924660A (ja) |
IT (1) | IT1251941B (ja) |
NO (1) | NO923982L (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006100852A1 (ja) * | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Ebara Corporation | 流量制御装置及び方法 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0858018A1 (de) * | 1997-02-06 | 1998-08-12 | Georg Fischer Rohrleitungssysteme AG | Verfahren und Vorrichtung zur Durchflussregelung von Flüssigkeiten |
GB9804047D0 (en) | 1998-02-27 | 1998-04-22 | Normalair Garrett Ltd | Method of controlling a parameter |
US7096093B1 (en) | 2000-02-14 | 2006-08-22 | Invensys Systems, Inc. | Intelligent valve flow linearization |
FI120472B (fi) | 2006-06-06 | 2009-10-30 | Metso Automation Oy | Ohjausmenetelmä ja ohjausjärjestelmä virtausta säätävää venttiiliä varten |
US11022985B2 (en) | 2011-12-16 | 2021-06-01 | Fluid Handling Llc | Discrete valve flow rate converter |
DK3039500T3 (da) | 2013-08-26 | 2019-09-23 | Spraying Systems Co | Strømningsreguleringsventilsystem og -fremgangsmåde |
EP2975308A1 (de) * | 2014-07-18 | 2016-01-20 | Möhlenhoff GmbH | Anordnung für ein Ventil |
US9995098B2 (en) | 2014-10-08 | 2018-06-12 | Weatherford Technology Holdings, Llc | Choke control tuned by flow coefficient for controlled pressure drilling |
RU2721453C2 (ru) * | 2014-12-15 | 2020-05-19 | Флюид Хэндлинг ЭлЭлСи | Преобразователь расхода дискретного клапана |
PT108396A (pt) * | 2015-04-22 | 2015-12-29 | Acail Gas Sa | Equipamento para controlo, medição e comunicação de uma grandeza física de contentor que contenha um fluido sob pressão |
US10107052B2 (en) | 2016-02-05 | 2018-10-23 | Weatherford Technology Holdings, Llc | Control of hydraulic power flowrate for managed pressure drilling |
US10227838B2 (en) | 2016-05-10 | 2019-03-12 | Weatherford Technology Holdings, Llc | Drilling system and method having flow measurement choke |
DE102017119069A1 (de) * | 2017-08-21 | 2019-02-21 | Krones Ag | Verfahren zum Befüllen von Behältern mit einem Füllprodukt |
US11702896B2 (en) | 2021-03-05 | 2023-07-18 | Weatherford Technology Holdings, Llc | Flow measurement apparatus and associated systems and methods |
US11661805B2 (en) | 2021-08-02 | 2023-05-30 | Weatherford Technology Holdings, Llc | Real time flow rate and rheology measurement |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH638279A5 (en) * | 1979-05-31 | 1983-09-15 | Contraves Ag | Arrangement for linear electrohydraulic command control |
US4277832A (en) * | 1979-10-01 | 1981-07-07 | General Electric Company | Fluid flow control system |
GB2123983B (en) * | 1982-07-15 | 1986-01-08 | Delta Technical Services Ltd | Pressure controllers |
DE3700898A1 (de) * | 1987-01-14 | 1988-07-28 | Herion Werke Kg | Mengenregelventil |
DE3931962A1 (de) * | 1989-09-25 | 1991-04-04 | Rexroth Mannesmann Gmbh | Ansteuerelektronik fuer ein elektrisch verstellbares stellglied |
US5251148A (en) * | 1990-06-01 | 1993-10-05 | Valtek, Inc. | Integrated process control valve |
DE4019503A1 (de) * | 1990-06-19 | 1992-01-02 | Heimeier Gmbh Metall Theodor | Einrichtung zur steuerung des stellventiles einer zentralheizungsanlage |
-
1991
- 1991-10-17 IT ITMI912746A patent/IT1251941B/it active IP Right Grant
-
1992
- 1992-10-13 EP EP92203140A patent/EP0540079B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-10-13 DE DE69206955T patent/DE69206955T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-10-14 FI FI924660A patent/FI924660A/fi unknown
- 1992-10-14 NO NO92923982A patent/NO923982L/no unknown
- 1992-10-16 JP JP4304865A patent/JPH07210253A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006100852A1 (ja) * | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Ebara Corporation | 流量制御装置及び方法 |
JP2006268426A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Ebara Corp | 流量制御装置及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0540079A1 (en) | 1993-05-05 |
NO923982L (no) | 1993-04-19 |
DE69206955D1 (de) | 1996-02-01 |
IT1251941B (it) | 1995-05-27 |
EP0540079B1 (en) | 1995-12-20 |
DE69206955T2 (de) | 1996-05-30 |
FI924660A0 (fi) | 1992-10-14 |
FI924660A (fi) | 1993-04-18 |
ITMI912746A1 (it) | 1993-04-17 |
ITMI912746A0 (it) | 1991-10-17 |
NO923982D0 (no) | 1992-10-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH07210253A (ja) | 流量制御弁のアクチュエータを制御するシステム | |
US8265795B2 (en) | Mass flow controller | |
TWI492013B (zh) | 對質流控制器具有改善效能的多模式控制迴路 | |
US6595231B1 (en) | Device and method for regulating the pressure of a gas stream | |
KR20090096427A (ko) | 질량 유량 제어기를 위한 제어기 이득 스케쥴링 | |
JP2019117592A (ja) | 校正データ作成装置及び校正データ作成方法、並びに、流量制御装置 | |
US10386864B2 (en) | Mass flow controller and a method for controlling a mass flow rate | |
US2441405A (en) | Control system | |
JP2003186543A (ja) | 操作弁の位置調節方法 | |
US8056579B2 (en) | Mass flow controller | |
CN114063658A (zh) | 流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质 | |
JP3893115B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
JP4046538B2 (ja) | 制御方法 | |
JP4578607B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
WO2021176864A1 (ja) | 流量制御装置および流量制御方法 | |
JP2001221201A (ja) | 電空ポジショナ | |
JPS60222551A (ja) | デイ−ゼルエンジンのegr制御装置 | |
CN113721673B (zh) | 气体质量流量控制方法及装置 | |
JPH02304604A (ja) | 流量制御装置 | |
JP2002041149A (ja) | マスフローコントローラ | |
JP7232506B2 (ja) | 流量圧力制御装置 | |
JP2001075607A (ja) | 電空ポジショナ | |
JPH03137417A (ja) | 流量制御装置 | |
US2699795A (en) | Dynamically damped fluid relay | |
JP2615059B2 (ja) | 湯水混合装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000104 |