JPH0248711A - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JPH0248711A JPH0248711A JP19934888A JP19934888A JPH0248711A JP H0248711 A JPH0248711 A JP H0248711A JP 19934888 A JP19934888 A JP 19934888A JP 19934888 A JP19934888 A JP 19934888A JP H0248711 A JPH0248711 A JP H0248711A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bypass line
- mass flow
- line
- orifice
- flow controller
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Air Transport Of Granular Materials (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は気体の質量流量を制御するマスフローコントロ
ーラに関するものである。
ーラに関するものである。
従来、この種のマスフローコントローラは第３図に示す
ように導入ガス４が途中でセンサーライン３とバイパス
ライン２に分流され、センサーライン３に流れ込んだガ
スによってブリッジ回路５の均衡が崩れ設定信号１０と
同じ値になるまで流量コントロールバルブ７を開弁する
構造になっている。従来のマスフローコントローラでは
バイパスライン２のオリフィス径が半固定のため、小流
量仕様から大流量仕様への変更、もしくはその逆の仕様
変更時、本体をガスラインからはずし分解してバイパス
ラインのオリフィス径の変更を行なう必要があった。
ように導入ガス４が途中でセンサーライン３とバイパス
ライン２に分流され、センサーライン３に流れ込んだガ
スによってブリッジ回路５の均衡が崩れ設定信号１０と
同じ値になるまで流量コントロールバルブ７を開弁する
構造になっている。従来のマスフローコントローラでは
バイパスライン２のオリフィス径が半固定のため、小流
量仕様から大流量仕様への変更、もしくはその逆の仕様
変更時、本体をガスラインからはずし分解してバイパス
ラインのオリフィス径の変更を行なう必要があった。
上述した従来のマスフローコントローラでは定格流量の
仕様変更時、マスフロー本体をガスラインからはずして
分解し、半固定のオリフィス径を変更し流量校正しなけ
ればならず、最終チエツク等を含め仕様変更には１〜２
日間要するという欠点がある。
仕様変更時、マスフロー本体をガスラインからはずして
分解し、半固定のオリフィス径を変更し流量校正しなけ
ればならず、最終チエツク等を含め仕様変更には１〜２
日間要するという欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決したマスフローコントロ
ーラを提供することにある。
ーラを提供することにある。
上述した従来のマスフローコントローラに対し、本発明
によるマスフローコントローラはガスラインから本体を
はずして分解することなしに自動でバイパスラインのオ
リフィス径を短時間で変更できるという相違点を有する
。
によるマスフローコントローラはガスラインから本体を
はずして分解することなしに自動でバイパスラインのオ
リフィス径を短時間で変更できるという相違点を有する
。
前記目的を達成するため、本発明は１本のガスラインを
分岐させてなるセンサーライン及びバイパスラインを備
えたマスフローコントローラにおいて、外部制御により
前記バイパスラインのオリフィス径を変化させる弁機構
を装備したものである。
分岐させてなるセンサーライン及びバイパスラインを備
えたマスフローコントローラにおいて、外部制御により
前記バイパスラインのオリフィス径を変化させる弁機構
を装備したものである。
以下、本発明の実施例を図により説明する。
（実施例１）
第１図は本発明の実施例１を示す構成図である。
図において、１本のガスラインはその下流側がセンサー
ライン３とバイパスライン２とに分岐されており、その
下流側に流量コントロールバルブ７が設置されている０
本発明は前記バイパスライン２に、外部制御によりその
オリフィス径が変化するバリアプルオリフィス（弁機構
）ｌａを設置したものである。また図中、５は流量検知
用ブリッジ回路、６はヒータ回路、８はアンプ、９はコ
ンパレータである。
ライン３とバイパスライン２とに分岐されており、その
下流側に流量コントロールバルブ７が設置されている０
本発明は前記バイパスライン２に、外部制御によりその
オリフィス径が変化するバリアプルオリフィス（弁機構
）ｌａを設置したものである。また図中、５は流量検知
用ブリッジ回路、６はヒータ回路、８はアンプ、９はコ
ンパレータである。
実施例において、導入ガス４はマスフローコントローラ
内でバイパスライン２とセンサーライン３に一定の割り
合いで分流される。センサーライン３に流れ込んだ導入
ガス４はヒータ回路６により温められる。その温められ
た導入ガス４がセンサーライン３を流れるため、流量検
知用ブリッジ回路５の均衡がくずれ、流量に応じた電位
差を生じ、コンパレータ９で流量設定信号１０と比較し
、設定流量になるように流量コントロールバルブを開閉
する。
内でバイパスライン２とセンサーライン３に一定の割り
合いで分流される。センサーライン３に流れ込んだ導入
ガス４はヒータ回路６により温められる。その温められ
た導入ガス４がセンサーライン３を流れるため、流量検
知用ブリッジ回路５の均衡がくずれ、流量に応じた電位
差を生じ、コンパレータ９で流量設定信号１０と比較し
、設定流量になるように流量コントロールバルブを開閉
する。
この機構においてコントロール流量が多い場合は、オリ
フィス径可変信号１１に基いてバリアプルオリフィス１
ａの開度を大きくし、少ない場合は開度を小さくする操
作を外部から自動制御することにより、バイパスライン
２とセンサーライン３の割り合いを短時間で変更する。
フィス径可変信号１１に基いてバリアプルオリフィス１
ａの開度を大きくし、少ない場合は開度を小さくする操
作を外部から自動制御することにより、バイパスライン
２とセンサーライン３の割り合いを短時間で変更する。
実験の結果、本発明によれば、定格流量の仕様変更は５
〜１０分位で行うことができた。
〜１０分位で行うことができた。
（実施例２）
第２図は本発明の実施例２を示す構成図である。
本実施例と第１図に示す実施例との相違点はバイパスラ
イン２のオリフィス径の可変方式にある。
イン２のオリフィス径の可変方式にある。
すなわち、前述の実施例１ではバイパスライン２のオリ
フィスを任意に変化させ分流比を変える方式のなめ、オ
リフィス径の開度、の正確な把握の点に問題がある。そ
こで実力１例２においてはバイパスライン２に何本かの
バルブ付管を取り付け、それぞれのバルブ（弁機構）Ｉ
ｂ、ｌｃ、ｌｄ、１ｅをオリフィス径可変信号に基いて
個別又は何個か同じに全開、全閉させることでオリフィ
ス径を決定する。尚バルブの開閉は前述の実施例同様外
部より制御できるものである０例えばバルブＩＣを開、
バルブｌｂ、ｌｄ、ｌｅを閉にすれば、バイパスライン
２のオリフィス径の開度は２５％固定となる。すなわち
、オリフィス径の開度を正確に決定できるという利点が
ある。
フィスを任意に変化させ分流比を変える方式のなめ、オ
リフィス径の開度、の正確な把握の点に問題がある。そ
こで実力１例２においてはバイパスライン２に何本かの
バルブ付管を取り付け、それぞれのバルブ（弁機構）Ｉ
ｂ、ｌｃ、ｌｄ、１ｅをオリフィス径可変信号に基いて
個別又は何個か同じに全開、全閉させることでオリフィ
ス径を決定する。尚バルブの開閉は前述の実施例同様外
部より制御できるものである０例えばバルブＩＣを開、
バルブｌｂ、ｌｄ、ｌｅを閉にすれば、バイパスライン
２のオリフィス径の開度は２５％固定となる。すなわち
、オリフィス径の開度を正確に決定できるという利点が
ある。
以上説明したように本発明によるマスフローコントロー
ラはバイパスラインのオリフィス径を外部より自動で変
更できるなめ、定格流量の仕様変更を短時間で行なえる
効果がある。
ラはバイパスラインのオリフィス径を外部より自動で変
更できるなめ、定格流量の仕様変更を短時間で行なえる
効果がある。
第１図は本発明の実施例１を示す構成図、第２図は本発
明の実施例２を示す構成図、第３図は従来例を示す構成
図である。 １ａ・・・バリアプルオリフィス １ ｂ 、 １ ｃ 、 １ ｄ 、 １ ｅ −−・
バルブ２・・・バイパスライン ３・・・センサーラ
イン４・・・導入ガス ５・・・流量検知用ブリッジ回路 ６・・・ヒータ回路 ７・・・流量コントロールバルブ ８・・・アンプ ９・・・コンパレータ１０
・・・流量設定信号 １１・・・オリスイス径可変信号 第 図 第 図 第 図
明の実施例２を示す構成図、第３図は従来例を示す構成
図である。 １ａ・・・バリアプルオリフィス １ ｂ 、 １ ｃ 、 １ ｄ 、 １ ｅ −−・
バルブ２・・・バイパスライン ３・・・センサーラ
イン４・・・導入ガス ５・・・流量検知用ブリッジ回路 ６・・・ヒータ回路 ７・・・流量コントロールバルブ ８・・・アンプ ９・・・コンパレータ１０
・・・流量設定信号 １１・・・オリスイス径可変信号 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- （１）１本のガスラインを分岐させてなるセンサーライ
ン及びバイパスラインを備えたマスフローコントローラ
において、外部制御により前記バイパスラインのオリフ
ィス径を変化させる弁機構を装備したことを特徴とする
マスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19934888A JPH0248711A (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19934888A JPH0248711A (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | マスフローコントローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0248711A true JPH0248711A (ja) | 1990-02-19 |
Family
ID=16406271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19934888A Pending JPH0248711A (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0248711A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0944254A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-14 | Nec Kyushu Ltd | マスフローコントローラー |
| JP2002106798A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Honda Motor Co Ltd | 液体水素貯蔵装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5738211B2 (ja) * | 1975-09-17 | 1982-08-14 |
-
1988
- 1988-08-10 JP JP19934888A patent/JPH0248711A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5738211B2 (ja) * | 1975-09-17 | 1982-08-14 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0944254A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-14 | Nec Kyushu Ltd | マスフローコントローラー |
| JP2002106798A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Honda Motor Co Ltd | 液体水素貯蔵装置 |
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