JPH03166611A - 質量流量制御装置 - Google Patents
質量流量制御装置Info
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- JPH03166611A JPH03166611A JP30718889A JP30718889A JPH03166611A JP H03166611 A JPH03166611 A JP H03166611A JP 30718889 A JP30718889 A JP 30718889A JP 30718889 A JP30718889 A JP 30718889A JP H03166611 A JPH03166611 A JP H03166611A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 42
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は被制御流体の質量流量を検出し、流量コントロ
ールバルブの開度を調節して、被制御流体の質量流量を
自動的に制御する質量流量制御装置に関する。
ールバルブの開度を調節して、被制御流体の質量流量を
自動的に制御する質量流量制御装置に関する。
［従来の技術］
第３図は従来の質量流量制御装置を示す模式図である。
被制御流体の流路に流量制御用の質量流量センサ２１が
設けられており、更にこの質量流量センサ２１にバイパ
スチューブ２４が並列に設けられている。被制御流体は
この質量流量センサ２１の入口部でセンサ２１内を通流
する流体とバイパスチューブ２４内を通流する流体とに
分流される。
設けられており、更にこの質量流量センサ２１にバイパ
スチューブ２４が並列に設けられている。被制御流体は
この質量流量センサ２１の入口部でセンサ２１内を通流
する流体とバイパスチューブ２４内を通流する流体とに
分流される。
そして、センサ２１内又はバイパスチューブ２４内を通
流した流体は、センサ２１の出口部で再び合流する。こ
の流体は流量コントロールバルブ２２内を通流して、外
部に供給される。
流した流体は、センサ２１の出口部で再び合流する。こ
の流体は流量コントロールバルブ２２内を通流して、外
部に供給される。
質量流量センサ２１は、センサ２１内を通流する流体の
質量流量に対応して変化するセンサ出力信号２５を発生
する。比較制御回路２３はこのセンサ出力信号２５と外
部から与えられる流量設定信号２６とを入力し、この２
つの信号を常時比較している。そして、比較制御回路２
３はその比較結果をバルブ制御信号２７として流量コン
トロールバルブ２２の駆動装置２８に出力し、駆動装置
２８はセンサ出力信号２５と流量設定信号２６とが等し
くなるように流量コントロールバルブ２２の開度を調節
する。このようにして、外部に供給する流体の質量流量
がフィードバック制御される。
質量流量に対応して変化するセンサ出力信号２５を発生
する。比較制御回路２３はこのセンサ出力信号２５と外
部から与えられる流量設定信号２６とを入力し、この２
つの信号を常時比較している。そして、比較制御回路２
３はその比較結果をバルブ制御信号２７として流量コン
トロールバルブ２２の駆動装置２８に出力し、駆動装置
２８はセンサ出力信号２５と流量設定信号２６とが等し
くなるように流量コントロールバルブ２２の開度を調節
する。このようにして、外部に供給する流体の質量流量
がフィードバック制御される。
［発明が解決しようとする課題コ
しかしながら、従来の質量流量制御装置には以下に説明
する問題点がある。
する問題点がある。
即ち、被制御流体中に含まれるパーティクル等がセンサ
２ｌ内又はバイパスチューブ２４内に付着すると、両者
に分流される流体の分流バランスが変化する。そうする
と、流量設定信号２６により決定される流量と、実際に
質量流量制御装置から供給される流体の流量との間に差
異が発生する。
２ｌ内又はバイパスチューブ２４内に付着すると、両者
に分流される流体の分流バランスが変化する。そうする
と、流量設定信号２６により決定される流量と、実際に
質量流量制御装置から供給される流体の流量との間に差
異が発生する。
この場合に、従来の質量流量制御装置は、分流バランス
が変化したことを検出する手段を有しないため、所望の
流量制御を行うことができなくなっても、それを検知し
て作業者等に知らせることができない。
が変化したことを検出する手段を有しないため、所望の
流量制御を行うことができなくなっても、それを検知し
て作業者等に知らせることができない。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
センサとバイパスチューブとの分流バランスが変化した
場合に、作業者等に異常の発生を迅速に知らせることが
できる質量流量制御装置を提供することを目的とする。
センサとバイパスチューブとの分流バランスが変化した
場合に、作業者等に異常の発生を迅速に知らせることが
できる質量流量制御装置を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段コ
本発明に係る質量流量制御装置は、被制御流体の流路に
設けられた流量コントロールバルブと、前記被制御流体
の質量流量を検出する第１の質量流量センサと、この第
１の質量流量センサの出力に基づいて前記流量コントロ
ールバルブのバルブ開度を調節する制御回路と、前記被
制御流体の質量流量を検出する第２の質量流量センサと
、前記第１の質量流量センサの出力と前記第２の質量流
量センサの出力との差が所定範囲から外れた場合に警報
信号を出力する警報回路とを有することを特徴とする。
設けられた流量コントロールバルブと、前記被制御流体
の質量流量を検出する第１の質量流量センサと、この第
１の質量流量センサの出力に基づいて前記流量コントロ
ールバルブのバルブ開度を調節する制御回路と、前記被
制御流体の質量流量を検出する第２の質量流量センサと
、前記第１の質量流量センサの出力と前記第２の質量流
量センサの出力との差が所定範囲から外れた場合に警報
信号を出力する警報回路とを有することを特徴とする。
［作用コ
本発明に係る質量流量制御装置は、被制御流体の流路に
第１及び第２の２個の質量流量センサが設けられており
、各センサの出力は警報回路により比較されるようにな
っている。この場合に、一方の質量流量センサの出力は
従来同様に流量コントロールバルブの開度の調整にも使
用される。
第１及び第２の２個の質量流量センサが設けられており
、各センサの出力は警報回路により比較されるようにな
っている。この場合に、一方の質量流量センサの出力は
従来同様に流量コントロールバルブの開度の調整にも使
用される。
通常は、前記２個の質量流量センサの出力の差は特定の
値となり、一定である。しかし、一方のセンサにおいて
、センサ及びバイパスチューブに流れる流体の分流バラ
ンスが変化すると、この２個のセンサの出力の差は特定
の値から変化したものになる。そして、この両センサの
出力差が所定範囲から外れた場合に、前記警報回路は異
常を検出する。この警報回路により、異常時に警報信号
が出力されるため、作業者等は装置の異常を遅滞なく認
識することができる。
値となり、一定である。しかし、一方のセンサにおいて
、センサ及びバイパスチューブに流れる流体の分流バラ
ンスが変化すると、この２個のセンサの出力の差は特定
の値から変化したものになる。そして、この両センサの
出力差が所定範囲から外れた場合に、前記警報回路は異
常を検出する。この警報回路により、異常時に警報信号
が出力されるため、作業者等は装置の異常を遅滞なく認
識することができる。
［実施例］
次に、本発明の実施例について添付の図面を参照して説
明する。
明する。
第１図は本発明の第１の実施例に係る質量流量制御装置
を示す模式図である。
を示す模式図である。
被制御流体の流路には、流路に沿って流量制御用質量流
量センサ１、比較用質量流量センサ２及び流量コントロ
ールバルブ３が配置されている。
量センサ１、比較用質量流量センサ２及び流量コントロ
ールバルブ３が配置されている。
また、質量流量センサ１の入口部と出口部との間にはバ
イパスチューブ６が質量流量センサ１に並列的に設けら
れている。そして、センサ１の入口部において、流体は
センサ１内を通流する流体と、バイパスチューブ８内を
通流する流体とに分流される。この分流された流体は、
センサ１の出口部において、再び合流する。
イパスチューブ６が質量流量センサ１に並列的に設けら
れている。そして、センサ１の入口部において、流体は
センサ１内を通流する流体と、バイパスチューブ８内を
通流する流体とに分流される。この分流された流体は、
センサ１の出口部において、再び合流する。
これと同様に、質量流量センサ２の入口部と出口部との
間にはバイパスチューブ７が質量流量センサ２に並列的
に設けられており、センサ２の入口部において、流体は
センサ２内を通流する流体と、バイパスチューブ７内を
通流する流体とに分流される。この分流された流体は、
センサ２の出口部において、合流する。
間にはバイパスチューブ７が質量流量センサ２に並列的
に設けられており、センサ２の入口部において、流体は
センサ２内を通流する流体と、バイパスチューブ７内を
通流する流体とに分流される。この分流された流体は、
センサ２の出口部において、合流する。
質量流量センサ１からは、センサ１内を通流した流体の
質量流量に対応して変化するセンサ出力信号１１が出力
される。このセンサ出力信号１ｌは比較制御回路４及び
比較回路５に入力される。
質量流量に対応して変化するセンサ出力信号１１が出力
される。このセンサ出力信号１ｌは比較制御回路４及び
比較回路５に入力される。
比較制御回路４はこのセンサ出力信号１１と、外部装置
等から出力された外部流量設定信号１２とを比較し、こ
の２つの信号のレベル差に基づくバルブ制御信号１３を
出力する。流量コントロールバルブ３の駆動装置１６は
、このバルブ制御信号１３を入力すると、センサ出力信
号１１と流量設定信号１２とが等しくなるようにバルブ
３の開度を調整する。
等から出力された外部流量設定信号１２とを比較し、こ
の２つの信号のレベル差に基づくバルブ制御信号１３を
出力する。流量コントロールバルブ３の駆動装置１６は
、このバルブ制御信号１３を入力すると、センサ出力信
号１１と流量設定信号１２とが等しくなるようにバルブ
３の開度を調整する。
一方、比較用質量流量センサ２からは、センサ２内を通
流する流体の質量流量に応じて変化するセンサ出力信号
１４が出力される。比較回路５はこのセンサ出力信号１
４とセンサ１からのセンサ出力信号１１とを比較し、両
者の信号の差が所定範囲以上に変化した場合に、警報信
号ｌ５を出力する。この警報信号１５は、例えば音声、
光又はディスプレイ等による監視装置に入力されて作業
者等に異常発生を知らせるようになっている。
流する流体の質量流量に応じて変化するセンサ出力信号
１４が出力される。比較回路５はこのセンサ出力信号１
４とセンサ１からのセンサ出力信号１１とを比較し、両
者の信号の差が所定範囲以上に変化した場合に、警報信
号ｌ５を出力する。この警報信号１５は、例えば音声、
光又はディスプレイ等による監視装置に入力されて作業
者等に異常発生を知らせるようになっている。
このように構成された本実施例装置においては、質量流
量センサ１及び２の入口部におけるセンサとバイパスチ
ューブとの流体分流バランスが正常な場合は、流量制御
用質量流量センサ１のセンサ出力信号１１と、比較用質
量流量センサ２のセンサ出力信号１４との差は小さく一
定であるため、比較回路５からは警報信号１５は送出さ
れない。
量センサ１及び２の入口部におけるセンサとバイパスチ
ューブとの流体分流バランスが正常な場合は、流量制御
用質量流量センサ１のセンサ出力信号１１と、比較用質
量流量センサ２のセンサ出力信号１４との差は小さく一
定であるため、比較回路５からは警報信号１５は送出さ
れない。
また、流量コントロールバルブ３の開度は、従来と同様
に、センサ１の出力信号ｌ１と流量設定信号１２とを入
力してバルブ制御信号１３を出力する比較制御回路４に
より制御される。
に、センサ１の出力信号ｌ１と流量設定信号１２とを入
力してバルブ制御信号１３を出力する比較制御回路４に
より制御される。
一方、流体中のパーティクル等が流量制御用質量流量セ
ンサ１の流路内又はバイパスチューブ６内に付着し、セ
ンサ１の入口部における分流バランスが変化すると、セ
ンサ１が示す流量値と、実際に質量流量制御装置から供
給される流体の流量値との間に差異が発生する。この場
合に、センサ１の出力信号１１と比較用質量流量センサ
２の出力信号１４との差が通常の状態から所定範囲を超
えて変化するため、この変化が比較回路５により検出さ
れ、比較回路５から警報信号ｌ５が出力される。これに
より、作業者等は質量流量制御装置の異常を迅速に知る
ことができる。
ンサ１の流路内又はバイパスチューブ６内に付着し、セ
ンサ１の入口部における分流バランスが変化すると、セ
ンサ１が示す流量値と、実際に質量流量制御装置から供
給される流体の流量値との間に差異が発生する。この場
合に、センサ１の出力信号１１と比較用質量流量センサ
２の出力信号１４との差が通常の状態から所定範囲を超
えて変化するため、この変化が比較回路５により検出さ
れ、比較回路５から警報信号ｌ５が出力される。これに
より、作業者等は質量流量制御装置の異常を迅速に知る
ことができる。
第２図は本発明の第２の実施例に係る質量流量制御装置
を示す模式図である。
を示す模式図である。
本実施例が第１の実施例と異なる点は比較用質量流量セ
ンサ２ａの設置方法が異なることにあり、その他の構成
は基本的には第１の実施例と同様であるので、第２図に
おいて第１図と同一物には同一符号を付してその詳しい
説明は省略する。
ンサ２ａの設置方法が異なることにあり、その他の構成
は基本的には第１の実施例と同様であるので、第２図に
おいて第１図と同一物には同一符号を付してその詳しい
説明は省略する。
本実施例においては、比較用質量流量センサ２ａが被制
御流体の流路に直接設置されている。従って、本実施例
の質量流量制御装置から供給される被制御流体は、その
全量が比較用質量流量センサ２ａ内を通流する。このた
め、第１の実施例と異なり、比較用質量流量センサ２ａ
に異物が詰まる虞れが少ない。また、本実施例において
も、第１の実施例と同様に、流量制御用質量流量センサ
１の入口部における分流バランスが変化した場合は、比
較回路５から警報信号１５が出力され、装置の異常を迅
速に知らせることができる。
御流体の流路に直接設置されている。従って、本実施例
の質量流量制御装置から供給される被制御流体は、その
全量が比較用質量流量センサ２ａ内を通流する。このた
め、第１の実施例と異なり、比較用質量流量センサ２ａ
に異物が詰まる虞れが少ない。また、本実施例において
も、第１の実施例と同様に、流量制御用質量流量センサ
１の入口部における分流バランスが変化した場合は、比
較回路５から警報信号１５が出力され、装置の異常を迅
速に知らせることができる。
［発明の効果コ
以上説明したように本発明によれば、被制御流体の流路
に設けられた２個の質量流量センサからの出力の差が所
定範囲から外れた場合に警報信号を出力する警報回路が
設けられているから、パーティクルの付着等により流量
コントロールバルブの調整が正常に行われない場合は、
この警報回路の出力により、作業者等に異常の発生を迅
速に知らせることができる。このため、流体の流量異常
により発生する不都合を最小限に抑制することができる
。
に設けられた２個の質量流量センサからの出力の差が所
定範囲から外れた場合に警報信号を出力する警報回路が
設けられているから、パーティクルの付着等により流量
コントロールバルブの調整が正常に行われない場合は、
この警報回路の出力により、作業者等に異常の発生を迅
速に知らせることができる。このため、流体の流量異常
により発生する不都合を最小限に抑制することができる
。
第１図は本発明の第１の実施例に係る質量流量制御装置
を示す模式図、第２図は本発明の第２の実施例に係る質
量流量制御装置を示す模式図、第３図は従来の質量流量
制御装置を示す模式図である。 １．２．２ａ．２１ ；質量流量センサ、３，２２：流
量コントロールバルブ、４．２３；比較制御回路、５；
比較回路、６，７，２４；バイパスチューブ、１１．１
４．２５；センサ出力信号、１２．２６；流量設定信号
、１３．２７；バルブ制御信号、１５；警報信号、１６
；駆動装置１，２；實量ｉｌｌセンブ １１，１４；セ冫＋ｔ出力イ乞号 第 ｌ 図 第 ２ 図
を示す模式図、第２図は本発明の第２の実施例に係る質
量流量制御装置を示す模式図、第３図は従来の質量流量
制御装置を示す模式図である。 １．２．２ａ．２１ ；質量流量センサ、３，２２：流
量コントロールバルブ、４．２３；比較制御回路、５；
比較回路、６，７，２４；バイパスチューブ、１１．１
４．２５；センサ出力信号、１２．２６；流量設定信号
、１３．２７；バルブ制御信号、１５；警報信号、１６
；駆動装置１，２；實量ｉｌｌセンブ １１，１４；セ冫＋ｔ出力イ乞号 第 ｌ 図 第 ２ 図
Claims (1)
- （１）被制御流体の流路に設けられた流量コントロール
バルブと、前記被制御流体の質量流量を検出する第１の
質量流量センサと、この第１の質量流量センサの出力に
基づいて前記流量コントロールバルブのバルブ開度を調
節する制御回路と、前記被制御流体の質量流量を検出す
る第２の質量流量センサと、前記第１の質量流量センサ
の出力と前記第２の質量流量センサの出力との差が所定
範囲から外れた場合に警報信号を出力する警報回路とを
有することを特徴とする質量流量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30718889A JPH03166611A (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 質量流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30718889A JPH03166611A (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 質量流量制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03166611A true JPH03166611A (ja) | 1991-07-18 |
Family
ID=17966104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30718889A Pending JPH03166611A (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 質量流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03166611A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0569477U (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-21 | 株式会社リンテック | 質量流量制御器の制御弁構造 |
| US5440901A (en) * | 1992-12-01 | 1995-08-15 | Nagata Seiki Kabushiki Kaisha | Picker device of hosiery knitting machine |
| JP2015509250A (ja) * | 2012-01-20 | 2015-03-26 | エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 質量流量コントローラを通る流量を実時間で監視するシステムおよび方法 |
| JP2015194421A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | 日立金属株式会社 | 質量流量計、及び当該質量流量計を使用する質量流量制御装置 |
| US9471066B2 (en) | 2012-01-20 | 2016-10-18 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of providing pressure insensitive self verifying mass flow controller |
| US9557744B2 (en) | 2012-01-20 | 2017-01-31 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of monitoring flow through mass flow controllers in real time |
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Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5814210A (ja) * | 1981-07-16 | 1983-01-27 | Oki Electric Ind Co Ltd | 流量制御装置 |
-
1989
- 1989-11-27 JP JP30718889A patent/JPH03166611A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5814210A (ja) * | 1981-07-16 | 1983-01-27 | Oki Electric Ind Co Ltd | 流量制御装置 |
Cited By (13)
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| US20170199529A1 (en) | 2012-01-20 | 2017-07-13 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of monitoring flow through mass flow controllers in real time |
| US9846074B2 (en) | 2012-01-20 | 2017-12-19 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of monitoring flow through mass flow controllers in real time |
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| JP2015194421A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | 日立金属株式会社 | 質量流量計、及び当該質量流量計を使用する質量流量制御装置 |
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