JPS5814210A - 流量制御装置 - Google Patents
流量制御装置Info
- Publication number
- JPS5814210A JPS5814210A JP56111345A JP11134581A JPS5814210A JP S5814210 A JPS5814210 A JP S5814210A JP 56111345 A JP56111345 A JP 56111345A JP 11134581 A JP11134581 A JP 11134581A JP S5814210 A JPS5814210 A JP S5814210A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- flow
- flow path
- path
- output signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
- G01F25/15—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters specially adapted for gas meters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発ｇＡは各檜ガス類の流量を制御する装置に曲し、特
に流路のつまシなどの異常を検知してすみやかに対策’
ｔｍしられるようにした流量制御装置に関する。
に流路のつまシなどの異常を検知してすみやかに対策’
ｔｍしられるようにした流量制御装置に関する。
従来の質量流量制御器を第１■に示す。第１図において
、１０１はガス流入口、１ｏ２Ｆｉ主ガス流路％ １０
３扛主ガス流路１０２に設けたセンサー管、１０４は主
ガス流路１０２内に配設したメツシュ、１ｏ５Ｆｉ七ノ
サー菅１１Ｊ ３の外周に巻回した一対のサーモレジス
ター、 １０６はブリッジ回路、１０７は増幅回路、１
０８ｉｔ。
、１０１はガス流入口、１ｏ２Ｆｉ主ガス流路％ １０
３扛主ガス流路１０２に設けたセンサー管、１０４は主
ガス流路１０２内に配設したメツシュ、１ｏ５Ｆｉ七ノ
サー菅１１Ｊ ３の外周に巻回した一対のサーモレジス
ター、 １０６はブリッジ回路、１０７は増幅回路、１
０８ｉｔ。
流量表示部、１０９は比較制ｗＪ回路、１１ｏは設定電
圧ポテンショメーター、１１１はサーマ◆ルバルブ、１
１２はガス出口、１１３は電諒である。この質量流量制
御器のガス流入口１０１に流入してきたガスは、主ガス
流路１０２とセンサー管１０３に分岐さｎる。ガスの分
岐これる流量の割合は、メツシュ１０４により、ある操
作圧力範曲に於いて一定となり、センサー管１０３に流
れるガス流量は、ガス流入口１ｏｌに流入した全ガス蓋
に比例する。センサー管１０３のサーモレジスター１０
５はブリッジ回路１０６’に形成し、センサー管１０３
にガスが流れていない時、出力信号は０′Ｖにバランス
されている。流れがある時には、上・流側が冷やされ、
下流側が潟められるため、流量に比＄１＋ （、で。
圧ポテンショメーター、１１１はサーマ◆ルバルブ、１
１２はガス出口、１１３は電諒である。この質量流量制
御器のガス流入口１０１に流入してきたガスは、主ガス
流路１０２とセンサー管１０３に分岐さｎる。ガスの分
岐これる流量の割合は、メツシュ１０４により、ある操
作圧力範曲に於いて一定となり、センサー管１０３に流
れるガス流量は、ガス流入口１ｏｌに流入した全ガス蓋
に比例する。センサー管１０３のサーモレジスター１０
５はブリッジ回路１０６’に形成し、センサー管１０３
にガスが流れていない時、出力信号は０′Ｖにバランス
されている。流れがある時には、上・流側が冷やされ、
下流側が潟められるため、流量に比＄１＋ （、で。
ブリッジ１路１０６から出力信号が得られる。
この信号は、増幅回路１０７によシ、増幅、すニアライ
ズされ、その出力は、流量表示部１０８と比−制ｍ回路
１０９とに入力する。比較制御回路１０９では、増幅回
路１０７からの出力電圧と設定電圧ポテンショメーター
１１０による設定電圧とを比較し、それらの差信号を検
出し、差信号が亨になるまで、熱膨張を応用したサーマ
ルバルブｉｌｌ’！−側一し、流量のコントロールを行
う如くなっている。
ズされ、その出力は、流量表示部１０８と比−制ｍ回路
１０９とに入力する。比較制御回路１０９では、増幅回
路１０７からの出力電圧と設定電圧ポテンショメーター
１１０による設定電圧とを比較し、それらの差信号を検
出し、差信号が亨になるまで、熱膨張を応用したサーマ
ルバルブｉｌｌ’！−側一し、流量のコントロールを行
う如くなっている。
促って、この債童流証制御器で鉱、メツシュ１０４の部
分が異物のためつまった場合、センサー管１０３にのみ
ガスが流１、この流量によシサーマルパルブ１１１が制
御１１１１され、流量表示部１０８はみかけ上正常な設
定流量を表示するが、実際には設定流量の一部がセンサ
ー′＃ｔ１０３にのみ訛詐るという事態が発生し、故障
の判別ができないという欠点があったヶ 本発明は従来の上記の如き欠点に鑑み、流蓋慎出部の検
出信号にて制ｔａされる流量制御弁により、供給流体の
流量を制御する流量制御装置において、前記供給流体の
流路に直列に少なくとも二つの前記流量検出部を設け、
その検出信号を比較回路で比較することにょ９％正常・
異常を検知するようにしたもので、その目的とするとこ
ろは、流路のつまシなどによる故障を迅速に検知するこ
とができるようにした流量制御装置を提供することにあ
る。以下本発明を図面２０１線ガス流入口、２ｏ２は圭
ガズ流路、２０３ａ、２０３ｂは主ガｘ渡路２０２にそ
Ａぞれ設けたセンサー管、２０４ａ、２０４ｂは前記主
ガス流路２０２内に配設したメツシュ、２．０５ ａ
、 ２０５ ｂはセンサー管２０３ａ。
分が異物のためつまった場合、センサー管１０３にのみ
ガスが流１、この流量によシサーマルパルブ１１１が制
御１１１１され、流量表示部１０８はみかけ上正常な設
定流量を表示するが、実際には設定流量の一部がセンサ
ー′＃ｔ１０３にのみ訛詐るという事態が発生し、故障
の判別ができないという欠点があったヶ 本発明は従来の上記の如き欠点に鑑み、流蓋慎出部の検
出信号にて制ｔａされる流量制御弁により、供給流体の
流量を制御する流量制御装置において、前記供給流体の
流路に直列に少なくとも二つの前記流量検出部を設け、
その検出信号を比較回路で比較することにょ９％正常・
異常を検知するようにしたもので、その目的とするとこ
ろは、流路のつまシなどによる故障を迅速に検知するこ
とができるようにした流量制御装置を提供することにあ
る。以下本発明を図面２０１線ガス流入口、２ｏ２は圭
ガズ流路、２０３ａ、２０３ｂは主ガｘ渡路２０２にそ
Ａぞれ設けたセンサー管、２０４ａ、２０４ｂは前記主
ガス流路２０２内に配設したメツシュ、２．０５ ａ
、 ２０５ ｂはセンサー管２０３ａ。
２０３ｂの外側に隣接して巻かれているサーモレジスタ
ーである。２０６ａ、２０６ｂは前記サーモレジスター
２０５ａ、２０５ｂと共に形成さｎたブリッジ回路で、
センサーｖｔ２０３ ａ 。
ーである。２０６ａ、２０６ｂは前記サーモレジスター
２０５ａ、２０５ｂと共に形成さｎたブリッジ回路で、
センサーｖｔ２０３ ａ 。
２０３ｂにガスが流れていない時、出力信号はＯＶＫバ
ランスされており、流ｎがある時には、上流側が冷やさ
れ、下流側が温められるため、流量に比例して、出力信
号が得られる如くなっている。２０７は増幅回路、２０
８は流量表示部、２０９は比較制御回路、２１Ｏは設定
電圧ポテンショメーター、２１１は熱膨張を応用したサ
ーマルバルブ、２１２はガス出口、２１３は電源である
。２１４は比較回路で、前記ブリッジ回路２０６ａ、２
°０６ｂの出力信号を入力とし、同じ値の信号の入力以
外は増幅回路２０７に出力信号を送出しないように設定
されている。
ランスされており、流ｎがある時には、上流側が冷やさ
れ、下流側が温められるため、流量に比例して、出力信
号が得られる如くなっている。２０７は増幅回路、２０
８は流量表示部、２０９は比較制御回路、２１Ｏは設定
電圧ポテンショメーター、２１１は熱膨張を応用したサ
ーマルバルブ、２１２はガス出口、２１３は電源である
。２１４は比較回路で、前記ブリッジ回路２０６ａ、２
°０６ｂの出力信号を入力とし、同じ値の信号の入力以
外は増幅回路２０７に出力信号を送出しないように設定
されている。
従って、流路に異常が、カく、各センサー管２０３ａ、
２０３ｂに流れるガス流量が同じ場合には１ブリッジ回
路２０５ａ、２０６ｂより同じ値の出力信号が比較回路
２１４に入力し、比較回路２１４より出力信号が増幅回
路２０７に送出されるので、従来例と同様に、この信号
は増幅回路２０７により、ｔ４幅、リニアライズされ、
その出力は流量表示部２０８と比較制御回路２０９とに
入力する。流量表示５２０８では流量表示が行なわれ、
比較制御回路２０９では増幅回路２０７からの出力電圧
と設定電圧ポテンショメーター２１０による設定電圧と
を比較し、それらの差信号を検出し、その差信号が
零になるまでサーマルバルブ２１１を制−シ、流量の制
御１ＩＤｔ−行なう。ところで、もし片方のメツシュ２
０４ａ、２０４ｂに異物が付着し、片方の流路の流量が
異なった場合、各ブリッジ回路２０６ａ 、２０６ｂか
らは異なる出力信号が得られ比較回路２１４に入力する
ので、比較回路２１４は出力信号を増幅回路２０７に送
出せず、従って流量表示部２０８に流１ｉ表示が行なわ
れない。
２０３ｂに流れるガス流量が同じ場合には１ブリッジ回
路２０５ａ、２０６ｂより同じ値の出力信号が比較回路
２１４に入力し、比較回路２１４より出力信号が増幅回
路２０７に送出されるので、従来例と同様に、この信号
は増幅回路２０７により、ｔ４幅、リニアライズされ、
その出力は流量表示部２０８と比較制御回路２０９とに
入力する。流量表示５２０８では流量表示が行なわれ、
比較制御回路２０９では増幅回路２０７からの出力電圧
と設定電圧ポテンショメーター２１０による設定電圧と
を比較し、それらの差信号を検出し、その差信号が
零になるまでサーマルバルブ２１１を制−シ、流量の制
御１ＩＤｔ−行なう。ところで、もし片方のメツシュ２
０４ａ、２０４ｂに異物が付着し、片方の流路の流量が
異なった場合、各ブリッジ回路２０６ａ 、２０６ｂか
らは異なる出力信号が得られ比較回路２１４に入力する
ので、比較回路２１４は出力信号を増幅回路２０７に送
出せず、従って流量表示部２０８に流１ｉ表示が行なわ
れない。
この様に、本実施例では、主ガス流路２０２に直列にセ
ンサー管２０３ ａ ＝ ２０３ ｂ ｓ サーモレジ
スター２０５ａ、２０５ｂ、ブリッジ回路２０６ａ、２
０６ｂからなる流量検出部を設置することにより、流路
２０２の異なる位［−流れる流量に比例した出力信号を
得ることができるため、その出力信号を比較回路２１４
で比軟し、流路に流れるガスの流量が異物等の付着によ
シ変化し九場合、比較回路２１４から出力信号を送出し
ないようにして、流量表示部２０８の流ｔ＊示を停止す
ることによシ、故障発生を検知できるようにしたもので
ある。
ンサー管２０３ ａ ＝ ２０３ ｂ ｓ サーモレジ
スター２０５ａ、２０５ｂ、ブリッジ回路２０６ａ、２
０６ｂからなる流量検出部を設置することにより、流路
２０２の異なる位［−流れる流量に比例した出力信号を
得ることができるため、その出力信号を比較回路２１４
で比軟し、流路に流れるガスの流量が異物等の付着によ
シ変化し九場合、比較回路２１４から出力信号を送出し
ないようにして、流量表示部２０８の流ｔ＊示を停止す
ることによシ、故障発生を検知できるようにしたもので
ある。
以上説明した如く、本発明によれば、流量検出部の検出
信号にて制御される流量制御弁により、供給流体の流量
を制御する流量制御装置において％前記供給流体の流路
に直列に少なくとも二つの前記流量検出部ｔ−設け、そ
の検出信号を比戦回、路で比較することによシ、正常・
異常を検知するようにしてなるので、装置の故障発生を
迅速に且つ適確に判断することができ、すみやかに対策
を構することができ、ガスラインのような高い安全性が
要求されるシステムの流体流電制−に利用することがで
きる。
信号にて制御される流量制御弁により、供給流体の流量
を制御する流量制御装置において％前記供給流体の流路
に直列に少なくとも二つの前記流量検出部ｔ−設け、そ
の検出信号を比戦回、路で比較することによシ、正常・
異常を検知するようにしてなるので、装置の故障発生を
迅速に且つ適確に判断することができ、すみやかに対策
を構することができ、ガスラインのような高い安全性が
要求されるシステムの流体流電制−に利用することがで
きる。
ｌｓ１図は従来の質量流量制−°器ｐ概略構成図、第２
図は本発明の一実施例を示す概略ＩＩＦｆＬ図である。 ２０１・・・・・・ガス流入口、２０２・・・・・・主
ガス流路、２０３ａ 、２０３ｂ””センサ′−管、２
０４ ａ ｅ２０４ｂ・・・・・・メツシュｂ ２０
５ａｊ２０５ ｂ・・・・・・サーモレジスター％ ２
０６ａ、２０６ｂ・・・・・・ブリッヂ回路、２０７・
・・・・・増幅回路、２０８・・・・・・流量表示部、
２０９・・・・・・比較制御回路、２１Ｏ・・・・・・
設定電圧ポテンショメーター、２１１・・・・・・サー
マルバルブ、２１２・・・・・・ガス出口、２１３・・
・・・・電源、２１４−・・・・・比較回路。 特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人升埴土 吉 １） 柄 孝
図は本発明の一実施例を示す概略ＩＩＦｆＬ図である。 ２０１・・・・・・ガス流入口、２０２・・・・・・主
ガス流路、２０３ａ 、２０３ｂ””センサ′−管、２
０４ ａ ｅ２０４ｂ・・・・・・メツシュｂ ２０
５ａｊ２０５ ｂ・・・・・・サーモレジスター％ ２
０６ａ、２０６ｂ・・・・・・ブリッヂ回路、２０７・
・・・・・増幅回路、２０８・・・・・・流量表示部、
２０９・・・・・・比較制御回路、２１Ｏ・・・・・・
設定電圧ポテンショメーター、２１１・・・・・・サー
マルバルブ、２１２・・・・・・ガス出口、２１３・・
・・・・電源、２１４−・・・・・比較回路。 特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人升埴土 吉 １） 柄 孝
Claims (1)
- 流量検出部の検出信号にて制−される流量制街弁により
、供給流体の流ｉｉを劃−する流量制御装置において、
前記供給流体の流路に直列に少なくとも二つの前記流量
検出部を設け、その検出信号を比威画路で比較すること
によ＃）％正常・概常を検知するようにして、なる流量
制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56111345A JPS5814210A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | 流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56111345A JPS5814210A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | 流量制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814210A true JPS5814210A (ja) | 1983-01-27 |
Family
ID=14558832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56111345A Pending JPS5814210A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | 流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814210A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62100817A (ja) * | 1985-10-28 | 1987-05-11 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ガス流量監視方式 |
| JPH0342706A (ja) * | 1989-07-11 | 1991-02-22 | Fujitsu Ltd | ガス流量コントローラの異常検出装置 |
| JPH03166611A (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-18 | Nec Corp | 質量流量制御装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4945419A (ja) * | 1972-09-07 | 1974-04-30 |
-
1981
- 1981-07-16 JP JP56111345A patent/JPS5814210A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4945419A (ja) * | 1972-09-07 | 1974-04-30 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62100817A (ja) * | 1985-10-28 | 1987-05-11 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ガス流量監視方式 |
| JPH0342706A (ja) * | 1989-07-11 | 1991-02-22 | Fujitsu Ltd | ガス流量コントローラの異常検出装置 |
| JPH03166611A (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-18 | Nec Corp | 質量流量制御装置 |
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