JPS62100817A

JPS62100817A - ガス流量監視方式

Info

Publication number: JPS62100817A
Application number: JP24079985A
Authority: JP
Inventors: Yukio Sakai; 幸夫坂井
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1985-10-28
Filing date: 1985-10-28
Publication date: 1987-05-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コこの発明は、ガス流量監視方式に関し、特に、ガス送入
管のバルブの開度制御して、ＣＶＤ装置。

プラズマエツチング装置、蒸着装置、拡散装置等の各種
処理装置の処理室に所定量のガスを送出するマスフロー
コントローラにおいて、ガス送り異常を早期に検出する
ことができるようなガス流量監視方式に関する。

［従来の技術］ＣＶＤｇ置、プラズマエツチング装置、蒸着装置、拡ｒ
ｔ！を装置等の各種処理装置の処理室へ送入するガスの
流量制御を行うマスフローコントローラとしては、一般
的に、第３図に見るような構成を採る。

すなわち、マスフローコントローラ１において、被測定
ガスの流れる送入管２には、分岐したバイパス路３が形
成されていて、このバイパス路３には、流れの方向に沿
って２本の発熱抵抗体４．４が巻かれている。この発熱
抵抗体４．４の抵抗値の変化をブリッジ回路を有する検
出回路５により検出して流量を測定することにより、ガ
ス流量制御を行うものである。

ここで、送入管２に流れる被測定ガスの流計とバイパス
路３を通って流れる流量とは比例関係にあるため、検出
回路５により全体のガス流量を検出することができ、検
出回路５の検出信号を増幅回路６により増幅してその信
号を表示装置等に出力して表示するとともに、比較制御
回路７に送出する。なお、９は、バイパスシートである
。

比較制御回路７には、制御装置等（図示せず）から送ら
れた制御目標である設定値が人力されていて、増幅回路
６の検出値とこの設定値とが比較減算されて、これらが
等しくないときには、その符号とともにその差値を得て
、その符号に対応し、差値に相当する値で増減された制
御電圧／電流をサーマルバルブ８に供給して、目標開度
にサーマルバルブ８の開度を保持する。

このようにして、サーマルバルブ８を目ｍ開度に制御し
て、送入ガスの全流量を設定値に制御する。

［解決しようとする問題点］このような従来のマスフローコントローラにおいては、
検出部分は、バイパス路に分流されて流れた流量を検出
する方式であることから、分流比が変化するとガスの総
量も変化する関係にある。

しかし、この場合、分流比を検出できないことから、１
′分な総Ｘ′ｒｋの検出ができない欠点がある。

したがって、反応ガス供給系において配管にガスのつま
りが発生したり、バイパス路に異物等が付着するとバイ
パスに流れる流はが本来より増加又は低ドして、サーマ
ルバルブは、目標開度に対して閉じる方向又は開く方向
に制御されていまい、目標とする制御がされていない不
具合が発生する。

その結果、処理対象となる製品に不良が発生してしまう
という問題点がある。

［発明の目的コこの発明は、このような従来技術の問題点等を解決する
ものであって、異常状態を早期に発見できるガス流計監
視方式を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］従来の不具合である送入管路、バイパス路のつまり状態
等による異常を検出するために、この発明にあっては、
直接、総量をコントロールするサーマルバルブの開度を
検出して、これが所定の設定値に対応する開度にあるか
否かを検出して表示すること等によりその異常状態を監
視するというものであって、前記のような目的を達成す
るために、この発明における手段は、ガス送入管のバル
ブの開度制御して、処理装置に所定量のガスを送出する
マスフローコントローラにおいて、ガス送入管のバルブ
の開度を検出し、設定された開度にないときに報知する
というものである。

［作用コこのように構成することにより、各種処理装置の処理室
に所定量のガスを送出するマスフローコントローラにお
いて、そのガス供給系、流量検出バイパス路等につまり
等の異常が発生した場合に早期に発見でき、早期にマス
フローコントローラの流量制御の異常に対する対策を採
ることができるので、製品不良を防止でき、保守性を向
」ニさせることができる。

［実施例コ以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳細
に説明する。

第１図は、この発明のガス流１□１監視方式を適用した
マスフローコントローラのブロック図であり、第２図は
、そのマスフローコントローラの各種ノガスに対するサ
ーマルバルブと印加電圧との関係を説明するグラフであ
る。なお、第３図と同一のものは、同一の符シｌで示す
。

第１図に見るように、このマスフローコントローラ１０
にあっては、比較制御回路７のサーマルバルブ８に対す
る開度制御電圧を開度検出回路１１により検出して、表
示／制御装置１２でその現在値（サーマルバルブの制御
電圧やその開度）を表示するとともの、表示／制御装置
１２に入力される目標設定値からサーマルバルブ８の目
標開度を得て、サーマルバルブ８の現在開度が目標開度
（又は目標開度範囲、［１標開度±αの範囲）にあるか
否かを判定して、所定時間の間、この範囲を越えている
ときには、アラーム回路１３を駆動してその異常を報知
するものである。

ここで、アラーム回路１３としては、警報ランプとか、
ブザー等が使用される。

ところで、バルブに印加される電圧は、流計制御するガ
スの種類が穴なるマスフローコントローラにおいてまち
まちであり、全開時は、ＯＶであり、全開時は、第２図
に見る送入ガスの例のように３〜７Ｖ、５０％解放時で
も２〜６Ｖとなる。

そこで、このような相違を吸収するために、前記表示／
制御装置１２若しくは開度検出回路１１又はこれら装置
と回路との間にこれら制御対象ガスが相違するマスフロ
ーコントローラに対応してその検出電圧をリニアーでか
つオフセット補正。

倍率補正をかける補正回路を送入するとよい。この補正
回路は、オペアンプ等により構成することができ、この
ことにより、それぞれのマスフローコントローラからの
信号を表示／制御装置１２で集中的に監視するものであ
る。

このような補正回路によりオフセット補正とゲイン補正
を行えば、各種のマスフローコントローラにおいて、そ
のサーマルバルブの開度を０％〜１００％までリニア形
で検出処理することが可能となる。

以」二説明してきたが、この発明は、ｃＶＤＷｉｆｆの
マスフローコントローラに限定さオ°るものでなく、プ
ラズマエツチング装置、蒸着装置、拡散装置等、各種の
処理装置にガスを送るマスフローコントローラに対して
適用できるものである。

［発明の効果］息子、の説明から理解できるように、この発明にあって
は、ガス送入管のバルブの開度制御して。

処理装置に所定量のガスを送出するマスフローコントロ
ーラにおいて、ガス送入管のバルブの開度を検出し、設
定された開度にないときに報知するようにしているので
、各種処理装置の処理室に所定量のガスを送出するマス
フローコントローラにおいて、そのガス供給系、流量検
出バイパス路等につまり等の異常が発生した場合に早期
に発見できる。

その結果、早期にマスフローコントローラ（１）４；ｊ
量制御の異常に対する対策を採ることができるので、製
品不良を防止でき、保守性を向−ヒさせることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明のガス流量監視方式を適用したマス
フローコントローラのブロック図、ｍ２図は、そのマス
フローコントローラの各種のガスに対するサーマルバル
ブと印加電圧との関係を説明するグラフ、第３図は、従
来のガス流量制御方式を使用したマスフローコントロー
ラのブロック図である。１．１０・・・マスフローコントローラ、２・・・送入
管、３・・・バイパス路、４・・・発熱抵抗体、５・・
・検出回路、６・・・増幅回路、７・・・比較制御回路
、８・・・サーマルバルブ、１１・・・開度検出回路、１２・・・表示／制御装置、
１３・・・アラーム回路。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ガス送入管のバルブの開度制御して、処理装置に
所定量のガスを送出するマスフローコントローラにおい
て、前記ガス送入管のバルブの開度を検出し、設定され
た開度にないときに報知することを特徴とするガス流量
監視方式。
（２）バルブは、サーマルバルブであり、バルブの開度
は、前記サーマルバルブの開度を制御する制御電圧又は
制御電流を介して検出されることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のガス流量監視方式。