JPH07325625A - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JPH07325625A JPH07325625A JP6118068A JP11806894A JPH07325625A JP H07325625 A JPH07325625 A JP H07325625A JP 6118068 A JP6118068 A JP 6118068A JP 11806894 A JP11806894 A JP 11806894A JP H07325625 A JPH07325625 A JP H07325625A
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- Japan
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- fluid
- signal
- abnormality
- control
- Prior art date
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- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 実流量が設定流量に対して所定レベル以上の
ずれが生じないようにする。 【構成】 流体流路５に流体流量を計測するセンサ部６
と流体流量を制御す流体制御弁７とを配設し、センサ部
６で計測された流体流量の計測信号ａと流量設定器２４
で設定された流量設定信号ｂを比較制御回路２０に入力
し、比較制御回路２０より出力された制御信号ｃにより
流体制御弁７の開度を制御するようにしたマスフローコ
ントローラ１において、比較制御回路２０の制御信号の
電圧値の異常を検出する異常監視装置２６を配設し、マ
スフローコントローラの流量制御の異常を監視するよう
に構成した。
ずれが生じないようにする。 【構成】 流体流路５に流体流量を計測するセンサ部６
と流体流量を制御す流体制御弁７とを配設し、センサ部
６で計測された流体流量の計測信号ａと流量設定器２４
で設定された流量設定信号ｂを比較制御回路２０に入力
し、比較制御回路２０より出力された制御信号ｃにより
流体制御弁７の開度を制御するようにしたマスフローコ
ントローラ１において、比較制御回路２０の制御信号の
電圧値の異常を検出する異常監視装置２６を配設し、マ
スフローコントローラの流量制御の異常を監視するよう
に構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は基体に形成された流体
入口と流体出口との間に流体流量を計測するセンサ部と
流体流量を制御す流体制御弁とを設けたマスフローコン
トローラ、特に流体流量の制御異常の監視に関する。
入口と流体出口との間に流体流量を計測するセンサ部と
流体流量を制御す流体制御弁とを設けたマスフローコン
トローラ、特に流体流量の制御異常の監視に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種マスフローコントローラは、流量
の制御特性が優れているところから、例えば半導体装置
製造の各種のガス供給用など、広く流体の流量制御に用
いられている。
の制御特性が優れているところから、例えば半導体装置
製造の各種のガス供給用など、広く流体の流量制御に用
いられている。
【０００３】図２は従来の一例を示すマスフローコント
ローラのブロック図である。
ローラのブロック図である。
【０００４】同図において、１は基体２の左右に流体入
口３、流体出口４が設けられたマスフローコントロー
ラ、５は流体入口３と流体出口４間に形成された流体流
路で、流体流量を計測するセンサ部６と流体流量を制御
する流体制御弁７が設けてある。
口３、流体出口４が設けられたマスフローコントロー
ラ、５は流体入口３と流体出口４間に形成された流体流
路で、流体流量を計測するセンサ部６と流体流量を制御
する流体制御弁７が設けてある。
【０００５】センサ部６は流体流路５に臨むように開設
された測定入口８と測定出口９との間を接続する薄肉毛
細管よりなるセンサ部導管１０に、例えば熱式質量流量
センサの抵抗１１、１２を巻回してなるものである。ま
た、１３は流体流路５に形成された定分流比特性を有す
るバイパス部である。
された測定入口８と測定出口９との間を接続する薄肉毛
細管よりなるセンサ部導管１０に、例えば熱式質量流量
センサの抵抗１１、１２を巻回してなるものである。ま
た、１３は流体流路５に形成された定分流比特性を有す
るバイパス部である。
【０００６】流体制御弁７は次のように構成されてい
る。即ち、バイパス部１３の下流側の流体通路５に弁口
１４を備えた弁座１５が形成されると共に、弁口１４の
開度を調節する弁体１６がその頭部１７を弁口１４に近
接させた状態で設けられている。そして、弁体１６はば
ね１８により付勢され、常時弁口１４を閉じるように弁
座１５に押しつけられている。
る。即ち、バイパス部１３の下流側の流体通路５に弁口
１４を備えた弁座１５が形成されると共に、弁口１４の
開度を調節する弁体１６がその頭部１７を弁口１４に近
接させた状態で設けられている。そして、弁体１６はば
ね１８により付勢され、常時弁口１４を閉じるように弁
座１５に押しつけられている。
【０００７】また、１９は弁体１６の付勢力に抗して駆
動する弁体駆動部で、熱膨張体等で構成されており、後
述する比較制御回路２０の制御信号ｃにより駆動され、
弁体１６を押し下げて、弁口１４の開度を調節する。
動する弁体駆動部で、熱膨張体等で構成されており、後
述する比較制御回路２０の制御信号ｃにより駆動され、
弁体１６を押し下げて、弁口１４の開度を調節する。
【０００８】２１は前記センサ部６の抵抗１１、１２が
接続された、ブリッジ回路２２と増幅回路２３とからな
る流量計測回路で、センサ部６における抵抗１１、１２
の温度変化に基づいて、マスフローコントローラ１を流
れる流体の流量を計測し、流体流量を表わす計測信号ａ
を出力する。
接続された、ブリッジ回路２２と増幅回路２３とからな
る流量計測回路で、センサ部６における抵抗１１、１２
の温度変化に基づいて、マスフローコントローラ１を流
れる流体の流量を計測し、流体流量を表わす計測信号ａ
を出力する。
【０００９】２０は上述した比較制御回路であり、上記
計測信号ａと流量設定器２４の流量設定信号ｂとに基づ
いて、前記弁体駆動部１９を駆動する。
計測信号ａと流量設定器２４の流量設定信号ｂとに基づ
いて、前記弁体駆動部１９を駆動する。
【００１０】上記構成において、センサ部導管１０にガ
スが流れると、抵抗１１、１２が熱の移動に伴い抵抗値
変化し、ブリッジ回路２２のバランスがくずれる。この
バランスのくずれは流体の質量と単位時間当たりの流量
に比例するもので、流量計測回路２１はこのブリッジ回
路２２の出力電圧を増幅回路２３で増幅して流体流量に
比例した大きさの計測信号ａを出力する。そして、比較
制御回路２０ではこの計測信号ａの電圧値と流量設定器
２４の流量設定信号ｂの電圧値とを比較して、弁体駆動
部１９を駆動する制御信号ｃを生じ、流体制御弁７の開
度を次のように制御する。
スが流れると、抵抗１１、１２が熱の移動に伴い抵抗値
変化し、ブリッジ回路２２のバランスがくずれる。この
バランスのくずれは流体の質量と単位時間当たりの流量
に比例するもので、流量計測回路２１はこのブリッジ回
路２２の出力電圧を増幅回路２３で増幅して流体流量に
比例した大きさの計測信号ａを出力する。そして、比較
制御回路２０ではこの計測信号ａの電圧値と流量設定器
２４の流量設定信号ｂの電圧値とを比較して、弁体駆動
部１９を駆動する制御信号ｃを生じ、流体制御弁７の開
度を次のように制御する。
【００１１】即ち、比較制御回路２０は計測信号ａと流
量設定信号ｂの電圧値がａ＞ｂである時は、計測した流
量が設定した流量よりも大きいため、弁体駆動部１９の
下への移動量を小さくし、弁口１４の開度を小さくす
る。また、計測信号ａと流量設定信号ｂの電圧値がａ＜
ｂである時は、計測した流量が設定した流量よりも小さ
いため、弁体駆動部１９の下への移動量を大きくし、弁
口１４の開度を大きくするのである。
量設定信号ｂの電圧値がａ＞ｂである時は、計測した流
量が設定した流量よりも大きいため、弁体駆動部１９の
下への移動量を小さくし、弁口１４の開度を小さくす
る。また、計測信号ａと流量設定信号ｂの電圧値がａ＜
ｂである時は、計測した流量が設定した流量よりも小さ
いため、弁体駆動部１９の下への移動量を大きくし、弁
口１４の開度を大きくするのである。
【００１２】以上のように、マスフローコントローラに
おいては、マスフローコントローラ１に流れる流体、例
えばガスの流量が変動すると、比較制御回路２０から出
力される制御信号ｃの電圧値がこれに対応して変化して
流体制御弁７の開度が制御され、流体流量が常に流量設
定器２４の設定流量になるように調整され、例えば下流
側に配設されるＣＶＤ装置の真空チャンバに所定量のガ
スが供給される。
おいては、マスフローコントローラ１に流れる流体、例
えばガスの流量が変動すると、比較制御回路２０から出
力される制御信号ｃの電圧値がこれに対応して変化して
流体制御弁７の開度が制御され、流体流量が常に流量設
定器２４の設定流量になるように調整され、例えば下流
側に配設されるＣＶＤ装置の真空チャンバに所定量のガ
スが供給される。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
マスフローコントローラは流体流路をバイパス部とセン
サ部とに分枝させ、センサ部を通過する流体流量をセン
サ部に配置した抵抗の温度変化に基づいて流体流量を計
測する構成であるから、バイパス部とセンサ部を通過す
る流体が常に所定の割合で分流して流れることが前提と
なっており、なんらかの原因、例えば流体流路に異物な
どが介在して上記分流比が変わると、実流量と設定値流
量に差が生じ、正確な流量制御ができないものであっ
た。
マスフローコントローラは流体流路をバイパス部とセン
サ部とに分枝させ、センサ部を通過する流体流量をセン
サ部に配置した抵抗の温度変化に基づいて流体流量を計
測する構成であるから、バイパス部とセンサ部を通過す
る流体が常に所定の割合で分流して流れることが前提と
なっており、なんらかの原因、例えば流体流路に異物な
どが介在して上記分流比が変わると、実流量と設定値流
量に差が生じ、正確な流量制御ができないものであっ
た。
【００１４】例えば、バイパス側がつまっていて実際に
は流体流量が不足していても、センサはバイパス側にた
くさん流れていると思って流体制御弁を閉めてしまい、
所定流量が流れなかったり、また、センサ側がつまって
いると、実際には流体流量が充分流れていても不足して
いると判断して、流量制御弁を開け、所定流量以上流し
てしまう。
は流体流量が不足していても、センサはバイパス側にた
くさん流れていると思って流体制御弁を閉めてしまい、
所定流量が流れなかったり、また、センサ側がつまって
いると、実際には流体流量が充分流れていても不足して
いると判断して、流量制御弁を開け、所定流量以上流し
てしまう。
【００１５】このため、マスフローコントローラを、例
えば５０％に設定すると５０％が流れ、１００％に設定
すると１００％が流れるのが理想であるが、実際には、
図３に示すように、設定流量ｍと実流量ｎは完全には一
致した曲線ａとはならず、上下にシフトした曲線ｂ、
ｂ’になったり、傾斜した曲線ｃ、ｃ’となり、いわゆ
るガス流量のシフトずれやスパンずれを生じる結果とな
っていた。そして、所定以上のシフトずれやスパンずれ
を生じると、処理中の半導体ウエーハに特性不良を来
し、半導体生産の大きな損害となっていた。
えば５０％に設定すると５０％が流れ、１００％に設定
すると１００％が流れるのが理想であるが、実際には、
図３に示すように、設定流量ｍと実流量ｎは完全には一
致した曲線ａとはならず、上下にシフトした曲線ｂ、
ｂ’になったり、傾斜した曲線ｃ、ｃ’となり、いわゆ
るガス流量のシフトずれやスパンずれを生じる結果とな
っていた。そして、所定以上のシフトずれやスパンずれ
を生じると、処理中の半導体ウエーハに特性不良を来
し、半導体生産の大きな損害となっていた。
【００１６】上記マスフローコントローラのシフトずれ
やスパンずれはマスフローコントローラ装置の定期校正
による他は、製造工程のＰＣチェックなど製品の特性異
常により始めて検出されるもので、事前に装置異常を検
出する手段のないものであった。
やスパンずれはマスフローコントローラ装置の定期校正
による他は、製造工程のＰＣチェックなど製品の特性異
常により始めて検出されるもので、事前に装置異常を検
出する手段のないものであった。
【００１７】従って、本発明は上記マスフローコントロ
ーラのシフトずれやスパンずれの問題に鑑みなされたも
のであり、マスフローコントローラの実流量が設定流量
に対して所定レベル以上のずれが生じたとき、これを事
前に検知してトラブルが未然に防止できる機能をもった
マスフローコントローラを得ることを目的としている。
ーラのシフトずれやスパンずれの問題に鑑みなされたも
のであり、マスフローコントローラの実流量が設定流量
に対して所定レベル以上のずれが生じたとき、これを事
前に検知してトラブルが未然に防止できる機能をもった
マスフローコントローラを得ることを目的としている。
【００１８】
【課題を解決するための手段】このため、本発明のマス
フローコントローラは、基体に形成された流体入口と流
体出口との間に、流体流量を計測するセンサ部と、流体
流量を制御す流体制御弁とを配設し、前記センサ部で計
測された流体流量の計測信号と流量設定器で設定された
流量設定信号とを比較制御回路に入力し、比較制御回路
より出力される制御信号により前記流体制御弁の開度を
調整し、流体流量が常に所定の設定流量になるように制
御するマスフローコントローラにおいて、前記比較制御
回路の制御信号の異常を検出する異常監視装置を配設
し、流体流量の制御異常を監視するようにしたことを特
徴としている。また、本発明のマスフローコントローラ
は、前記異常監視装置は前記比較制御回路の制御信号の
電圧値が正常であるか否かを判定する上限値と下限値と
を設定するための制御信号の異常値設定器と、前記制御
信号の電圧と前記設定値の電圧とを比較して制御信号が
設定値の範囲外にあるとき異常信号を発する異常検出用
の比較回路と、前記異常信号を受けて作動する警報表示
器とで構成されたことを特徴としている。また、本発明
のマスフローコントローラは、前記設定値は前記流量設
定器の流量設定信号の電圧値と関連して設定されたこと
を特徴としている。
フローコントローラは、基体に形成された流体入口と流
体出口との間に、流体流量を計測するセンサ部と、流体
流量を制御す流体制御弁とを配設し、前記センサ部で計
測された流体流量の計測信号と流量設定器で設定された
流量設定信号とを比較制御回路に入力し、比較制御回路
より出力される制御信号により前記流体制御弁の開度を
調整し、流体流量が常に所定の設定流量になるように制
御するマスフローコントローラにおいて、前記比較制御
回路の制御信号の異常を検出する異常監視装置を配設
し、流体流量の制御異常を監視するようにしたことを特
徴としている。また、本発明のマスフローコントローラ
は、前記異常監視装置は前記比較制御回路の制御信号の
電圧値が正常であるか否かを判定する上限値と下限値と
を設定するための制御信号の異常値設定器と、前記制御
信号の電圧と前記設定値の電圧とを比較して制御信号が
設定値の範囲外にあるとき異常信号を発する異常検出用
の比較回路と、前記異常信号を受けて作動する警報表示
器とで構成されたことを特徴としている。また、本発明
のマスフローコントローラは、前記設定値は前記流量設
定器の流量設定信号の電圧値と関連して設定されたこと
を特徴としている。
【００１９】
【作用】流体流路に異物等が付着して、バイパス部とセ
ンサ部を通過する流体の分流比がくずれると、比較制御
回路から誤った制御信号が出力されて流体制御弁を誤動
作させ、実流量が設定値流量から大きく外れてしまう。
しかし、同時に、比較制御回路の制御信号は異常検出用
の比較回路に入力され、異常値設定器の設定値と比較し
て異常監視装置で監視されており、流量制御の異常が検
出される。
ンサ部を通過する流体の分流比がくずれると、比較制御
回路から誤った制御信号が出力されて流体制御弁を誤動
作させ、実流量が設定値流量から大きく外れてしまう。
しかし、同時に、比較制御回路の制御信号は異常検出用
の比較回路に入力され、異常値設定器の設定値と比較し
て異常監視装置で監視されており、流量制御の異常が検
出される。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。
明する。
【００２１】図１は本発明のマスフローコントローラの
一例を示すブロック回路図である。
一例を示すブロック回路図である。
【００２２】このマスフローコントローラ２５は、上記
従来のマスフローコントローラ１と同様に、基体２の流
体入口３と流体出口４間に形成された流体流路５に、流
体流量を計測するセンサ部６と流体流量を制御す流体制
御弁７とを配設し、センサ部６で計測された流体流量の
計測信号ａと流量設定器２４で設定された流量設定信号
ｂとを比較制御回路２０に入力し、比較制御回路２０よ
り出力された制御信号ｃにより前記流体制御弁７の開度
を調整して、流体流量が常に所定の設定流量になるよう
に制御したものである。そして、センサ部６は流体流路
５を薄肉毛細管よりなるセンサ部導管１０と定分流比特
性を有するバイパス部１３に分枝させ、センサ部導管１
０上に巻回した熱式質量流量センサの抵抗１１、１２
を、センサ部６を通過する流体流量によって抵抗値変化
させて流体流量を計測するように構成したもので、流量
計測回路２１は前記抵抗値変化を電圧信号として検出す
るブリッジ回路２２と増幅回路２３で構成している。
従来のマスフローコントローラ１と同様に、基体２の流
体入口３と流体出口４間に形成された流体流路５に、流
体流量を計測するセンサ部６と流体流量を制御す流体制
御弁７とを配設し、センサ部６で計測された流体流量の
計測信号ａと流量設定器２４で設定された流量設定信号
ｂとを比較制御回路２０に入力し、比較制御回路２０よ
り出力された制御信号ｃにより前記流体制御弁７の開度
を調整して、流体流量が常に所定の設定流量になるよう
に制御したものである。そして、センサ部６は流体流路
５を薄肉毛細管よりなるセンサ部導管１０と定分流比特
性を有するバイパス部１３に分枝させ、センサ部導管１
０上に巻回した熱式質量流量センサの抵抗１１、１２
を、センサ部６を通過する流体流量によって抵抗値変化
させて流体流量を計測するように構成したもので、流量
計測回路２１は前記抵抗値変化を電圧信号として検出す
るブリッジ回路２２と増幅回路２３で構成している。
【００２３】このマスフローコントローラ２５において
上記従来のマスフローコントローラ１と相違する点は、
流体流量を制御する上記マスフローコントローラ１に流
量制御の異常を検出する異常監視装置２６を付設して、
前記比較制御回路２０から出力される制御電圧の異常を
検出するように構成した点のみであり、その他は上記マ
スフローコントローラ１の構成と同様である。従って、
同じ構成部分は図２と同一の参照符号を付し、その詳細
説明は省略する。
上記従来のマスフローコントローラ１と相違する点は、
流体流量を制御する上記マスフローコントローラ１に流
量制御の異常を検出する異常監視装置２６を付設して、
前記比較制御回路２０から出力される制御電圧の異常を
検出するように構成した点のみであり、その他は上記マ
スフローコントローラ１の構成と同様である。従って、
同じ構成部分は図２と同一の参照符号を付し、その詳細
説明は省略する。
【００２４】異常監視装置２６は比較制御回路２０の制
御信号ｃの電圧値が異常であるか否かを判定する上限値
ＵＣＬと下限値ＬＣＬとを設定するための制御信号の異
常値設定器２７と、制御信号ｃの電圧と前記上、下限値
の設定値の電圧とを比較して、制御信号ｃが設定値の範
囲外の場合に警報表示器２８を作動する異常検出用の比
較回路２９とで構成される。尚、警報表示器２８は、例
えば、ブザー３０や表示ランプ３１よりなり、装置異常
を明確に表示する。
御信号ｃの電圧値が異常であるか否かを判定する上限値
ＵＣＬと下限値ＬＣＬとを設定するための制御信号の異
常値設定器２７と、制御信号ｃの電圧と前記上、下限値
の設定値の電圧とを比較して、制御信号ｃが設定値の範
囲外の場合に警報表示器２８を作動する異常検出用の比
較回路２９とで構成される。尚、警報表示器２８は、例
えば、ブザー３０や表示ランプ３１よりなり、装置異常
を明確に表示する。
【００２５】上記異常値設定器２７の上限値ＵＣＬと下
限値ＬＣＬは次のように設定する。即ち、マスフローコ
ントローラ１は通常、適用されるガスの種類、上流側の
ガス圧、下流側のガス圧等が一定の場合、所定流量に設
定された流体制御弁７の開度は略一定であり、上流側の
ガス圧や下流側のガス圧等の変動に応じて、上下に変動
する。そして、マスフローコントローラ１が設置される
配管系のガス圧変動は一般に所定範囲内のものであり、
従って、流体制御弁７を開閉駆動する制御信号ｃの大き
さも、設置される配管系が変更されない限り、設定流量
に対応して略一定範囲内に変動している。従って、比較
制御回路２０の出力信号ｃをモニタして、その出力分布
から、３σ法などを用いて上限値ＵＣＬと下限値ＬＣＬ
を適宜に設定すればよい。
限値ＬＣＬは次のように設定する。即ち、マスフローコ
ントローラ１は通常、適用されるガスの種類、上流側の
ガス圧、下流側のガス圧等が一定の場合、所定流量に設
定された流体制御弁７の開度は略一定であり、上流側の
ガス圧や下流側のガス圧等の変動に応じて、上下に変動
する。そして、マスフローコントローラ１が設置される
配管系のガス圧変動は一般に所定範囲内のものであり、
従って、流体制御弁７を開閉駆動する制御信号ｃの大き
さも、設置される配管系が変更されない限り、設定流量
に対応して略一定範囲内に変動している。従って、比較
制御回路２０の出力信号ｃをモニタして、その出力分布
から、３σ法などを用いて上限値ＵＣＬと下限値ＬＣＬ
を適宜に設定すればよい。
【００２６】また、異常値設定器２７の上限値ＵＣＬと
下限値ＬＣＬは、上記したように、流量設定値に対応し
て設定されるから、制御流量を適宜可変して使用する場
合には、異常値設定器２７に流量設定器２４を接続し、
流量設定信号ｂに基づいて、比較制御回路２０の出力信
号ｃの異常を判定する上限値ＵＣＬと下限値ＬＣＬを適
宜に設定することができる。
下限値ＬＣＬは、上記したように、流量設定値に対応し
て設定されるから、制御流量を適宜可変して使用する場
合には、異常値設定器２７に流量設定器２４を接続し、
流量設定信号ｂに基づいて、比較制御回路２０の出力信
号ｃの異常を判定する上限値ＵＣＬと下限値ＬＣＬを適
宜に設定することができる。
【００２７】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明はマスフロ
ーコントローラに流量制御の異常を検出する異常監視装
置を布設して、流体制御弁の開度を制御する比較制御回
路の制御信号をモニタして、流量制御の異常を検出する
ように構成したから、配管つまり等によるマスフローコ
ントローラの実流量の異常が随時に検出でき、半導体製
品などの特性異常が生じることなく、事前にガス流量の
異常を検出することができ、処理中の半導体ウエーハの
特性不良の発生が防止できる。
ーコントローラに流量制御の異常を検出する異常監視装
置を布設して、流体制御弁の開度を制御する比較制御回
路の制御信号をモニタして、流量制御の異常を検出する
ように構成したから、配管つまり等によるマスフローコ
ントローラの実流量の異常が随時に検出でき、半導体製
品などの特性異常が生じることなく、事前にガス流量の
異常を検出することができ、処理中の半導体ウエーハの
特性不良の発生が防止できる。
【図１】本発明の一実施例を示すマスフローコントロー
ラのブロック回路図
ラのブロック回路図
【図２】従来の一例を示すマスフローコントローラのブ
ロック回路図
ロック回路図
【図３】図２のマスフローコントローラの動作特性で、
実流量と設定流量の関係図
実流量と設定流量の関係図
1 マスフローコントローラ 2 基体 3 流体入口 4 流体出口 5 流体流路 6 センサ部 7 流体制御弁 20 比較制御回路 24 流量設定器 25 マスフローコントローラ 26 異常監視装置 27 異常値設定器 28 警報表示器 29 異常検出用の比較回路 ａ 計測信号 ｂ 流量設定信号 ｃ 制御信号
Claims (3)
- 【請求項１】 基体に形成された流体入口と流体出口と
の間に、流体流量を計測するセンサ部と、流体流量を制
御す流体制御弁とを配設し、前記センサ部で計測された
流体流量の計測信号と流量設定器で設定された流量設定
信号とを比較制御回路に入力し、比較制御回路より出力
される制御信号により前記流体制御弁の開度を調整し、
流体流量が常に所定の設定流量になるように制御するマ
スフローコントローラにおいて、前記比較制御回路の制
御信号の異常を検出する異常監視装置を配設し、流体流
量の制御異常を監視するようにしたことを特徴とするマ
スフローコントローラ。 - 【請求項２】 前記異常監視装置は前記比較制御回路の
制御信号の電圧値が正常であるか否かを判定する上限値
と下限値とを設定するための制御信号の異常値設定器
と、前記制御信号の電圧と前記設定値の電圧とを比較し
て制御信号が設定値の範囲外にあるとき異常信号を発す
る異常検出用の比較回路と、前記異常信号を受けて作動
する警報表示器とで構成されたことを特徴とする請求項
１記載のマスフローコントローラ。 - 【請求項３】前記設定値は前記流量設定器の流量設定信
号の電圧値と関連して設定されたことを特徴とする請求
項１記載のマスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6118068A JPH07325625A (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6118068A JPH07325625A (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | マスフローコントローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07325625A true JPH07325625A (ja) | 1995-12-12 |
Family
ID=14727217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6118068A Withdrawn JPH07325625A (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07325625A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014528606A (ja) * | 2011-09-29 | 2014-10-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法 |
| US10866581B2 (en) | 2015-09-11 | 2020-12-15 | Alfa Laval Corporate Ab | Valve controller and method for monitoring flow control valve |
-
1994
- 1994-05-31 JP JP6118068A patent/JPH07325625A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014528606A (ja) * | 2011-09-29 | 2014-10-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法 |
| US10866581B2 (en) | 2015-09-11 | 2020-12-15 | Alfa Laval Corporate Ab | Valve controller and method for monitoring flow control valve |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010731 |