KR20170137880A - 압력식 유량 제어 장치 및 그 이상 검지 방법 - Google Patents

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Abstract

유로에 개재된 스로틀부와, 상기 스로틀부의 상류측의 유체 압력을 검출하는 상류측 압력 센서와, 상기 스로틀부의 하류측의 유체 압력을 검출하는 하류측 압력 센서와, 상기 상류측 압력 센서의 상류측 유로에 설치된 유량 제어 밸브와, 상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서 각각의 검출값에 의거하여 상기 유량 제어 밸브를 제어함으로써 유량을 제어하는 연산 제어 회로를 구비하고, 상기 연산 제어 회로는 상기 유로 내를 유체가 흐르고 있지 않는 상태에 있어서 상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차를 연산함과 아울러, 연산한 상기 차에 의거하는 압력 센서 이상 판정용 신호를 출력한다.

Description

압력식 유량 제어 장치 및 그 이상 검지 방법
본 발명은 반도체 제조 설비나 화학 플랜트 등에 사용되는 압력식 유량 제어 장치 및 그 이상 검지 방법에 관한 것이다.
종래, 도 3에 나타내는 바와 같이 제어되어야 하는 유체(G)가 통과하는 유로(2)와, 유로(2)에 개재된 오리피스 등의 스로틀부(3)와, 스로틀부(3)의 상류측의 유체 압력을 검출하는 상류측 압력 센서(4)와, 스로틀부(3)의 하류측의 유체 압력을 검출하는 하류측 압력 센서(5)와, 상류측 압력 센서(4)의 상류측의 유로(2)에 설치된 유량 제어 밸브(6)와, 유량 제어 밸브(6)를 제어하는 연산 제어부(7)를 구비하는 압력식 유량 제어 장치(10)가 알려져 있다(특허문헌 1 등).
이 종류의 압력식 유량 제어 장치는 상류측 압력 센서(4)에 의해 검출된 상류측 압력의 검출값(P1)과, 하류측 압력 센서(5)에 의해 검출된 하류측 압력의 검출값(P2)과, 스로틀부(3)를 통과하는 유량 Q 사이에 소정의 관계가 성립하는 것을 이용하여 상류측 압력의 검출값(P1) 또는 상류측 압력의 검출값(P1) 및 하류측 압력의 검출값(P2)에 의거하여 연산 제어부(7)가 유량 제어 밸브(6)를 제어함으로써 유량을 소정 유량이 되도록 제어한다. 예를 들면, P1≥약 2×P2를 만족시키는 임계 팽창 조건하에서는 유량 Q=K1P1(K1 일정)의 관계가 있으며, 비임계 팽창 조건하에서는 유량 Qc=KP2 m(P1-P2)n(K는 유체의 종류와 유체 온도에 의존하는 비례 계수, 지수 m, n은 실제의 유량을 이 유량식으로 피트함으로써 도출된 값)의 관계가 성립하고, 이들 유량 계산식에 의해 유량을 연산할 수 있다.
반도체 제조 설비 등에서는 도 4에 나타내는 바와 같이 압력식 유량 제어 장치(10)의 하류에 개폐 밸브(8)를 설치한 복수의 유로가 프로세스 체임버(9)에 접속되어 프로세스 체임버(9)에 공급하는 유체를 개폐 밸브(8)로 스위칭하면서 공급하는 프로세스가 행해진다.
일본 특허공개 2004-138425호 공보
상기 종래의 압력식 유량 제어 장치에 있어서는 압력 센서의 고장이나 압력 센서의 검출값의 오차에 의해 제어 유량의 어긋남이 발생하는 일이 있어 적시에 압력 센서의 이상의 유무를 확인할 필요가 있었다. 종래에서는 제어 유량 지령값을 0으로 해서 압력 센서가 설치되어 있는 유로 내를 진공 처리하고, 압력 센서의 검출값이 제로를 나타내고 있는지 확인하고 있었다. 압력 센서의 검출값이 제로를 나타내고 있으면 압력 센서는 정상이며, 유량에 오차가 발생하고 있지 않다라고 판단할 수 있다.
그러나 이러한 압력 센서의 이상의 검지에는 진공 처리의 공정을 거칠 필요가 있기 때문에 통상의 유체 공급 프로세스 중에 실시할 수 없고, 유지보수 모드에 있어서 실시할 수밖에 없었다.
그래서 본 발명은 압력 센서가 설치된 유로를 진공 처리하지 않아도 압력 센서의 이상을 확인할 수 있는 압력식 유량 제어 장치 및 상기 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법을 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 압력식 유량 제어 장치의 실시형태는 유로에 개재된 스로틀부와, 상기 스로틀부의 상류측의 유체 압력을 검출하기 위한 상류측 압력 센서와, 상기 스로틀부의 하류측의 유체 압력을 검출하기 위한 하류측 압력 센서와, 상기 상류측 압력 센서의 상류측 유로에 설치된 유량 제어 밸브와, 상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서 각각의 검출값에 의거하여 상기 유량 제어 밸브를 제어함으로써 유량을 설정 유량이 되도록 제어하는 연산 제어 회로를 구비하고, 상기 연산 제어 회로는 상기 유로 내를 유체가 흐르고 있지 않는 상태에 있어서 상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차를 연산함과 아울러, 연산한 상기 차에 의거하는 압력 센서 이상 판정용 신호를 출력한다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 연산 제어 회로는 상기 하류측 압력 센서의 하류측 유로에 설치되는 개폐 밸브의 폐쇄 시에 상기 유량 제어 밸브가 닫힌 상태에서 상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차를 연산함과 아울러, 연산한 상기 차에 의거하는 압력 센서 이상 판정용 신호를 출력한다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 상류측 압력 센서와 상기 하류측 압력 센서가 동일한 정격 압력을 갖고, 상기 연산 제어 회로는 상기 정격 압력에 대한 상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차의 비율을 상기 압력 센서 이상 판정용 신호로서 출력한다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 연산 제어 회로는 상기 압력 센서 이상 판정용 신호를 유량 출력값으로서 출력한다.
어떤 실시형태에 있어서, 상기 압력 센서 이상 판정용 신호를 사용하여 상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서의 이상을 판정하는 이상 판정 수단을 더 갖는다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법의 실시형태는 상기 압력식 유량 제어 장치가 유로에 개재된 스로틀부와, 상기 스로틀부의 상류측의 유체 압력을 검출하기 위한 상류측 압력 센서와, 상기 스로틀부의 하류측의 유체 압력을 검출하기 위한 하류측 압력 센서와, 상기 상류측 압력 센서의 상류측 유로에 설치된 유량 제어 밸브와, 상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서 각각의 검출값에 의거하여 상기 유량 제어 밸브를 제어함으로써 유량을 설정 유량이 되도록 제어하는 연산 제어 회로를 구비하고, 상기 이상 검지 방법은 상기 유로 내를 유체가 흐르고 있지 않는 상태에 있어서 상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서에 의해 상기 유로 내의 압력을 검출하는 스텝과, 상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차를 연산하는 스텝과, 연산에 의해 구해진 상기 차에 의거하는 압력 센서 이상 판정용 신호를 출력하는 스텝을 포함한다.
본 발명에 의한 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법의 실시형태에 있어서, 상기 유로 내를 유체가 흐르고 있지 않는 상기 상태는 상기 하류측 압력 센서의 하류측 유로에 설치되는 개폐 밸브가 닫히고, 또한 설정 유량이 0으로 설정되어서 상기 유량 제어 밸브가 닫혀 있는 상태를 포함할 수 있다.
본 발명에 의한 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법의 실시형태에 있어서, 상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서의 동일 정격 압력에 대한 상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차의 비율을 상기 압력 센서 이상 판정용 신호로서 출력하는 스텝을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의한 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법의 실시형태에 있어서, 상기 압력 센서 이상 판정용 신호를 유량 출력값으로서 출력할 수 있다.
본 발명에 의한 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법의 실시형태에 있어서, 상기 압력 센서 이상 판정용 신호를 미리 정해진 한계값과 비교함으로써 상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서의 일방 또는 쌍방에 이상이 있다고 판정하는 스텝을 더 포함할 수 있다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면 유로 내를 유체가 흐르고 있지 않는 상태에서는 상류측 압력 센서 및 하류측 압력 센서는 정상으로 작동하고 있으면 동일한 검출값을 출력할 것이기 때문에 상류측 압력 센서의 검출값과 하류측 압력 센서의 검출값의 차는 0이 될 것이다. 한편, 상류측 압력 센서와 하류측 압력 센서 각각의 검출값에 차가 있는 경우에는 어느 일방 또는 쌍방이 오차를 발생하고 있거나 고장 나있을 가능성이 있다. 상류측 압력 센서와 하류측 압력 센서 각각의 검출값에 차의 정도에 의해 상기 압력식 유량 제어 장치의 제어 유량에 이상 있음으로 판정할 수 있다.
본 발명의 일실시형태에 있어서, 프로세스 종료 후에 스로틀부 하류측의 개폐 밸브가 닫히고, 설정 유량을 0으로 해서 스로틀부 상류측의 유량 제어 밸브가 닫혔을 때 유량 제어 밸브와 개폐 밸브 사이의 유로 내에는 가스가 흐르고 있지 않는 상태에서 잔존하고 있기 때문에 그 잔존 가스의 압력을 상류측 압력 센서와 하류측 압력 센서가 동시에 검출한다. 상류측 압력 센서 및 하류측 압력 센서는 닫힌 유로 내의 가스 압력을 측정하고 있기 때문에 정상으로 작동하고 있으면 동일한 검출값을 출력할 것이기 때문에 상류측 압력 센서의 검출값과 하류측 압력 센서의 검출값의 차는 0이 될 것이다. 한편, 상류측 압력 센서와 하류측 압력 센서의 검출값에 차가 있는 경우에는 어느 일방 또는 쌍방이 오차를 발생하고 있거나 고장 나있을 가능성이 고려된다. 따라서, 유로를 진공 상태로 하지 않아도 상류측 압력 센서의 검출값과 하류측 압력 센서의 검출값의 차를 구하고, 그 차의 정도를 판별함으로써 상류측 압력 센서 및 하류측 압력 센서 중 어느 하나에 고장 또는 검출 오차가 있는지 없는지를 체크할 수 있으며, 상류측 압력 센서 및 하류측 압력 센서의 이상, 즉 제어 유량의 이상을 검지할 수 있다. 이 압력 센서의 이상 검지에 대해서는 진공 처리 공정을 거칠 필요가 없기 때문에 유체 공급 프로세스 중의 하류측 개폐 밸브 폐지 시에 행하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명의 일실시형태에 있어서 압력 센서의 정격 압력에 대한 상류측 압력 센서의 검출값과 하류측 압력 센서의 검출값의 차의 비율을 상기 압력 센서 이상 판정용 신호로서 출력함으로써 상류측 압력 센서 및 하류측 압력 센서에 오차가 발생한 경우에 오차의 비율을 알 수 있고, 또한 오차의 비율을 미리 설정한 한계값과 비교함으로써 이상인지의 여부를 판정할 수도 있다.
도 1은 본 발명의 압력식 유량 제어 장치의 일실시형태를 나타내는 개략 구성도이다.
도 2는 본 발명의 압력식 유량 제어 장치의 다른 실시형태를 나타내는 개략 구성도이다.
도 3은 종래의 압력식 유량 제어 장치를 나타내는 개략 구성도이다.
도 4는 종래의 압력식 유량 제어 장치의 프로세스 체임버로의 접속예를 나타내는 개략 구성도이다.
본 발명에 의한 압력식 유량 제어 장치의 몇 개의 실시형태에 대해서 이하에 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다. 또한, 종래기술을 포함하여 동일 또는 유사의 구성 부분에 대해서는 같은 부호를 붙이고 있다.
도 1은 압력식 유량 제어 장치의 일실시형태를 나타내는 개략 구성도이다. 압력식 유량 제어 장치(1)는 유로(2)에 개재된 스로틀부(3)와, 스로틀부(3)의 상류측의 유체 압력을 검출하기 위한 상류측 압력 센서(4)와, 스로틀부(3)의 하류측의 유체 압력을 검출하기 위한 하류측 압력 센서(5)와, 상류측 압력 센서(4)의 상류측 유로에 설치된 유량 제어 밸브(6)와, 상류측 압력 센서(4) 및 하류측 압력 센서(5) 각각의 검출값에 의거하여 유량 제어 밸브(6)를 제어함으로써 유량을 제어하는 연산 제어 회로(13)를 구비하고 있다. 또한, 도시하고 있지 않지만, 유로(2) 내의 유체 온도를 검출하는 온도 센서가, 예를 들면 상류측 압력 센서(4)와 스로틀부(3) 사이에 배치될 수 있다.
유로(2)는 금속제 블록 등으로 천공되어서 형성될 수 있다. 스로틀부(3)는 유로(2)에 개재된 박판의 오리피스 플레이트에 의해 형성되어 있다. 상류측 압력 센서(4) 및 하류측 압력 센서(5)는, 예를 들면 실리콘 단결정의 센서칩과 다이어프램을 내장하는 압력 센서가 사용될 수 있다. 상류측 압력 센서(4)와 하류측 압력 센서(5)는 바람직하게는 동일 정격 압력, 동일 사양의 것이 사용된다. 유량 제어 밸브(6)는 압전 소자 구동식의 금속제 다이어프램 밸브가 사용된다.
하류측 압력 센서(5)의 하류측 유로에 개폐 밸브(8)가 설치되어 있다. 도 1에 나타내는 예에서는 개폐 밸브(8)가 압력식 유량 제어 장치(1)의 외부에 접속되어 있지만, 다른 변경 실시형태에 있어서는 도 2에 나타내는 바와 같이 개폐 밸브(8)가 압력식 유량 제어 장치(1)에 내장될 수 있다. 개폐 밸브(8)는, 예를 들면 에어 구동 밸브가 사용되어 구동 에어의 공급이 전자 밸브 등에 의해 ON/OFF 제어되어서 개폐 제어될 수 있다.
외부 제어 장치(14)에 있어서 설정 유량이 설정되고, 설정된 설정 유량의 신호가 외부 제어 장치(14)로부터 연산 제어 회로(13)에 보내진다. 연산 제어 회로(13)는 상류측 압력 센서(4) 및 하류측 압력 센서(5) 각각의 검출값에 의거하여 임계 팽창 조건 또는 비임계 팽창 조건에 있어서의 유량 계산식에 의해 유량을 연산하고, 스로틀부(3)를 통과하는 유체의 유량이 설정 유량이 되도록 유량 제어 밸브(6)를 제어한다. 연산 제어 회로(13)는 연산한 유량을 유량 출력값(Qout)으로서 외부 제어 장치(14)에 출력할 수 있고, 외부 제어 장치(14)가 받은 유량 출력값(Qout)을 표시기(14a)에 표시시킴으로써 연산에 의해 얻어진 유량을 모니터할 수 있다.
압력식 유량 제어 장치(1)는 반도체 제조 라인의 가스 공급 라인 등의 유로에 장착된다. 반도체 제조 라인에서는 복수의 유로가 프로세스 체임버(9)에 접속되고(도 4 참조), 상기 복수의 유로 각각에 압력식 유량 제어 장치(1)가 설치되어 각 유로에 설치한 개폐 밸브(8)를 스위칭함으로써 종류가 상이한 프로세스 가스가 유량 제어되어서 프로세스 체임버(9)에 순차적으로 공급된다. 프로세스 체임버(9)에 프로세스 가스가 공급되고 있는 동안 진공 펌프(11)에 의해 프로세스 체임버(9) 내가 진공 처리된다. 어떤 프로세스가 종료한 후, 가스 공급을 정지하기 위해서 외부 제어 장치(14)로부터의 지령에 의해 개폐 밸브(8)가 닫히면 그것에 맞춰 유량 제어 밸브(6)의 제어 유량을 0으로 하는 신호가 외부 제어 장치(14)로부터 연산 제어 회로(13)에 보내져 소위 유량 제로 모드가 된다. 상기 유량 제로 모드에서 연산 제어 회로(13)는 설정 유량 제로의 신호를 받아서 유량 제어 밸브(6)가 닫힌다. 그 결과 유량 제어 밸브(6)와 개폐 밸브(8) 사이의 유로(2)에 가스가 잔존하게 된다. 또한, 개폐 밸브(8)는 프로세스 체임버(9)로의 가스 공급을 완전히 멈추기 위해서 유량 제어 밸브(6)보다 리크가 적고 밸브 폐쇄력이 강한 밸브가 사용될 수 있다.
상기 유량 제로 모드에서 연산 제어 회로(13)는 상류측 압력 센서(4)의 검출값(P1)과 하류측 압력 센서(5)의 검출값(P2)의 차(P1-P2)를 연산한다.
상류측 압력 센서(4) 및 하류측 압력 센서(5)는 양단이 닫힌 유로(2) 내의 동일한 가스 압력을 측정하고 있다. 따라서 상류측 압력 센서(4) 및 하류측 압력 센서(5)는 정상으로 작동하고 있으면 동일한 검출값을 출력할 것이기 때문에 상류측 압력 센서의 검출값과 하류측 압력 센서의 검출값의 차(P1-P2)는 0이 될 것이다.
한편, 상류측 압력 센서(4)의 검출값(P1)과 하류측 압력 센서(5)의 검출값(P2)의 차(P1-P2)가 0이 아닐 경우에는 그 차의 정도에 따라서는 상류측 압력 센서(4) 및 하류측 압력 센서(5)의 어느 일방 또는 쌍방이 오차를 발생하고 있거나 고장 나있는 것으로 생각된다.
따라서, 상류측 압력 센서(4)의 검출값과 하류측 압력 센서(5)의 검출값의 차를 연산하고, 그 차의 정도를 판정함으로써 유로(2)를 진공 상태로 하지 않아도 상류측 압력 센서(4)와 하류측 압력 센서(5) 중 어느 하나에 고장 또는 오차가 있는지 없는지를 체크할 수 있다.
특히 도 4에 나타내어지는 바와 같이 프로세스 체임버(9)에 연결되는 유로가 복수개 있고, 상기 유량 제로 모드에서 개폐 밸브(8)를 닫고 있는 유로와, 개폐 밸브(8)를 열어서 소정 유량으로 가스를 흘리고 있는 유로가 있는 경우에 있어서는 가스를 흘리고 있는 유로는 그대로 가스를 흘리면서 상기 유량 제로 모드의 압력식 유량 제어 장치(1)의 상류측 압력 센서(4)와 하류측 압력 센서(5)에 이상이 없는지를 검지할 수 있다.
연산 제어 회로(13)는 검출값의 차(P1-P2)를 압력 센서 이상 판정용 신호로서 외부 제어 장치(14)에 출력하고, 외부 제어 장치(14)는 상기 압력 센서 이상 판정용 신호인 검출값의 차(P1-P2)를 미리 설정된 한계값과 비교함으로써 이상의 유무를 판정하는 이상 판정 수단을 구비할 수 있다. 예를 들면, 외부 제어 장치(14)는 상기 압력 센서 이상 판정용 신호인 검출값의 차(P1-P2)의 절대값이 상기 한계값을 초과할 경우에 이상 있음으로 판정한다. 상기 이상 판정 수단에 의한 판정 결과를, 예를 들면 표시기(14a)에 표시함으로써 압력 센서의 교환 시기를 알릴 수도 있다.
또한, 다른 실시형태에 있어서 연산 제어 회로(13)는 상류측 압력 센서(4) 및 하류측 압력 센서(5)의 정격 압력(Pmax)에 대한 상류측 압력 센서(4)의 검출값(P1)과 하류측 압력 센서의 검출값(P2)의 차(P1-P2)의 비율[((P1-P2)/Pmax)×100](%)을 압력 센서 이상 판정용 신호로서 출력하고, 예를 들면 표시기(14a) 등에 표시시킬 수 있다.
이 경우 연산 제어 회로(13)는 [((P1-P2)/Pmax)×100](%)의 압력 센서 이상 판정용 신호를 유량 출력값(Qout)으로서 외부 제어 장치(14)에 출력할 수 있다. 외부 제어 장치(14)는 유량 설정 0으로부터의 유량 출력값(Qout)의 드리프트를 설정 유량 0으로부터의 제로점 드리프트로서 판별할 수 있으므로, 이 제로점 드리프트의 드리프트폭이 미리 설정된 상기 한계값를 넘을 경우에 압력 센서에 이상이 있다고 판정하는 이상 판정 수단을 구비할 수 있다. 또한, 드리프트를 조정함으로써 제로점 조정할 수도 있다.
본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지의 변경이 가능하다. 예를 들면, 유량 제어 밸브는 압전 소자 구동형 대신에 솔레노이드 구동형으로 할 수도 있다.
또한, 상기 실시형태에서는 상기 유량 제로 모드에서 유량 제어 밸브(6)가 닫혀 있는 상태에서의 이상 검지에 대해 설명했지만, 유량 제어 밸브가 닫혀 있지 않는 상태이어도, 예를 들면 압력식 유량 제어 장치(1)의 상류부에 접속되는 개폐 밸브(도시하지 않음)가 닫히는 등, 압력식 유량 제어 장치(1) 내의 유로(2)에 유체가 흐르고 있지 않는 상태이면 상기 실시형태와 마찬가지로 상류측 압력 센서 및 하류측 압력 센서의 이상의 유무를 검지하는 것이 가능하다.
1: 압력식 유량 제어 장치 2: 유로
3: 스로틀부 4: 상류측 압력 센서
5: 하류측 압력 센서 6: 유량 제어 밸브
8: 개폐 밸브 13: 연산 제어 회로

Claims (10)

  1. 유로에 개재된 스로틀부와,
    상기 스로틀부의 상류측의 유체 압력을 검출하기 위한 상류측 압력 센서와,
    상기 스로틀부의 하류측의 유체 압력을 검출하기 위한 하류측 압력 센서와,
    상기 상류측 압력 센서의 상류측 유로에 설치된 유량 제어 밸브와,
    상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서 각각의 검출값에 의거하여 상기 유량 제어 밸브를 제어함으로써 유량을 설정 유량이 되도록 제어하는 연산 제어 회로를 구비하고,
    상기 연산 제어 회로는 상기 유로 내를 유체가 흐르고 있지 않는 상태에 있어서 상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차를 연산함과 아울러, 연산한 상기 차에 의거하는 압력 센서 이상 판정용 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 압력식 유량 제어 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 연산 제어 회로는 상기 하류측 압력 센서의 하류측 유로에 설치되는 개폐 밸브의 폐쇄 시에 상기 유량 제어 밸브가 닫힌 상태에서 상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차를 연산함과 아울러, 연산한 상기 차에 의거하는 압력 센서 이상 판정용 신호를 출력하는 압력식 유량 제어 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 상류측 압력 센서와 상기 하류측 압력 센서가 동일 정격 압력을 갖고,
    상기 연산 제어 회로는 상기 정격 압력에 대한 상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차의 비율을 상기 압력 센서 이상 판정용 신호로서 출력하는 압력식 유량 제어 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 연산 제어 회로는 상기 압력 센서 이상 판정용 신호를 유량 출력값으로서 출력하는 압력식 유량 제어 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 압력 센서 이상 판정용 신호를 사용하여 상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서의 이상을 판정하는 이상 판정 수단을 더 갖는 압력식 유량 제어 장치.
  6. 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법으로서,
    상기 압력식 유량 제어 장치는,
    유로에 개재된 스로틀부와,
    상기 스로틀부의 상류측의 유체 압력을 검출하기 위한 상류측 압력 센서와,
    상기 스로틀부의 하류측의 유체 압력을 검출하기 위한 하류측 압력 센서와,
    상기 상류측 압력 센서의 상류측 유로에 설치된 유량 제어 밸브와,
    상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서 각각의 검출값에 의거하여 상기 유량 제어 밸브를 제어함으로써 유량을 설정 유량이 되도록 제어하는 연산 제어 회로를 구비하고,
    상기 이상 검지 방법은,
    상기 유로 내를 유체가 흐르고 있지 않는 상태에 있어서 상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서에 의해 상기 유로 내의 압력을 검출하는 스텝과,
    상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차를 연산하는 스텝과,
    연산에 의해 구해진 상기 차에 의거하는 압력 센서 이상 판정용 신호를 출력하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 유로 내를 유체가 흐르고 있지 않는 상기 상태는 상기 하류측 압력 센서의 하류측 유로에 설치되는 개폐 밸브가 닫히고, 또한 설정 유량이 0으로 설정되어서 상기 유량 제어 밸브가 닫혀 있는 상태를 포함하는 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서의 동일 정격 압력에 대한 상기 상류측 압력 센서의 검출값과 상기 하류측 압력 센서의 검출값의 차의 비율을 상기 압력 센서 이상 판정용 신호로서 출력하는 스텝을 더 포함하는 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 압력 센서 이상 판정용 신호를 유량 출력값으로서 출력하는 것을 특징으로 하는 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 압력 센서 이상 판정용 신호를 미리 정해진 한계값과 비교함으로써 상기 상류측 압력 센서 및 상기 하류측 압력 센서의 일방 또는 쌍방에 이상이 있다고 판정하는 스텝을 더 포함하는 압력식 유량 제어 장치의 이상 검지 방법.
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