JPWO2017051520A1 - 圧力式流量制御装置及びその異常検知方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 流路
3 絞り部
4 上流側圧力センサ
5 下流側圧力センサ
6 流量制御弁
8 開閉弁
13 演算制御回路
Claims (10)
- 流路に介在された絞り部と、
前記絞り部の上流側の流体圧力を検出するための上流側圧力センサと、
前記絞り部の下流側の流体圧力を検出するための下流側圧力センサと、
前記上流側圧力センサの上流側流路に設けられた流量制御弁と、
前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの其々の検出値に基づいて前記流量制御弁を制御することにより流量を設定流量となるように制御する演算制御回路と、を備え、
前記演算制御回路は、前記流路内を流体が流れていない状態において、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差を演算するとともに、演算した前記差に基づく圧力センサ異常判定用信号を出力することを特徴とする圧力式流量制御装置。 - 前記演算制御回路は、前記下流側圧力センサの下流側流路に設けられる開閉弁の閉時に前記流量制御弁が閉じられた状態で前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差を演算するとともに、演算した前記差に基づく圧力センサ異常判定用信号を出力する、請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 前記上流側圧力センサと前記下流側圧力センサとが同一の定格圧力を有し、
前記演算制御回路は、前記定格圧力に対する、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差の割合を、前記圧力センサ異常判定用信号として出力する、請求項1に記載の圧力式流量制御装置。 - 前記演算制御回路は、前記圧力センサ異常判定用信号を流量出力値として出力する、請求項3に記載の圧力式流量制御装置。
- 前記圧力センサ異常判定用信号を用いて前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの異常を判定する異常判定手段を更に有する、請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 圧力式流量制御装置の異常検知方法であって、
前記圧力式流量制御装置は、
流路に介在された絞り部と、
前記絞り部の上流側の流体圧力を検出するための上流側圧力センサと、
前記絞り部の下流側の流体圧力を検出するための下流側圧力センサと、
前記上流側圧力センサの上流側流路に設けられた流量制御弁と、
前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの其々の検出値に基づいて前記流量制御弁を制御することにより流量を設定流量となるように制御する、演算制御回路と、を備え、
前記異常検知方法は、
前記流路内を流体が流れていない状態において、前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサにより前記流路内の圧力を検出するステップと、
前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差を演算するステップと、
演算により求められた前記差に基づく圧力センサ異常判定用信号を出力するステップと、を含むことを特徴とする、前記圧力式流量制御装置の異常検知方法。 - 前記流路内を流体が流れていない前記状態は、前記下流側圧力センサの下流側流路に設けられる開閉弁が閉じられ、且つ、設定流量がゼロに設定されて前記流量制御弁が閉じられている状態を含む、請求項6に記載の圧力式流量制御装置の異常検知方法。
- 前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの同一の定格圧力に対する、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差の割合を、前記圧力センサ異常判定用信号として出力するステップを更に含む、請求項6に記載の圧力式流量制御装置の異常検知方法。
- 前記圧力センサ異常判定用信号を流量出力値として出力することを特徴とする請求項8に記載の圧力式流量制御装置の異常検知方法。
- 前記圧力センサ異常判定用信号を予め定められたしきい値と比較することにより、前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの一方又は双方に異常があると判定するステップを更に含む、請求項6に記載の圧力式流量制御装置の異常検知方法。
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