WO2017051520A1 - 圧力式流量制御装置及びその異常検知方法 - Google Patents

圧力式流量制御装置及びその異常検知方法 Download PDF

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勝幸 杉田
西野　功二
薫 平田
昌彦 滝本
池田　信一
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株式会社フジキン
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    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means

Definitions

  • the present invention relates to a pressure-type flow control device used in semiconductor manufacturing equipment, chemical plants, and the like and an abnormality detection method thereof.
  • a flow path 2 through which a fluid G to be controlled passes, a throttle section 3 such as an orifice interposed in the flow path 2, and a fluid pressure upstream of the throttle section 3 are detected.
  • a pressure-type flow rate control device 10 including an arithmetic control unit 7 that controls the valve 6 is known (Patent Document 1, etc.).
  • This kind of pressure type flow rate control device the upstream side detected detected value of the upstream pressure by the pressure sensor 4 and (P 1), the downstream pressure sensor 5 detected value of the detected downstream pressure by (P 2) And the flow rate Q passing through the throttle 3, the upstream pressure detection value (P 1 ) or the upstream pressure detection value (P 1 ) and Based on the detected value (P 2 ) of the downstream pressure, the arithmetic control unit 7 controls the flow rate control valve 6 to control the flow rate to be a predetermined flow rate.
  • flow rate Q K 1 P 1 (K 1 constant) under the critical expansion condition satisfying P 1 ⁇ about 2 ⁇ P 2
  • flow rate Qc KP 2 m (P 1 ⁇ P 2 ) n
  • K is a proportional coefficient that depends on the type of fluid and the fluid temperature
  • index m, n is a value derived by fitting the actual flow rate with this flow equation
  • a plurality of flow paths provided with an opening / closing valve 8 downstream of the pressure type flow rate control device 10 are connected to the process chamber 9, and fluid supplied to the process chamber 9 is supplied to the opening / closing valve. The process of supplying while switching at 8 is performed.
  • control flow rate may be shifted due to the failure of the pressure sensor or the detection value error of the pressure sensor, and it is necessary to check whether the pressure sensor is abnormal or not in a timely manner.
  • control flow rate command value is set to zero, the flow path in which the pressure sensor is provided is evacuated, and it is confirmed whether the detected value of the pressure sensor indicates zero. If the detected value of the pressure sensor indicates zero, it can be determined that the pressure sensor is normal and that there is no error in the flow rate.
  • the present invention provides a pressure type flow control device and an abnormality detection method for the pressure type flow control device that can confirm the abnormality of the pressure sensor without evacuating the flow path provided with the pressure sensor. Main purpose.
  • an embodiment of a pressure type flow rate control device includes a throttle part interposed in a flow path, an upstream pressure sensor for detecting fluid pressure upstream of the throttle part, A downstream pressure sensor for detecting a fluid pressure downstream of the restrictor, a flow control valve provided in an upstream flow path of the upstream pressure sensor, the upstream pressure sensor, and the downstream pressure
  • An arithmetic control circuit for controlling the flow rate control valve based on each detection value of the sensor to control the flow rate so as to become a set flow rate, and the arithmetic control circuit includes a fluid in the flow path. While not flowing, the difference between the detection value of the upstream pressure sensor and the detection value of the downstream pressure sensor is calculated, and a pressure sensor abnormality determination signal based on the calculated difference is output.
  • the arithmetic control circuit includes the detection value of the upstream pressure sensor and the downstream value in a state where the flow control valve is closed when the on-off valve provided in the downstream flow path of the downstream pressure sensor is closed. While calculating the difference from the detected value of the side pressure sensor, a pressure sensor abnormality determination signal based on the calculated difference is output.
  • the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor have the same rated pressure
  • the calculation control circuit detects the detected value of the upstream pressure sensor and the downstream pressure with respect to the rated pressure.
  • the ratio of the difference from the detection value of the sensor is output as the pressure sensor abnormality determination signal.
  • the arithmetic control circuit outputs the pressure sensor abnormality determination signal as a flow rate output value.
  • the apparatus further includes abnormality determination means for determining abnormality of the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor using the pressure sensor abnormality determination signal.
  • an embodiment of the abnormality detection method for a pressure-type flow control device includes: a throttle portion in which the pressure-type flow control device is interposed in a flow path; and an upstream of the throttle portion.
  • An upstream pressure sensor for detecting the fluid pressure on the side
  • a downstream pressure sensor for detecting the fluid pressure on the downstream side of the throttle portion, and a flow rate provided in the upstream flow path of the upstream pressure sensor
  • a control valve and an arithmetic control circuit for controlling the flow rate control valve based on the detected values of the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor to control the flow rate to be a set flow rate.
  • the abnormality detection method includes a step of detecting a pressure in the flow path by the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor in a state where no fluid flows in the flow path; and the upstream pressure sensor Inspection Comprising a step of computing a difference value between the detected value of the downstream pressure sensor, and outputting a pressure sensor abnormality determination signal based on the difference obtained by the calculation, the.
  • the on-off valve provided in the downstream flow path of the downstream pressure sensor is closed. And a state where the set flow rate is set to zero and the flow rate control valve is closed.
  • the detected value of the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor for the same rated pressure of the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor The step of outputting the ratio of the difference from the detected value as the pressure sensor abnormality determination signal can be further included.
  • the pressure sensor abnormality determination signal can be output as a flow rate output value.
  • the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor are compared by comparing the pressure sensor abnormality determination signal with a predetermined threshold value.
  • the method may further include the step of determining that one or both of the two are abnormal.
  • the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor should output the same detection value if they are operating normally.
  • the difference between the detected value of the pressure sensor and the detected value of the downstream pressure sensor should be zero.
  • there is a difference between the detected values of the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor there is a possibility that one or both of them has an error or has failed. It can be determined that there is an abnormality in the control flow rate of the pressure type flow rate control device based on the degree of difference between the detected values of the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor.
  • the upstream side pressure sensor and the downstream side pressure sensor simultaneously detect the pressure of the residual gas. Since the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor measure the gas pressure in the closed flow path, the upstream side pressure sensor should output the same detection value if it is operating normally. The difference between the detected value and the detected value of the downstream pressure sensor should be zero. On the other hand, if there is a difference between the detected values of the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor, there is a possibility that one or both of them has an error or has failed.
  • the upstream side pressure sensor and the downstream side pressure sensor are obtained by obtaining the difference between the detected value of the upstream side pressure sensor and the detected value of the downstream side pressure sensor and determining the degree of the difference without setting the flow path in a vacuum state. It is possible to check whether any of the sensors has a failure or a detection error, and it is possible to detect an abnormality in the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor, that is, an abnormality in the control flow rate. This abnormality detection of the pressure sensor does not need to go through a evacuation step, and therefore can be performed when the downstream on-off valve is closed during the fluid supply process.
  • the present invention by outputting the ratio of the difference between the detected value of the upstream pressure sensor and the detected value of the downstream pressure sensor with respect to the rated pressure of the pressure sensor as the pressure sensor abnormality determination signal. If there is an error in the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor, the error ratio can be known, and whether the error is abnormal by comparing the error ratio with a preset threshold value. It can also be determined.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a pressure type flow rate control device of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the pressure type flow rate control device of the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a conventional pressure type flow rate control device.
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing an example of connection of a conventional pressure type flow control device to a process chamber.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a pressure type flow control device.
  • the pressure type flow control device 1 includes a throttle unit 3 interposed in the flow path 2, an upstream pressure sensor 4 for detecting a fluid pressure upstream of the throttle unit 3, and a fluid pressure downstream of the throttle unit 3. Are detected by the downstream pressure sensor 5, the flow rate control valve 6 provided in the upstream flow path of the upstream pressure sensor 4, and the detected values of the upstream pressure sensor 4 and the downstream pressure sensor 5. And an arithmetic control circuit 13 for controlling the flow rate by controlling the flow rate control valve 6.
  • a temperature sensor that detects the temperature of the fluid in the flow path 2 may be disposed between the upstream pressure sensor 4 and the throttle unit 3, for example.
  • the flow path 2 can be formed by perforating a metal block or the like.
  • the throttle 3 is formed by a thin orifice plate interposed in the flow path 2.
  • a pressure sensor incorporating a silicon single crystal sensor chip and a diaphragm can be used as the upstream pressure sensor 4 and the downstream pressure sensor 5.
  • the upstream pressure sensor 4 and the downstream pressure sensor 5 preferably have the same rated pressure and the same specifications.
  • the flow rate control valve 6 is a piezoelectric element driven metal diaphragm valve.
  • An on-off valve 8 is provided in the downstream flow path of the downstream pressure sensor 5.
  • the on-off valve 8 is connected to the outside of the pressure type flow control device 1.
  • the on-off valve 8 is built in the pressure type flow control device 1 as shown in FIG. 2. Can be done.
  • the on-off valve 8 for example, an air drive valve is used, and ON / OFF control of the supply of drive air by an electromagnetic valve or the like can be performed.
  • a set flow rate is set in the external control device 14, and a signal of the set flow rate is sent from the external control device 14 to the arithmetic control circuit 13.
  • the arithmetic control circuit 13 calculates the flow rate by the flow rate calculation formula in the critical expansion condition or the non-critical expansion condition based on the detected values of the upstream pressure sensor 4 and the downstream pressure sensor 5 and passes through the throttle unit 3.
  • the flow rate control valve 6 is controlled so that the flow rate of the fluid to be set becomes the set flow rate.
  • the arithmetic control circuit 13, the calculated flow rate to the flow rate output value (Q out) as can be output to the external control device 14, and displays the external control device 14 is received flow output value (Q out) on the display 14a
  • the flow rate obtained by calculation can be monitored.
  • the pressure type flow control device 1 is incorporated in a flow path such as a gas supply line of a semiconductor production line.
  • a plurality of flow paths are connected to the process chamber 9 (see FIG. 4), a pressure type flow control device 1 is provided for each of the plurality of flow paths, and an on-off valve 8 provided in each flow path.
  • the flow rates of different types of process gases are controlled and sequentially supplied to the process chamber 9. While the process gas is supplied to the process chamber 9, the inside of the process chamber 9 is evacuated by the vacuum pump 11.
  • a signal for setting the control flow rate of the flow rate control valve 6 to zero accordingly is externally controlled. It is sent from the device 14 to the arithmetic control circuit 13 and becomes a so-called zero flow rate mode. In the flow rate zero mode, the arithmetic control circuit 13 receives the signal of the set flow rate zero and the flow rate control valve 6 is closed. As a result, gas remains in the flow path 2 between the flow control valve 6 and the on-off valve 8.
  • the on-off valve 8 can be a valve that has less leakage than the flow control valve 6 and has a strong valve closing force in order to completely stop the gas supply to the process chamber 9.
  • the arithmetic control circuit 13 calculates the detected value of the upstream pressure sensor 4 and (P 1) detected value of the downstream pressure sensor 5 the difference between (P 2) (P 1 -P 2) .
  • the upstream pressure sensor 4 and the downstream pressure sensor 5 measure the same gas pressure in the flow path 2 closed at both ends. Therefore, if the upstream pressure sensor 4 and the downstream pressure sensor 5 are operating normally, they should output the same detection value. Therefore, the detection value of the upstream pressure sensor and the detection value of the downstream pressure sensor The difference (P 1 ⁇ P 2 ) should be zero.
  • the upstream pressure can be obtained without setting the flow path 2 to a vacuum state. It is possible to check whether there is a failure or error in either the sensor 4 or the downstream pressure sensor 5.
  • FIG. 4 there are a plurality of channels connected to the process chamber 9, a channel that closes the on-off valve 8 in the zero flow mode, and a gas that flows at a predetermined flow rate by opening the on-off valve 8. If there is a flow path, the upstream flow sensor 4 and the downstream pressure sensor 5 of the pressure flow control device 1 in the zero flow mode are abnormal while the flow path of the gas is flowing as it is. It is possible to detect whether there is any.
  • the arithmetic control circuit 13 outputs the detected value difference (P 1 -P 2 ) to the external control device 14 as a pressure sensor abnormality determination signal, and the external control device 14 detects the detection value that is the pressure sensor abnormality determination signal.
  • the difference (P 1 -P 2 ) With a preset threshold value, it is possible to provide an abnormality determination means for determining the presence or absence of an abnormality.
  • the external control device 14 determines that there is an abnormality when the absolute value of the detection value difference (P 1 -P 2 ) that is the pressure sensor abnormality determination signal exceeds the threshold value.
  • the abnormality determination means By displaying the determination result by the abnormality determination means on the display 14a, for example, it is possible to notify the replacement timing of the pressure sensor.
  • the arithmetic control circuit 13 determines the detected value (P 1 ) of the upstream pressure sensor 4 and the downstream pressure with respect to the rated pressure (P max ) of the upstream pressure sensor 4 and the downstream pressure sensor 5.
  • the ratio (((P 1 ⁇ P 2 ) / P max ) ⁇ 100] (%) of the difference (P 1 ⁇ P 2 ) from the sensor detection value (P 2 ) is output as a pressure sensor abnormality determination signal. For example, it can be displayed on the display 14a or the like.
  • the arithmetic control circuit 13 outputs the pressure sensor abnormality determination signal of [((P 1 ⁇ P 2 ) / P max ) ⁇ 100] (%) to the external control device 14 as a flow rate output value (Q out ). can do. Since the external control device 14 can determine the drift of the flow rate output value (Q out ) from the flow rate setting zero as the zero point drift from the set flow rate zero, the drift width of this zero point drift is set in advance. An abnormality determination unit that determines that the pressure sensor is abnormal when the threshold value is exceeded may be provided. Also, the zero point can be adjusted by adjusting the drift.
  • the flow control valve can be a solenoid drive type instead of the piezoelectric element drive type.
  • the abnormality detection in the state where the flow rate control valve 6 is closed in the zero flow rate mode has been described.
  • a pressure type flow rate control device As long as the fluid is not flowing through the flow path 2 in the pressure type flow control device 1 such as closing an on-off valve (not shown) connected to the upstream portion of the pressure flow control device 1, It is possible to detect the presence or absence of the upstream pressure sensor and the downstream pressure sensor.

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Abstract

流路に介在された絞り部と、前記絞り部の上流側の流体圧力を検出する上流側圧力センサと、前記絞り部の下流側の流体圧力を検出する下流側圧力センサと、前記上流側圧力センサの上流側流路に設けられた流量制御弁と、前記上流型圧力センサ及び前記下流側圧力センサの其々の検出値に基づいて前記流量制御弁を制御することにより流量を制御する演算制御回路と、を備え、前記演算制御回路は、前記流路内を流体が流れていない状態において、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差を演算するとともに、演算した前記差に基づく圧力センサ異常判定用信号を出力する。

Description

圧力式流量制御装置及びその異常検知方法
　本発明は、半導体製造設備や化学プラント等に使用される圧力式流量制御装置及びその異常検知方法に関する。
　従来、図３に示すように、制御されるべき流体Ｇが通過する流路２と、流路２に介在されたオリフィス等の絞り部３と、絞り部３の上流側の流体圧力を検出する上流側圧力センサ４と、絞り部３の下流側の流体圧力を検出する下流側圧力センサ５と、上流側圧力センサ４の上流側の流路２に設けられた流量制御弁６と、流量制御弁６を制御する演算制御部７と、を備える圧力式流量制御装置１０が知られている（特許文献１等）。
　この種の圧力式流量制御装置は、上流側圧力センサ４により検出された上流側圧力の検出値（Ｐ１）と、下流側圧力センサ５により検出された下流側圧力の検出値（Ｐ２）と、絞り部３を通過する流量Ｑとの間に、所定の関係が成立することを利用して、上流側圧力の検出値（Ｐ１）又は、上流側圧力の検出値（Ｐ１）及び下流側圧力の検出値（Ｐ２）に基づいて、演算制御部７が流量制御弁６を制御することにより流量を所定流量となるように制御する。例えば、Ｐ１≧約２×Ｐ２を満たす臨界膨張条件下では流量Ｑ＝Ｋ１Ｐ１（Ｋ１一定）の関係があり、非臨界膨張条件下では流量Ｑｃ＝ＫＰ２ ｍ（Ｐ１－Ｐ２）ｎ（Ｋは流体の種類と流体温度に依存する比例係数、指数ｍ、ｎは実際の流量をこの流量式でフィットすることにより導出された値）の関係が成立し、これらの流量計算式により流量を演算することができる。
　半導体製造設備等では、図４に示すように、圧力式流量制御装置１０の下流に開閉弁８を設けた複数の流路がプロセスチャンバ９に接続され、プロセスチャンバ９に供給する流体を開閉弁８で切り替えながら供給するプロセスが行われる。
特開２００４－１３８４２５号公報
　上記従来の圧力式流量制御装置においては、圧力センサの故障や圧力センサの検出値の誤差により、制御流量のずれが生じることがあり、適時、圧力センサの異常の有無を確認する必要があった。従来では、制御流量指令値をゼロにして、圧力センサが設けられている流路内を真空引きし、圧力センサの検出値がゼロを示しているか確認していた。圧力センサの検出値がゼロを示していれば、圧力センサは正常であり、流量に誤差を生じていないと判断することができる。
　しかしながら、このような圧力センサの異常の検知には、真空引きの工程を経る必要があるため、通常の流体供給プロセス中に実施することができず、メンテナンスモードにおいて実施するしかなかった。
　そこで、本発明は、圧力センサが設けられた流路を真空引きしなくても、圧力センサの異常を確認できる圧力式流量制御装置及び該圧力式流量制御装置の異常検知方法を提供することを主たる目的とする。
　上記目的を達成するため、本発明に係る圧力式流量制御装置の実施形態は、流路に介在された絞り部と、前記絞り部の上流側の流体圧力を検出するための上流側圧力センサと、前記絞り部の下流側の流体圧力を検出するための下流側圧力センサと、前記上流側圧力センサの上流側流路に設けられた流量制御弁と、前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの其々の検出値に基づいて前記流量制御弁を制御することにより流量を設定流量となるように制御する演算制御回路と、を備え、前記演算制御回路は、前記流路内を流体が流れていない状態において、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差を演算するとともに、演算した前記差に基づく圧力センサ異常判定用信号を出力する。
　ある実施形態において、前記演算制御回路は、前記下流側圧力センサの下流側流路に設けられる開閉弁の閉時に前記流量制御弁が閉じられた状態で前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差を演算するとともに、演算した前記差に基づく圧力センサ異常判定用信号を出力する。
　ある実施形態において、前記上流側圧力センサと前記下流側圧力センサとが同一の定格圧力を有し、前記演算制御回路は、前記定格圧力に対する、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差の割合を、前記圧力センサ異常判定用信号として出力する。
　ある実施形態において、前記演算制御回路は、前記圧力センサ異常判定用信号を流量出力値として出力する。
　ある実施形態において、前記圧力センサ異常判定用信号を用いて前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの異常を判定する異常判定手段を更に有する。
　また、上記目的を達成するため、本発明に係る圧力式流量制御装置の異常検知方法の実施形態は、前記圧力式流量制御装置が、流路に介在された絞り部と、前記絞り部の上流側の流体圧力を検出するための上流側圧力センサと、前記絞り部の下流側の流体圧力を検出するための下流側圧力センサと、前記上流側圧力センサの上流側流路に設けられた流量制御弁と、前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの其々の検出値に基づいて前記流量制御弁を制御することにより流量を設定流量となるように制御する、演算制御回路と、を備え、前記異常検知方法は、前記流路内を流体が流れていない状態において、前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサにより前記流路内の圧力を検出するステップと、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差を演算するステップと、演算により求められた前記差に基づく圧力センサ異常判定用信号を出力するステップと、を含む。
　本発明に係る圧力式流量制御装置の異常検知方法の実施形態において、前記流路内を流体が流れていない前記状態は、前記下流側圧力センサの下流側流路に設けられる開閉弁が閉じられ、且つ、設定流量がゼロに設定されて前記流量制御弁が閉じられている状態を含むことができる。
　本発明に係る圧力式流量制御装置の異常検知方法の実施形態において、前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの同一の定格圧力に対する、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差の割合を、前記圧力センサ異常判定用信号として出力するステップを更に含むことができる。
　本発明に係る圧力式流量制御装置の異常検知方法の実施形態において、前記圧力センサ異常判定用信号を流量出力値として出力することができる。
　本発明に係る圧力式流量制御装置の異常検知方法の実施形態において、前記圧力センサ異常判定用信号を予め定められたしきい値と比較することにより、前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの一方又は双方に異常があると判定するステップを更に含むことができる。
　本発明によれば、流路内を流体が流れていない状態では、上流側圧力センサ及び下流側圧力センサは、正常に作動していれば、同じ検出値を出力するはずであるから、上流側圧力センサの検出値と下流側圧力センサの検出値との差はゼロとなるはずである。一方、上流側圧力センサと下流側圧力センサの其々の検出値に差がある場合は、何れか一方又は双方が誤差を生じているか故障している可能性がある。上流側圧力センサと下流側圧力センサの其々の検出値に差の度合いによって、前記圧力式流量制御装置の制御流量に異常ありと判定することができる。
　本発明の一態様において、プロセス終了後に絞り部下流側の開閉弁が閉じられ、設定流量をゼロにして絞り部上流側の流量制御弁が閉じられた時、流量制御弁と開閉弁との間の流路内にはガスが流れていない状態で残存しているため、その残存ガスの圧力を上流側圧力センサと下流側圧力センサとが同時に検出する。上流側圧力センサ及び下流側圧力センサは、閉じられた流路内のガス圧力を測定しているため、正常に作動していれば、同じ検出値を出力するはずであるから、上流側圧力センサの検出値と下流側圧力センサの検出値との差はゼロとなるはずである。一方、上流側圧力センサと下流側圧力センサとの検出値に差がある場合は、何れか一方又は双方が誤差を生じているか故障している可能性が考えられる。従って、流路を真空状態にせずとも、上流側圧力センサの検出値と下流側圧力センサの検出値との差を求め、その差の度合いを判別することにより、上流側圧力センサ及び下流側圧力センサの何れかに故障或いは検出誤差があるか無いかをチェックすることができ、上流側圧力センサ及び下流側圧力センサの異常、即ち制御流量の異常を検知することができる。この圧力センサの異常検知については、真空引き工程を経る必要が無いため、流体供給プロセス中の下流側開閉弁閉止時に行うことが可能となる。
　また、本発明の一態様において、圧力センサの定格圧力に対する、上流側圧力センサの検出値と下流側圧力センサの検出値との差の割合を、前記圧力センサ異常判定用信号として出力することにより、上流側圧力センサ及び下流側圧力センサに誤差が生じていた場合に、誤差の割合を知ることができ、また、誤差の割合を予め設定したしきい値と比較することで異常か否かを判定することもできる。
図１は、本発明の圧力式流量制御装置の一実施形態を示す概略構成図である。 図２は、本発明の圧力式流量制御装置の他の実施形態を示す概略構成図である。 図３は、従来の圧力式流量制御装置を示す概略構成図である。 図４は、従来の圧力式流量制御装置のプロセスチャンバへの接続例を示す概略構成図である。
　本発明に係る圧力式流量制御装置の幾つかの実施形態について、以下に図１及び図２を参照して説明する。なお、従来技術を含め同一又は類似の構成部分については同符号を付している。
　図１は、圧力式流量制御装置の一実施形態を示す概略構成図である。圧力式流量制御装置１は、流路２に介在された絞り部３と、絞り部３の上流側の流体圧力を検出するための上流側圧力センサ４と、絞り部３の下流側の流体圧力を検出するための下流側圧力センサ５と、上流側圧力センサ４の上流側流路に設けられた流量制御弁６と、上流側圧力センサ４及び下流側圧力センサ５の其々の検出値に基づいて流量制御弁６を制御することにより流量を制御する演算制御回路１３と、を備えている。なお、図示していないが、流路２内の流体温度を検出する温度センサが、例えば上流側圧力センサ４と絞り部３の間に、配設され得る。
　流路２は金属製ブロック等に穿孔されて形成され得る。絞り部３は、流路２に介在された薄板のオリフィスプレートにより形成されている。上流側圧力センサ４及び下流側圧力センサ５は、例えば、シリコン単結晶のセンサチップとダイヤフラムを内蔵する圧力センサが用いられ得る。上流側圧力センサ４と下流側圧力センサ５とは、好ましくは同一の定格圧力、同一の仕様のものが用いられる。流量制御弁６は、圧電素子駆動式の金属製ダイヤフラム弁が用いられる。
　下流側圧力センサ５の下流側流路に、開閉弁８が設けられている。図１に示す例では開閉弁８が圧力式流量制御装置１の外部に接続されているが、他の変更態様においては、図２に示すように開閉弁８が圧力式流量制御装置１に内蔵され得る。開閉弁８は、例えば、エア駆動弁が用いられ、駆動エアの供給が電磁弁等によりＯＮ／ＯＦＦ制御されて、開閉制御され得る。
　外部制御装置１４において設定流量が設定され、設定された設定流量の信号が、外部制御装置１４から演算制御回路１３に送られる。演算制御回路１３は、上流側圧力センサ４及び下流側圧力センサ５の其々の検出値に基づいて、臨界膨張条件又は非臨界膨張条件における流量計算式により流量を演算し、絞り部３を通過する流体の流量が設定流量になるように流量制御弁６を制御する。演算制御回路１３は、演算した流量を流量出力値（Ｑｏｕｔ）として外部制御装置１４に出力することができ、外部制御装置１４が受け取った流量出力値（Ｑｏｕｔ）を表示器１４ａに表示させることにより、演算により得られた流量をモニターすることができる。
　圧力式流量制御装置１は、半導体製造ラインのガス供給ライン等の流路に組み込まれる。半導体製造ラインでは、複数の流路がプロセスチャンバ９に接続され（図４参照）、前記複数の流路の其々に圧力式流量制御装置１が設けられ、各流路に設けた開閉弁８を切り換えることにより、種類の異なるプロセスガスが流量制御されてプロセスチャンバ９に順次供給される。プロセスチャンバ９にプロセスガスが供給されている間、真空ポンプ１１によりプロセスチャンバ９内が真空引きされる。あるプロセスが終了した後、ガス供給を停止するため、外部制御装置１４からの指令により、開閉弁８が閉じられると、それに合わせて、流量制御弁６の制御流量をゼロにする信号が外部制御装置１４から演算制御回路１３に送られ、いわゆる流量ゼロモードとなる。前記流量ゼロモードで、演算制御回路１３は、設定流量ゼロの信号を受けて流量制御弁６が閉じられる。その結果、流量制御弁６と開閉弁８との間の流路２にガスが残存することとなる。なお、開閉弁８は、プロセスチャンバ９へのガス供給を完全に止めるため、流量制御弁６よりもリークが少なく弁閉鎖力の強い弁が用いられ得る。
　前記流量ゼロモードで、演算制御回路１３は、上流側圧力センサ４の検出値（Ｐ１）と下流側圧力センサ５の検出値（Ｐ２）との差（Ｐ１－Ｐ２）を演算する。
　上流側圧力センサ４及び下流側圧力センサ５は、両端を閉じられた流路２内の同じガス圧力を測定している。従って、上流側圧力センサ４及び下流側圧力センサ５は、正常に作動していれば、同じ検出値を出力するはずであるから、上流側圧力センサの検出値と下流側圧力センサの検出値との差（Ｐ１－Ｐ２）はゼロとなるはずである。
　一方、上流側圧力センサ４の検出値（Ｐ１）と下流側圧力センサ５の検出値（Ｐ２）の差（Ｐ１－Ｐ２）がゼロでない場合は、その差の度合いによっては、上流側圧力センサ４及び下流側圧力センサ５の何れか一方又は双方が、誤差を生じているか故障していると考えられる。
　従って、上流側圧力センサ４の検出値と下流側圧力センサ５の検出値との差を演算し、その差の度合いを判定することにより、流路２を真空状態にしなくても、上流側圧力センサ４と下流側圧力センサ５の何れかに故障或いは誤差があるか無いかをチェックすることができる。
　特に図４に示されるようにプロセスチャンバ９につながる流路が複数あって、前記流量ゼロモードで開閉弁８を閉じている流路と、開閉弁８を開いて所定流量でガスを流している流路とがある場合にあっては、ガスを流している流路はそのままガスを流しながら、前記流量ゼロモードの圧力式流量制御装置１の上流側圧力センサ４と下流側圧力センサ５に異常が無いかを検知することができる。
　演算制御回路１３は、検出値の差（Ｐ１－Ｐ２）を圧力センサ異常判定用信号として外部制御装置１４に出力し、外部制御装置１４は、前記圧力センサ異常判定用信号である検出値の差（Ｐ１－Ｐ２）を予め設定されたしきい値と比較することにより、異常の有無を判定する異常判定手段を備えることができる。例えば、外部制御装置１４は、前記圧力センサ異常判定用信号である検出値の差（Ｐ１－Ｐ２）の絶対値が前記しきい値を超える場合に、異常有りと判定する。前記異常判定手段による判定結果を、例えば表示器１４ａに表示することにより、圧力センサの交換時期を知らせることもできる。
　また、他の実施形態において、演算制御回路１３は、上流側圧力センサ４及び下流側圧力センサ５の定格圧力（Ｐｍａｘ）に対する、上流側圧力センサ４の検出値（Ｐ１）と下流側圧力センサの検出値（Ｐ２）との差（Ｐ１－Ｐ２）の割合［（（Ｐ１－Ｐ２）／Ｐｍａｘ）×１００］（％）を、圧力センサ異常判定用信号として出力し、例えば、表示器１４ａ等に表示させることができる。
　この場合、演算制御回路１３は、［（（Ｐ１－Ｐ２）／Ｐｍａｘ）×１００］（％）の圧力センサ異常判定用信号を流量出力値（Ｑｏｕｔ）として外部制御装置１４に出力することができる。外部制御装置１４は、流量設定ゼロからの流量出力値（Ｑｏｕｔ）のドリフトを、設定流量ゼロからのゼロ点ドリフトとして判別することができるので、このゼロ点ドリフトのドリフト幅が予め設定された前記しきい値を超える場合に圧力センサに異常があると判定する異常判定手段を備えることができる。また、ドリフトを調整することにより、ゼロ点調整することもできる。
　本発明は、上記実施形態に限定されるものでなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、流量制御弁は、圧電素子駆動型に代えて、ソレノイド駆動型とすることもできる。
　また、上記実施形態では、前記流量ゼロモードで流量制御弁６が閉じている状態での異常検知について説明したが、流量制御弁が閉じていない状態であっても、例えば、圧力式流量制御装置１の上流部に接続される開閉弁（図示せず。）が閉じられる等、圧力式流量制御装置１内の流路２に流体が流れていない状態であれば、上記実施形態と同様に、上流側圧力センサ及び下流側圧力センサの以上の有無を検知することが可能である。
１　圧力式流量制御装置
２　流路
３　絞り部
４　上流側圧力センサ
５　下流側圧力センサ
６　流量制御弁
８　開閉弁
１３　演算制御回路

Claims (10)

  1. 　流路に介在された絞り部と、
    　前記絞り部の上流側の流体圧力を検出するための上流側圧力センサと、
    　前記絞り部の下流側の流体圧力を検出するための下流側圧力センサと、
    　前記上流側圧力センサの上流側流路に設けられた流量制御弁と、
    　前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの其々の検出値に基づいて前記流量制御弁を制御することにより流量を設定流量となるように制御する演算制御回路と、を備え、
    　前記演算制御回路は、前記流路内を流体が流れていない状態において、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差を演算するとともに、演算した前記差に基づく圧力センサ異常判定用信号を出力することを特徴とする圧力式流量制御装置。
  2. 　前記演算制御回路は、前記下流側圧力センサの下流側流路に設けられる開閉弁の閉時に前記流量制御弁が閉じられた状態で前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差を演算するとともに、演算した前記差に基づく圧力センサ異常判定用信号を出力する、請求項１に記載の圧力式流量制御装置。
  3. 　前記上流側圧力センサと前記下流側圧力センサとが同一の定格圧力を有し、
    　前記演算制御回路は、前記定格圧力に対する、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差の割合を、前記圧力センサ異常判定用信号として出力する、請求項１に記載の圧力式流量制御装置。
  4. 　前記演算制御回路は、前記圧力センサ異常判定用信号を流量出力値として出力する、請求項３に記載の圧力式流量制御装置。
  5. 　前記圧力センサ異常判定用信号を用いて前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの異常を判定する異常判定手段を更に有する、請求項１に記載の圧力式流量制御装置。
  6. 　圧力式流量制御装置の異常検知方法であって、
    前記圧力式流量制御装置は、
    　流路に介在された絞り部と、
    　前記絞り部の上流側の流体圧力を検出するための上流側圧力センサと、
    　前記絞り部の下流側の流体圧力を検出するための下流側圧力センサと、
    　前記上流側圧力センサの上流側流路に設けられた流量制御弁と、
    　前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの其々の検出値に基づいて前記流量制御弁を制御することにより流量を設定流量となるように制御する、演算制御回路と、を備え、
    前記異常検知方法は、
    　前記流路内を流体が流れていない状態において、前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサにより前記流路内の圧力を検出するステップと、
    　前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差を演算するステップと、
    　演算により求められた前記差に基づく圧力センサ異常判定用信号を出力するステップと、を含むことを特徴とする、前記圧力式流量制御装置の異常検知方法。
  7. 　前記流路内を流体が流れていない前記状態は、前記下流側圧力センサの下流側流路に設けられる開閉弁が閉じられ、且つ、設定流量がゼロに設定されて前記流量制御弁が閉じられている状態を含む、請求項６に記載の圧力式流量制御装置の異常検知方法。
  8. 　前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの同一の定格圧力に対する、前記上流側圧力センサの検出値と前記下流側圧力センサの検出値との差の割合を、前記圧力センサ異常判定用信号として出力するステップを更に含む、請求項６に記載の圧力式流量制御装置の異常検知方法。
  9. 　前記圧力センサ異常判定用信号を流量出力値として出力することを特徴とする請求項８に記載の圧力式流量制御装置の異常検知方法。
  10. 　前記圧力センサ異常判定用信号を予め定められたしきい値と比較することにより、前記上流側圧力センサ及び前記下流側圧力センサの一方又は双方に異常があると判定するステップを更に含む、請求項６に記載の圧力式流量制御装置の異常検知方法。
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