KR20070112498A

KR20070112498A - 질량 유량 제어기

Info

Publication number: KR20070112498A
Application number: KR1020060045460A
Authority: KR
Inventors: 김종환; 백승용; 장점수; 김대옥; 장영호; 강성호; 김호남; 서은성; 전두한; 김정훈; 김영민
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-05-22
Filing date: 2006-05-22
Publication date: 2007-11-27

Abstract

유체의 질량 유량을 조절하기 위한 질량 유량 제어기는 유체가 베이스에 형성된 유로를 통과하며, 질량 유량 센서는 유로를 통과하는 유체의 질량 유량을 측정하며, 밸브는 유체의 질량 유량을 조절한다. 유체의 질량 유량이 기준 유량과 일치하도록 밸브 제어부는 밸브를 제어한다. 밸브 센서는 밸브와 연결되며, 밸브의 개폐 정도를 감지한다. 질량 유량 센서가 손상된 경우, 유체의 질량 유량을 조절하기 위해 밸브 제어부는 밸브 센서의 감지 결과에 따라 상기 컨트롤 밸브를 제어한다.

Description

질량 유량 제어기{Mass flow controller}

도 1은 종래의 질량 유량 제어기를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 질량 유량 제어기를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

도 3은 도 2에 도시된 질량 유량 센서를 설명하기 위한 개략도이다.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 질량 유량 제어기를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

200 : 질량 유량 제어기 210 : 베이스

212 : 유로 214 : 유입부

216 : 방출부 218 : 시트

220 : 바이패스부 230 : 질량 유량 센서

250 : 밸브 252 : 밸브 바디

254 : 제1 구동 유닛 260 : 밸브 제어부

270 : 밸브 센서

본 발명은 유체의 질량 유량을 조절하기 위한 질량 유량 제어기(mass flow controller; MFC)에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 유체의 질량 유량을 측정하고 측정된 질량 유량과 기준 유량을 비교하여 상기 유체의 질량 유량을 조절하기 위한 질량 유량 제어기에 관한 것이다.

반도체 장치의 제조 공정에는 다양한 종류의 가스들이 사용되며, 상기 가스들의 질량 유량은 질량 유량 제어기에 의해 제어된다. 최근, 반도체 장치의 집적도가 향상됨에 따라 정밀한 공정 가스의 질량 유량의 측정 및 제어에 대한 요구가 점차 증대되고 있다.

도 1을 참조하면, 종래의 질량 유량 제어기(100)의 베이스(110)는 유체를 통과시키기 위한 유로(112)와, 상기 유로(112)의 내부로 유체를 유입시키기 위한 유입부(114)와, 상기 유로(112)로부터 유체를 방출하기 위한 방출부(116)를 갖는다.

유체를 통과시키기 위한 바이패스부(120)는 유입부(114)와 인접하여 상기 유로(112)의 내부에 배치되며, 샘플 배관(132)은 상기 유로(112)와 연결된다. 구체적으로, 샘플 배관(132)은 상기 바이패스부(120)의 유입단과 방출단에 각각 인접하도록 유로(112)와 연결되며, 바이패스부(120)를 통과하는 유체를 샘플링한다.

질량 유량 센서(130)는 바이패스부(120)를 통과하는 유체의 질량 유량을 측정하고 신호 형태로 출력한다. 바이패스부(120)와 방출부(116) 사이에는 유체의 질량 유량을 조절하기 위한 컨트롤 밸브(140)가 상기 유로(112)와 연결된다.

상기와 같은 질량 유량 센서(130)에 의해 측정된 유체의 질량 유량의 측정 신호는 밸브 제어부(미도시)로 전송되며, 밸브 제어부는 측정 신호와 기 설정된 기준 유량과 대응하는 기준 신호를 비교하고, 상기 측정 신호가 기준 신호와 일치하도록 컨트롤 밸브(140)의 동작을 제어한다.

상기와 같은 질량 유량 제어기(100)는 반도체 장치의 제조 공정에 널리 사용된다. 예를 들면, 상기 질량 유량 제어기는 증착 공정, 식각 공정 등과 같은 단위 공정을 수행하기 위한 기판 가공 장치에서 공정 가스의 공급 유량을 제어하기 위해 사용된다.

상기 질량 유량 제어기(100)는 가스 공급 유량을 기 설정된 기준 유량과 일치하도록 조정한다. 그러므로, 상기 질량 유량 제어기(100)로 유입되는 공정 가스의 압력이 변하거나, 상기 질량 유량 센서(130)의 감도가 변하거나 또는 상기 공정 가스가 공급되는 가스 라인이 막히더라도 상기 밸브(140)의 개폐 정도를 조절하여 유량을 조절한다.

그러나, 상기와 같이 공정 가스의 압력 변화, 상기 질량 유량 센서(130)의 감도 변화, 상기 가스 라인의 막힘 등이 기판 가공 공정에 악영향을 미칠 수 있다. 예를 들면, 상기 유입단(114)의 압력이 상승하면 상기 공정 가스의 유속이 빨라져 공정 가스의 유량이 증가하므로, 상기 밸브(140)를 차단하여 상기 유량을 조절한다. 그러나 상기 공정 가스의 빠른 유속에 의해 기판 가공 공정이 수행되는 공정 챔버에 와류가 발생되고, 상기 와류는 파티클을 발생시키는 원인이 될 수 있다. 또한, 상기 질량 유량 센서(130)의 감도가 좋아지거나 나빠짐에 따라 밸브(140)의 개 방 정도가 달라진다. 따라서, 실제로 상기 공정 챔버로 공급되는 가스 유량과 측정되는 가스 유량이 달라지는 문제점이 발생할 수 있다. 그리고, 상기 가스 라인이 이물질에 의해 막히면 상기 공정 가스의 유량이 감소하므로 상기 밸브(140)의 개방 정도를 증가시켜 상기 공정 가스의 유량을 조절한다. 이때, 상기 이물질이 상기 공정 챔버에서 파티클로 작용할 수 있다.

상기에서와 같이 공정 가스의 압력 변화, 상기 질량 유량 센서(130)의 감도 변화, 상기 가스 라인의 막힘 등 질량 유량 제어기(100)가 설치된 부위의 환경이 변하더라도 상기 질량 유량 제어기(100)에서 측정되는 유량은 일정하다. 그러므로, 상기 질량 유량 제어기(100)에서는 상기와 같은 환경 변화를 감지하지 못한다. 따라서, 상기 환경 변화에 따른 공정 가스의 공급 이상으로 인해 공정 챔버에 파티클이 발생하거나 기판 가공 공정에 이상이 발생하더라도 이를 방지하지 못하는 문제점이 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 질량 유량 제어기가 설치된 부분의 환경 변화에 따른 가스 유속의 변화나 유량의 변화를 감지할 수 있는 질량 유량 제어기를 제공하는데 있다.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의하면, 질량 유량 제어기는 유체의 흐름을 위한 유로와 상기 유체를 상기 유로로 유입시키기 위한 유입부 및 상기 유체를 상기 유로로부터 방출하기 위한 방출부를 갖는 베이스를 구비한다. 질량 유량 센서는 상기 유입부와 인접하여 상기 유로와 연결되고, 상기 유로를 통과하는 유체의 질량 유량을 측정한다. 밸브는 상기 방출부와 인접하여 상기 유로와 연결되고, 상기 유로를 통과하는 유체의 질량 유량을 조절한다. 밸브 제어부는 상기 질량 유량 센서에 의해 측정된 질량 유량과 기준 유량을 비교하여 상기 유체의 질량 유량이 기준 유량과 일치하도록 상기 밸브를 제어한다. 밸브 센서는 상기 유로를 지나는 유체의 유속 변화 또는 유량 변화 여부를 확인하기 위해 상기 밸브와 연결되며, 상기 밸브의 개폐 정도를 감지한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 질량 유량 센서가 손상된 경우, 상기 유체의 질량 유량을 조절하기 위해 상기 밸브 제어부는 상기 밸브 센서의 감지 결과에 따라 상기 밸브를 제어할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 질량 유량 제어기에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나 의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 질량 유량 제어기를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.

도 2를 참조하면, 상기 질량 유량 제어기(200)는 유체를 공급하기 위한 유체 배관(미도시)에 연결된다. 예를 들면, 반도체 장치의 제조 공정에 사용되는 다양한 가스들을 공급하기 위한 유체 배관 중에 연결되며, 상기 공정 가스들의 질량 유량을 조절한다. 질량 유량 제어기(200)는 베이스(210), 질량 유량 센서(230), 밸브(250), 밸브 제어부(260) 및 밸브 센서(270)를 포함한다.

상기 베이스(210)는 상기 유체 배관과 연결되며, 상기 유체의 흐름을 위해 상기 베이스(210)를 관통하는 유로(212)와, 상기 유체 배관으로부터 상기 유로(212)로 상기 유체를 유입시키기 위한 유입부(214) 및 상기 유로(212)로부터 상기 유체 배관으로 상기 유체를 방출하기 위한 방출부(216)를 갖는다.

상기 질량 유량 센서(230)는 상기 유입부(214)와 인접한 부위의 유로(212)와 연결되고, 상기 유로(212)를 통과하는 유체의 질량 유량을 측정한다. 상기 질량 유량 센서(230)는 상기 유체를 샘플링하기 위한 샘플 배관(232)과, 상기 샘플 배관(232)에 감겨진 제1발열 저항(234a)과 제2발열 저항(234b), 제1발열 저항(234a)과 제2발열 저항(234b)에 연결된 브리지 회로(236), 상기 브리지 회로(236)와 연결된 증폭기(238)와, 상기 증폭기(238)에 연결된 보상기(240)를 포함한다.

구체적으로, 상기 유체를 통과시키기 위한 바이패스부(220)가 유입부(214)와 인접한 상기 유로(212) 내부에 배치되어 있고, 상기 바이패스부(220)를 통과하는 유체를 샘플링하기 위한 샘플 배관(232)은 바이패스부(220)의 유입단과 인접하는 유로(212)로부터 분기되어 바이패스부(220)의 방출단과 인접하는 유로(212)와 연결된다.

도시된 바에 따르면, 유로(212) 내부에는 통상적인 바이패스부(220)가 배치되어 있으나, 유체의 흐름을 층류로 형성하기 위한 모세관 타입의 바이패스부가 사 용될 수도 있다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 제1발열 저항(234a)과 제2발열 저항(234b)은 샘플링 배관(232)의 상류측 및 하류측에 각각 감겨져 있으며, 백금 등의 금속으로 이루어진다. 상기 제1발열 저항(234a)과 제2발열 저항(234b)이 가열되는 경우, 상기 샘플링 배관(232)의 상류측과 하류측 사이에는 상기 유체의 질량 유량에 비례하는 온도차가 발생된다. 이로 인하여 상기 제1발열 저항(234a)의 저항값과 제2발열 저항(234b)의 저항값이 서로 달라진다. 상기 브리지 회로(236)는 상기 샘플링 배관(232)의 상류측 및 하류측 사이의 온도차에 따른 저항값에 대응하는 전기적 신호를 발생시킨다.

상기 증폭기(238)는 브리지 회로(236)에 의해 검출된 전기적 신호를 증폭하고, 보상기(240)는 증폭된 신호가 상기 바이패스부(220)를 통과하는 유체의 질량 유량에 대응하도록 보상한다.

밸브(250)는 밸브 바디(252) 및 구동 유닛(254)을 포함한다. 방출부(216)와 인접하는 베이스(210)의 상부에는 밸브(250)와 유로(212)를 연결하기 위한 포트(222)가 형성되어 있고, 유로(212)는 포트(222)를 통해 베이스(210)의 유입단(214)과 방출단(216) 사이를 연결한다. 밸브(250)는 포트(222)에 장착되는 연결 부재(256)를 통해 유로(212)와 연결된다. 포트(222)가 형성된 베이스(210)의 상부와 마주보는 베이스(210)의 하부에는 밸브 시트(258)가 장착된다.

밸브 바디(252)는 디스크 형상을 갖는 밸브 헤드(252a)와 연결축(252b)을 포 함한다. 상기 밸브 헤드(252a)는 상기 연결축(252b)에 의해 구동 유닛(254)과 연결된다. 상기 구동 유닛(254)은 유체의 유량을 조절하기 위해 밸브 바디(252)의 개방 정도를 적절하게 조절한다. 구체적으로 상기 구동 유닛(254)은 상기 연결축(252b)을 상승 또는 하강시키고, 상기 연결축(252b)의 상승 또는 하강에 따라 상기 밸브 헤드(252a)와 상기 밸브 시트(258) 사이의 간격이 조절된다. 상기 구동 유닛(254)은 솔레노이드(solenoid)를 포함하며, 상기 밸브 바디(252)는 원뿔 형상을 갖는 포펫 밸브 헤드(poppet valve head)를 가질 수도 있다.

상술한 바와 같은 상기 밸브(250)의 구성은 상기 구동 유닛(254)의 종류에 따라 변경될 수 있다. 즉, 상기 밸브(250)로는 써멀 타입(thermal type)의 구동 유닛을 갖는 써멀 밸브 또는 다수의 압전 소자(piezoelectric elements)로 이루어진 압전 스택(piezoelectric stack)을 갖는 압전 밸브가 사용될 수 있다.

밸브 제어부(260)는 밸브(250)의 동작을 적절하게 제어한다. 구체적으로, 보상기(240)에 의해 보상된 신호는 밸브 제어부(260)로 전송되며, 밸브 제어부(260)는 기 설정된 기준 유량과 대응하는 기준 신호와 상기 보상된 신호를 비교하여 상기 질량 유량 센서(230)에 의해 측정된 질량 유량과 기 설정된 기준 유량이 일치하도록 상기 구동 유닛(254)을 제어하여 상기 밸브(250)의 개폐 정도를 조절한다. 여기서, 상기 보상된 신호는 질량 유량 센서에 의해 측정된 유체의 유량을 의미한다.

밸브 센서(270)는 상기 밸브(250)에 구비되며, 상기 밸브(250)의 개폐 정도를 감지한다. 구체적으로, 상기 밸브 센서(270)는 상기 밸브(250)의 구동 유닛(254)에 구비된다. 상기 밸브 센서(270)는 상기 구동 유닛(254)의 구동 정도, 즉, 상기 구동 유닛(254)이 상기 밸브 바디(252)를 이동시키기 위해 가하는 에너지를 감지한다. 따라서, 상기 밸브 센서(270)는 상기 밸브 시트(258)와 상기 밸브 바디(252) 사이의 간격을 감지한다.

상기 밸브(250)의 종류에 따라 상기 구동 유닛(254)이 달라지므로, 상기 밸브 센서(270)도 상기 밸브(250)의 종류에 따라 달라질 수 있다. 예를 들면, 상기 밸브(250)로 솔레노이드 밸브 또는 압전 밸브가 사용되는 경우, 상기 밸브 센서(270)는 상기 솔레노이드 밸브 또는 압전 밸브를 구동하기 위해 가해지는 전압을 측정하는 전압 센서가 사용될 수 있다. 다른 예로, 상기 밸브(250)로 서멀 밸브가 사용되는 경우, 상기 밸브 센서(270)는 상기 서멀 밸브를 구동하기 위해 가해지는 열의 온도를 측정하는 온도 센서가 사용될 수 있다.

따라서, 상기 질량 유량 제어기(200)를 통과하는 유체의 유량이 일정하더라도 상기 밸브 센서(270)를 이용하여 상기 밸브(250)의 개방 정도가 달라지는 것을 감지할 수 있다. 상기 밸브(250)의 개방 정도를 감지함으로써 상기 질량 유량 제어기(200)로 유입되는 상기 공정 가스의 압력이 변하거나, 상기 질량 유량 센서(230)의 감도가 변하거나 또는 상기 공정 가스가 공급되는 가스 라인이 막히는 등의 환경 변화를 확인할 수 있다.

그러므로, 상기와 같이 공정 가스의 압력 변화, 상기 질량 유량 센서(230)의 감도 변화, 상기 가스 라인의 막힘 등을 초기에 확인하여 조치할 수 있다. 따라서, 상기와 같은 환경 변화에 따른 공정 가스의 공급 이상으로 인해 공정 챔버에 파티클이 발생하거나 기판 가공 공정에 이상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들 면, 상기 유입단(214)으로 공급되는 공정 가스의 압력의 상승에 따라 상기 밸브(250)의 개방 정도가 변화되는 것을 상기 밸브 센서(270)로 감지하여 조치할 수 있다. 따라서, 상기 공정 가스의 빠른 유속에 의해 기판 가공 공정이 수행되는 공정 챔버의 와류 발생을 방지하여 파티클의 발생을 억제할 수 있다. 다른 예로, 상기 질량 유량 센서(230)의 감도가 좋아지거나 나빠짐에 따라 밸브(140)의 개방 정도가 달라진다. 상기 밸브(250)의 개방 정도가 변화되는 것을 상기 밸브 센서(270)로 감지하여 조치할 수 있다. 따라서, 상기 공정 챔버로 공급되는 가스 유량과 측정되는 가스 유량을 일치시킬 수 있다. 또 다른 예로, 상기 가스 라인이 이물질에 의해 막혀 상기 밸브(240)의 개방 정도가 증가되는 것을 상기 밸브 센서(270)로 감지하여 조치할 수 있다. 따라서, 상기 이물질이 상기 공정 챔버에서 파티클로 작용하는 것을 방지할 수 있다.

한편, 상기 밸브 센서(270)는 상기 밸브 제어부(260)와 연결된다. 상기 질량 유량 센서(230)가 고장나는 경우, 상기 질량 유량 센서(230)로부터 상기 밸브 제어부(260)로 상기 질량 유량 센서(230)에 의해 측정된 가스의 유량을 의미하는 보상 신호가 전달되지 않는다. 상기 밸브 제어부(260)는 상기 밸브(250)를 제어할 수 없게 된다. 그러므로 상기 밸브 제어부(260)는 상기 밸브 센서(270)의 감지 결과를 이용하여 상기 밸브(250)를 개폐한다. 이때, 상기 밸브 제어부(260)는 기 설정된 기준 유량과 유사한 유량의 가스가 흐르도록 상기 밸브(250)를 제어한다. 따라서, 상기 유로(212)를 흐르는 가스의 유량이 대략적으로 조절될 수 있다.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 질량 유량 제어기를 설명하기 위한 개 략적인 단면도이다.

도 4를 참조하면, 질량 유량 제어기(300)는 베이스(310), 질량 유량 센서(330), 밸브(350), 밸브 제어부(360) 및 밸브 센서(370)를 포함한다.

본 실시예에 따른 질량 유량 제어기(300)는 상기 밸브 센서(370)를 제외하고는 상기 도 2 및 도 3에 도시된 질량 유량 제어기(200)와 실질적으로 동일하다. 그러므로, 질량 유량 제어기(300)는 베이스(310), 질량 유량 센서(330), 밸브(350) 및 밸브 제어부(360)에 대한 설명은 생략한다.

상기 밸브 센서(370)는 상기 밸브 바디(352)에 구비될 수도 있다. 따라서, 상기 밸브 센서(370)가 상기 밸브 시트(358)와의 거리를 감지함으로써 상기 밸브(350)의 개방 정도를 확인할 수 있다. 상기 밸브 센서(370)의 예로는 변위 센서 또는 근접 센서를 들 수 있다.

상기에서는 상기 밸브 센서(370)가 상기 밸브 바디(352)에 구비되는 것으로 도시되었지만, 본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 밸브 센서(370)는 상기 밸브 시트(358)에 구비될 수도 있다. 본 발명의 또 다른 예에 따르면, 상기 밸브 센서(370)는 상기 밸브 바디(352) 및 상기 밸브 시트(358)에 각각 구비될 수 있다. 하나의 밸브 센서(370)가 다른 센서(370)와의 거리를 감지함으로써 상기 밸브(350)의 개방 정도를 확인할 수 있다.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 밸브의 개폐 정도를 감지하기 위한 밸브 센서를 구비한다. 질량 유량 제어기가 구비된 부위의 환경 변화하면 질량 유량 제어 기를 지나는 유체의 유량은 일정하더라도 상기 밸브의 개폐 정도는 달라진다. 따라서, 상기 밸브의 개방 정도가 변화되는 것을 상기 밸브 센서로 감지함으로써 상기 환경 변화를 확인하고 상기 환경 변화로 인해 발생하는 기판 가공 공정의 문제점을 빠르게 조치할 수 있다.

또한, 상기 질량 유량 제어기의 질량 유량 센서가 고장나더라도 상기 밸브 센서의 감지 결과를 이용하여 밸브 제어부에서 상기 밸브를 조절할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

유체의 흐름을 위한 유로와 상기 유체를 상기 유로로 유입시키기 위한 유입부 및 상기 유체를 상기 유로로부터 방출하기 위한 방출부를 갖는 베이스;

상기 유로와 연결되고, 상기 유로를 통과하는 유체의 질량 유량을 측정하기 위한 질량 유량 센서;

상기 유로를 개폐하기 위한 밸브 바디 및 상기 밸브 바디를 구동시키기 위한 구동 유닛을 포함하고, 상기 유로를 통과하는 유체의 질량 유량을 조절하기 위한 밸브;

상기 질량 유량 센서에 의해 측정된 질량 유량과 기준 유량을 비교하여 상기 유체의 질량 유량이 기준 유량과 일치하도록 상기 밸브를 제어하기 위한 밸브 제어부;

상기 유로를 지나는 유체의 유속 변화 또는 유량 변화 여부를 확인하기 위해 상기 밸브에 구비되며, 상기 밸브의 개폐 정도를 감지하기 위한 밸브 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 질량 유량 제어기.
제1항에 있어서, 상기 질량 유량 센서가 손상된 경우, 상기 유체의 질량 유량을 조절하기 위해 상기 밸브 제어부는 상기 밸브 센서의 감지 결과에 따라 상기 밸브를 제어하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 질량 유량 제어기.
제1항에 있어서, 상기 밸브 센서는 상기 밸브의 구동 유닛에 구비되며, 상기 구동 유닛이 상기 밸브 바디를 이동시키기 위한 가하는 에너지를 측정하여 상기 밸브의 개폐 정도를 감지하는 것을 특징으로 하는 질량 유량 제어기.
제1항에 있어서, 상기 밸브 센서는 상기 밸브의 밸브 바디에 구비되며, 상기 밸브 바디와 상기 유로에 형성된 밸브 시트 사이의 거리를 측정하여 상기 밸브의 개폐 정도를 감지하는 것을 특징으로 하는 질량 유량 제어기.