KR102101426B1 - 압력식 유량 제어 장치 및 이를 이용한 유량 제어 방법 - Google Patents

압력식 유량 제어 장치 및 이를 이용한 유량 제어 방법 Download PDF

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엠케이피 주식회사
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 압력식 유량 제어 장치는 일 측에 유체가 유입되는 유입구가 형성되고, 타 측에 유체가 배출되는 배출구가 형성되며, 내측에 상기 유입구와 연통되는 제1 유로 및 상기 배출구와 연통되는 제2 유로가 형성되는 본체; 상기 제1 유로에 설치되어 유체의 통과 시 차압을 발생시키는 차압 발생부; 상기 본체에 설치되어 상기 차압발생부의 전방에 배치되고, 상기 유입구를 통해 상기 제1 유로로 유입되어 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제1 압력 감지부; 상기 본체에 설치되어 상기 차압발생부의 후방에 배치되고, 상기 차압발생부를 통과하여 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제2 압력 감지부; 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로 사이에 배치되어 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로를 연결하고, 미리 설정된 제어명령에 따라 상기 제1 유로에서 상기 제2 유로로 토출되는 유체의 토출량을 조절 가능한 유량제어 밸브; 상기 본체에 설치되고, 상기 유량제어 밸브를 통해 상기 제2 유로로 유입되어 상기 배출구 측으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제3 압력 감지부; 및 상기 제1 압력 감지부, 상기 제2 압력 감지부 및 상기 제3 압력 감지부로부터 검출된 신호에 기초하여 상기 유량제어 밸브를 제어 가능한 제어부;를 포함한다.

Description

압력식 유량 제어 장치 및 이를 이용한 유량 제어 방법{PRESSURE-TYPE FLOW RATE CONTROL DEVICE AND FLOW RATE CONTROL METHOD USING THEREOF}
본 발명은 압력식 유량 제어 장치 및 이를 이용한 유량 제어 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유량제어 밸브의 후방 압력을 감지하고, 이를 통해 유체의 압력 변동을 개선하여 안정적으로 유량을 제어할 수 있는 압력식 유량 제어 장치 및 이를 이용한 유량 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 유량은 온도, 압력, 레벨, 습도 등과 함께 산업현장에서 가장 많이 측정되는 측정량 중의 하나이다. 특히, 현대의 산업현장에서는 많은 물질이나 에너지가 유체의 형태를 갖고 공급되고 있으므로 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는 것은 매우 중요하다. 그러나 유체는 고체와 달리 속도를 측정하기 위한 기준점의 설정이 힘들고, 흐르는 과정에서 형태가 변형되는 경우가 자주 있으므로 유속이나 유량의 측정은 고체의 속도를 측정하는 것보다 훨씬 어렵고 힘들다.
유량을 측정하기 위해서는 유체의 종류, 물성, 그리고 측정 조건에 따라 차압 유량계, 용적 유량계, 전자 유량계, 초음파 유량계, 와류 유량계, 터빈 유량계, 가변학적 유량계 및 개수로 유량계 등을 이용한다. 그러나, 상술한 대부분의 유량계는 유량의 질량을 구하기 위하여 유체의 부피나 속도를 측정한 후 온도와 압력을 고려하여 질량유량으로 환산하는 방법을 이용하기 때문에, 과정이 복잡하고, 오랜 시간이 소요되는 문제점이 있다.
따라서, 최근에는 상술한 환산 과정 없이 바로 유량의 질량을 측정할 수 있는 질량유량계가 많이 사용되고 있다.
대표적으로, 반도체 제조 공정에서는 상술한 질량유량계의 기술을 적용한 질량 유량 조절기(Mass Flow Controller, MFC)가 사용되고 있다.
질량 유량 조절기는 가스의 질량을 정확하게 측정하고 조절하는 장치로서, 반도체 제조 전 공정에서 흔히 사용되는 반도체 제조 장비의 핵심 부품 중의 하나이다.
특히, 고집적도의 LSI(Large Scale Integrated Circuit)를 양산하는 웨이퍼 공정에서는 가스의 유량제어가 매우 중요시되고 있으며, 이에 따라 유량을 고속으로 정밀하게 제어하는 질량 유량 조절기에 대한 요구와 관심이 높아지고 있다.
또한, 근래에는 정확도와 재현성을 위주로 성능을 평가하던 과거와는 달리 배관 구조에서 발생하는 공급 압력 헌팅에도 둔감하게 반응하도록 설계된 PI 기능을 보유한 질량 유량 조절기의 관심도가 증가하고 있다.
이러한, 질량 유량 조절기는 유로를 흐르는 가스의 차압을 감지하는 복수개의 압력센서와, 압력센서로부터 감지된 신호를 바탕으로 유량을 측정하는 제어부 및 제어부로부터 전달된 제어명령을 통해 유량을 조절하는 액추에이터로 구성된다.
따라서, 유로에 일정량의 가스가 유입되면, 복수개의 압력센서가 유로 내에서 가스의 차압 신호를 감지하고, 가스의 차압 신호를 전달받은 제어부가 가스의 차압 신호로부터 가스의 유량을 산출하여 액추에이터로 제어명령을 전송하게 된다. 이에 따라, 액추에이터는 제어명령을 통해 유량을 조절하게 된다.
그러나, 상술한 종래의 질량 유량 조절기는, 외부 요인으로 인해 전방에 위치한 압력센서에 일시적으로 하중이 전달되어 해당 압력센서로부터 감지된 신호가 흔들리게 될 경우, 차압을 통해 산출되는 유량값이 짧은 시간 동안 실제 유량값을 출력하지 못하는 문제점이 있었다.
따라서, 제어부는 잘못된 유량값을 기준으로 제어명령을 생성하여 액추에이터로 전달하고, 이로 인해 제어명령을 전달받은 액추에이터는 설정된 목표값과 큰 오차가 발생되도록 유량을 조절하게 되는 문제점이 있었다.
한국 공개특허공보 제10-2018-0059786호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 유량제어 밸브의 후단에 압력센서를 위치시켜 유량제어 밸브로부터 토출되는 유체의 압력을 감지하고, 그 변화량을 비례적으로 밸브 제어에 피드백시켜 유량 헌팅을 개선할 수 있는 압력식 유량 제어 장치 및 이를 이용한 유량 제어 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 압력식 유량 제어 장치는 일 측에 유체가 유입되는 유입구가 형성되고, 타 측에 유체가 배출되는 배출구가 형성되며, 내측에 상기 유입구와 연통되는 제1 유로 및 상기 배출구와 연통되는 제2 유로가 형성되는 본체; 상기 제1 유로에 설치되어 유체의 통과 시 차압을 발생시키는 차압 발생부; 상기 본체에 설치되어 상기 차압발생부의 전방에 배치되고, 상기 유입구를 통해 상기 제1 유로로 유입되어 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제1 압력 감지부; 상기 본체에 설치되어 상기 차압발생부의 후방에 배치되고, 상기 차압발생부를 통과하여 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제2 압력 감지부; 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로 사이에 배치되어 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로를 연결하고, 미리 설정된 제어명령에 따라 상기 제1 유로에서 상기 제2 유로로 토출되는 유체의 토출량을 조절하는 유량제어 밸브; 상기 본체에 설치되고, 상기 유량제어 밸브를 통해 상기 제2 유로로 유입되어 상기 배출구 측으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제3 압력 감지부; 및 상기 제1 압력 감지부, 상기 제2 압력 감지부 및 상기 제3 압력 감지부로부터 검출된 신호에 기초하여 상기 유량제어 밸브를 제어하는 제어부;를 포함한다.
상기 제어부는, 상기 제1 압력 감지부 및 상기 제2 압력 감지부로부터 검출된 신호를 이용하여 제1 유량값을 산출한 후, 상기 제2 유로 측으로 상기 제1 유량값에 대응되는 유체가 토출될 수 있도록 상기 유량제어 밸브의 개폐량을 제어하고, 상기 제3 압력 감지부로부터 검출된 신호를 이용하여 제2 유량값을 산출한 후, 상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값을 실시간 비교하되, 상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값에 차이가 발생될 경우, 상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값의 차이에 대응되는 만큼 상기 유량제어 밸브의 개폐량을 보상하여 유체의 토출량을 조절할 수 있다.
상기 배출구는 유체의 통과 시 차압을 발생시키는 오리피스(orifice) 구조로 형성될 수 있다.
상기 차압발생부 및 상기 유량제어 밸브에는 각각 오리피스가 형성되되, 상기 차압발생부에 형성된 오리피스의 크기는, 상기 유량제어 밸브에 형성된 오리피스의 크기 보다 작고, 상기 배출구에 형성된 오리피스의 크기 보다 크게 형성될 수 있다.
상기 제어부는, 상기 유량제어 밸브에 제어명령을 전송하여 유체의 이동을 차단한 후, 상기 제3 압력 감지부의 신호 발생 유무를 확인하여 유체가 공급될 배관 내부의 유체 잔존 유무를 판단 가능할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 압력식 유량 제어 장치를 이용한 유량 제어 방법은, 내측에 제1 유로 및 제2 유로가 형성되는 본체, 상기 제1 유로에 설치되어 유체의 통과 시 차압을 발생시키는 차압 발생부, 상기 제1 유로로 유입되어 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제1 압력 감지부, 상기 차압발생부를 통과하여 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제2 압력 감지부, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 서로 연결하고 상기 제1 유로에서 상기 제2 유로로 토출되는 유체의 토출량을 조절 가능한 유량제어 밸브 상기 유량제어 밸브를 통해 상기 제2 유로로 유입되어 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제3 압력 감지부, 및 상기 제1 압력 감지부, 상기 제2 압력 감지부 및 상기 제3 압력 감지부로부터 검출된 신호에 기초하여 상기 유량제어 밸브를 제어하는 제어부;를 포함하는 압력식 유량 제어 장치를 이용한 유량 제어 방법으로서, 상기 제1 압력 감지부 및 상기 제2 압력 감지부로부터 검출된 신호를 이용하여 제1 유량값을 산출한 후, 상기 제2 유로 측으로 상기 제1 유량값에 대응되는 유체가 토출될 수 있도록 상기 유량제어 밸브의 개폐량을 제어하는 단계; 상기 제3 압력 감지부로부터 검출된 신호를 이용하여 제2 유량값을 산출한 후, 상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값을 실시간 비교하는 단계; 및 상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값에 차이가 발생될 경우, 상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값의 차이에 대응되는 만큼 상기 유량제어 밸브의 개폐량을 보상하여 유체의 토출량을 조절하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 유량제어 밸브를 중심으로 본체의 전 · 후방에 복수개의 유로를 형성하고, 본체의 전방 및 후방에 각각 유체의 압력을 검출하는 복수개의 압력 감지부를 구비하여, 전단압력변동 시 계산된 유량값과 유량제어 밸브를 통하여 실제로 토출되는 유량값의 차이를 계산하고, 이에 따른 유량제어 밸브의 보정값을 생성하여 유량제어 밸브를 제어함으로써, 정확한 유량 측정 및 정밀한 유량 제어가 가능하여 안정적으로 유량 제어 장치의 후방에 연결된 배관에 유체를 공급할 수 있고, 유량 헌팅을 개선하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 유량제어 밸브가 폐쇄된 상태에서 제3 압력 감지부를 통하여 유량 제어 장치의 후단에서의 압력 발생유무를 파악하고, 이를 통해 유량 제어 장치와 연결된 배관 내부에 유체가 남아 있는 지를 명확히 파악 가능하여, 별도의 압력조절수단을 이용하지 않고, 제품의 작동 가능여부를 쉽게 판단 가능하고, 나아가 배관에 잔존 중인 유체의 공급으로 인한 공정의 지연 혹은 제품의 불량 발생확률을 낮출 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 압력식 유량 제어 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압력식 유량 제어 장치를 이용한 유량 제어 방법을 나타낸 순서도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 다양한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 본 명세서에 기재된 실시 예는 다양하게 변형될 수 있다. 특정한 실시예가 도면에서 묘사되고 상세한 설명에서 자세하게 설명될 수 있다. 그러나, 첨부된 도면에 개시된 특정한 실시 예는 다양한 실시 예를 쉽게 이해하도록 하기 위한 것일 뿐이다. 따라서, 첨부된 도면에 개시된 특정 실시 예에 의해 기술적 사상이 제한되는 것은 아니며, 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 균등물 또는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성요소들은 상술한 용어에 의해 한정되지는 않는다. 상술한 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 명세서에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
한편, 본 명세서에서 사용되는 구성요소에 대한 "모듈" 또는 "부"는 적어도 하나의 기능 또는 동작을 수행한다. 그리고, "모듈" 또는 "부"는 하드웨어, 소프트웨어 또는 하드웨어와 소프트웨어의 조합에 의해 기능 또는 동작을 수행할 수 있다. 또한, 특정 하드웨어에서 수행되어야 하거나 적어도 하나의 프로세서에서 수행되는 "모듈" 또는 "부"를 제외한 복수의 "모듈들" 또는 복수의 "부들"은 적어도 하나의 모듈로 통합될 수도 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
그 밖에도, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그에 대한 상세한 설명은 축약하거나 생략한다.
본 발명의 실시예에 따른 압력식 유량 제어 장치(100)(이하 ‘유량 제어 장치(100)’라 함)는 반도체 제조 라인에 있어서 챔버(미도시)에 접속된 복수개의 가스 공급 배관(미도시)에 설치되고, 미리 설정된 제어명령에 따라 유량제어 밸브를 제어함으로써, 복수개의 가스 공급 배관에 공급되는 가스(유체)의 유량을 제어할 수 있다. 또한, 본 유량 제어 장치는 유량제어 밸브의 후단에 압력센서를 위치시켜 유량제어 밸브로부터 토출되는 유체의 압력을 감지하고, 이를 밸브의 선단에 구비된 압력센서로부터 감지된 유체의 압력과 비교하여, 이의 변화량을 비례적으로 유량제어 밸브의 제어에 피드백시켜 유량 헌팅을 개선할 수 있다.
도면을 참조하여 본 유량 제어 장치에 대하여 더 자세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 압력식 유량 제어 장치(100)를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 유량 제어 장치(100)는 본체(110)를 포함한다.
본체(110)는 내측에 유로가 형성된 복수개의 금속성 블록을 체결수단을 통해 서로 조립하여 일체화한 것으로, 본체(110)의 일 측에는 유체가 유입되는 유입구(110a)가 형성되고, 본체(110)의 타 측에는 유체가 배출되는 배출구(110b)가 형성된다. 그리고, 본체(110)의 내측에는 후술할 차압 발생부가 설치되고, 또한 후술할 복수개의 압력 감지부 및 유량제어 밸브(150)와 연통되는 유로가 형성된다. 더 자세하게는, 본체(110)의 내측에는 유입구(110a) 및 유량제어 밸브(150)의 일 측과 연통되는 제1 유로(111), 그리고 배출구(110b) 및 유량제어 밸브(150)의 타 측과 연통되는 제2 유로(112)가 형성된다.
즉, 본 유량 제어 장치(100)는 유량제어 밸브(150)를 통해 외부 가스 공급 배관(미도시)으로 바로 유체를 공급하는 종래의 유량 제어 장치(100)와는 달리, 유량제어 밸브(150)를 중심으로 본체(110)의 후단에 유체의 이동이 가능한 유로를 추가적으로 더 형성하고, 상기 유로에 유량제어 밸브(150)로부터 토출되는 유체의 압력을 검출 가능한 압력 감지부를 더 구비함으로써, 전단압력과 토출되는 후단압력을 비교하고, 이를 통해 유량제어 밸브(150)를 제어하여 유량 헌팅을 개선할 수 있다.
또한, 본 유량 제어 장치(100)는 차압발생부(120)를 포함한다.
차압발생부(120)는 오리피스(orifice) 구조로 형성되고, 제1 유로(111)의 어느 한 지점에 설치되어 유체의 통과 시 차압을 발생시킨다.
더 자세하게는, 차압발생부(120)는 제1 유로(111)의 내경의 크기에 대응되고, 내측에 10 내지 500㎛ 크기의 오리피스가 형성되며, 미리 설정된 두께를 갖는 오리피스 플레이트로 형성되어, 제1 유로(111)의 어느 한 지점에 설치된다. 이에 따라, 차압발생부(120)로 유체가 통과할 경우, 오리피스를 통하여 차압을 발생시킨다.
또한, 본 유량 제어 장치(100)는 복수개의 압력 감지부 및 유량제어 밸브(150)를 포함한다.
복수개의 압력 감지부는 제1 유로(111)에 흐르는 유체의 압력을 감지하는 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)를 포함한다.
제1 압력 감지부(130)는 제1 유로(111)와 연통되도록 본체(110)의 외측에 설치되어 본체(110)의 길이방향을 따라 차압발생부(120)의 전방에 배치된다. 그리고, 제1 압력 감지부(130)는 본체(110)의 일 측에 구비된 유입구(110a)를 통해 제1 유로(111)로 유입되어 차압발생부(120)를 향하여 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출한다.
제2 압력 감지부(140)는 제1 유로(111)와 연통되도록 본체(110)의 외측에 설치되어 본체(110)의 길이방향을 따라 차압발생부(120)의 후방에 배치된다. 그리고, 제2 압력 감지부(140)는 차압발생부(120)를 통과하여 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출한다.
예컨대, 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)는 동일 사양으로 적용되며, 구체적으로는 센서칩과 다이어프램을 내장하는 통상의 압력 센서로 적용될 수 있다. 그러나, 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)는 이에 한정되는 것은 아니며, 동일한 기능을 수행 할 수 있는 범위 내에서 다양한 종류의 센서로 변경되어 적용될 수 있다.
즉, 본 유량 제어 장치(100)는 상술한 복수개의 압력 감지부를 통해 차압발생부(120)의 전 ·후 압력을 검출하고, 이를 미리 설정된 유량 계산식에 적용하여 유량을 연산하고, 후술할 유량제어 밸브(150)를 통해 토출되는 유체의 유량이 상기 연산된 설정 유량이 되도록 유량제어 밸브(150)를 제어한다.
유량제어 밸브(150)는 제1 유로(111) 및 제2 유로(112) 사이에 배치되어 제1 유로(111) 및 제2 유로(112)를 연결하고, 제어부(170)와 전기적으로 연결되어 제어부(170)로부터 전송된 미리 설정된 제어명령에 따라 제1 유로(111)에서 제2 유로(112)로 토출되는 유체의 토출량을 조절한다.
여기서, 유량제어 밸브(150)에는 오리피스(미도시)가 형성될 수 있다.
더 자세하게는, 유량제어 밸브(150)의 내측에는 본체(110)에 형성된 제1 유로(111)와 제2 유로(112)를 서로 연통시키는 밸브유로(미도시)가 형성되고, 밸브유로에는 제어부(170)의 제어명령에 따라 밸브의 일 구간의 개방 정도를 조절하여 밸브유로에 오리피스를 형성하는 개폐수단(미도시)이 구비될 수 있다. 여기서, 개폐수단을 통해 형성되는 오리피스의 크기는 10 내지 500㎛의 크기로 형성될 수 있다.
또한, 유량제어 밸브(150)에는 개폐수단의 움직임을 감지하여 밸브유로의 개폐정도를 검출 가능한 검출수단(미도시)이 더 구비될 수 있다.
예컨대, 유량제어 밸브(150)는 공기압 구동방식의 밸브, 전자 구동방식의 개폐 밸브, 혹은 금속제 다이어프램을 밸브체로하는 압전 구동 소자를 사용한 개폐 밸브 등으로 적용될 수 있다. 그러나, 유량제어 밸브(150)는 이에 한정되는 것은 아니며, 동일한 기능을 구현할 수 있는 다양한 형태의 개폐 밸브로 변경되어 적용될 수 있다.
즉, 본 유량 제어 장치(100)는 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)로부터 검출된 신호를 이용하여 유량값을 산출하고, 이를 비례-적분-미분(proportional-integral-derivative: PID) 알고리즘에 적용하여 유량제어 밸브(150)를 제어함으로써, 유량제어 밸브(150)의 후방(제2 유로(112)) 측으로 설정량의 유체를 토출시킬 수 있다.
또한, 본 유량 제어 장치(100)는 제3 압력 감지부(160)를 포함한다.
제3 압력 감지부(160)는 제2 유로(112)와 연통되도록 본체(110)의 외측에 설치되어 본체(110)의 길이방향을 따라 유량제어 밸브(150)의 후방에 배치된다. 그리고, 제3 압력 감지부(160)는 유량제어 밸브(150)를 통해 제2 유로(112)로 유입되어 배출구(110b) 측으로 이동중인 유체의 압력을 검출한다.
즉, 본 유량 제어 장치(100)는 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)를 통해 검출된 유체의 압력 신호를 이용하여 제1 유량값을 연산하고 이를 통해 유량제어 밸브(150)를 제어하는 것과 함께, 제3 압력 감지부(160)로부터 검출된 신호를 이용하여 제2 유량값을 연산하고, 이를 제1 유량값과 비교하여, 이들의 차이만큼 유량제어 밸브(150)를 보상 제어하여 유량 헌팅을 개선할 수 있다.
예컨대, 제3 압력 감지부(160)는 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)와 동일 사양으로 적용될 수 있다. 그러나, 제3 압력 감지부(160)는 이에 한정되는 것은 아니며, 동일한 기능을 수행 할 수 있는 범위 내에서 다양한 종류의 센서로 변경되어 적용될 수 있다.
여기서, 제2 유로(112)와 연통된 배출구(110b)는 유체의 통과 시 차압을 발생시킬 수 있도록 오리피스 구조로 형성될 수 있다.
즉, 배출구(110b)는 유량제어 밸브(150)를 통해 토출되는 유체의 실제 유량값을 산출하기 위한 수단으로, 차압을 발생시킬 수 있는 오리피스 구조로 형성될 수 있다.
즉, 본 유량 제어 장치(100)는, 제2 유로(112)와 연통되고 오리피스 구조로 형성되어 외부로 배출되는 유체에 차압을 발생시키는 배출구(110b)와, 제2 유로(112)와 연통되어 제2 유로(112)로 유입된 후 일 방향으로 이동하여 배출구(110b)를 통해 본체(110)의 외부로 배출되는 유체의 압력을 검출하는 제3 압력 감지부(160)를 통하여, 유량제어 밸브(150)를 통해 토출되는 실제 유량값을 산출할 수 있다. 그리고, 본 유량 제어 장치(100)는 산출된 실체 유량값과, 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)의 신호를 통해 산출된 유량값을 서로 비교하여, 차이가 발생될 경우 차이값에 해당하는 만큼 유량제어 밸브(150)의 개폐량을 보상하기 위한 보정값을 생성하여 유체의 토출량을 조절할 수 있다.
한편, 차압발생부(120)에 형성된 오리피스(OL1)의 크기는, 유량제어 밸브(150)에 형성된 오리피스(OL2)의 크기 보다 작고, 배출구(110b)에 형성된 오리피스(OL3)의 크기 보다 크게 형성될 수 있다. (OL2 > OL1 > OL3)
더 자세하게는, 오리피스 비율 관계는 정상적인 동작을 위해 필요한 부분으로서, 유량제어 밸브(150)의 오리피스(OL2)는 전체 유량을 제어하기 위해 가장 저항요소가 클 필요가 있다. 따라서, 전단 압력 감지부(제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140))쪽 오리피스, 즉 차압발생부(120)에 형성된 오리피스(OL1)는 저항요소가 클수록 센서 해상도가 올라가게 되지만, 유량제어 밸브(150)의 오리피스(OL2) 보다는 작게 형성된다. 그리고, 배출구(110b)에 형성된 오리피스(OL3)는 단순하게 유량 변동유무와 변화량 등을 체크하기 위한 것으로, 제품 내부에 위치한 오리피스 중에 가장 적은 저항치를 가져야 한다. 따라서, 차압발생부(120)에 형성된 오리피스(OL1)는, 유량제어 밸브(150)에 형성된 오리피스(OL2) 보다 작고, 배출구(110b)에 형성된 오리피스(OL3) 보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 본 유량 제어 장치(100)는 제어부(170)를 포함한다.
제어부(170)는 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)로부터 검출된 신호에 기초하여 유량제어 밸브(150)를 제어한다. 그리고, 제어부(170)는 이와 함께 제3 압력 감지부(160)로부터 검출된 신호를, 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)로부터 검출된 신호와 비교하여 제3 압력 감지부(160)로부터 검출된 신호의 변화량(혹은 변화율)을 산출하고, 이를 유량제어 밸브(150)의 제어에 반영하여 유량제어 밸브(150)를 토출량을 보정한다.
더 자세하게는, 제어부(170)는, 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)로부터 검출된 신호를 미리 설정된 유량 계산식에 반영하여 제1 유량값을 산출한 후, 제2 유로(112) 측으로 제1 유량값에 대응되는 유체가 토출될 수 있도록 유량제어 밸브(150)의 개폐량을 제어한다.
그리고, 제어부(170)는 이와 함께 제3 압력 감지부(160)로부터 검출된 신호를 미리 설정된 유량 계산식에 반영하여 제2 유량값을 산출한 후, 제1 유량값과 제2 유량값을 실시간 비교하고, 제1 유량값과 제2 유량값에 차이가 발생될 경우, 제1 유량값과 제2 유량값의 차이에 대응되는 만큼 유량제어 밸브(150)의 개폐량을 보상하여 유체의 토출량을 조절하여, 유량변동을 감소시킨다.
즉, 일정량의 유량이 유량제어 밸브(150)를 통해 토출되고 있을 때, 제2 유로(112)의 압력은 일정하게 유지된다.
그러나, 제1 압력 감지부(130)의 변동에 의해 검출값이 흔들릴 경우, 제1 압력 감지부(130)의 검출신호 및 제2 압력 감지부(140)의 검출신호로 계산되는 유량값은 각 파트의 지연요소에 의해 짧은 시간동안 실제 유량값을 출력하지 못하게 되고, 이에 따라 검출값이 흔들리는 상태에서 산출된 유량값을 사용하여 PID 제어를 실시할 경우, 유량제어 밸브(150)의 후단으로 토출되는 유량에 오차가 발생한다.
따라서, 본 유량 제어 장치(100)는, 유량제어 밸브(150)를 통해 토출되는 유량의 변동과 일치하는 타이밍에 발생되는 제2 유로(112)의 압력 변동을 제3 압력 감지부(160)의 검출신호를 이용하여 감지하고, 제2 유로(112)의 압력 변화율을 산출하여 이를 유량제어 밸브(150)의 PID 제어에 반영함으로써, 유량변동을 감소시킨다.
예컨대, 제어부(170)는 회로기판(미도시)에 설치된 CPU, 메모리, 입출력 인터페이스, A／D, D／A 컨버터 등을 구비한 컴퓨터나 마이크로컴퓨터 등에 의해
구성되고, 하드웨어 및 소프트웨어의 조합에 의해 실현될 수 있다.
한편, 제어부(170)는 유체가 공급될 배관(200) 내부의 유체 잔존 유무를 판단할 수 있다.
더 자세하게는, 제어부(170)는 유량제어 밸브(150)에 제어명령을 전송하여 유체의 이동을 차단한 후, 제3 압력 감지부(160)의 신호 발생 유무를 확인하여 유체가 공급될 배관(200) 내부의 유체 잔존 유무를 판단할 수 있다.
즉, 본 유량 제어 장치(100)는 유량제어 밸브(150)가 폐쇄된 상태에서 유량 제어 장치(100)의 후단 압력을 체크함으로써, 제품이 원활히 작동할 수 있는 압력조건이 형성되는지 확인할 수 있다. 종래에는 제품 사용시 장치의 전단 압력을 확인하여 사용조건을 만족하는지 확인하였고, 일반적으로 장치의 사용조건에 제시된 압력은 장치의 전후 압력차를 표시하고 있다. 그러나, 실제 사용환경에서는 장치의 후단에 연결된 다른 구성요소들에 의해 실제 장치에 걸리는 전후 압력차를 만족하지 못하는 경우가 빈번히 발생하게 된다. 따라서, 본 유량 제어 장치(100)는 유량제어 밸브(150)가 폐쇄된 상태에서 유량 제어 장치(100)의 후단 압력을 체크함으로써, 상술한 문제점에 대한 정밀한 분석을 가능하게 함은 물론, 배관(200) 내의 잔존 유체의 확인을 가능하게 하여, 배관(200)에 잔존 중인 유체의 공급으로 인한 공정의 지연 혹은 제품의 불량 발생확률을 낮출 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 백 압력식 유량 제어 장치(100)를 이용한 유량 제어 방법(이하 ‘유량 제어 방법’이라 함)에 대하여 설명한다.
참고로, 본 유량 제어 방법을 설명하기 위한 각 구성에 대해서는 설명의 편의상 본 유량 제어 장치(100)를 설명하면서 사용한 도면부호를 동일하게 사용하고, 동일하거나 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 1을 참조하면, 본 유량 제어 방법은 압력식 유량 제어 장치(100)를 통하여 수행된다.
본 유량 제어 방법을 설명하기에 앞서, 압력식 유량 제어 장치(100)는, 반도체 제조 라인에 있어서 챔버(미도시)에 접속된 복수개의 가스 공급 배관 (미도시)에 설치되고, 미리 설정된 제어명령에 따라 유량제어 밸브(150)를 제어함으로써, 복수개의 가스 공급 배관(200)에 공급되는 가스(유체)의 유량을 제어할 수 있다. 또한, 압력식 유량 제어 장치(100)는 유량제어 밸브(150)의 후단에 압력센서를 위치시켜 유량제어 밸브(150)로부터 토출되는 유체의 압력을 감지하고, 이를 밸브의 선단에 구비된 압력센서로부터 감지된 유체의 압력과 비교하여, 이의 변화량을 비례적으로 유량제어 밸브(150)의 제어에 피드백시켜 유량 헌팅을 개선할 수 있다.
더 자세하게는, 압력식 유량 제어 장치(100)는 내측에 제1 유로(111) 및 제2 유로(112)가 형성되는 본체(110), 제1 유로(111)에 설치되어 유체의 통과 시 차압을 발생시키는 차압 발생부, 제1 유로(111)로 유입되어 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제1 압력 감지부(130), 차압발생부(120)를 통과하여 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제2 압력 감지부(140), 제1 유로(111)와 제2 유로(112)를 서로 연결하고 제1 유로(111)에서 제2 유로(112)로 토출되는 유체의 토출량을 조절 가능한 유량제어 밸브(150), 유량제어 밸브(150)를 통해 제2 유로(112)로 유입되어 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제3 압력 감지부(160), 및 제3 압력 감지부(160)로부터 검출된 신호에 기초하여 유량제어 밸브(150)를 제어하는 제어부(170)를 포함한다.
도 1 및 도 2를 참조하여, 본 유량 제어 방법에 대하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압력식 유량 제어 장치(100)를 이용한 유량 제어 방법을 나타낸 순서도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 압력식 유량 제어 장치(100)의 제어부(170)는, 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)로부터 검출된 신호를 미리 설정된 유령 계산식에 반영하여 제1 유량값을 산출한 후, 제2 유로(112) 측으로 제1 유량값에 대응되는 유체가 토출될 수 있도록 유량제어 밸브(150)에 미리 설정된 제어명령을 전달하여 유량제어 밸브(150)의 개폐량을 제어한다(S100).
다음으로, 압력식 유량 제어 장치(100)의 제어부(170)는, 제3 압력 감지부(160)로부터 검출된 신호를 미리 설정된 유량 계산식에 반영하여 제2 유량값을 산출한 후, 제1 유량값과 제2 유량값을 실시간 비교한다(S200).
다음으로, 압력식 유량 제어 장치(100)의 제어부(170)는, 제1 유량값과 제2 유량값에 차이가 발생될 경우, 제1 유량값과 제2 유량값의 차이에 대응되는 만큼 유량제어 밸브(150)의 개폐량을 보상하여 유체의 토출량을 조절한다(S300).
즉, 압력식 유량 제어 장치(100)의 제어부(170)는, 유량제어 밸브(150)를 통해 토출되는 유량의 변동과 일치하는 타이밍에 발생되는 제2 유로(112)의 압력 변동을 제3 압력 감지부(160)의 검출신호를 이용하여 감지하여 연산하고, 연산된 데이터를 제1 압력 감지부(130) 및 제2 압력 감지부(140)로부터 감지되어 연산된 데이터와 비교하여 제2 유로(112)의 압력 변화율을 산출한 후, 이를 유량제어 밸브(150)의 PID 제어에 반영함으로써, 유량제어 밸브(150)의 개폐량을 보상하고, 이를 통해 유체의 토출량을 조절하여 유량변동을 감소시킨다.
이처럼 본 발명의 실시예에 따르면, 유량제어 밸브(150)를 중심으로 본체(110)의 전 · 후방에 복수개의 유로를 형성하고, 본체(110)의 전방 및 후방에 각각 유체의 압력을 검출하는 복수개의 압력 감지부를 구비하여, 전단압력변동 시 계산된 유량값과 유량제어 밸브(150)를 통하여 실제로 토출되는 유량값의 차이를 계산하고, 이에 따른 유량제어 밸브(150)의 보정값을 생성하여 유량제어 밸브(150)를 제어함으로써, 정확한 유량 측정 및 정밀한 유량 제어가 가능하여 안정적으로 유량 제어 장치(100)의 후방에 연결된 배관(200)에 유체를 공급할 수 있고, 유량 헌팅을 개선하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 유량제어 밸브(150)가 폐쇄된 상태에서 제3 압력 감지부(160)를 통하여 유량 제어 장치(100)의 후단에서의 압력 발생유무를 파악하고, 이를 통해 유량 제어 장치(100)와 연결된 배관(200) 내부에 유체가 남아 있는 지를 명확히 파악 가능하여, 별도의 압력조절수단을 이용하지 않고, 제품의 작동 가능여부를 쉽게 판단 가능하고, 나아가 배관(200)에 잔존 중인 유체의 공급으로 인한 공정의 지연 혹은 제품의 불량 발생확률을 낮출 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 될 것이다.
100. 압력식 유량 제어 장치
110. 본체
110a. 유입구
110b. 배출구
111. 제1 유로
112. 제2 유로
120. 차압발생부
130. 제1 압력 감지부
140. 제2 압력 감지부
150. 유량제어 밸브
160. 제3 압력 감지부
170. 제어부
200. 배관

Claims (6)

  1. 일 측에 유체가 유입되는 유입구가 형성되고, 타 측에 유체가 배출되는 배출구가 형성되며, 내측에 상기 유입구와 연통되는 제1 유로 및 상기 배출구와 연통되는 제2 유로가 형성되는 본체;
    상기 제1 유로에 설치되어 유체의 통과 시 차압을 발생시키는 차압 발생부;
    상기 본체에 설치되어 상기 차압발생부의 전방에 배치되고, 상기 유입구를 통해 상기 제1 유로로 유입되어 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제1 압력 감지부;
    상기 본체에 설치되어 상기 차압발생부의 후방에 배치되고, 상기 차압발생부를 통과하여 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제2 압력 감지부;
    상기 제1 유로 및 상기 제2 유로 사이에 배치되어 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로를 연결하고, 미리 설정된 제어명령에 따라 상기 제1 유로에서 상기 제2 유로로 토출되는 유체의 토출량을 조절하는 유량제어 밸브;
    상기 본체에 설치되고, 상기 유량제어 밸브를 통해 상기 제2 유로로 유입되어 상기 배출구 측으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제3 압력 감지부; 및
    상기 제1 압력 감지부, 상기 제2 압력 감지부 및 상기 제3 압력 감지부로부터 검출된 신호에 기초하여 상기 유량제어 밸브를 제어하는 제어부; 를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 제1 압력 감지부 및 상기 제2 압력 감지부로부터 검출된 신호를 이용하여 제1 유량값을 산출한 후, 상기 제2 유로 측으로 상기 제1 유량값에 대응되는 유체가 토출될 수 있도록 상기 유량제어 밸브의 개폐량을 제어하고,
    상기 제3 압력 감지부로부터 검출된 신호를 이용하여 제2 유량값을 산출한 후, 상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값을 실시간 비교하되,
    상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값에 차이가 발생될 경우, 상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값의 차이에 대응되는 만큼 상기 유량제어 밸브의 개폐량을 보상하여 유체의 토출량을 조절하도록 구성되는 압력식 유량 제어 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 배출구는 유체의 통과 시 차압을 발생시키는 오리피스(orifice) 구조로 형성되는 압력식 유량 제어 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 차압발생부 및 상기 유량제어 밸브에는 각각 오리피스가 형성되되,
    상기 차압발생부에 형성된 오리피스의 크기는, 상기 유량제어 밸브에 형성된 오리피스의 크기 보다 작고, 상기 배출구에 형성된 오리피스의 크기 보다 크게 형성되는 압력식 유량 제어 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 유량제어 밸브에 제어명령을 전송하여 유체의 이동을 차단한 후, 상기 제3 압력 감지부의 신호 발생 유무를 확인하여 유체가 공급될 배관 내부의 유체 잔존 유무를 판단 가능한 압력식 유량 제어 장치.
  6. 내측에 제1 유로 및 제2 유로가 형성되는 본체, 상기 제1 유로에 설치되어 유체의 통과 시 차압을 발생시키는 차압 발생부, 상기 제1 유로로 유입되어 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제1 압력 감지부, 상기 차압발생부를 통과하여 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제2 압력 감지부, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 서로 연결하고 상기 제1 유로에서 상기 제2 유로로 토출되는 유체의 토출량을 조절 가능한 유량제어 밸브 상기 유량제어 밸브를 통해 상기 제2 유로로 유입되어 일 방향으로 이동중인 유체의 압력을 검출하는 제3 압력 감지부, 및 상기 제1 압력 감지부, 상기 제2 압력 감지부 및 상기 제3 압력 감지부로부터 검출된 신호에 기초하여 상기 유량제어 밸브를 제어하는 제어부;를 포함하는 압력식 유량 제어 장치를 이용한 유량 제어 방법으로서,
    상기 제1 압력 감지부 및 상기 제2 압력 감지부로부터 검출된 신호를 이용하여 제1 유량값을 산출한 후, 상기 제2 유로 측으로 상기 제1 유량값에 대응되는 유체가 토출될 수 있도록 상기 유량제어 밸브의 개폐량을 제어하는 단계;
    상기 제3 압력 감지부로부터 검출된 신호를 이용하여 제2 유량값을 산출한 후, 상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값을 실시간 비교하는 단계; 및
    상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값에 차이가 발생될 경우, 상기 제1 유량값과 상기 제2 유량값의 차이에 대응되는 만큼 상기 유량제어 밸브의 개폐량을 보상하여 유체의 토출량을 조절하는 단계;
    를 포함하는 압력식 유량 제어 장치를 이용한 유량 제어 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230049268A (ko) * 2021-10-06 2023-04-13 엠케이피 주식회사 유체 제어장치 및 유체 제어방법
CN117148877A (zh) * 2023-11-01 2023-12-01 苏芯物联技术(南京)有限公司 一种高精度管道流量测量控制装置及设计方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004246826A (ja) * 2003-02-17 2004-09-02 Stec Inc マスフローコントローラ
KR20100091901A (ko) * 2009-02-10 2010-08-19 사파스고교 가부시키가이샤 유량 콘트롤러
JP2018018351A (ja) * 2016-07-28 2018-02-01 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置
KR20180059786A (ko) 2015-09-30 2018-06-05 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 질량 유량 제어 장치 및 차압식 유량계의 진단 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004246826A (ja) * 2003-02-17 2004-09-02 Stec Inc マスフローコントローラ
KR20100091901A (ko) * 2009-02-10 2010-08-19 사파스고교 가부시키가이샤 유량 콘트롤러
KR20180059786A (ko) 2015-09-30 2018-06-05 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 질량 유량 제어 장치 및 차압식 유량계의 진단 방법
JP2018018351A (ja) * 2016-07-28 2018-02-01 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230049268A (ko) * 2021-10-06 2023-04-13 엠케이피 주식회사 유체 제어장치 및 유체 제어방법
KR102584401B1 (ko) * 2021-10-06 2023-10-05 엠케이피 주식회사 유체 제어장치 및 유체 제어방법
CN117148877A (zh) * 2023-11-01 2023-12-01 苏芯物联技术(南京)有限公司 一种高精度管道流量测量控制装置及设计方法
CN117148877B (zh) * 2023-11-01 2024-01-02 苏芯物联技术(南京)有限公司 一种高精度管道流量测量控制装置及设计方法

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