KR102171750B1 - 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조 - Google Patents

온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조 Download PDF

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Abstract

본 발명은 질량유량제어기(MFC : Mass Flow mater & Controller)(이하 '유량조절계'라 함)에 관한 것으로서, 주로 반도체, 광섬유, 디스플레이 제작 공정 및 기타 일반 산업분야에서 초박형의 제품 생산시 공정가스가 유량 조절계 내부로 유입된 후 공정가스가 경화되지 않도록 공정가스 온도를 일정하게 유지 제어함과 동시에 유량조절이 가능하도록 함으로서 공정가스가 경화됨에 따른 유로의 막힘현상 및 제품 불량, 유량조절계의 손상등을 방지함과 동시에 유량센서를 시료유도공에 안정적이고 누출없이 관통 결합키 위하여 은이나 니켈 재질의 가스켓에 결합시 압입방식을 채택함으로서 제작공정의 간편 및 편리성과 아웃겟싱(out-gassing)을 원천적으로 방지하고 유량센서의 손상 및 공정가스의 누출 등 문제점을 예방 가능하도록 한 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에 관한 것으로서,
본 발명의 구체적인 해결적 수단은,
"공정가스의 흐름을 위한 유로(100) 양측에 유입부(110)와 배출부(120)가 양측에 결합되며 유량센서(20)가 관통 결합 가능하도록 상기 유로(100)의 상면 소정의 위치에 일정 간격을 두고 각각 천공 형성된 시료유도공(130)이 있고, 유량제어밸브(30)를 안착 결합키 위하여 상면 일측에 결합부(140)을 형성하고 상기 시료유도공(130)과 상기 결합부(140)사이 양측에 각각 히터공(150)이 유로(100) 표면까지 천공 형성된 바디(10)와 복수개가 형성되어 있는 상기 시료유도공(130) 상면에는 상기 유량센서(20)가 관통 결합된 가스켓(60)이 각각 상기 바디(10)내측으로 삽입 구비되고 상기 가스켓(60) 상면 즉, 바디(10) 상면에는 상기 유량센서(20)가 관통되되 내측 중앙 정면에서 배면까지 길게 홀(700)이 형성되어 있는 브라켓(70)을 포함하고, 상기 유량센서(20)사이에는 온도센서(40)가 구비되어 있고 상기 시료유도공(130)과 상기 유량제어밸브(30)사이에 위치하는 상기 히터공(150)에 삽입되어 상기 유로(100)의 표면에 연결되어 있는 히터 카트리지(50); 상기 시료유도공(130)의 상부측에는 양측으로 경사지게 확개된 후 상기 확개된 상태의 끝단부에서 수직으로 확개 관통된 확개공(131)이 형성되어 있는 것을 포함하는 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조와,
상기 확개공(131)에서 양측으로 경사지게 확개되는 각도는 40도로 한정한 것을 포함하는 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조"를 구성적 특징으로 함으로서,
상기와 같이 구성된 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계는 유량 조절계 내부로 유입된 공정가스가 경화되지 않도록 공정가스 온도를 일정하게 유지 제어함과 동시에 유량의 조절이 가능하도록 하며, 유량센서와 가스켓을 동시에 상기 시료유도관에 압입 결합함으로서 아웃겟싱(out-gassing)의 해소와 가스의 누출 및 장기간 사용에 따른 용접 재료의 손상으로 인한 가스의 조건 변화에 따른 제품의 불량률 증가와 유량조절계의 주요부품 손상 등을 원천적으로 해소하고 공정의 간편성을 도모하면서 공정가스가 경화됨에 따른 유로의 막힘현상 및 제품 불량, 유량조절계의 손상을 미연에 방지하고 유량조절계의 측정정확도와 측정정밀도를 향상시킬 수 있다.

Description

온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조{Flow control structure of Mass Flow mater Controller system with simultaneous temperature control and flow control}
본 발명은 질량유량제어기(MFC : Mass Flow mater & Controller)(이하 '유량조절계'라 함)에 관한 것으로서, 주로 반도체, 광섬유, 디스플레이 제작 공정 및 기타 일반 산업분야에서 초박형의 제품 생산시 공정가스가 유량 조절계 내부로 유입된 후 공정가스가 경화되지 않도록 공정가스 온도를 일정하게 유지 제어함과 동시에 유량조절이 가능하도록 함으로서 공정가스가 경화됨에 따른 유로의 막힘현상 및 제품 불량, 유량조절계의 손상등을 방지함과 동시에 유량센서를 시료유도공에 안정적이고 누출없이 관통 결합키 위하여 은이나 니켈 재질의 가스켓에 결합시 압입방식을 채택함으로서 제작공정의 간편 및 편리성과 아웃겟싱(out-gassing)을 원천적으로 방지하고 유량센서의 손상 및 공정가스의 누출 등 문제점을 예방 가능하도록 한 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에 관한 것이다.
일반적으로 질량유량제어기는 각종 유로에 흐르는 유체의 유량을 측정하고 그 측정치에 따라 유체의 유동을 제어하기 위한 것으로, 반도체 산업 등 여러 산업 분야의 전반에 걸쳐 보편적으로 사용되고 있다.
따라서, 본 발명에 있어 종래 기술분야에 대하여는 반도체 분야에 사용되는 것이 일반적인 것이므로 이에 대하여 설명하고자 한다.
일반적으로, 반도체 장치는 사진, 식각, 박막증착, 이온주입, 금속배선 등 복수의 단위공정을 반복적으로 수행함으로서 제조된다.
이와 같은 단위공정들 중 대부분은 그 공정진행을 위해 다양한 종류의 가스들을 사용하고 있다. 즉, 대부분의 단위공정들은 공정이 진행되는 반응챔버(Chamber)와 이 반응챔버 내부로 가스를 공급해 주는 가스공급원을 가스공급배관으로 상호간 연결시킴으로서 공정에 필요한 가스들을 사용하고 있다.
한편, 정확한 공정을 진행하기 위해서는 이와 같이 사용되는 가스들의 정확한 유량제어가 필요하다. 특히, 최근에는 반도체 장치의 집적도가 향상됨에 따라 미세한 공정조건 변경도 반도체 장치에 악영향을 미칠 수 있기 때문에 이와 같은 가스들의 정확한 유량 제어는 매우 중요하다.
따라서, 대부분의 반도체 제조설비에는 이와 같은 가스들의 정확한 유량 제어를 위해 유량조절계가 구비되어 있으며, 상기 유량조절계는 가스공급원과 반응챔버를 연결하는 가스공급배관 상에 설치되어 공정에 필요한 가스들의 유량을 제어하고 있다.
구체적으로 말하면, 유량조절계의 중요 부분은 흐르는 가스의 질량 유량 속도를 측정하는 유량센서로서, 상기 유량센서로부터의 출력신호를 소정의 설정점과 비교하고 가스의 질량 유량 속도를 소정의 설정점에 유지시키기 위해 유량제어밸브를 조절한다.
한편, 상기 유량조절계의 특성은 온도에 따라 민감하며 예를 들어, 가스가 원활하게 흐르지 않을 때, 유량 센서 출력은 온도에 따라 변화할 수 있으며, 유량조절계를 통해 흐르는 가스의 온도 변화 즉, 가스가 유량조절계에 유입 및 유출시 유량이 많을 경우 빠른 유속으로 인해 유량조절계의 특정 부위의 온도 편차가 발생하게 되면 가스가 경화되어 유량조절계의 주요부품의 손상이나 유로의 막힘 현상의 문제점이 있다.
더불어 상기 유량센서를 유로와 연결하여 유로로 부터 유도 유입된 가스의 질량 유량 속도를 측정함에 있어 가스의 누출 등을 방지하기 위하여 유량센서와 시료유도관의 결합을 러버(rubber), 테프론 또는 실리콘 등 금속재질이 아닌 재료로 실링하는 등의 방법을 사용하였으나 이는 가스가 고열이 발생될 경우 상기 실링된 러버, 테프론 등 금속이 아닌 재질로 부터 아웃겟싱(out-gassing)이 발생되며 이로 인하여 다른 성분의 이물질이 발생되어 제품의 손상 및 불량률 증가 및 가스의 조건 변화로 인한 문제점이 있어, 이를 해소하기 위하여 용접등의 방식으로 결합하였으나 이 또한 공정의 복잡성에 따른 불편함과 장기간 사용에 따른 용접 재료의 탈락에 의한 제품의 손상 및 불량률 증가 및 발생되는 가스의 누출 및 용접 재료의 손상으로 인한 가스의 조건 변화에 따른 제품의 불량률 증가와 유량조절계의 주요부품 손상 등의 문제점이 있다.
국내 특허공개 제10-2010-0014635호 국내 특허공개 제10-2007-0112498호 국내 특허공개 제10-2004-0058569호 국내 특허등록 제10-0395657호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서,
유량 조절계 내부로 유입된 공정가스가 경화되지 않도록 공정가스 온도를 일정하게 유지 제어함과 동시에 유량의 조절이 가능하도록 함으로서 공정가스가 경화됨에 따른 유로의 막힘현상 및 제품 불량, 유량조절계의 손상등을 방지키 위한 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조를 제공함에 본 발명의 목적이 있고,
다음, 유량센서와 시료유도관의 결합시 같은 금속계통의 은 또는 니켈 재질의 가스켓을 이용하여 유량센서와 가스켓을 동시에 상기 시료유도관에 압입 결합함으로서 우선적으로 제작 공정의 간편 및 편리성을 도모하고 기존 러버(rubber), 테프론 또는 실리콘 등 금속재질이 아닌 재료로 실링하는 등의 방법에 의해 발생된 아웃겟싱(out-gassing)의 문제점을 원천적으로 해소함과 동시에 용접 방식 결합에 의한 공정의 복잡성에 따른 불편함과 장기간 사용에 따른 용접 재료의 탈락에 의한 제품의 손상 및 불량률 증가 및 발생되는 가스의 누출 및 용접 재료의 손상으로 인한 가스의 조건 변화에 따른 제품의 불량률 증가와 유량조절계의 주요부품 손상 등을 원천적으로 해소하도록 하는 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조를 제공함에 또 다른 목적이 있다.
그러나, 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 구체적인 해결적 수단은,
"공정가스의 흐름을 위한 유로(100) 양측에 유입부(110)와 배출부(120)가 양측에 결합되며 유량센서(20)가 관통 결합 가능하도록 상기 유로(100)의 상면 소정의 위치에 일정 간격을 두고 각각 천공 형성된 시료유도공(130)이 있고, 유량제어밸브(30)를 안착 결합키 위하여 상면 일측에 결합부(140)을 형성하고 상기 시료유도공(130)과 상기 결합부(140)사이 양측에 각각 히터공(150)이 유로(100) 표면까지 천공 형성된 바디(10)와 복수개가 형성되어 있는 상기 시료유도공(130) 상면에는 상기 유량센서(20)가 관통 결합된 가스켓(60)이 각각 상기 바디(10)내측으로 삽입 구비되고 상기 가스켓(60) 상면 즉, 바디(10) 상면에는 상기 유량센서(20)가 관통되되 내측 중앙 정면에서 배면까지 길게 홀(700)이 형성되어 있는 브라켓(70)을 포함하고, 상기 유량센서(20)사이에는 온도센서(40)가 구비되어 있고 상기 시료유도공(130)과 상기 유량제어밸브(30)사이에 위치하는 상기 히터공(150)에 삽입되어 상기 유로(100)의 표면에 연결되어 있는 히터 카트리지(50); 상기 시료유도공(130)의 상부측에는 양측으로 경사지게 확개된 후 상기 확개된 상태의 끝단부에서 수직으로 확개 관통된 확개공(131)이 형성되어 있는 것을 포함하는 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조와,
상기 확개공(131)에서 양측으로 경사지게 확개되는 각도는 40도로 한정한 것을 포함하는 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조"를 그 구성적 특징으로 함으로서 상기 목적을 달성할 수 있다.
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상기와 같이 구성된 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계는 유량 조절계 내부로 유입된 공정가스가 경화되지 않도록 공정가스 온도를 일정하게 유지 제어함과 동시에 유량의 조절이 가능하도록 하며, 유량센서와 가스켓을 동시에 상기 시료유도관에 압입 결합함으로서 아웃겟싱(out-gassing)의 해소와 가스의 누출 및 장기간 사용에 따른 용접 재료의 손상으로 인한 가스의 조건 변화에 따른 제품의 불량률 증가와 유량조절계의 주요부품 손상 등을 원천적으로 해소하고 공정의 간편성을 도모하면서 공정가스가 경화됨에 따른 유로의 막힘현상 및 제품 불량, 유량조절계의 손상을 미연에 방지하고 유량조절계의 측정정확도와 측정정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량조절계와 이를 제어하는 제어부의 개략적인 결합 사시도,
도 2는 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량조절계의 사시도,
도 3은 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량조절밸브와 유량센서가 분리된 상태의 분리 사시도,
도 4는 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량조절계의 정단면도,
도 5는 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량조절계의 요부 사용상태 단면도,
도 6은 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 시료유도공의 내부 상태를 나타낸 확대 단면도,
도 7은 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량센서와 시료유도공의 결합전 분리 단면도,
도 8은 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량센서와 시료유도공의 결합한 상태의 단면도이다.
본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함하며, 명세서 및 청구범위에 사용되는 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않음은 물론, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 점에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다. 따라서, 본 발명의 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아닌바, 본 발명의 출원 시점에 있어서 이를 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 가능하거나 존재할 수 있음을 이해하여야 할 것이다.
또한, 본 발명의 명세서에서 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하 본 발명의 바람직한 일실시 형태를 첨부하는 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량조절계와 이를 제어하는 제어부의 개략적인 결합 사시도,
도 2는 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량조절계의 사시도,
도 3은 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량조절밸브와 유량센서가 분리된 상태의 분리 사시도,
도 4는 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량조절계의 정단면도,
도 5는 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량조절계의 요부 사용상태 단면도,
도 6은 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 시료유도공의 내부 상태를 나타낸 확대 단면도,
도 7은 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량센서와 시료유도공의 결합전 분리 단면도,
도 8은 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조에서 유량센서와 시료유도공의 결합한 상태의 단면도이다.
지시부호 10은 바디를 지시하는 것으로서 상기 바디(10)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 일체로 이루어진 것으로서 내측으로는 공정가스의 흐름을 위한 유로(100)가 구비되어 있고 상기 유로(100)의 상면 소정의 위치에 일정 간격을 두고 각각 천공 형성된 시료유도공(130)이 천공되어 있다.
한편, 유량제어밸브(30)를 안착 결합키 위한 일측 상면에 결합부(140)를 형성하고 있고 상기 시료유도공(130)과 상기 결합부(130)사이 양측에 각각 히터공(150)이 유로(100) 표면까지 천공 형성 구조로 이루어져 있다.
다음, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 공정가스를 상기 유로(100)로 유입시키기 위한 유입부(110) 및 상기 공정가스를 상기 유로(100)로부터 배출하기 위한 배출부(120)가 상기 바디(10)의 양측에 각각 결합되어 있다.
다음, 유량센서(20)는 도 3에 도시된 바와 같이 일자 형태로서 중앙을 기준으로 양측 소정의 간격을 두고 하방향으로 수직 절곡된 형상을 이루며 양측 수직 절곡된 부위는 하기에서 설명하는 브라켓, 가스켓, 상기 시료유도공(130)을 순차적으로 관통 결합하여 상기 유로(100)로 통과하는 공정 가스의 오버 플로우를 채취 유도 유입하여 유입된 공정가스의 유량, 유량속도, 압력 등 유량의 측정 정보 또는 신호를 제어부(C)로 전송하며, 상기 제어부(C)는 유량센서(20)에 의해 측정된 유량의 측정 정보와 기 설정된 기준 유량과 대응하는 기준 정보 또는 신호를 비교하고 상기 측정 정보가 기준 정보와 일치되도록 유량제어밸브(30)의 동작을 제어하되 상기 유량제어밸브(30)는 상기 시료유도공(130)과 상기 배출부(120) 사이 상기 결합부(140)에 안착 결합되어 상기 유로(100)를 통과하는 공정가스의 질량 유량을 조절 및 제어키 위하여 상기 유로(100)과 연결되어 있다.
다음, 도 4에 도시된 바와 같이 복수개가 형성되어 있는 상기 시료유도공(130) 상면에는 상기 유량센서(20)가 관통 결합된 가스켓(60)이 각각 상기 바디(10)내측으로 삽입 구비되어 있다.
그리고, 상기 가스켓(60) 상면 즉, 바디(10) 상면에는 상기 유량센서(20)가 관통되되 내측 중앙 정면에서 배면까지 길게 홀(700)이 형성되어 있는 브라켓(70)이 형성되어 있다.
구체적으로 보면 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 상기 시료유도공(130)의 상부측에는 양측으로 경사지게 확개된 후 상기 확개된 상태의 끝단부에서 수직으로 확개 관통된 확개공(131)을 형성하여 상기 확개공(131)에 상기 가스켓(60) 즉, 유량센서(20)가 관통 결합된 가스켓(60)을 상기 확개공(131)에 상측으로 부터 압입 결합하면 가스켓(60)이 재질 특성상 수축됨과 동시에 상기 확개공(131)내로 긴밀하게 밀착 압입되어 탈락치 아니하게 된다.
바람직하게는 상기 확개공(131)에서 양측으로 경사지게 확개되는 각도는 40도로 한정한 것이 가장 최적의 조건이다.
다음, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상기 유량센서(20)사이에는 온도센서(40)가 구비되어 있고 상기 히터공(150)에 삽입되므로 상기 시료유도공(130)과 상기 유량제어밸브(30)사이에 위치하는 히터 카트리지(50)가 상기 유로(100)의 표면에 연결되어 있는 것이다.
상기 히터 카트리지(50)는 복수개 이상 구비 가능하며, 상기 히터 카트리지(50)는 봉형상으로 이루어진 것이다.
상기와 같은 본 발명의 작동 관계를 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 유입부(110)을 통해 유로(100)로 공정가스가 주입되면 유입된 공정가스의 일부가 오버플로우되어 상기 시료유도공(130)을 통해 유도 유량센서(20)에 의해 공정가스의 유량, 유량속도, 압력 등 유량의 측정 정보 또는 신호를 제어부(C)로 전송하며, 상기 제어부(C)는 유량센서(20)에 의해 측정된 유량의 측정 정보와 기 설정된 기준 유량과 대응하는 기준 정보 또는 신호를 비교하고, 상기 측정 정보가 기준 정보와 일치되도록 유량제어밸브(30)의 동작을 제어하며 동시에 공정가스의 온도 즉, 일정온도 이상시 경화를 방지할 수 있으므로 유입부(110)에서 배출부(120)까지 통과 과정에서 공정가스가 바람직한 일정 온도이상 유지하여야 하므로 이를 유지하고 있는지 여부를 상기 온도센서(40)에 체크함과 동시에 예를들어 일정온도 이하로 내려갈 염려나 가능성이 있을 경우 제어부(C)에 전송 , 제어부(C)에서는 이에 대한 정보를 토대로 히터 카트리지(50)를 발열토록 하여 공정가스의 일정온도를 유지토록 하고 일정온도 이상을 유지시 상기 온도센서(40)는 체크함과 동시에 제어부(C)에 전송, 제어부(C)에서는 이에 대한 정보를 토대로 하여 히터 카트리지(50)의 발열을 제어토록 함으로서 유량조절계(M)에 있어 공정가스가 유로(100)를 따라 통과 할시에는 온도 및 유량의 체크를 통하여 적정한 온도 및 유량을 유지토록 함으로서 공정가스가 경화됨에 따른 유로(100)의 막힘현상 및 제품 불량, 유량조절계의 손상을 미연에 방지하고 유량조절계의 측정정확도와 측정정밀도를 향상시킬 수 있는 것으로서,
상기 확개공(131)에 유량센서(20)이 관통 결합된 가스켓(60)을 결합함에 있어 도 6 및 도 7에 도시된 바와 가티 확개공(131) 보다 상대적으로 가스켓(60)이 큰 상태로서 가스켓(60)을 상기 확개공(131)에 가압 압입하면 가스켓(60)이 내측으로 수축되면서 상기 확개공(131)에 긴밀하게 고정 결합되는 것이며 이때 유량센서(20)의 손상은 전혀없는 것이다.
이와 같이 가스켓(60)이 확개공(131)에 결합 고정된 상태가 도 7에 도시되어 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명인 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계는 유량 조절계 내부로 유입된 공정가스가 경화되지 않도록 공정가스 온도를 일정하게 유지 제어함과 동시에 유량의 조절이 가능하도록 하며, 유량센서와 가스켓을 동시에 상기 시료유도관에 압입 결합함으로서 아웃겟싱(out-gassing)의 해소와 가스의 누출 및 장기간 사용에 따른 용접 재료의 손상으로 인한 가스의 조건 변화에 따른 제품의 불량률 증가와 유량조절계의 주요부품 손상 등을 원천적으로 해소하고 공정의 간편성을 도모하면서 공정가스가 경화됨에 따른 유로의 막힘현상 및 제품 불량, 유량조절계의 손상을 미연에 방지하고 유량조절계의 측정정확도와 측정정밀도를 향상시킬 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않음은 물론이며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 기술적 지식을 가진 자에 의해 상기 기재된 내용으로부터 다양한 수정 및 변형이 가능할 수 있음은 물론이다.
따라서 본 발명에서의 기술적 사상은 아래에 기재되는 청구범위에 의해 파악되어야 하되 이의 균등 또는 등가적 변형 모두 본 발명의 기술적 사상의 범주에 속함은 자명하다 할 것이다.
10 : 바디 20 : 유량센서
30 : 유량제어밸브 40 : 온도센서
50 : 히터 카트리지 60 : 가스켓
70 : 브라켓 100 : 유로
110 : 유입부 120 : 배출부
130 : 시료유도공 131 : 확개공
140 : 결합부 150 : 히터공
700 : 홀 C : 제어부
M : 유량조절계

Claims (3)

  1. 공정가스의 흐름을 위한 유로(100) 양측에 유입부(110)와 배출부(120)가 양측에 결합되며 유량센서(20)가 관통 결합 가능하도록 상기 유로(100)의 상면 소정의 위치에 일정 간격을 두고 각각 천공 형성된 시료유도공(130)이 있고, 유량제어밸브(30)를 안착 결합키 위하여 상면 일측에 결합부(140)을 형성하고 상기 시료유도공(130)과 상기 결합부(140)사이 양측에 각각 히터공(150)이 유로(100) 표면까지 천공 형성된 바디(10)와 복수개가 형성되어 있는 상기 시료유도공(130) 상면에는 상기 유량센서(20)가 관통 결합된 가스켓(60)이 각각 상기 바디(10)내측으로 삽입 구비되고 상기 가스켓(60) 상면 즉, 바디(10) 상면에는 상기 유량센서(20)가 관통되되 내측 중앙 정면에서 배면까지 길게 홀(700)이 형성되어 있는 브라켓(70)을 포함하고,
    상기 유량센서(20)사이에는 온도센서(40)가 구비되어 있고 상기 시료유도공(130)과 상기 유량제어밸브(30)사이에 위치하는 상기 히터공(150)에 삽입되어 상기 유로(100)의 표면에 연결되어 있는 히터 카트리지(50);
    상기 시료유도공(130)의 상부측에는 양측으로 경사지게 확개된 후 상기 확개된 상태의 끝단부에서 수직으로 확개 관통된 확개공(131)이 형성되어 있는 것을 포함하는 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 확개공(131)에서 양측으로 경사지게 확개되는 각도는 40도로 한정한 것을 포함하는 온도제어와 유량조절이 동시에 가능한 유량조절계에 있어서 유량센서의 결합구조.










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