JPH0342706A

JPH0342706A - ガス流量コントローラの異常検出装置

Info

Publication number: JPH0342706A
Application number: JP17830389A
Authority: JP
Inventors: Keigo Tada; 多田　恵悟
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1989-07-11
Filing date: 1989-07-11
Publication date: 1991-02-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概要〕ガス流量コントローラの異常検出装置に係り、特に半導
体製造装置に使用されるガス流量コントローラの異常検
出装置に関し、正しいガス流量検出値に基づいて信頼性を向上しうるガ
ス流量コントローラの異常検出装置を提供することを目
的とし、ガス流路中に設けられた流量調整バルブに前記ガス流路
中のガス流量が一定になるよう制御信号を与えるガス流
量コントローラにおいて、前記流量調整バルブの上流側
に設けられた上流側流量センサと、前記流量調整バルブ
の下流側に設けられた下流側流量センサと、前記上流側
センサおよび下流側センサの出力信号を比較し、その比
較偏差値が所定時間以上ゼロとはならないとき異常検出
信号を出力する異常検出回路と、を備えて構威する。

〔産業上の利用分野〕

本発明はガス流量コントローラ（マスフローコントロー
ラ）の異常検出装置に係り、特に半導体製造装置に使用
されるガス流量コントローラの異常検出装置に関する。

近年のＬＳＩの高密度化に伴なって半導体の高信頼性が
要求され、その半導体製造装置にも高信頼性が要求され
る。半導体の品質を安定させるためには半導体製造装置
に使用される反応ガスの流量を一定に保持する必要があ
る。そのための装置としてガス流量コントローラが設備
されている。

さらに高信頼性を保つために、当該ガス流量コントロー
ラの異常検出装置が付設され、常時監視する構成となっ
ている。本発明はかかるガス流量コントローラの異常検
出装置の改良に関するものである。

〔従来の技術〕

従来のガス流量コントローラはポテンショメータ等の設
定器により設定されたガス流量設定値と、実際のガス流
路に流れる実流量検出値とを比較し、その偏差値がゼロ
となるように修正フィードバック制御を行なっている。

かかるガス流量コントローラにはさらに安全性を高める
ため、偏差値が所定時間以上継続してゼロにならなかっ
た場合に異常検出信号を出力する異常検出装置が付設さ
れている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、従来の検出装置の場合、ガス流量センサが一つ
であり、そのドリフト誤差を検出する手段もなかったた
め、ドリフト誤差によりガス流量センサの出力電圧のゼ
ロ点がずれていた場合にはこの誤った出力電圧により制
御を行うこととなり、誤った制御になることがあった。

そこで、本発明は正しいガス流量検出値に基づいて信頼
性を向上しうるガス流量コントローラの異常検出装置を
提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、本発明は、ガス流路（１）
中に設けられた流量調整バルブ（２）に前記ガス流路中
のガス流量が一定になるよう制御信号を与えるガス流量
コントローラにおいて、前記流量調整バルブ（２）の上
流側に設けられた上流側流量センサ（５）と、前記流量
調整バルブ（２）の下流側に設けられた下流側流量セン
サ（６）と、前記上流側センサ（５）および下流側セン
サ（６）の出力信号（Ｖ　　　、Ｖ　　　）を比０ＵＴ
Ｉ　　　０ＵＴ２較し、その比較偏差値が所定時間以上ゼロとはならない
とき異常検出信号（Ｖ８）を出力する異常検出回路（↑
１）とを備えて構成する。

〔作用〕

本発明によれば、流量調整バルブ（２）の上流側と下流
側の双方に流量センサ（５，６）を設けたので、２つの
位置からの流量検出信号が得られる。これらの流量検出
信号（Ｖ　　　、Ｖ　　　）は０ＵＴＩ　　　０ＵＴ２本来同じ値のはずである。この２つの流量検出信号（■
　　、■　　）は異常検出回路（１１）に０ＵＴＩ　　
　０ＵＴ２人力される。異常検出回路（１１）は上流側および下流
側の２つの検出値を比較し、両者の差がゼロにならない
状態が所定時間以上継続した場合に異常検出信号（■Ｅ
）を出力する。その結果、流量センサの異常が検出され
る。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

図に本発明の実施例を示す。図において、ガス配管等の
ガス流路１には当該ガス流路１のガス流量を調節するた
めの流量調節バルブ２が設けられている。この流量調節
バルブ２は後述する流量コントローラによりガス流量が
一定になるよう開閉制御される。

流量コントローラはガス流路１における流量調節バルブ
２の上流側のバイパス路３に設けられた流量センサ（以
下、第１流量センサという。）５と流量調節バルブ２の
下流側のバイパス路４に設けられた流量センサ（以下、
第２流量センサという。）６と第１流量の検出値を取出
すためのブリッジ回路７と、第２流量センサ６の検出値
を取出すためのブリッジ回路８と、ブリッジ回路７の検
出値を増幅する増幅回路９と、ブリッジ回路８の検出値
を増幅する増幅回路１０と、増幅回路９の出力電圧■　
　と増幅回路１０の出力電圧■。ＵＴ２ＵＴＩＯＵＴＩ　　　　　　０ＵＴ２）　力ゞゼ　０とを比較
し、その偏差（Ｖ　　　−Ｖでない時間が所定時間以上継続した場合に異常検出信号
ＶＥを出力する異常検出回路１１と、増幅回路９の■　
　と設定電圧■３とを比較しその偏ＵＴＩ差をゼロにする弁開度信号を流量調節バルブ２に出力す
る比較・制御回路１２とを備えている。

次に動作を説明する。

まず、正常時においては、第１流量センサ５からのＶ　
　がブリッジ回路７、増幅回路９を介しＯＵＴＩて比較・制御回路１２に入力される。比較・制御回路１
２には設定値■、が入力され、比較・制御回路１２では
設定値Ｖ　とＶ　　との比較を行なＳ　　　　　　０Ｕ
ＴＩい、その偏差がゼロになるまで流量調節バルブ２を制御
する。このフィードバック制御によってガス流路↓のガ
ス流量は常に一定に制御されている。

一方、■　　は異常検出回路１１にも入力されＯＵＴＩており、異常検出回路１１にはバイパス路４からの■　
　が入力されている。異常検出回路１１はＵＴ２ ■　　とＶ　　とを比較し、その偏差が所定時間０ＵＴ
Ｉ　　　０ＵＴ２以上ゼロとならない場合に■８を出力する。この偏差が
所定時間以上ゼロにならないということは、本来Ｖ　　
と■　　とは同じ値であるはずのもの０１ｌＴ１　　０
υＴ２が一致していないことを意味し、したがってバイパス路
３またはバイパス路４のいずれかのゼロレベルがずれて
いることであるから、半導体製造上の信頼性を損うもの
である。そこで、本実施例のように、■８を出力するこ
とにより、誤差を発見することができ信頼性の向上に質
することができる。

〔発明の効果〕

以上の通り、本発明によれば、流量センサ自体の異常を
検出することができるので、半導体プロセスの信頼性を
向上できる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すプロト・・ガス流路２・・・流量調節バルブ３・・・バイパス路４・・・バイパス路５・・・第１流量センサ６・・・第２流量センサ１１・・・異常検出回路 ■　　・・・出力電圧ＯＵＴＩ ■　　・・・出力電圧ＵＴ２ ■Ｅ・・・異常検出信号ツク図である。１ガス流路本発明の実施１例を示すブロック図

Claims

【特許請求の範囲】ガス流路（１）中に設けられた流量調整バルブ（２）に
前記ガス流路（１）中のガス流量が一定になるよう制御
信号を与えるガス流量コントローラにおいて、前記流量調整バルブ（２）の上流側に設けられた上流側
流量センサ（５）と、前記流量調整バルブ（２）の下流側に設けられた下流側
流量センサ（６）と、前記上流側センサ（５）および下流側センサ（６）の出
力信号（Ｖ＿Ｏ＿Ｕ＿Ｔ＿１、Ｖ＿Ｏ＿Ｕ＿Ｔ＿２）を
比較し、その比較偏差値が所定時間以上ゼロとはならな
いとき異常検出信号（Ｖ＿Ｅ）を出力する異常検出回路
（１１）と、を備えたことを特徴とするガス流量コントローラの以上
検出装置。