JPH06324741A - 空気流量制御装置 - Google Patents

空気流量制御装置

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JPH06324741A
JPH06324741A JP11185593A JP11185593A JPH06324741A JP H06324741 A JPH06324741 A JP H06324741A JP 11185593 A JP11185593 A JP 11185593A JP 11185593 A JP11185593 A JP 11185593A JP H06324741 A JPH06324741 A JP H06324741A
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JP
Japan
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flow path
flow rate
pressure
sub
air
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JP11185593A
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English (en)
Inventor
Seiji Muramatsu
成治 村松
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 変動抵抗を有する主流路と、主流路に並列に
設けられた副流路とを流れる空気の総流量を、簡単な構
成で一定に制御する。 【構成】 流路1を主流路2と副流路3とに分岐し、主
流路2に第1の電空レギュレータ21及び粉体タンク5
を設け、副流路3に第2の電空レギュレータ22を設
け、主流路2及び副流路3の合流点下流側に圧力センサ
23を設け、圧力センサ23が検知した圧力値が所定値
となるように、第2の電空レギュレータ22により副流
路3を流れる空気の流量を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、変動抵抗を有する流路
内に空気源から供給された空気の排出流量を一定に制御
する空気流量制御装置に係り、特に粉体噴射加工装置に
おける粉体の空気輸送の流量を制御するのに好適な空気
流量制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】粉体噴射加工装置などにおいて、粉体を
空気輸送するときの流量の管理方法としては、流量計で
検出した流量に対応して流路に設けられたバルブを制御
する方法がある。しかしこの方法によると、構成が複雑
となりコスト高になるという問題があった。このため従
来から安価で操作が簡単なレギュレータや電空レギュレ
ータを用いて、流路内の圧力を一定にする方法が取られ
ることが多い。このような装置において、粉体の輸送力
を一定に保ち、高圧エアー消費量を少なくするために、
総流量を一定に保つことが必要となる場合がある。しか
しながら流路内の圧力を一定に保っても、それ以降の流
路の抵抗が変化すると流量も変化してしまう。
【0003】例えば図9に示すように構成された粉体噴
射加工装置の場合、空気源から流路1に供給された高圧
空気は主流路2及び副流路3に分岐される。主流路2に
は電空レギュレータ4及び粉体タンク5が直列に設けら
れており、副流路3には手動で開度を調整するレギュレ
ータ6が設けられている。またレギュレータ6には圧力
計7が取り付けられており、主流路2及び副流路3の下
流側の合流点にはミキサ8が設けられている。また合流
点より下流側の流路9の先端にはノズル10が取り付け
られている。
【0004】上記のように構成された粉体噴射加工装置
において、主流路2に供給された空気は電空レギュレー
タ4により所定の圧力Poに制御され、空気流量が調整
されて粉体タンク5からでる粉体の量を制御している。
粉体が混合された空気は流路3から供給された空気とミ
キサ8により攪拌され、流路9を通ってノズル10から
噴射される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図9に示す粉体噴射加
工装置において、粉体タンク5から出る粉体の量を制御
するため、副流路3に設けられたレギュレータ6を一定
の圧力Pに設定すると、主流路2を通る空気の流量が変
動し、合流点より下流の流路9を流れる総流量も変動し
て、ノズル10から噴射する粉体が混合された空気の噴
射速度が変化してしまうという問題があった。この場
合、流路1にレギュレータ6を設置しても、レギュレー
タ6より下流側の抵抗が変化するため流量が変化してし
まう。また流路9にレギュレータ6を設置すると、主流
路2から運ばれてくる粉体がレギュレータ6のバルブ内
に入り、故障の原因となり望ましくない。
【0006】また図10に示すように、副流路3にレギ
ュレータ6を設けず、主流路2に変動抵抗11を設け、
流路1に流量検知部とバルブとを有する流量制御手段1
2を設けることにより、流量制御を行なうことは可能で
ある。しかし、例えば変動抵抗11を流れる空気の必要
流量が増加して変動抵抗11の抵抗が減少すると、主流
路2を流れる空気の流量が増加し、副流路3を流れる空
気の流量が減少する。このとき副流路3にはバルブがな
く管路抵抗は一定であるため、副流路3を流れる空気の
量を減少させるためには、流量制御装置12のバルブ開
度を減少させ、副流路3にかかる差圧を減少させなけれ
ばならない。この結果、変動抵抗11は副流路3と並列
に配置されているため、変動抵抗11に加わる差圧も減
少し、ここを通る空気の流量も減少してしまう。従って
流路9から排出される空気の総流量が安定しにくくな
り、また変動抵抗11の流量可変域も小さくなる。
【0007】図11は、図10に示す流量制御装置12
を主流路2と副主流路3の合流点より下流側の流路9に
設けた場合であるが、この場合も図10に示す場合と同
様の問題がある。
【0008】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たもので、変動抵抗を有する主流路と、主流路に並列に
設けられた副流路とを流れる空気の総流量を、一定に制
御することができる簡単な構成の空気流量制御装置を提
供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載の空気流量制御装置は、変動抵抗と
しての粉体タンク5を有する流路内に空気源から供給さ
れた空気の排出流量を一定に制御する空気流量制御装置
において、粉体タンク5を有する少なくとも1本の主流
路2に並列に設けられた副手流路3と、主流路2及び副
流路3の合流点下流側に設けられた圧力検知手段として
の圧力センサ23と、副流路3に設けられ、圧力センサ
23が検出した圧力値が所定値となるように流量を制御
する流量制御手段としての電空レギュレータ22とを備
えることを特徴とする。
【0010】請求項2に記載の空気流量制御装置は、流
量制御手段は、副流路3を開閉するバルブ31を有する
電空レギュレータ22であることを特徴とする。
【0011】請求項3に記載の空気流量制御装置は、圧
力センサ23が設けられた合流下流側に、圧力を一定に
維持する圧力維持手段としての流路9及びノズル10を
設けたことを特徴とする。
【0012】請求項4に記載の空気流量制御装置は、粉
体タンク5を有する流路内に空気源から供給された空気
の排出流量を一定に制御する空気流量制御装置におい
て、粉体タンク5を有する少なくとも1本の主流路2に
並列に設けられた副流路3と、主流路2及び副流路3の
合流点上流側に設けられた圧力センサ23と、副流路3
に設けられ、圧力センサ23が検知した圧力値が所定値
となるように流量を制御する電空レギュレータ22とを
備えることを特徴とする。
【0013】請求項5に記載の空気流量制御装置は、流
量制御手段は、副流路3を開閉するバルブ31を有する
電空レギュレータ22であることを特徴とする。
【0014】請求項6に記載の空気流量制御装置は、圧
力センサ23が設けられた合流点上流側に、圧力を一定
に維持する圧力維持手段としての精密レギュレータ41
及び固定抵抗42を設けたことを特徴とする。
【0015】
【作用】請求項1乃至3に記載の流量制御装置において
は、主流路2に設けられた粉体タンク5を通過する空気
に対する抵抗が変化しても、副流路3との合流点下流側
の抵抗が一定の流路9に設けられた圧力センサが検知し
た圧力が所定の一定値となるように、副流路3に設けら
れた電空レギュレータのバルブをフィードバック制御す
ることにより、流路9から排出される粉体が混合された
空気の総流量を一定とすることができる。
【0016】請求項4乃至6に記載の流量制御装置にお
いては、主流路2に設けられた粉体タンク5を通過する
空気に対する抵抗が変化しても、副流路3との合流点上
流側の精密レギュレータ及び固定抵抗によって圧力が一
定に維持された流路1に圧力センサを設けて、圧力セン
サが検知した圧力が所定の一定値となるように、副流路
3に設けられた電空レギュレータのバルブをフィードバ
ック制御することにより流路9から排出される粉体が混
合された空気の総流量を一定とすることができる。この
とき流路9の出口圧力が任意の圧力となり、また精密レ
ギュレータや圧力センサなどが合流点より上流側にある
ため、粉体による破損などの発生を防止することができ
る。
【0017】
【実施例】以下、本発明の空気流量制御装置の実施例を
図面を参照して説明する。なお、以下に示す各図におい
て、図9に示す従来例の部分と対応する部分には同一の
符号を付してあり、その説明は適宜省略する。
【0018】図1乃至図3に第1の発明の一実施例の構
成を示す。図1において、流路1の上流側には図示しな
い高圧空気源が接続されており、下流側は主流路2と副
流路3に分岐されている。また主流路2と副流路3との
下流側は1本の流路9に合流接続されている。また主流
路2には図2に示す第1の電空レギュレータ21と粉体
タンク5とが直列に設けられており、副流路3には図3
に示す第2の電空レギュレータ22が設けられている。
さらに流路9には圧力センサ23が設けられている。
【0019】第1の電空レギュレータ21は図2に示す
ように、主流路2に設けられたバルブ31及び圧力セン
サ32と、制御部33とから構成されており、制御部3
3のゲインプラス側には所定の指示圧力Poの信号が入
力され、ゲインマイナス側には圧力センサ32が検知し
た検知圧力のP1の信号が入力される。そして制御部3
3によって指示圧力Poと検知圧力P1とが等しくなる
ように、バルブ31の開度が調整されるようになってい
る。
【0020】第2の電空レギュレータ22もほぼ第1の
電空レギュレータ21と同様の構成であるが、図3に示
すように制御部33のゲインマイナス側には、流路9に
設けられた圧力センサ23が検知した検知圧力P2の信
号が入力される。
【0021】次に本実施例の作用を説明する。流路9の
先端に設けられたノズル10は大気に連通しているの
で、ノズル10の外側の圧力は一定である。また流路9
には可変部がないため、流路9の抵抗はその管路抵抗に
よって決まり変化しない。従って粉体タンク5から供給
される粉体の供給量が一定であれば、圧力センサ23が
検知する圧力P2の値は流路9を流れる空気の流量には
ほぼ比例して決まる。この結果主流路2を通る空気の流
量が変動しても、圧力P2を一定に保つように第2の電
空レギュレータ22をフィードバック制御することによ
り、流路1,9を流れるそれぞれの空気総量は一定に保
たれる。
【0022】図4及び図5に第2の発明の一実施例の構
成を示す。本実施例は図4に示すように流路1の上流側
から順次精密レギュレータ41及び固定抵抗42を設
け、固定抵抗42の下流側の流路1に圧力センサ23を
設けて構成したものである。他の部分の構成は図1に示
す実施例の場合とほぼ同様である。ただし図5に示すよ
うに、圧力センサ23が検知した検知圧力P2の信号
は、第2の電空レギュレータ22の制御部33のゲイン
プラス側に入力され、所定の指示圧力Poの信号はゲイ
ンマイナス側に入力される。なお、図4に示す符号43
は精密レギュレータ31に設けられた圧力計である。
【0023】本実施例においては、精密レギュレータ4
1と圧力センサ23との間の流路1の抵抗は一定であ
り、流量にほぼ比例した圧損が生じるので、圧力センサ
23が検知する圧力P2は流量によって定まり、流量が
多い程低くなる。また本実施例では精密レギュレータ4
1によって決められる圧力Pが基準となるため、流路9
の出口圧力は任意でよい。さらに粉体が流れる粉体タン
ク5の下流側の流路2,9に圧力センサ23などがない
ため、検知する圧力が粉体に影響されることはなく、粉
体による破損の発生などを防止することができる。
【0024】上記各実施例によれば、バルブ31を有す
る第2の電空レギュレータ22が副流路3に設けられて
おり、粉体タンク5が設けられた主流路2における流量
が増えると、バルブ31の開度を減少させて副流路3の
流量を減少させるように制御される。従って副流路3の
流路抵抗は増加するが流量が減少するため差圧の変化は
少なく、副流路3に並列に設けられた主流路2の粉体タ
ンク5にかかる差圧の変動も少なくなる。従って流路9
から排出される総流量がほぼ一定となり、粉体タンク5
の変動抵抗流量の可変域を広くすることもできる。
【0025】上記各実施例では変動抵抗が粉体タンク5
である場合について説明したが、変動抵抗は粉体タンク
5に限定されるものではなく、図6,7に示すように他
の装置における変動抵抗51であってもよい。なお、図
6,7はそれぞれ図1,4に対応するものであり、粉体
タンク5及び電空レギュレータ21の代わりに他の変動
抵抗51が主流路2に設けられた場合を示す。
【0026】また変動抵抗51は1個に限定されず、複
数の場合は図8に示すように、流路1から複数に分岐さ
れ並列に配置された主流路2nにそれぞれ変動抵抗51
nを設けてもよい。この場合副流路3も主流路2nに並
列に配置されることは言うまでもない。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1乃至3に
記載の空気流量制御装置によれば、変動抵抗を有する主
流路に並列に副流路を設け、主流路及び副流路の合流点
下流側に圧力検知手段を設け、副流路に圧力検知手段が
検知した信号によってフィードバック制御される流量制
御手段を設けて、副流路の圧力を所定値になるようにし
たので、変動抵抗により主流路の流量が変化しても、簡
単な構成により総流量を一定に制御することができる。
また、請求項4乃至6に記載の空気流量制御装置によれ
ば、前記圧力検知手段を前記合流点上流側に設けたの
で、前記の場合と同様の効果が得られるとともに、変動
抵抗から発生するダストなどにより圧力検知手段などの
故障の発生を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の空気流量制御装置の第1の発明の一実
施例の構成を示すブロック図である。
【図2】図1の第1の電空レギュレータの構成を示す説
明図である。
【図3】図1の第2の電空レギュレータの構成を示す説
明図である。
【図4】本発明の空気流量制御装置の第2の発明の一実
施例の構成を示すブロック図である。
【図5】図4の第2の電空レギュレータの構成を示す説
明図である。
【図6】本発明の空気流量制御装置の第1の発明の他の
実施例の構成を示すブロック図である。
【図7】本発明の空気流量制御装置の第2の発明の他の
実施例の構成を示すブロック図である。
【図8】図6及び図7に示す実施例における変動抵抗が
複数個ある場合の構成を示すブロック図である。
【図9】従来の空気流量制御装置の一例の構成を示すブ
ロック図である。
【図10】従来の空気流量制御装置の他の一例の構成を
示すブロック図である。
【図11】従来の空気流量制御装置の別の一例の構成を
示すブロック図である。
【符号の説明】
1,9 流路 2 主流路 3 副流路 5 粉体タンク(変動抵抗) 10 ノズル(圧力維持手段) 22 電空レギュレータ(流量制御手段) 23 圧力センサ(圧力検知手段) 31 バルブ 41 精密レギュレータ(圧力維持手段) 42 固定抵抗(圧力維持手段)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 変動抵抗を有する流路内に空気源から供
    給された空気の排出量を一定に制御する空気流量制御装
    置において、 前記変動抵抗を有する少なくとも1本の主流路に並列に
    設けられた副流路と、 前記主流路及び副流路の合流点下流側に設けられた圧力
    検知手段と、 前記副流路に設けられ、前記圧力検知手段が検知した圧
    力値が所定値となるように流量を制御する流量制御手段
    とを備えることを特徴とする空気流量制御装置。
  2. 【請求項2】 前記流量制御手段は、前記副流路を開閉
    するバルブを有する電空レギュレータであることを特徴
    とする請求項1記載の空気流量制御装置。
  3. 【請求項3】 前記圧力検知手段が設けられた前記合流
    点下流側に、圧力を一定に維持する圧力維持手段を設け
    たことを特徴とする請求項1または2記載の空気流量制
    御装置。
  4. 【請求項4】 変動抵抗を有する流路内に空気源から供
    給された空気の排出流量を一定に制御する空気流量制御
    装置において、 前記変動抵抗を有する少なくとも1本の主流路に並列に
    設けられた副流路と、 前記主流路及び副流路の合流点上流側に設けられた圧力
    検知手段と、 前記副流路に設けられ、前記圧力検知手段が検知した圧
    力値が所定値となるように流量を制御する流量制御手段
    とを備えることを特徴とする空気流量制御装置。
  5. 【請求項5】 前記流量制御手段は、前記副流路を開閉
    するバルブを有する電空レギュレータであることを特徴
    とする請求項4記載の空気流量制御装置。
  6. 【請求項6】 前記圧力検知手段が設けられた前記合流
    点上流側に、圧力を一定に維持する圧力維持手段を設け
    たことを特徴とする請求項4または5記載の空気流量制
    御装置。
JP11185593A 1993-05-13 1993-05-13 空気流量制御装置 Withdrawn JPH06324741A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09248762A (ja) * 1996-03-08 1997-09-22 Honda Motor Co Ltd 歯車の高強度化装置
JP2009166205A (ja) * 2008-01-18 2009-07-30 Hitachi Plant Technologies Ltd ブラスト装置及びその運転方法
JP5803918B2 (ja) * 2010-07-27 2015-11-04 新東工業株式会社 ショットピーニング装置
CN111359062A (zh) * 2020-03-14 2020-07-03 深圳市龙岗中心医院 一种智能雾化系统及其控制方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09248762A (ja) * 1996-03-08 1997-09-22 Honda Motor Co Ltd 歯車の高強度化装置
JP2009166205A (ja) * 2008-01-18 2009-07-30 Hitachi Plant Technologies Ltd ブラスト装置及びその運転方法
JP5803918B2 (ja) * 2010-07-27 2015-11-04 新東工業株式会社 ショットピーニング装置
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