JP3604060B2 - 希釈用ガス流量制御装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、エンジンからの排気ガスの一部を希釈用ガスによって希釈するようにした部分採取による部分希釈方式のガス希釈システムにおける希釈用ガス流量制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
自動車のディーゼルエンジンなどから排出されるガス中に含まれるすすなどの微粒子状物質(Particulate Matter、PMと略称する)の測定に必要なガス希釈システムとして、近年、排気ガスを全量採取しこれを全量希釈する従来からのフルダイリューションシステムに代わって、流量制御および排ガスの部分採取を行うところの部分希釈方式の小規模な希釈システムが採用されてきている。この部分採取による部分希釈方式のガス希釈システムは、希釈後の排気ガスを一定流量に維持しながら、排気ガスを希釈するための希釈用ガス(例えば空気)の流量を制御することにより、これらの流量の差として得られる排気ガスの採取流量を制御するシステムである。
【0003】
図5は、上記部分採取による部分希釈方式のガス希釈システムの一例を示すもので、この図において、1は例えば自動車に搭載されるディーゼルエンジン、2はこれに連なる排気管である。3は排気管2に挿入接続され、排気管2中を流れる排気ガスGをサンプリングするためのプローブで、その下流側はサンプリングされた排気ガスGを希釈する希釈トンネル4に接続されている。5はこの希釈トンネル4の上流側に接続される希釈用空気Aの供給路で、図6に示すような希釈用ガス流量制御装置6が設けられている。
【0004】
すなわち、図6において、7は流路8に設けられる例えば回転数制御によって吸引能力を変えることができるルーツブロアポンプで、インバータ(周波数変換器)9によって制御される。10は測定精度の高い差圧流量計としてのベンチュリ流量計で、その近傍には流路8を流れる空気の圧力を検出する圧力センサ11、差圧センサ12および温度センサ13が設けられている。14は前記センサ10〜13の検出出力に基づいて流路8を流れる空気Aの流量(実流量)を演算する流量演算ユニットである。15は流量演算ユニットにおいて得られた空気の実流量と予め設定される流量とを比較し、所定の制御信号をインバータ9に出力する比較制御回路である。
【0005】
16は希釈トンネル4の下流側に接続され、希釈されたサンプルガスSが流れるガス流路で、この流路16の下流側は二つの流路17,18に分岐し、それぞれの流路17,18にサンプルガス中に含まれるPMを捕集するためのフィルタ19,20および絞り量(圧損)を可変できるコントロールバルブ21,22を設けて、一方の流路17は定常時の排気ガスを流すためのサンプルガス流路に、また、他方の流路18は非定常時の排気ガスを流すためのバイパス流路にそれぞれ構成されている。
【0006】
23は前記サンプルガス流路17、バイパス流路18の下流側に設けられる流路切換え手段としての三方電磁弁で、そのポート23aがサンプルガス流路17に、ポート23bがバイパス流路18にそれぞれ接続されるとともに、ポート23cは三方電磁弁23の下流側のガス流路24に接続されている。
【0007】
そして、前記ガス流路24には、回転数制御によって吸引能力を変えることができる吸引ポンプ、例えばルーツブロアポンプ25と、測定精度の高い差圧流量計、例えばベンチュリ流量計26とがこの順に設けられている。そして、27はガス流路24を流れるガスの圧力を検出する圧力センサ、28は差圧センサ、29は温度センサである。
【0008】
また、30はルーツブロアポンプ25を制御するインバータ(周波数変換器)であり、31は装置全体を制御する流量制御ユニットである。この流量制御ユニット31は、コントロールバルブ21,22やインバータ30に指令を出力したり、前記センサ27〜29からの検出出力が入力される。
【0009】
而して、上記ガスサンプルシステムにおいて、希釈用ガス流量制御装置6における比較制御回路15からインバータ9に指令値が出力され、この指令値に基づいて流路8に設けたルーツブロアポンプ7が制御されることにより、希釈トンネル4に対して所定流量の希釈用空気が供給される一方、流量制御ユニット31に設けたPIDコントローラ(図示していない)によって出力される指令値をインバータ30に出力し、この指令に基づいてインバータ30から出力される指令値に基づいてルーツブロアポンプ25が制御されることにより、ガス流路16、18、24を流れるサンプルガス流量Sが常に所定の流量になるように制御され、これによって、排気ガスの採取流量が制御される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構成の従来の希釈用ガス流量制御装置6においては、ポンプ7とベンチュリ流量計10とを互いに直列にして設けていたため、次のような不都合があった。すなわち、空気流量の計測手段としてのベンチュリ流量計10は、そのフルスケール近傍の流量域においては、約±0.1〜0.2%といった高い流量測定精度を有しているが、空気流量の制御手段としてのポンプ7は、その回転によって流量を変化させるものであり、ポンプ固有の慣性のために、流量制御応答速度は、0.5秒〜1秒程度が限界であった。
【0011】
ところが、上記希釈用ガス流量制御装置6においては、仮りにポンプ7を、ピエゾバルブとその上流側の加圧空気源とに置き換え、ピエゾバルブの高速応答特性を用いることを狙ったとしても、比較的大流量を制御するため、ピエゾバルブが大型になるか、あるいは、ピエゾバルブの内部オリフィスが大径となるため、応答に遅れが生じてしまい、上記ベンチュリ流量計10とポンプとの組合せの場合のいずれの場合も制御遅れが生じてしまう。このため、エンジン排気ガスのトランジェント計測に必要な流量制御の高速応答性および高精度性に欠ける憾みがあった。
【0012】
また、上記希釈用ガス流量制御装置6においては、次のような問題点もあった。すなわち、エンジン1からの排気ガスGの採取流量を制御するには、希釈用空気Aの流量を制御する必要があるが、この場合、希釈用空気Aの流量ゼロから最大流量まで制御するのではなく、実際には、希釈用空気Aの最大流量の約70%〜100%の流量領域において流量制御すればよい。つまり、希釈用空気Aの最大流量からその70%程度までは常に一定となるようにしておき、最大流量の70%〜最大流量までの範囲の変動する部分を制御すればよいが、上記希釈用ガス流量制御装置6においては、希釈用空気Aの流量ゼロから最大流量まで制御していたため、高速応答性に欠けていた。
【0013】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、エンジンからの排気ガスの一部を空気など希釈用ガスによって希釈するようにしたいわゆる部分採取による部分希釈方式において用いる希釈用ガスを、比較的大流量でありながらも、高速応答かつ高精度に制御することができる希釈用ガス流量制御装置を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明では、エンジンからの排気ガスの一部を希釈用ガスによって希釈するようにした部分採取による部分希釈方式のガス希釈システムにおいて、前記排気ガスの流量変動に関係なく一定流量の希釈用ガスを流す第1の流路と、希釈用ガスの流量を制御するためのピエゾバルブを備え、前記排気ガスの流量変動に応じて流量を調整して流す第2の流路とを並列に設けるとともに、前記両流路を前記ピエゾバルブの下流側において合流し、この合流点より下流側に設けられる第3の流路にこの流路を流れる希釈用ガスの流量を検出するベンチュリ流量計を設け、このベンチュリ流量計によって検出された実流量に基づいて前記ピエゾバルブの開度調整を行うようにしている。
【0015】
上記ピエゾバルブは、流量制御範囲がそれほど大きくない領域においては、0.2〜0.5秒程度の高速応答性があり、したがって、このような高速応答性を備えたピエゾバルブと高い流量測定精度を有するベンチュリ流量計とを組合せるとともに、排気ガスの流量変動に関係なく一定流量の希釈用ガスを流す第1の流路と、前記排気ガスの流量変動に応じて流量を調整して流す第2の流路とを並列に設け、ベンチュリ流量計によって検出された前流量を基にしてピエゾバルブを制御し、可変する流量範囲のみを制御するようにしているので、希釈に用いるガスの流量が比較的大流量であるにもかかわらず、その流量計測を高精度に行うことができるとともに、流量制御を高速応答性をもって行うことができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図1〜図3はこの発明の一つの実施の形態を示すもので、図1において、図5および図6における符号と同じものは同一部材を示している。
【0017】
図1は、この発明の希釈用ガス流量制御装置の要部の構成を概略的に示すもので、この図において、32は希釈用ガス流量制御装置で、排気管2を流れる排気ガスGの一部がプローブ3によって導入される希釈トンネル4の上流端に接続されている。この希釈用ガス流量制御装置32は、次のように構成されている。
【0018】
すなわち、図1において、33,34は互いに並列的な流路(以下、第1の流路33、第2の流路34という)で、それらの下流側において合流し、その合流点35よりも下流側の流路36(以下、第3の流路という)は、その下流側が前記希釈トンネル4に連なっている。
【0019】
そして、前記第1の流路33は、排気ガスGの流量変動に関係なく、希釈に用いるガス(この実施の形態においては、空気)の最大流量の70%程度に設定した希釈用空気Aを流すもので、この第1の流路33には、回転数制御によって吸引能力を変えることができる吸引ポンプ、例えばルーツブロアポンプ37とエアフィルタ38がこの順に設けられている。39はルーツブロアポンプ37を回転数制御するインバータである。このインバータ39には、後述する第1比較制御回路66からの制御信号が入力される。
【0020】
また、前記第2の流路34は、排気ガスGの流量変動に応じて流量を調整して流すものであって、希釈用空気Aのゼロから最大流量の30%程度の範囲で流量を調整する。この第2の流路34には、吸引ポンプ40、エアフィルタ41、調圧器42および流量制御用のピエゾバルブ43がこの順に設けられ、ピエゾバルブ43の下流側とエアフィルタ38の下流側とが合流している。ピエゾバルブ43は、弁口を開閉する弁体をピエゾスタックの歪力により押圧駆動するもので、例えば図2に示すように構成されている。
【0021】
すなわち、図2において、44は本体ブロック、45,46は本体ブロック44に形成された流体入口、流体出口である。47は流体入口45と流体出口46との間に形成される流体流路で、この流体流路47の途中には上面に弁口48を備えたオリフィスブロック49が設けられている。50は本体ブロック44の上面に、オリフィスブロック49の上面を覆うようにして設けられる中空の弁ブロックで、この弁ブロック50内には、弁口48の開度調節を行う弁体51がオリフィスブロック49の上面を覆うようにして設けられるダイヤフラム52によって上下動自在に保持されている。この弁体51は、通常時、オリフィスブロック49の上面(弁口48の上部周囲)との間に若干の隙間が形成されるようにしてある。
【0022】
53は弁体41を下方に押圧駆動するピエゾスタックで、複数のピエゾ素子を積層して形成してあり、弁ブロック50に螺着された筒状のバルブケース54内に収容されている。このピエゾスタック53は、その上端部55がバルブケース54の上端に螺着されるナット部材56に固定され、下端の出力端57が弁体51の上端に当接するように構成されている。58はピエゾスタック53に給電するためのリード線である。
【0023】
上記構成のピエゾバルブ43は、後述する第2比較制御回路67によって制御されるバルブ駆動回路59(図1参照)によって適宜の直流電圧を印加することにより、各ピエゾ素子が歪み、この歪みによって出力端57が弁体51を下方に押圧駆動し、弁体51と弁口48との間の距離、つまり、弁口48の開度調節を行うもので、流量調整の応答性は数10μsec〜数msecときわめて高速である。なお、このようなピエゾバルブ43は、例えば実用新案登録第2516824号公報に詳しく記載されている。
【0024】
再び、図1に戻って、前記第3の流路36は、前記第1の流路33および第2の流路34を流れる希釈用空気Aの総量を測定するものであって、測定精度の高い差圧流量計としてのベンチュリ流量計60が設けられ、その下流側は希釈トンネル4の上流側に接続されている。そして、このベンチュリ流量計60の近傍には、第3の流路36を流れる空気の圧力を検出する圧力センサ61、差圧センサ62および温度センサ63が設けられている。
【0025】
64は前記センサ61〜63の検出出力に基づいて第3の流路36を流れる希釈用空気Aの流量(実流量)を演算する流量演算ユニットである。65はこの流量演算ユニット64において求められた実流量qを、二つの信号量q1 ,q2 (q1 :q2 =70:30)に分割して、それぞれを第1,第2比較制御回路66,67に出力する信号配分器で、各比較制御回路66,67においては、信号配分器65によって与えられる信号量q1 ,q2 を、それぞれ入力される流量設定値r1 ,r2 と比較して、その比較に基づく所定の制御信号をインバータ39、バルブ駆動回路67にそれぞれ送出する。
【0026】
上記構成の希釈用ガス流量制御装置においては、第3の流路36に設けられたベンチュリ流量計60の近傍に設けられたセンサ61〜63の出力が流量演算ユニット64に入力され、この流量演算ユニット64において希釈トンネル4に対して供給される希釈用空気Aの総流量が求められる。そして、この流量演算ユニット64において求められた希釈用空気Aの総流量(実流量)は、信号配分器65によって、q1 :q2 =7:3となるように配分され、第1、第2の比較制御回路66,67に供給される。
【0027】
そして、第1の流路33においては、比較制御回路66において前記信号量q1 と設定流量r1 とが比較され、この比較に基づいてインバータ39に所定の制御信号が送られる。そして、このインバータ39からは所定の制御信号が出力され、これによってルーツブロアポンプ37が周波数制御され、第1の流路33を流れる希釈用空気Aの流量は、常に希釈用空気Aの総流量の70%となるように維持される。
【0028】
一方、第2の流路34においては、比較制御回路67において前記信号量q2 と設定流量r2 とが比較され、この比較に基づいてバルブ駆動回路59に所定の制御信号が送られる。そして、このバルブ駆動回路59からは所定の制御信号が出力され、これによってピエゾバルブ43における弁口48の開度が調整され、流量制御が行われる。つまり、第3の流路36において検出された希釈用空気Aの変動分に応じてたフィードバック制御が行われ、第2の流路34を流れる希釈用空気Aの流量が制御される。
【0029】
図3は、上記の3つの流路33,34および36における流量の時間的変化を示すもので、図中の符号a,b,cは、それぞれ流路33,34および36を流れる希釈用空気Aの流量a,b,c(図1参照)に対応している。この図3に示すように、第1の流路33における希釈用空気Aの流量は、常に一定(変動がない)であり、第2、第3の流路34,36における希釈用空気Aの流量は、高速に変化している。そして、大流量領域の全ての範囲で、第3の流路36における希釈用空気Aの流量cの変化が無いため、第2の流路34における希釈用空気Aの流量bの変動範囲は少なくて済み、したがって、ポンプ40としてはその能力がちいさいものでよく、コストダウンとなる。
【0030】
上述のように、この発明の希釈用ガス流量制御装置においては、部分採取による部分希釈方式に必要な希釈用空気Aとして比較的大流量であるにもかかわらず、その流量計測を高速に行いながら、可変する流量範囲のみを高速応答で流量制御することができるので、比較的大流量の希釈用空気A全量をその最大流量からその70%の範囲において高速応答かつ高精度に制御することができる。
【0031】
この発明は、上述の実施の形態に限られるものではなく、種々に変形して実施することができる。第1の流路33を、図4(A),(B)に示すように構成してもよい。すなわち、同図(A)に示すように、ルーツブロアポンプ37およびフィルタ38の下流側に、調圧器68および臨界流量オリフィス(Critical Flow Orifice)69を設けるようにしてもよい。また、同図(B)に示すように、ルーツブロアポンプ37およびフィルタ38の下流側に、調圧器68およびキャピラリなどの流量抵抗70を設けるようにしてもよい。
【0032】
そして、第2の流路34に設けられるルーツブロアポンプ40に代えて、コンプレッサを設けてもよい。
【0033】
さらに、希釈用空気に代えて、窒素ガスなど適宜の不活性ガスを用いてもよい。
【0034】
【発明の効果】
この発明の気体流量制御装置においては、高速応答性を備えたピエゾバルブと高い流量測定精度を有するベンチュリ流量計とを組合せるとともに、排気ガスの流量変動に関係なく一定流量の希釈用ガスを流す第1の流路と、前記排気ガスの流量変動に応じて流量を調整して流す第2の流路とを並列に設け、ベンチュリ流量計によって検出された前流量を基にしてピエゾバルブを制御し、可変する流量範囲のみを制御するようにしているので、希釈に用いるガスの流量が比較的大流量であるにもかかわらず、その流量計測を高精度に行うことができるとともに、流量制御を高速応答性をもって行うことができる。したがって、この発明によれば、エンジン排気ガスのトランジェント計測に対応した流量制御及び部分採取を用いたガス希釈システムを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の希釈用ガス流量制御装置の要部の構成を概略的に示す図である。
【図2】前記希釈用ガス流量制御装置において用いるピエゾバルブの構成を概略的に示す縦断面図である。
【図3】前記希釈用ガス流量制御装置の動作を説明するための図である。
【図4】前記希釈用ガス流量制御装置における第1の流路の他の構成を示す図である。
【図5】部分採取による部分希釈方式のガス希釈システムの一例を示す図である。
【図6】従来の希釈用ガス流量制御装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
1…エンジン、33…第1の流路、34…第2の流路、35…合流点、36…第3の流路、43…ピエゾバルブ、60…ベンチュリ流量計、A…希釈用ガス、G…排気ガス。
Claims (1)
- エンジンからの排気ガスの一部を希釈用ガスによって希釈するようにした部分採取による部分希釈方式のガス希釈システムにおいて、前記排気ガスの流量変動に関係なく一定流量の希釈用ガスを流す第1の流路と、希釈用ガスの流量を制御するためのピエゾバルブを備え、前記排気ガスの流量変動に応じて流量を調整して流す第2の流路とを並列に設けるとともに、前記両流路を前記ピエゾバルブの下流側において合流し、この合流点より下流側に設けられる第3の流路にこの流路を流れる希釈用ガスの流量を検出するベンチュリ流量計を設け、このベンチュリ流量計によって検出された実流量に基づいて前記ピエゾバルブの開度調整を行うようにしたことを特徴とする希釈用ガス流量制御装置。
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US7389703B2 (en) * | 2005-09-29 | 2008-06-24 | Horiba Instruments, Inc. | Sampler for engine exhaust dilution |
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JPH0726861B2 (ja) * | 1989-10-23 | 1995-03-29 | 中外炉工業株式会社 | 流量計測装置 |
JP3182807B2 (ja) * | 1991-09-20 | 2001-07-03 | 株式会社日立製作所 | 多機能流体計測伝送装置及びそれを用いた流体量計測制御システム |
JP2561587B2 (ja) * | 1991-10-19 | 1996-12-11 | 株式会社堀場製作所 | パティキュレート間欠測定方法 |
JPH05233068A (ja) * | 1992-02-18 | 1993-09-10 | Nec Corp | マスフローコントローラー |
JPH05312695A (ja) * | 1992-05-04 | 1993-11-22 | Horiba Ltd | 希釈トンネル法によるパーティキュレート捕集装置 |
US5329965A (en) * | 1993-07-30 | 1994-07-19 | The Perkin-Elmer Corporation | Hybrid valving system for varying fluid flow rate |
JP2973157B2 (ja) * | 1993-12-20 | 1999-11-08 | 株式会社小野測器 | 粒子状物質測定装置 |
JP3291161B2 (ja) * | 1995-06-12 | 2002-06-10 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
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