JPH03291706A - ワイドレンジ圧力制御システム - Google Patents
ワイドレンジ圧力制御システムInfo
- Publication number
- JPH03291706A JPH03291706A JP9477490A JP9477490A JPH03291706A JP H03291706 A JPH03291706 A JP H03291706A JP 9477490 A JP9477490 A JP 9477490A JP 9477490 A JP9477490 A JP 9477490A JP H03291706 A JPH03291706 A JP H03291706A
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- Japan
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- pressure
- chamber
- valve
- controller
- flow
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 2
- 240000001973 Ficus microcarpa Species 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、マスフローコントローラーを使用しチャンバ
ーに流入するガスの流量を制御することにより、チャン
バー内の圧力を一定に保つ圧力制御装置に関する。
ーに流入するガスの流量を制御することにより、チャン
バー内の圧力を一定に保つ圧力制御装置に関する。
［発明の概要］
本発明は、チャンバーに流入するガスの流量を制御する
ことによりチャンバー内の圧力を一定に保つ圧力制御装
置において、その圧力制御範囲を拡大するために、マス
フローコントローラーとチャンバーの間に排気ラインと
可変バルブを設けることにより、１つのマスフローコン
トローラーにより制御可能な圧力範囲を広くしたもので
ある。
ことによりチャンバー内の圧力を一定に保つ圧力制御装
置において、その圧力制御範囲を拡大するために、マス
フローコントローラーとチャンバーの間に排気ラインと
可変バルブを設けることにより、１つのマスフローコン
トローラーにより制御可能な圧力範囲を広くしたもので
ある。
［従来の技術］
従来は第２図に示すような構成であった。チャンバーの
圧力を何らかの圧力測定手段によって検出し、圧力制御
装置はこの圧力測定手段からの信号をフィードバック信
号として取込み、チャンバーの圧力があらかじめ設定し
た圧力と一致するように、マスフローコントローラーを
制御し、流量を変化させていた。
圧力を何らかの圧力測定手段によって検出し、圧力制御
装置はこの圧力測定手段からの信号をフィードバック信
号として取込み、チャンバーの圧力があらかじめ設定し
た圧力と一致するように、マスフローコントローラーを
制御し、流量を変化させていた。
［発明が解決しようとする課題］
従来は、マスフローコントローラー１台により圧力を制
御するように構成されていたので、圧力制御範囲がマス
フローコントローラーの流量可変範囲によって制限され
てしまうという問題点があった。
御するように構成されていたので、圧力制御範囲がマス
フローコントローラーの流量可変範囲によって制限され
てしまうという問題点があった。
［課題を解決するための手段］
本発明は、これらの問題点を解決するために、マスフロ
ーコントローラーとチャンバー間に、圧力制御装置によ
る開閉が可能なバルブを含むバイパスラインと圧力制御
装置による開度調整が可能な可変バルブとを設けたもの
であり、圧力制御装置がチャンバーの圧力を一定に保つ
ために、圧力測定手段によりチャンバーの圧力をフィー
ドバック信号として取込み、バルブの開閉を切換え、可
変バルブとマスフローコントローラーの両方を調整する
ことを特徴とするものである。
ーコントローラーとチャンバー間に、圧力制御装置によ
る開閉が可能なバルブを含むバイパスラインと圧力制御
装置による開度調整が可能な可変バルブとを設けたもの
であり、圧力制御装置がチャンバーの圧力を一定に保つ
ために、圧力測定手段によりチャンバーの圧力をフィー
ドバック信号として取込み、バルブの開閉を切換え、可
変バルブとマスフローコントローラーの両方を調整する
ことを特徴とするものである。
［作用］
圧力制御装置には、目標圧力をあらかしめ設定しておき
、この目標圧力とチャンバーの圧力とが常に一致するよ
うに、圧力制御装置がマスフローコントローラーと可変
バルブとバイパスラインのバルブを制御する。
、この目標圧力とチャンバーの圧力とが常に一致するよ
うに、圧力制御装置がマスフローコントローラーと可変
バルブとバイパスラインのバルブを制御する。
目標圧力がマスフローコントローラーの最小制御流量の
数倍−十数倍以上の流量で制御可能な場合は、バイパス
ラインのバルブは閉し、可変バルブは全開し、マスフロ
ーコントローラーを調整して圧力制御を行う。そして、
目標圧力がマスフロコントローラーの最小制御流量付近
での制御が必要な場合や、それ以下の流量での制御が必
要な場合は、バイパスラインのバルブを開け、マスフロ
ーコントローラーと可変バルブの両方を制御して圧力制
御を行う。
数倍−十数倍以上の流量で制御可能な場合は、バイパス
ラインのバルブは閉し、可変バルブは全開し、マスフロ
ーコントローラーを調整して圧力制御を行う。そして、
目標圧力がマスフロコントローラーの最小制御流量付近
での制御が必要な場合や、それ以下の流量での制御が必
要な場合は、バイパスラインのバルブを開け、マスフロ
ーコントローラーと可変バルブの両方を制御して圧力制
御を行う。
［実施例１
本発明の実施例を、以下図面に従って説明する。第１図
は、本発明の実施例であって、第３図は圧力制御装置ｌ
の構成を示すブロック図である。
は、本発明の実施例であって、第３図は圧力制御装置ｌ
の構成を示すブロック図である。
マスフローコントローラー２は、図示しないガス源とバ
イブ３ａて、また真空チャンバー７とはバイブ３ｂで接
続され、マスフローコントローラ２を介しチャンバー７
内へガスを導入できるようになっている。またバイブ３
ｂには可変バルブ５が設置されており、マスフローコン
トローラ２とこの可変バルブ５の間のバイブ３ｂと真空
チャンバー７の排気装置８との間には、両者を接続する
バイパスライン３ｃが設置されている。さらにこのバイ
パスライン３ｃの途中には、全開、全開の２動作をする
バルブ３ｃが設置されている。
イブ３ａて、また真空チャンバー７とはバイブ３ｂで接
続され、マスフローコントローラ２を介しチャンバー７
内へガスを導入できるようになっている。またバイブ３
ｂには可変バルブ５が設置されており、マスフローコン
トローラ２とこの可変バルブ５の間のバイブ３ｂと真空
チャンバー７の排気装置８との間には、両者を接続する
バイパスライン３ｃが設置されている。さらにこのバイ
パスライン３ｃの途中には、全開、全開の２動作をする
バルブ３ｃが設置されている。
方真空チャンバー７には圧力計６が取り付けられ、この
圧力計は、その出力が圧力制御装置１に入力されるよう
接続されている。また圧力制御装置１はマスフローコン
トローラー２、バルブ４、可変バルブ５のそれぞれと接
続され、圧力制御装置１によりこれらが制御されるよう
になっている。
圧力計は、その出力が圧力制御装置１に入力されるよう
接続されている。また圧力制御装置１はマスフローコン
トローラー２、バルブ４、可変バルブ５のそれぞれと接
続され、圧力制御装置１によりこれらが制御されるよう
になっている。
次に流量調整動作について説明する。
チャンバー７の圧力を、ある一定圧力に保ちたい場合、
まずその圧力値を、あらかじめ、目標圧力として圧力制
御装置１の目標圧力設定部１ｏで設定しておく。
まずその圧力値を、あらかじめ、目標圧力として圧力制
御装置１の目標圧力設定部１ｏで設定しておく。
圧力制御装置１は、圧力計６が検出したチャンバー７の
圧力をフィードバック信号として取り込み、比較部９て
、すでに設定しである目標圧力値と、比較し、その誤差
信号を操作量演算部１１に伝える。ここでは、誤差信号
を小さくするために必要な操作量を計算−→列えば、Ｐ
ＩＤ制御のアルゴリズムに従って計算□し、出力する。
圧力をフィードバック信号として取り込み、比較部９て
、すでに設定しである目標圧力値と、比較し、その誤差
信号を操作量演算部１１に伝える。ここでは、誤差信号
を小さくするために必要な操作量を計算−→列えば、Ｐ
ＩＤ制御のアルゴリズムに従って計算□し、出力する。
この操作量は切換部１２とマスフローコントローラ出力
部１３と可変バルブ出力部１４に入力している。切換部
１２は、バイパスライン３のバルブ４の開閉を切換える
バルブ出力１５に接続している。通常は、バルブ４は閉
し、可変バルブ５は全開に固定され、操作量に従った駆
動信号がマスフローコントローラー出力部〕３からマス
フローコントローラー２に出力され、流量が調節され、
チャンバー７の圧力が目標圧力値と常に一致するように
保たれる。操作量に従った流量が、マスフローコントロ
ーラー２の最小制御流量付近或いはそれ以下である場合
は、切換部１２でそれを検出し、バルブ出力１５によっ
て、バルブ４を開き、操作量に従って、マスフローコン
トローラー出力部１３がマスフローコントローラー２を
、可変バルブ出力部］４が可変バルブ５を駆動して、チ
ャンバー７の圧力値が目標圧力値と常に一致するように
保たれる。この時、可変バルブ５のコンダクタンスとバ
イパスライン３のコンダクタンスによって、マスフロー
コントローラー２の出力流量は分流されて、一方はバイ
パスライン３の接続している排気装置８から排気され、
もう一方がチャンバーに流入する。可変バルブ５の開度
を変えることにより分流比が変わり、チャンバーに流入
する流量が変化する。
部１３と可変バルブ出力部１４に入力している。切換部
１２は、バイパスライン３のバルブ４の開閉を切換える
バルブ出力１５に接続している。通常は、バルブ４は閉
し、可変バルブ５は全開に固定され、操作量に従った駆
動信号がマスフローコントローラー出力部〕３からマス
フローコントローラー２に出力され、流量が調節され、
チャンバー７の圧力が目標圧力値と常に一致するように
保たれる。操作量に従った流量が、マスフローコントロ
ーラー２の最小制御流量付近或いはそれ以下である場合
は、切換部１２でそれを検出し、バルブ出力１５によっ
て、バルブ４を開き、操作量に従って、マスフローコン
トローラー出力部１３がマスフローコントローラー２を
、可変バルブ出力部］４が可変バルブ５を駆動して、チ
ャンバー７の圧力値が目標圧力値と常に一致するように
保たれる。この時、可変バルブ５のコンダクタンスとバ
イパスライン３のコンダクタンスによって、マスフロー
コントローラー２の出力流量は分流されて、一方はバイ
パスライン３の接続している排気装置８から排気され、
もう一方がチャンバーに流入する。可変バルブ５の開度
を変えることにより分流比が変わり、チャンバーに流入
する流量が変化する。
［発明の効果］
以上説明したように、マスフローコントローラ２の出力
流量が分流され、チャンバー７に流入するので、チャン
バー７に実際に流入する流量はマスフローコントローラ
ー２の流量制御範囲より小さい流量の方向へ、レンジが
拡大される。
流量が分流され、チャンバー７に流入するので、チャン
バー７に実際に流入する流量はマスフローコントローラ
ー２の流量制御範囲より小さい流量の方向へ、レンジが
拡大される。
チャンバー７に接続する排気装置８の排気速度をＳ、チ
ャンバー７に流入する流量をＱ、チャンバー７の到達圧
力をＰ。とすると、チャンバー７の圧力の平衡点Ｐは、 となるので、流量レンジはそのまま圧力レンジとなる。
ャンバー７に流入する流量をＱ、チャンバー７の到達圧
力をＰ。とすると、チャンバー７の圧力の平衡点Ｐは、 となるので、流量レンジはそのまま圧力レンジとなる。
以上２点より分かるように、分流により流量レンジを拡
大することにより、１台のマスフローコントローラーで
制御できる圧力制御範囲を容易に拡大することが出来る
。
大することにより、１台のマスフローコントローラーで
制御できる圧力制御範囲を容易に拡大することが出来る
。
又、マスフローコントローラー２を変換することなく、
可変バルブとバルブのコンダクタンス化を変えることに
よって、圧力制御範囲を容易に変えることがてき、フレ
キシビリティの高いシステムを作ることができる。
可変バルブとバルブのコンダクタンス化を変えることに
よって、圧力制御範囲を容易に変えることがてき、フレ
キシビリティの高いシステムを作ることができる。
第１図は本発明の実施例を示す図、第２図は従来例を示
す図、第３図は、本発明の実施例の圧力制御装置のブロ
ック図。 １ ・ 圧力制御装置 ・・マスフローコントロ う ４ ・ ６ ・ ７ ・ ８ ・ ９ ・ １０ ・ １ １２ ・ １３ ・ １４ ・ 工５ ・バイパスライン ・バルブ ・可変バルブ ・圧力計 ・チャンバ ・排気装置 ・比較部 ・目標圧力設定部 ・操作量演算部 ・切換部 ・マスフローコントロ ・可変バルブ出力部 ・バルブ出力部 ラー出力部 以 上
す図、第３図は、本発明の実施例の圧力制御装置のブロ
ック図。 １ ・ 圧力制御装置 ・・マスフローコントロ う ４ ・ ６ ・ ７ ・ ８ ・ ９ ・ １０ ・ １ １２ ・ １３ ・ １４ ・ 工５ ・バイパスライン ・バルブ ・可変バルブ ・圧力計 ・チャンバ ・排気装置 ・比較部 ・目標圧力設定部 ・操作量演算部 ・切換部 ・マスフローコントロ ・可変バルブ出力部 ・バルブ出力部 ラー出力部 以 上
Claims (1)
- チャンバーの圧力を圧力計によって検出し、このチャン
バーの圧力を一定に保つ圧力制御システムにおいて、マ
スフローコントローラーと、その下流側に接続された可
変バルブと、この可変バルブと前記マスフローコントロ
ーラーの間から分岐し、バルブを介して排気装置へと接
続するバイパスラインと、前記マスフローコントローラ
ーとバルブと可変バルブとを制御する圧力制御装置から
なる、ワイドレンジ圧力制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9477490A JPH03291706A (ja) | 1990-04-09 | 1990-04-09 | ワイドレンジ圧力制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9477490A JPH03291706A (ja) | 1990-04-09 | 1990-04-09 | ワイドレンジ圧力制御システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03291706A true JPH03291706A (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=14119447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9477490A Pending JPH03291706A (ja) | 1990-04-09 | 1990-04-09 | ワイドレンジ圧力制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03291706A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107003684A (zh) * | 2015-02-26 | 2017-08-01 | 株式会社富士金 | 压力控制装置 |
-
1990
- 1990-04-09 JP JP9477490A patent/JPH03291706A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107003684A (zh) * | 2015-02-26 | 2017-08-01 | 株式会社富士金 | 压力控制装置 |
| KR20170113632A (ko) | 2015-02-26 | 2017-10-12 | 가부시키가이샤 후지킨 | 압력 제어 장치 |
| US20170351274A1 (en) * | 2015-02-26 | 2017-12-07 | Fujikin Incorporated | Pressure control device |
| US10520958B2 (en) | 2015-02-26 | 2019-12-31 | Fujikin Incorporated | Pressure control device |
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