JPH0327799B2 - - Google Patents
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- JPH0327799B2 JPH0327799B2 JP59010311A JP1031184A JPH0327799B2 JP H0327799 B2 JPH0327799 B2 JP H0327799B2 JP 59010311 A JP59010311 A JP 59010311A JP 1031184 A JP1031184 A JP 1031184A JP H0327799 B2 JPH0327799 B2 JP H0327799B2
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 15
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
- G05D7/0641—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means
- G05D7/0652—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged in parallel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
- B01D46/44—Auxiliary equipment or operation thereof controlling filtration
- B01D46/46—Auxiliary equipment or operation thereof controlling filtration automatic
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/26—Conditioning of the fluid carrier; Flow patterns
- G01N30/28—Control of physical parameters of the fluid carrier
- G01N30/32—Control of physical parameters of the fluid carrier of pressure or speed
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
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- G01N30/26—Conditioning of the fluid carrier; Flow patterns
- G01N30/28—Control of physical parameters of the fluid carrier
- G01N30/32—Control of physical parameters of the fluid carrier of pressure or speed
- G01N2030/324—Control of physical parameters of the fluid carrier of pressure or speed speed, flow rate
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Description
本発明は、微量の流体（例えばガス）の流量調
節を行なう微小流量調節器に関するものである。 一般に知られているように例えばガスの微小流
量の流量調整は手動バルブでは困難であり、従来
では自動調節弁を用いて自動調節により制御され
ていた。しかしこのような自動調節弁は高価でし
かもかさばるため調節器自体が大きくしかも高価
のものとなる欠点があつた。 そこで、本発明の目的は従来用いられてきた自
動調節弁の代りに過量（すなわち透過量）の設
定できるフイルタを用いて簡単で安価な流体用微
小流量調節器を提供することにある。 この目的を達成するために、本発明による流体
用微小流量調節器は、流体の流路に、それぞれら
任意の異なる濾過量に設定できしかも流体の微小
流量を調節できる互いに並列に配置された複数の
フイルタを設け、各フイルタを通るそれぞれの分
岐流路に各フイルタへの流体の供給をデジタル信
号にて制御する弁装置を設けたことを特徴として
いる。 この明細書において用語“フイルタへの流体供
給の制御”はフイルタへの流体の流入およびしや
断と共にフイルタへ流入する流体圧の調整も意味
するものとする。 以下、本発明の実施例を添附図面を参照して説
明する。 第１図には本発明の原理を示し、１はガスの流
路、２は減圧弁、３はフイルタであり、減圧弁２
で流入ガスの圧力を調整することによりフイルタ
３を介して出口への流量を変えるように構成され
る。フイルタ３は減圧弁２で容易に調節できる圧
力範囲内で所定の流量が流れるように構成され
る。すなわち使用するフイルタはガスの過に対
してある程度の抵抗のあるものが望ましく、ガス
の流量によつて過孔径および面積を選択するこ
とができる。好ましくは適用フイルタの孔径は
0.05〜0.5μ、流量範囲は０〜１／minに設定さ
れ得る。 例えば孔径0.1μのフイルタを使用した場合のガ
ス圧力と過量との関係を表１にまたフイルタ面
積と過量との関係（圧力0.1Kg／cm2）を表２に
示す。
節を行なう微小流量調節器に関するものである。 一般に知られているように例えばガスの微小流
量の流量調整は手動バルブでは困難であり、従来
では自動調節弁を用いて自動調節により制御され
ていた。しかしこのような自動調節弁は高価でし
かもかさばるため調節器自体が大きくしかも高価
のものとなる欠点があつた。 そこで、本発明の目的は従来用いられてきた自
動調節弁の代りに過量（すなわち透過量）の設
定できるフイルタを用いて簡単で安価な流体用微
小流量調節器を提供することにある。 この目的を達成するために、本発明による流体
用微小流量調節器は、流体の流路に、それぞれら
任意の異なる濾過量に設定できしかも流体の微小
流量を調節できる互いに並列に配置された複数の
フイルタを設け、各フイルタを通るそれぞれの分
岐流路に各フイルタへの流体の供給をデジタル信
号にて制御する弁装置を設けたことを特徴として
いる。 この明細書において用語“フイルタへの流体供
給の制御”はフイルタへの流体の流入およびしや
断と共にフイルタへ流入する流体圧の調整も意味
するものとする。 以下、本発明の実施例を添附図面を参照して説
明する。 第１図には本発明の原理を示し、１はガスの流
路、２は減圧弁、３はフイルタであり、減圧弁２
で流入ガスの圧力を調整することによりフイルタ
３を介して出口への流量を変えるように構成され
る。フイルタ３は減圧弁２で容易に調節できる圧
力範囲内で所定の流量が流れるように構成され
る。すなわち使用するフイルタはガスの過に対
してある程度の抵抗のあるものが望ましく、ガス
の流量によつて過孔径および面積を選択するこ
とができる。好ましくは適用フイルタの孔径は
0.05〜0.5μ、流量範囲は０〜１／minに設定さ
れ得る。 例えば孔径0.1μのフイルタを使用した場合のガ
ス圧力と過量との関係を表１にまたフイルタ面
積と過量との関係（圧力0.1Kg／cm2）を表２に
示す。
【表】
【表】
上記二つの表から明らかのように圧力と過量
（単位面積当りの）および面積と過量はそれぞ
れほぼ比例して変化する。 第２図には本発明の実施例を示し、この実施例
では多数のフイルタ３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，…
…が並列に配置されており、各フイルタの入力側
にそれぞれ電磁弁４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，……
が設けられている。各フイルタはそれぞれ異なる
過量（透過量）、例えば第１フイルタ３Ａを１、
第２フイルタ３Ｂを1/2、第３フイルタ３Ｃを1/
４、第４フイルタ３Ｄを1/8のように比率に構成さ
れる。このような比率はフイルタの面積または孔
径を変えるか或いは枚数を重ねることによつて任
意に設定され得る。各フイルタの前に挿置された
電磁弁４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，……を図示して
ない制御装置によつて作動させることにより、任
意の流量に調整することができ、自動制御が可能
となる。また減圧弁２はこの場合には圧力を一定
に保つようにされる。すなわち全ての電磁弁４Ａ
〜４Ｄが開のとき最大流量となり、一方全部閉の
とき流量はゼロとなる。従つて開いている電磁弁
の組合せによつてゼロから最大流量の間で流量を
決めることができる。またその分解能は使用する
フイルタの数で決まる。例えばフイルタを４つ使
用すれば、16段階の制御を行なうことができる。
すなわち、開いている電磁弁を１、閉じている電
磁弁を０とすれば、０から15までの２進数として
表わすことができる。また電磁弁４Ａ〜４Ｄの開
閉は直接デジタル信号で制御することができる。
なお必要ならば過量の等しいフイルタを多数用
いて各分岐流路中のフイルタの数を変えることに
よつて同様な作用を得ることができる。さらにま
た、各フイルタは流量調整と同時に流体中に含ま
れているゴミ等を除去することができ、例えば、
半導体製造等のようにダストが問題となる分野に
おいては特に有利に利用され得る。 以上説明してきたように、本発明によれば、従
来のように高価な自動調節弁を使用しなくてもガ
スの微小流量の調節ができ、また流量はフイルタ
を適当に選ぶことによつて広い範囲で調節が可能
となり、さらにコンピユータ制御を用いれば直接
流量制御も可能となる。
（単位面積当りの）および面積と過量はそれぞ
れほぼ比例して変化する。 第２図には本発明の実施例を示し、この実施例
では多数のフイルタ３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，…
…が並列に配置されており、各フイルタの入力側
にそれぞれ電磁弁４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，……
が設けられている。各フイルタはそれぞれ異なる
過量（透過量）、例えば第１フイルタ３Ａを１、
第２フイルタ３Ｂを1/2、第３フイルタ３Ｃを1/
４、第４フイルタ３Ｄを1/8のように比率に構成さ
れる。このような比率はフイルタの面積または孔
径を変えるか或いは枚数を重ねることによつて任
意に設定され得る。各フイルタの前に挿置された
電磁弁４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，……を図示して
ない制御装置によつて作動させることにより、任
意の流量に調整することができ、自動制御が可能
となる。また減圧弁２はこの場合には圧力を一定
に保つようにされる。すなわち全ての電磁弁４Ａ
〜４Ｄが開のとき最大流量となり、一方全部閉の
とき流量はゼロとなる。従つて開いている電磁弁
の組合せによつてゼロから最大流量の間で流量を
決めることができる。またその分解能は使用する
フイルタの数で決まる。例えばフイルタを４つ使
用すれば、16段階の制御を行なうことができる。
すなわち、開いている電磁弁を１、閉じている電
磁弁を０とすれば、０から15までの２進数として
表わすことができる。また電磁弁４Ａ〜４Ｄの開
閉は直接デジタル信号で制御することができる。
なお必要ならば過量の等しいフイルタを多数用
いて各分岐流路中のフイルタの数を変えることに
よつて同様な作用を得ることができる。さらにま
た、各フイルタは流量調整と同時に流体中に含ま
れているゴミ等を除去することができ、例えば、
半導体製造等のようにダストが問題となる分野に
おいては特に有利に利用され得る。 以上説明してきたように、本発明によれば、従
来のように高価な自動調節弁を使用しなくてもガ
スの微小流量の調節ができ、また流量はフイルタ
を適当に選ぶことによつて広い範囲で調節が可能
となり、さらにコンピユータ制御を用いれば直接
流量制御も可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示す概略線図、第
２図は別の実施例を示す概略線図である。 図中、１：流体の流路、２：減圧弁、３：フイ
ルタ。
２図は別の実施例を示す概略線図である。 図中、１：流体の流路、２：減圧弁、３：フイ
ルタ。
Claims (1)
- １ 流体の流路に、それぞれ任意の異なる濾過量
に設定できしかも流体の微小流量を調節できる互
いに並列に配置された複数のフイルタを設け、各
フイルタを通るそれぞれの分岐流路に各フイルタ
への流体の供給をデジタル信号にて制御する弁装
置を設けたことを特徴とする流体用微小流量調節
器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59010311A JPS60155091A (ja) | 1984-01-25 | 1984-01-25 | 流体用微小流量調節器 |
| US06/694,065 US4670138A (en) | 1984-01-25 | 1985-01-23 | Apparatus for controlling an infinitesimal flow rate of fluid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59010311A JPS60155091A (ja) | 1984-01-25 | 1984-01-25 | 流体用微小流量調節器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60155091A JPS60155091A (ja) | 1985-08-14 |
| JPH0327799B2 true JPH0327799B2 (ja) | 1991-04-17 |
Family
ID=11746694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59010311A Granted JPS60155091A (ja) | 1984-01-25 | 1984-01-25 | 流体用微小流量調節器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4670138A (ja) |
| JP (1) | JPS60155091A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2195266B (en) * | 1986-09-17 | 1990-06-20 | Philips Electronic Associated | Liquid chromatograph apparatus including a proportioning arrangement. |
| US5288149A (en) * | 1992-03-12 | 1994-02-22 | Panametrics, Inc. | Gas calorimeter and wobbe index meter |
| EP1096351A4 (en) * | 1999-04-16 | 2004-12-15 | Fujikin Kk | FLUID SUPPLY DEVICE OF THE PARALLEL BYPASS TYPE, AND METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING THE FLOW OF A VARIABLE FLUID TYPE PRESSURE SYSTEM USED IN SAID DEVICE |
| JP3754038B2 (ja) * | 2003-07-22 | 2006-03-08 | 株式会社東芝 | 流量制御装置及び流量制御システム |
| JP5947659B2 (ja) * | 2012-08-06 | 2016-07-06 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置 |
| CN108121370B (zh) * | 2017-12-23 | 2020-06-02 | 东北大学 | 一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统 |
| WO2019188240A1 (ja) * | 2018-03-26 | 2019-10-03 | 日立金属株式会社 | 流量制御装置 |
| CN112169584A (zh) * | 2020-10-09 | 2021-01-05 | 山东国舜建设集团有限公司 | 一种脱硝系统中氨水流量的控制装置和方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4512548Y1 (ja) * | 1965-02-03 | 1970-06-01 | ||
| JPS5433977A (en) * | 1977-08-22 | 1979-03-13 | Okada Sakuganki Kk | Multiistage fluid control device and fluid controlling method in which this device is used |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3121681A (en) * | 1956-07-06 | 1964-02-18 | Baxter Filtration Corp | Industrial filter |
| US3491512A (en) * | 1968-05-10 | 1970-01-27 | Abcor Inc | Method and apparatus for introducing samples into a gas chromatographic column |
| US4083661A (en) * | 1976-05-05 | 1978-04-11 | Clow Corporation | Pneumatic sewage ejector |
| US4226714A (en) * | 1978-12-27 | 1980-10-07 | The Anaconda Company | Thickener control system |
| US4422942A (en) * | 1981-09-09 | 1983-12-27 | Isco, Inc. | Method for liquid chromatography |
| CA1186166A (en) * | 1982-02-27 | 1985-04-30 | Katsuhiko Saito | Liquid chromatograph |
-
1984
- 1984-01-25 JP JP59010311A patent/JPS60155091A/ja active Granted
-
1985
- 1985-01-23 US US06/694,065 patent/US4670138A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4512548Y1 (ja) * | 1965-02-03 | 1970-06-01 | ||
| JPS5433977A (en) * | 1977-08-22 | 1979-03-13 | Okada Sakuganki Kk | Multiistage fluid control device and fluid controlling method in which this device is used |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60155091A (ja) | 1985-08-14 |
| US4670138A (en) | 1987-06-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |