JPH01307417A - 流体用微少流量調節装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、微量な流体、例えばガスの流量調整を行なう
微小流ｉ調節装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来の装置としては、流体の流路に、予定の濾過量に設
定できる１段のフィルタを設け、このフィルタへの流体
供給を制御することによって微少流量を調節できるよう
にした第３図に示すような、流体用微少流量調節装置が
提案されている。これらのフィルタは、例えばそれぞれ
透過流量の異なる４組のフィルタを流路に対して並列に
配置している。こうしてバルブを切換えることにより流
量を制御している。

［発明が解決しようとする課題］ 従来の装置で可変範囲の広い流ｉ調整装置を構成すれば
、透過流量の異なるフィルタを並列に多数並べることが
必要であった。フィルタを多数並べることは、場所を取
り、フィルタ間を切換えるのに時間を多く要し、また切
換用のａｉｍも複雑となるという問題点があった。

本発明は、従来装置の問題点を改善し、流量調整の可変
範囲を広くできる流体用微少流量調節装置を提供せんと
するものである。

［課題を解決するための手段］ このような課題を解決するために、本発明の流体流量制
御装置は、流体の流路にそれぞれ透過流量の異なる膜を
並列に配置した前段のフィルタと、該前段のフィルタよ
り下流にそれぞれ透過流量の異なる膜を並列に配置した
後段のフィルタとを備え、前段のフィルタの透過流量が
後段のフィルタの透過流量よりも大きくなるように選択
し、これにより流体の流量を前段のフィルタで微ｆＡ′
Ｉｌｉシ、また後段のフィルタで粗調整するものである
。

［実施例］ 本発明の実施例を以下添附図面を参照して詳細に説明す
る。

第１図において、流体、特にガスなどの気体の流路１に
は圧力調整手段２が配置されている。流体の流路１には
、それぞれ透過流量の異なる膜Ｆ１、　Ｆ　２．　Ｆ　
３．　Ｆ　４を並列に配置した前段のフィルタ３と、こ
の前段のフィルタより下流にそれぞれ透過流量の異なる
膜Ｆ　ａ、　Ｆ　ｂ、　Ｆ　ｃ、　Ｆ　ｄを並列に配置
した後段のフィルタ４とが設けられる。膜Ｆａとしては
、従来周知のごとく、膜を入れないで使用するか、又は
膜を入れる場合、　Ｍ　Ｆ　１．　Ｆ　２．　Ｆ　３．
　Ｆ４よりも大きい透過流量とする。また膜Ｐａを除き
、前段のフィルタ３の透過流量が後段のフィルタ４の透
過流量よりも大きくなるように選択されている。

流体の流路１に対して並列に配置される上流のそれぞれ
の膜には、電磁弁Ｓ　１．　Ｓ　２．　Ｓ　３．　Ｓ　
４が直列に配置され、また流路１に対して並列に配置さ
れる下流のそれぞれの膜には、電磁弁Ｈ，Ｌｌ、Ｌ２、
Ｌ３が直列に配置される。

電磁弁Ｈを開きかつ電磁弁３１，３２，３３．Ｓ４を開
閉しながら、前段のフィルタ３から下段のフィルタ４へ
流体が流れ始めたとき、下段のフィルタ４の上流側のＢ
点に圧力が印加される。

この印加された流体圧力をバイアス圧力■とし、流体の
流路１の上流に配置されている圧力調整手段２によって
、バイアス圧力Ｉを適正に調整し、流体流量を制御する
ことができる。

警報手段（図示省略）によりこの流体流量が適切でない
ことを検出した場合、流木の流路１の下流に配置されて
いる１ｌｌｌＦａ　　（この実施例では膜を入れていな
い）と並列に接続されている透過流量の異なる他ノｒ！
ＡＦｂ、Ｆｃ、Ｆｄ　ニ電磁弁Ｌ１．Ｌ２．Ｌ３を介し
て切換えるならば、全体の透過流量が粗調整される。こ
の時上流側のＢ点に印加される流体圧力が膜の抵抗によ
り変わり、警報に即応したバイアス圧力■となって、膜
Ｆ　１．　Ｆ　２．　Ｆ　３．　Ｆ　４で微調整できる
。これとは別に、流体の流路１の上流に配置されている
流体圧力の制御手段２によりＡ点に圧力を再印加し、バ
イアス圧力■を適正にｒＡ整し、流体流量を適切となる
ように制御することもできる。更にまた、警報によって
再びバイアス圧力■に戻ることもできる。

次に第２図を参照して、本発明で用いる変動バイアス法
グラフの説明をする。

１）第１図における電磁弁８１〜Ｓ４を開にし、電磁弁
Ｌ１〜Ｌ３を閉じて、電磁弁）■を開にしたとき、Ｂ点
に印加される圧力を第２図におけるバイアス圧力Ｈ−１
とする。

２）その時、０点を流れる流体の流量を流体透過流Ｊｉ
　Ｉ−１とする。

３）次に電磁弁Ｌ１を開にし、電磁弁Ｈを閉にしたとき
、Ｂ点に印加される圧力を第２図におけるバイアス圧力
Ｌ１−１とする。

４）その時、０点を流れる流体の流量を流体透過流量ｎ
−ｉとする。

５）次に電磁弁Ｌ１を閉にし、電磁弁Ｌ２を開にしたと
き、Ｂ点に印加される圧力を第２図におけるバイアス圧
力Ｌ２−１とする。

６）その時、０点を流れる流体の流量を流体透過流量ｌ
１１−１とする。

７）次に電磁弁Ｌ２を閉にし、電磁弁Ｌ３を開にしたと
き、Ｂ点に印加される圧力を第３図におけるバイアス圧
力Ｌ３−１とする。

８）その時、０点を流れる流体の流量を流体透過流量Ｉ
Ｖ−１とする。

９）今、１）において電磁弁Ｓ１〜Ｓ４を開閉すると、
バイアス圧力Ｈ−１がΔＳ１〜ΔＳ４のように変動し、
流体透過流量Ｉ−１も変動する。

１０）次に、３）において電磁弁８１〜Ｓ４を開閉する
と、バイアス圧力Ｌ１−１がΔＳ１〜ΔＳ４のように変
動し、流体透過流ＪｉＩ−１も変動する。

１１）次に、５）において電磁弁８１〜ｓ４を開閉する
と、バイアス圧力Ｌ２−１がΔｓ１〜Δｓ４のように変
動し、流体透過流Ｊｉｌｔ−１も変動する。

１２）次に、７）において電磁弁８１〜ｓ４を開閉する
と、バイアス圧力Ｌ３−１がΔｓ１〜ΔＳ４のように変
動し、流体透過流量ＩＶ−１も変動する・１３）次に、
変動したΔＳ１〜ΔＳ４の平均の値を結んで得られるグ
ラフを動作時の平均特性とする。

１４）次に、１３）で得られたΔＳ１〜ΔＳ４の平均特
性の流体透過流量１〜■に対応するバイアス圧力を、各
々Ｈ−Ｌｌ〜Ｌ３とずれば、コンピューターと組み合わ
せて流ｉ調整するときに、処理する基準として利用でき
る。

［発明の効果コ 本発明は以上説明してきたように、従来の流体用微少流
量調節装置と比べて、少ないフィルター数で、ガス等の
流体の流量調整の可変範囲を広くすることができる。ま
た流体の流量を希望する値に容易に合わせることができ
るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例を示す概路線図、第２図は本
発明の変動バイアス法を説明するグラフ及び第３図は従
来の流体用微少流量調節装置を示す概路線図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、流体の流路にそれぞれ透過流量の異なる膜を並列に
   配置した前段のフィルタと、該前段のフィルタより下流
   にそれぞれ透過流量の異なる膜を並列に配置した後段の
   フィルタとを備え、前段のフィルタの透過流量が後段の
   フィルタの透過流量よりも大きくなるように選択し、こ
   れにより流体の流量を前段のフィルタで微調整し、また
   後段のフィルタで粗調整することを特徴とする流体用微
   少流量調節装置。