JPH0263540A - 真空装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空装置に係り、特に油回転ポンプのみでプ
ロセスガスな真空排気する排気系を有する真空装置に関
するものである。

〔従来の技術〕

従来の装置は、例えば、特開昭６０−８０２２５号公報
に記載のように、処理室内の設定圧力の目標許容値以内
に入つた時、コントロールバルブの開度な読み取り、マ
イクロコンピュータ内の記憶を更新するようになってい
た。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、更新されたバルブ開度の記憶の検定に
ついて配慮がされておらず、油回転ポンプのみで排気す
る等、真空装置の劣化があフた場合に問題があつた。

本発明の目的は、真空排気装置の劣化を処理に影響のな
い時期に、使用者に知らせるように、劣化の自動検定を
することができる真空装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、マイクロコンピュータ内のバルブ開閉割合
を記憶したメモリをクリアし、新しいデータを１１き込
むと同時に、初期バルブ開閉割合設定部からの設定信号
により正常な開閉割合を記憶したメモリの差分値の絶対
値と、許容値設定部からの設定信号による許容値を記憶
し判定することにより、達成される。

〔作　　用〕

初期の正常なコントロールバルブの開閉割合と現処理の
バルブ開閉割合を比較し、自動検定することによって、
真空排気装置の劣化状態を知ることができ、それによっ
て真空排気装置の保全作業が速やかにできる。

〔実　施　例〕

以下、本発明の一実施例を第１図、第２図により説明す
る。

第１図で、真空処理を行う処理室１０には、処理用ガス
を供給するガス供給管１１．処理室ｌｏ内を排気する排
気管認が設けられている。ガス供給部は、ガス源１３．
開閉バルブ１４．流量センサ巧、コントロールバルブ１
６から成っている。流量センサ１５の信号は、Ａ／Ｄ変
換器１７を介してマイクロコンピュータ１８に送られる
。コントロールバルブ１６は、駆動モータ１９により動
かされ、駆動モータ１９には、エンコーダにが連結して
あり、エンコーダＩの信号はマイクロコンピュータ１８
に送られる。駆動モータ１９は、マイクロコンピュータ
１８にコントロールされたドライバ乙により動かされる
。ガス流量の設定は、流量設定部ｎからの設定信号をマ
イクロコンピュータ１８に送り行う。排気部は、コンダ
クタンスのコントロールバルブる。真空排気装置、例え
ば、油回転ポンプ冴から成っている。コントロールバル
ブおは、駆動モータ５により動かされ、駆動モータ５に
は、エンコーダ５が連結してあり、その信号は、マイク
ロコンピュータ１８に送られる。

駆動モータ５は、マイクロコンピュータ１８にコントロ
ールされたドライバかにより動かされる。処理室１０に
取付けた圧力センサ３の信号は、Ａ／Ｄ変換器四を介し
てマイクロコンピュータ１８に送られる。ガス圧力の設
定は、圧力設定部間からの設定信号とマイクロコンピュ
ータ１８に送り行う。

また、初期のバルブの開閉割合の設定は、初期バルブ開
閉割合設定部３１からの設定信号を、初期のバルブの開
閉割合に対する変化の許容値の設定は、開閉割合許容値
設定部冨からの設定信号を、それぞれマイクロコンピュ
ータ１８に送り行う。

以上の構成において、圧力コントロール時の各部の動作
について以下に設定する。

処理室ｌＯは、コントロールバルブコを全開にして処理
室１０内を低圧に排気している。処理室１０に搬送系（
図示省略）により試料（図示省略）を搬入する。搬入完
了を検出すると第２図に示すように圧力コントロールバ
ルブｎを閉じ、ガス供給のガス流量コントロールバルブ
１６を全開にする。２種類以上のガスを混合して使用す
る湯合、各ガスの混合比率を設定されたガス流量の比よ
りマイクロコンピュータ１８により算出し、ガスの組成
を変えないため、その比率で流せる最大流量を流すよう
コントロールする。この時、圧力は、処理条件によって
も異なるが数秒で設定圧力に近づ（。マイクロコンピュ
ータ１８には、ｕ回処理した時の設定条件に対するバル
ブ駆動モータ１９．２５の回転角がエンコーダ団、２６
からの信号により、メモリに記憶されている。圧力セン
サ公で処理室ｌＯ内の圧力をチエツクし、設定圧力の±
２０２０内の圧力範囲に入ると、マイクロコンピュータ
１８０指令によりドライバ乙、２７を介して圧力および
ガス流量コントロールバルブの開閉割合をメモリに記憶
された状態に固定する。

さらに、処理室ｌＯ内の圧力が設定圧力の±１０チに入
ると、コントロールバルブ１６．Ｚ３の制御を設定圧力
と処理室１０内の圧力差に応じて制御する従来方式によ
り行う。次に、処理室１０内が設定圧力の±５チの圧力
に１分間入った時のコントロールバルブのｕＩ！閉割合
をエンコーダ２０．２６から読み取り、マイクロコンピ
ュータ１８内のバルブ［１１１閉１１１合を記憶したメ
モリをクリアし、新しいデータを書き込む。

以上述べたような圧力コレトロール方法では、まず流入
ガス量を最大にし、排気バルブを閉じるため、最短時間
で圧力は上昇し、かつ設定圧に近づいた時には、各コン
トロールバルブの開閉割合は設定圧力を保持する状態に
あるため、制御時間を短か（できる。

さらにマイクロコンピュータ内のバルブ開閉割合を記憶
したメモリをクリアし、新しいデータを誓きこむことに
よって更新されたテ゛−夕と初期のバルブの開閉割合を
記憶したメモリを比較する。

その比較による差分値と、開閉割合の変化の許容値を記
憶したメモリを比較して判定を行い、許容値外であれば
、使用者に真空装置の保全を促す。

以上のように本実施例により真空装置の排気能力の自動
検定を行うことができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、真空ポンプの排気能力を自動検定する
ことができるので、今まで定期的に保全をしていたが、
その使用状況に応じた、真空ポンプの保全時期がわかり
、無駄がなくなる効果がある。

【図面の簡単な説明】

夷１図は本発明の圧力コントロールシステムの一実施例
を示す（８）、第２図は本発明のフローを示す図である
。 １０・・・・・・処理室、１８・・・・・・マイクロコ
ンピュータ、る・・・・・・コントロールバルブ、ス・
・・・・・真空排気装置、Ｉ・・・・・・エンコーダ、
公・・・・・・圧力センサ、蕊・・・・・・圧力設定部
、３１・・・・・・初期バルブ開閉割合設定部、！・・
−・・開閉割合許容値設定部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、油回転ポンプとコントロールバルブと該コントロー
   ルバルブの制御系より成る排気系を有する真空装置にお
   いて、前記コントロールバルブの初期バルブ制御開度と
   現バルブ制御開度とを比較する手段を有し、真空ポンプ
   の排気能力を自動検定する機能を有することを特徴とす
   る真空装置。