JPH06102068A - 流量異常チェックシステム - Google Patents
流量異常チェックシステムInfo
- Publication number
- JPH06102068A JPH06102068A JP24957792A JP24957792A JPH06102068A JP H06102068 A JPH06102068 A JP H06102068A JP 24957792 A JP24957792 A JP 24957792A JP 24957792 A JP24957792 A JP 24957792A JP H06102068 A JPH06102068 A JP H06102068A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- signal
- valve
- microcomputer
- abnormality
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Details Of Flowmeters (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】流量検出用分流回路５，流量調整バルブ３比較
回路２を有し、流量設定信号９を取り込み、流量検出信
号６，流量モニター信号７，バルブ信号８を出す事ので
きるマスフローコントローラー１と流量モニター信号７
及びバルブ開度異常信号１２に取り込み、流量設定信号
９を出す事のできる装置制御用マイコン４，バルブ信号
８，バルブ開度正常値信号１０とバルブ開度許容範囲値
信号１１を取り込み、バルブ開度異常信号１２を出す事
のできるマスフロー異常チェックマイコン１３との構成
による。 【効果】マスフローコントローラーの流量異常のチェッ
クを行う事により、エッチング時の流量異常によるエッ
チング不良を低減させる事が可能であり、エッチング装
置そのものの信頼性を向上させる事ができる。
回路２を有し、流量設定信号９を取り込み、流量検出信
号６，流量モニター信号７，バルブ信号８を出す事ので
きるマスフローコントローラー１と流量モニター信号７
及びバルブ開度異常信号１２に取り込み、流量設定信号
９を出す事のできる装置制御用マイコン４，バルブ信号
８，バルブ開度正常値信号１０とバルブ開度許容範囲値
信号１１を取り込み、バルブ開度異常信号１２を出す事
のできるマスフロー異常チェックマイコン１３との構成
による。 【効果】マスフローコントローラーの流量異常のチェッ
クを行う事により、エッチング時の流量異常によるエッ
チング不良を低減させる事が可能であり、エッチング装
置そのものの信頼性を向上させる事ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マスフローコントロー
ラを有する、例えば、エッチング装置に関するものであ
る。
ラを有する、例えば、エッチング装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】マスフローコントローラの構成は、図２
に示す通りであり、マスフローコントローラ１の流量設
定信号９と流量検出信号６を、比較回路により比較し、
流量設定信号９と、流量検出信号６が一致する様、流量
調整バルブ３への信号８を変化させ、バルブ開度を変化
させている。このため、流量チェックは外部で流量設定
信号と流量検出信号とを比較する方法で実施されてい
る。
に示す通りであり、マスフローコントローラ１の流量設
定信号９と流量検出信号６を、比較回路により比較し、
流量設定信号９と、流量検出信号６が一致する様、流量
調整バルブ３への信号８を変化させ、バルブ開度を変化
させている。このため、流量チェックは外部で流量設定
信号と流量検出信号とを比較する方法で実施されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、マス
フローコントローラは、ガスラインの一部を分流させ、
その分流回路に流量検出部を有しており、何らかの原因
で本分流回路に詰まりが生じたり、又、センサに異常が
発生した場合、実流量と流量検出信号が異なり、結果的
に流量設定値と異なる流量となるが、これを検出するこ
とが出来ないという不具合があった。本発明の目的は、
上述の分流回路の詰まり、センサ異常等の流量検出部の
異常をチェック出来るマスフローコントローラの流量異
常チェックシステムを提供することにある。
フローコントローラは、ガスラインの一部を分流させ、
その分流回路に流量検出部を有しており、何らかの原因
で本分流回路に詰まりが生じたり、又、センサに異常が
発生した場合、実流量と流量検出信号が異なり、結果的
に流量設定値と異なる流量となるが、これを検出するこ
とが出来ないという不具合があった。本発明の目的は、
上述の分流回路の詰まり、センサ異常等の流量検出部の
異常をチェック出来るマスフローコントローラの流量異
常チェックシステムを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、マスフローコントローラの検出流量を、当該マスフ
ローコントローラ以外の手段でチェックし、流量が正常
である場合の検出流量と、バルブへの信号の関係を記憶
しておく手段と、その記憶値と、検出流量とバルブへの
信号とのモニタ値を比較するものである。又、バルブの
経時的変化等により、流量とバルブへの信号との関係が
変化した場合に上記記憶値を変更する手段を有する。
に、マスフローコントローラの検出流量を、当該マスフ
ローコントローラ以外の手段でチェックし、流量が正常
である場合の検出流量と、バルブへの信号の関係を記憶
しておく手段と、その記憶値と、検出流量とバルブへの
信号とのモニタ値を比較するものである。又、バルブの
経時的変化等により、流量とバルブへの信号との関係が
変化した場合に上記記憶値を変更する手段を有する。
【０００５】
【作用】前記構成により、実際の運用において、マスフ
ローコントローラーの異常や流量異常をマスフローコン
トローラーのバルブへの信号と記憶させている正常時の
バルブへの信号と比較する事により、異常のチェックが
可能となる。又、比較した結果が異なり、異常と判定し
た場合、別の流量チェック方法によりチェックし、正常
であれば現状の検出流量とバルブ開度の関係を正常値と
して記憶し、以降の比較をこの記憶値により判定する。
ローコントローラーの異常や流量異常をマスフローコン
トローラーのバルブへの信号と記憶させている正常時の
バルブへの信号と比較する事により、異常のチェックが
可能となる。又、比較した結果が異なり、異常と判定し
た場合、別の流量チェック方法によりチェックし、正常
であれば現状の検出流量とバルブ開度の関係を正常値と
して記憶し、以降の比較をこの記憶値により判定する。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を図１に基づいて説明する。図
１は本発明の一実施例を示すもので、まずマスフローコ
ントローラー１の正常時の流量とバルブへの信号８との
関係をマイコン１３に記憶させる。次に実際にエッチン
グ時に、装置制御用マイコン４よりエッチングを行う条
件での流量設定信号９が出されると、マスフローコント
ローラー１の内部にある分流回路５の流量を検出し、こ
の流量検出信号６が比較回路２に取り込まれ、マイコン
からの流量設定信号９と比較を行い、この結果により信
号８が流量調整バルブ３に出され、流量の調整を行なっ
ている。マイコン１３は、この時に出される信号８、マ
イコン４からの流量設定信号９と記憶値との比較を行
い、バルブ信号許容範囲値信号１１の範囲内であれば正
常と判断し、許容範囲外であればバルブ開度異常信号１
２をマイコン４へ出力する。正常時には、前述の様に流
量検出信号６と流量設定信号９とを比較して出される信
号８は、マイコン１３に記憶させてある値とほぼ一致
し、バルブ開度許容範囲値信号１１内であるが、マスフ
ローコントローラーに異常が発生した場合や、経時変化
等により流量変化が生じた場合には、マスフローコント
ローラーが誤ったバルブ信号８を流量調整バルブ３へ送
り、流量調整を行なってしまう。この時の信号８と、マ
イコン１３の記憶値とは異なってくる。これをバルブ開
度許容範囲値信号１１と比較し、許容範囲がどうかチェ
ックし、範囲外の場合マスフローコントローラー異常又
は流量異常を出力する。尚、マスフローコントローラ１
の正常値の流量と、バルブへの信号８との関係値は、装
置制御用マイコンにより実施させるビルトアップ法によ
るマスフロー流量検索時に、正常と判断された時の値が
記憶される。
１は本発明の一実施例を示すもので、まずマスフローコ
ントローラー１の正常時の流量とバルブへの信号８との
関係をマイコン１３に記憶させる。次に実際にエッチン
グ時に、装置制御用マイコン４よりエッチングを行う条
件での流量設定信号９が出されると、マスフローコント
ローラー１の内部にある分流回路５の流量を検出し、こ
の流量検出信号６が比較回路２に取り込まれ、マイコン
からの流量設定信号９と比較を行い、この結果により信
号８が流量調整バルブ３に出され、流量の調整を行なっ
ている。マイコン１３は、この時に出される信号８、マ
イコン４からの流量設定信号９と記憶値との比較を行
い、バルブ信号許容範囲値信号１１の範囲内であれば正
常と判断し、許容範囲外であればバルブ開度異常信号１
２をマイコン４へ出力する。正常時には、前述の様に流
量検出信号６と流量設定信号９とを比較して出される信
号８は、マイコン１３に記憶させてある値とほぼ一致
し、バルブ開度許容範囲値信号１１内であるが、マスフ
ローコントローラーに異常が発生した場合や、経時変化
等により流量変化が生じた場合には、マスフローコント
ローラーが誤ったバルブ信号８を流量調整バルブ３へ送
り、流量調整を行なってしまう。この時の信号８と、マ
イコン１３の記憶値とは異なってくる。これをバルブ開
度許容範囲値信号１１と比較し、許容範囲がどうかチェ
ックし、範囲外の場合マスフローコントローラー異常又
は流量異常を出力する。尚、マスフローコントローラ１
の正常値の流量と、バルブへの信号８との関係値は、装
置制御用マイコンにより実施させるビルトアップ法によ
るマスフロー流量検索時に、正常と判断された時の値が
記憶される。
【０００７】
【発明の効果】本発明によれば、マスフローコントロー
ラーによるガスの流量異常をチェックする事が可能とな
り、エッチング装置においてエッチング不良を低減させ
ることが可能であり、エッチング装置そのものの信頼性
を確保する事が可能となる。
ラーによるガスの流量異常をチェックする事が可能とな
り、エッチング装置においてエッチング不良を低減させ
ることが可能であり、エッチング装置そのものの信頼性
を確保する事が可能となる。
【図１】本発明のシステム構成の一実施例を表わす説明
図である。
図である。
【図２】従来システム構成を表わす説明図である。
１…マスフローコントローラー、２…比較回路、３…流
量調整バルブ、４…装置制御用マイコン、５…流量検出
用分流回路、６…流量検出信号、７…流量モニター信
号、８…バルブ信号、９…流量設定信号、１０…バルブ
開度正常値信号 １１…バルブ開度許容範囲値信号、12…バルブ開度異常
信号、１３…マスフロー異常チェックマイコン。
量調整バルブ、４…装置制御用マイコン、５…流量検出
用分流回路、６…流量検出信号、７…流量モニター信
号、８…バルブ信号、９…流量設定信号、１０…バルブ
開度正常値信号 １１…バルブ開度許容範囲値信号、12…バルブ開度異常
信号、１３…マスフロー異常チェックマイコン。
Claims (2)
- 【請求項１】ガス流量を外部より設定され、内部センサ
により流量を検出し、検出流量信号を外部へ出力すると
共にその検出値と設定値が一致する様バルブへの信号を
変化させるマスフローコントローラの流量異常チェック
システムにおいて、検出流量信号とバルブへの信号を入
力する手段と、検出流量に対するバルブへの信号値を記
憶する手段と、記憶された検出流量に対するバルブへの
信号値と、入力された検出流量とバルブへの信号値を比
較する手段と、比較結果を外部へ出力する手段を有する
ことを特徴とするマスフローコントローラの流量異常チ
ェックシステム。 - 【請求項２】前記検出流量に対するバルブへの信号値の
記憶値を、外部信号により変更する機能を有することを
特徴とする請求項１記載のマスフローコントローラの流
量異常チェックシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24957792A JPH06102068A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 流量異常チェックシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24957792A JPH06102068A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 流量異常チェックシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06102068A true JPH06102068A (ja) | 1994-04-12 |
Family
ID=17195080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24957792A Pending JPH06102068A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 流量異常チェックシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06102068A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003067353A1 (fr) * | 2002-02-07 | 2003-08-14 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement et procede d'entretien dudit dispositif |
| US7491864B2 (en) | 2001-02-02 | 2009-02-17 | Daio Paper Corporation | Absorbent article for body fluids and production method thereof |
| JP2014528606A (ja) * | 2011-09-29 | 2014-10-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法 |
| WO2016129170A1 (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | 村田機械株式会社 | パージ装置、パージストッカ、及びパージ異常検出方法 |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP24957792A patent/JPH06102068A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7491864B2 (en) | 2001-02-02 | 2009-02-17 | Daio Paper Corporation | Absorbent article for body fluids and production method thereof |
| WO2003067353A1 (fr) * | 2002-02-07 | 2003-08-14 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement et procede d'entretien dudit dispositif |
| US7367350B2 (en) | 2002-02-07 | 2008-05-06 | Tokyo Electron Limited | Processing device and method of maintaining the device |
| JP2014528606A (ja) * | 2011-09-29 | 2014-10-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法 |
| WO2016129170A1 (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | 村田機械株式会社 | パージ装置、パージストッカ、及びパージ異常検出方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5554976A (en) | Method and apparatus for detecting abnormality in gas supply equipment | |
| RU2130174C1 (ru) | Устройство для обнаружения ошибок в приспособлении для обнаружения детонационных стуков | |
| JP3619524B2 (ja) | チャージ圧力制御装置 | |
| KR20020005583A (ko) | 에러가 있는 센서를 인식하기 위한 방법 | |
| US7021117B2 (en) | Method for diagnosing a noisy failure of a fuel level sensor in a vehicle | |
| EP0216522A2 (en) | Measuring device calibration | |
| JPH06102068A (ja) | 流量異常チェックシステム | |
| EP0707250A4 (en) | METHOD AND DEVICE FOR DETECTING ERRORS | |
| US4488525A (en) | Engine speed control device for internal combustion engine | |
| KR20020032429A (ko) | 에러 검출 및 교정 방법 | |
| KR20020035890A (ko) | 센서의 모니터링 방법 및 장치 | |
| US5249119A (en) | Apparatus for and method of detecting a malfunction of a controller | |
| JPH04160319A (ja) | 異常検出方法および装置 | |
| US4864203A (en) | Diagnostic apparatus | |
| JP2651324B2 (ja) | 圧力センサ内蔵ガスメータ | |
| JPH06213592A (ja) | 流量異常検出装置 | |
| KR100412677B1 (ko) | 차량의 산소센서 모니터링 제어장치 및 방법 | |
| JPH0364652A (ja) | 絞り弁全閉検出方法 | |
| JPH06255925A (ja) | エレベータの点検運転装置 | |
| JP2677132B2 (ja) | ガス供給設備異常検出装置 | |
| JPH05251398A (ja) | ドライエッチング装置 | |
| JPH03237252A (ja) | エンジン制御装置 | |
| JPH02293504A (ja) | ボイラの給水系統における給水能力低下の異常箇所検出方法 | |
| JPH03115826A (ja) | ガス漏れ警報遮断装置及びガス漏れ遮断方法 | |
| JPH01130059A (ja) | ポイントの故障検出方法 |