KR19980051761A - 반도체 제조용 자동시너공급장치 및 자동시너공급방법 - Google Patents
반도체 제조용 자동시너공급장치 및 자동시너공급방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR19980051761A KR19980051761A KR1019960070676A KR19960070676A KR19980051761A KR 19980051761 A KR19980051761 A KR 19980051761A KR 1019960070676 A KR1019960070676 A KR 1019960070676A KR 19960070676 A KR19960070676 A KR 19960070676A KR 19980051761 A KR19980051761 A KR 19980051761A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- thinner
- supply tank
- supply
- automatic
- auxiliary
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
Abstract
본 발명은 반도체 제조용 자동시너공급장치 및 자동시너공급방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 자동시너공급장치는, 웨이퍼(6)를 린스하기 위한 분사노즐(4)을 갖는 시너공급장치에 있어서, 주공급탱크(11)와, 공급관(2)을 경유하여 상기 주공급탱크(11)에 연결되는 보조공급탱크(14) 및 상기 보조공급탱크(14)에 연결되는 다기관(16)으로 이루어지며, 또한 자동시너공급방법은, 웨이퍼(6) 상으로 시너를 분사하기 위한 분사노즐(4)에 시너를 공급함에 있어, 주공급탱크(11)내의 시너를 보조공급탱크(14)에 유입시키고, 보조공급탱크(14)내의 시너를 분사노즐(4)이 연결된 다기관(16)으로 유입시키도록 이루어진다.
따라서, 분사노즐(4)에 기포가 유입되지 않도록 하고, 항상 일정하게 시너가 분사될 수 있도록 하여 균일한 린스효과를 얻을 수 있도록 하는 효과가 있으며, 그에 의하여 웨이퍼(6)의 균일한 린스를 가능하게 하고, 반도체 장치의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조용 자동시너공급장치 및 자동시너공급방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼의 린스를 위한 분사노즐에 반도체용 시너를 자동적으로 그리고 연속적으로 공급하기 위한 자동시너공급장치와 자동시너공급방법에 관한 것이다.
반도체 장치를 제조하기 위한 여러 공정들 중 포토리소그래피(Photolithography)공정은 웨이퍼에 패턴을 형성시키기 위한 공정으로서, 웨이퍼 상에의 포토레지스트의 코팅(coating), 코팅된 포토레지스트의 소프트베이킹(Soft Baking), 노광(exposuring), 하드베이킹(Hard Baking) 및 현상(developing)으로 이루어지며, 최종의 현상에 의하여 웨이퍼 상에 형성된 패턴을 이용하여 식각(etching)공정 등에 의하여 웨이퍼의 최상단층을 식각해내어 패턴에 따른 소자의 형성을 가능하게 한다.
따라서, 포토레지스트를 웨이퍼 상에 코팅하고, 또 웨이퍼 전면의 에지부나, 후면에 코팅된 불필요한 포토레지스트를 린스(linse)하여 제거하는 작업은 매우 중요하며, 이러한 웨이퍼의 포토레지스트의 린스는 주로 시너의 분사에 의하여 이루어진다.
종래의 웨이퍼의 린스를 위한 시너공급장치는 주로, 도1에서 나타낸 바와 같이, 시너가 담긴 시너용기(1)를 필터(8)와 단속밸브(3)가 취부된 공급관(2)을 통하여 분사노즐(4)로 연결하고, 상기 시너용기(1)내의 시너를 질소가스와 같은 불활성기체로 가압하여 시너가 공급관(2)과 분사노즐(4)을 통하여 웨이퍼척(5)에 고정된 웨이퍼(6)로 분사되도록 이루어져 있으며, 분사에 의하여 웨이퍼(6)의 표면에 묻어있던 포토레지스트를 린스해 낸, 사용후의 시너는 배출관(7)을 통하여 회수되도록 이루어진 시너공급장치에 의하여 이루어져 있었으며, 시너용기(1)의 하단에 인접하게 용량감지센서(10)를 취부시켜 시너용기(1)의 시너를 다 사용하고 난 후에는, 상기 용량감지센서(10)로 시너의 소모를 확인하여 시너가 채워져 있는 새로운 시너용기(1)로 교환하도록 이루어져 있었다.
이러한 종래의 시너공급장치는 그 구성이 간단하여 유지, 보수가 용이하고, 설치에 비용이 적게 드는 장점이 있기는 하나, 시너용기(1)의 시너를 다 사용하고 난 후에는, 빈 시너용기(1)를 시너가 채워져 있는 새로운 시너용기(1)로 교환하는 교환작업이 수작업으로만 이루어지도록 되어 있어 시너용기(1)의 교환시간 동안의 린스공정의 정지에 따른 생산성의 저하가 일어나는 문제점이 있었다. 더욱이, 시너용기(1)의 교환 도중 시너가 통과하는 공급관(2)으로 공기가 유입되어 기포가 발생할 수 있게 되며, 공급관(2) 중의 기포의 유입은 분사노즐(4)을 통한 시너의 균일한 분사를 곤란하게 하며, 이는 곧 웨이퍼(6) 상의 정상적인 포토레지스트 코팅부분을 침식해 들어가는 시너어택(thinner attack)현상이나 불필요하게 코팅된 포토레지스트의 린스불량, 특히 웨이퍼(6)의 측면에 대한 측면린스불량 등의 원인이 되어 반도체 장치의 전체적인 수율이 저하되는 문제점이 있었으며, 그외에도 수작업에 의한 교환작업시 시너증기를 작업자가 흡입하게 되어 인체에 해로운 영향을 줄 수 있으며, 취급부주의에 의한 시너의 유실, 화재발생의 우려 및 그에 따른 환경의 열악화 및 환경오염의 문제점도 발생할 수 있으며, 역시 번거롭고 시간이 많이 걸리는 작업임이 분명한 것이다.
본 발명의 목적은, 시너의 공급을 항상 자동적으로 유지할 수 있도록 함으로써 린스공정이 중단없이 진행될 수 있는 자동시너공급장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 공급관 중에 기포가 유입되지 않도록 시너의 공급을 항상 자동적으로 유지할 수 있는 자동시너공급장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또다른 목적은, 시너의 공급을 항상 자동적으로 유지할 수 있도록 함으로써 린스공정이 중단없이 진행될 수 있는 자동시너공급방법을 제공하는 데 있다.
도1은 종래의 시너공급장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도2는 본 발명에 따른 자동시너공급장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도3은 본 발명에 따른 자동시너공급방법을 나타내는 흐름도이다.
도4는 도3의 흐름도에 적용되는 인터럽트의 흐름도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 시너용기 2 : 공급관
3 : 단속밸브 4 : 분사노즐
5 : 웨이퍼척 6 : 웨이퍼
7 : 배출관 8 : 필터
9 : 가압관 10 : 용량감지센서
11 : 주공급탱크 12 : 외부인입관
13 : 펌프 14 : 보조공급탱크
15 : 3방향밸브 16 : 다기관
17 : 배기관 18 : 화재감지센서
19 : 소화기 20 : 소화관
21 : 소화노즐 22 : 펌프하우징
23 : 누설감지센서 24 : 콘트롤패널
25 : 디스플레이 26 : 시너회수탱크
본 발명에 따른 자동시너공급장치는, 웨이퍼를 린스하기 위한 분사노즐을 갖는 시너공급장치에 있어서, 주공급탱크와, 공급관을 경유하여 상기 주공급탱크에 연결되는 보조공급탱크 및 상기 보조공급탱크에 연결되는 다기관으로 이루어진다.
상기 주공급탱크에는 그 내부로 시너를 공급하기 위한 외부인입관과 그 내부로 유입되는 시너의 양을 측정하기 위한 용량감지센서와 그 내부의 시너를 가압하여 시너가 보조공급탱크로 이송될 수 있도록 하는 가압관 및 상기 주공급탱크 내로 유입된 기체를 배기시키기 위한 배기관이 더 취부될 수 있다.
상기 보조공급탱크에는 그 내부로 유입되는 시너의 양을 측정하기 위한 용량감지센서와 그 내부의 시너를 가압하여 시너가 다기관으로 이송될 수 있도록 하는 가압관 및 상기 주공급탱크 내로 유입된 기체를 배기시키기 위한 배기관이 더 취부될 수 있다.
상기 주공급탱크와 상기 보조공급탱크를 연결하는 공급관에는 펌프가 더 취부되어 주공급탱크 중의 시너를 상기 보조공급탱크로 이송시키도록 할 수 있으며, 또한 단속밸브와 필터가 더 취부될 수 있다.
특히, 상기 주공급탱크와 상기 보조공급탱크를 연결하는 공급관에 취부되는 펌프는 2개 이상이 병렬로 연결될 수 있으며, 병렬연결된 펌프들에 직렬로 단속밸브가 더 취부될 수 있다.
상기 펌프들 각각의 전, 후 모두에 단속밸브들이 연결되어 2개의 펌프들 중 임의의 펌프를 선택적으로 사용할 수 있도록 할 수 있다.
더욱이, 상기 펌프가 펌프하우징내에 취부되며, 펌프하우징의 저면에 누설감지센서를 설치하여 펌프나 기타 단속밸브들로부터의 시너의 누설이 있는 경우 이를 감지하여 통상의 증폭기 및 경보기 등으로 누설여부를 경보할 수 있도록 할 수 있다.
또한, 사용하고난 후의 시너를 회수하여 배출하는 배출관을 상기 주공급탱크와 별도로 시너회수탱크로 수집할 수 있으며, 이 시너회수탱크에 그 내부로 유입되는 시너의 양을 측정하기 위한 용량감지센서가 더 취부될 수 있다.
상기 하나의 다기관에 대하여 2개의 보조공급탱크가 연결될 수 있으며, 이 경우, 각 보조공급탱크에 연결된 공급관들이 3방향밸브를 통하여 하나의 다기관에 연결될 수 있다.
더욱이, 상기 주공급탱크와 펌프하우징 등에 화재감지센서를 취부시키고, 화재발생시에 소화관을 경유하여 소화기에 연결된 소화노즐을 개방시켜 소화기내의 소화물질을 분사하여 소화시키도록 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 자동시너공급방법은, 웨이퍼 상으로 시너를 분사하기 위한 분사노즐에 시너를 공급함에 있어, 주공급탱크내의 시너를 보조공급탱크에 유입시키고, 보조공급탱크내의 시너를 분사노즐이 연결된 다기관으로 유입시키도록 이루어진다.
상기 보조공급탱크내의 시너 양을 측정하여 시너가 완전히 소모되기 전에 상기 주공급탱크로부터 보조공급탱크로 시너가 자동으로 공급되도록 조절할 수 있으며, 또한 상기 주공급탱크내의 시너 양을 측정하여 시너가 완전히 소모되기 전에 상기 주공급탱크에 시너를 보충토록 할 수 있으며, 상기 보조공급탱크와 주공급탱크내의 시너가 하한까지 소모된 경우에는 경고를 발하도록 할 수 있다.
상기 보조공급탱크와 주공급탱크내의 시너의 양을 마이크로컴퓨터에 의한 인터럽트에 의하여 간헐적으로 확인하여 보조공급탱크와 주공급탱크에 항상 시너가 보충되도록 할 수 있으며, 상기 보조공급탱크와 주공급탱크내의 시너가 하한까지 소모된 경우에는 경고를 발하도록 할 수 있다.
상기 보조공급탱크 또는 주공급탱크내의 시너의 양을 용량감지센서로 감지하고, 그 출력을 콘트롤패널내의 마이크로컴퓨터 등에 의하여 사전에 설정된 일정범위 이내의 시너량이 유지되도록 조절할 수 있다.
상기 주공급탱크내의 시너는 가압된 기체를 사용하여 주공급탱크내의 시너를 가압하여 공급관을 통하여 보조공급탱크로 유입시키거나 또는 공급관에 취부된 펌프의 가동에 의하여 보조공급탱크로 유입킬 수 있다.
또한, 상기 주공급탱크와 보조공급탱크내로 유입되는 기체를 감압에 의하여 배기시켜 시너의 분사시에 기포가 형성되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 따른 자동시너공급방법은 바람직하게는 웨이퍼 상으로 시너를 분사하기 위한 분사노즐에 시너를 공급함에 있어, 상기 보조공급탱크내의 시너의 양을 확인하여 시너량이 하한이 되는 때에 주공급탱크로부터 시너를 보충하도록 하고, 주공급탱크내의 시너의 양을 확인하여 시너량이 하한이 되는 때에 외부공급관을 통하여 시너를 보충하도록 이루어진다.
본 발명에 따른 자동시너공급방법은 더 바람직하게는 웨이퍼 상으로 시너를 분사하기 위한 분사노즐에 시너를 공급함에 있어, 상기 보조공급탱크와 주공급탱크내의 시너의 양을 마이크로컴퓨터에 의한 인터럽트에 의하여 간헐적으로 확인하여 보조공급탱크와 주공급탱크에 항상 시너가 보충되도록 이루어진다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 자동시너공급장치는, 웨이퍼(6)를 린스하기 위한 분사노즐(4)이 시너가 담긴 시너용기(1)로부터 직접 분사노즐(4)로 연결되는 직접연결방식의 종래의 시너공급장치와는 달리 분사노즐(4)이나 이 분사노즐(4)이 연결되는 다기관(16)에 주공급탱크(11)와 보조공급탱크(14)로 된 이중의 시너공급원이 연결되도록 하여 분사노즐(4)에 시너가 중단됨이 없이 연속적으로 그리고 자동적으로 공급되도록 한 점에 특징이 있는 것이다.
여기에서 주공급탱크(11)나 보조공급탱크(14)는 종래의 시너용기(1)와 동일 또는 유사한 것이 될 수 있으나, 단지 시너용기(1)내에 시너가 들어있는지의 여부만을 확인할 수 있는 하나의 용량감지센서(10)가 하단에 취부된 종래의 시너용기(1)와는 달리 상기 주공급탱크(11)나 보조공급탱크(14)는 모두 각각 그 상단과 하단에 시너의 상한과 하한을 측정할 수 있도록 적어도 2개의 용량감지센서(10)를 취부시켜 이들 용량감지센서(10)들로부터의 출력을 프로그래밍가능한 마이크로컴퓨터로 처리하여 항상 자동적으로 시너가 보충되도록 구성된 점에 특징이 있는 것이다.
또한, 상기에서 다기관(16)은 다수의 분사노즐(4)들이 취부되는 관들의 집합체로서, 상기 다기관(16)으로 유입되는 시너를 각 분사노즐(4)들로 나누어서 공급하는 기능을 한다.
상기 주공급탱크(11)에는 그 내부로 시너를 공급하기 위한 외부인입관(12)이 더 취부될 수 있으며, 상기 주공급탱크(11)내의 시너가 소모되어 비게되는 경우, 그 하단에 취부된 용량감지센서(10)에 의한 출력에 의하여 외부로부터 상기 외부인입관(12)을 통하여 시너가 공급될 수 있도록 한다.
상기 주공급탱크(11)의 상단과 하단에 취부되는 용량감지센서(10)들은 모두 종래의 시너공급장치에서 사용되던 용량감지센서(10)와 동일 또는 유사한 것으로서, 당해 기술분야에서 숙련된 자에게는 용이하게 이해될 수 있는 것임은 물론 상용적으로 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것이다.
또한, 상기 주공급탱크(11)에는 가압관(9)이 더 연결될 수 있으며, 이 가압관(9)을 통하여 가압된 기체가 상기 주공급탱크(11)내로 유입되어 주공급탱크(11)내의 압력을 상승시킴으로써 주공급탱크(11)내의 시너가 상기 주공급탱크(11)에 연결된 공급관(2)을 통하여 보조공급탱크(14)로 이송시킬 수 있다. 이때의 가압된 기체로는 질소가스와 같은 불활성기체가 사용될 수 있으며, 통상의 레귤레이터(regulator)가 취부된 질소가스통에 연결하여 질소가스의 압력에 의하여 주공급탱크(11)내의 시너를 보조공급탱크(14)로 이송시키도록 구성할 수 있다.
상기 주공급탱크(11)에는 그 내부에 유입된 기체를 배기시키기 위한 배기관(17)이 더 취부될 수 있으며, 이 배기관(17)의 타측단부는 대기중에 노출되거나 또는 통상의 배기라인(도면의 단순화를 위하여 도시하지 않음) 등에 연결될 수 있다.
상기 보조공급탱크(14)에도 상기 주공급탱크(11)에 취부된 것과 동일 또는 유사한 용량감지센서(10)들과 가압관(9) 및 배기관(17)들이 취부되며, 상기 주공급탱크(11)에서와 동일 또는 유사한 기능을 수행하도록 기능한다.
또한, 상기 주공급탱크(11)와 상기 보조공급탱크(14)를 연결하는 공급관(2)에는 펌프(13)가 더 취부될 수 있으며, 이 펌프(13)는 주공급탱크(11)로부터 보조공급탱크(14)로 시너를 공급함에 있어 상기 주공급탱크(11)에 연결된 가압관(9)을 통한 가압된 기체에 의한 시너의 이송을 대신하여 펌프(13)의 가동에 의하여 유체 즉, 시너에 가해지는 물리적인 힘에 의한 시너의 이송을 가능하게 한다.
상기 공급관(2)에는 단속밸브(3)와 필터(8)가 더 취부되며, 여기에서 단속밸브(3)는 공급관(2)을 통하여 흐르는 시너의 흐름을 단속하는 역할을 하며, 필터(8)는 상기 공급관(2)을 통하여 흐르는 시너를 여과하여 시너 중에 포함될 수 있는 불순물을 여과하여 불순물이 제거된 깨끗한 시너가 분사노즐(4)을 통하여 웨이퍼(6) 표면 상으로 분사되어 웨이퍼(6)를 린스할 수 있도록 하는 역할을 한다.
특히, 상기 주공급탱크(11)와 상기 보조공급탱크(14)를 연결하는 공급관(2)에 취부되는 펌프(13)가 2개 이상이 병렬로 연결될 수 있으며, 상기한 펌프(13)들의 병렬연결은 서로 대체사용이 가능하도록 하는 것으로서, 어느 하나의 펌프(13)의 고장 등 비동작시 다른 하나를 곧바로 대체하여 가동시킬 수 있도록 함으로써 항시 보조공급탱크(14)로 시너가 이송될 수 있도록 하여 보조공급탱크(14)가 비지 않도록 하는 기능을 한다. 상기한 바와 같이 서로에 대하여 병렬연결된 펌프(13)들 중 임의의 어느 하나의 펌프(13)의 가동은 프로그래밍가능한 마이크로컴퓨터에 의하여 선택적으로 가동될 수 있는 것으로 이해될 수 있다.
또한, 상기 서로에 대하여 병렬연결된 펌프(13)들에 직렬로 단속밸브(3)가 더 취부되어 어느 하나의 펌프(13)의 가동시에 그 펌프(13)와 직렬로 연결된 단속밸브(3)는 개방시키고, 다른 하나의 펌프(13)와 직렬로 연결된 단속밸브(3)는 폐쇄시킴으로써 선택된 하나의 펌프(13)를 통하여 시너가 상기 주공급탱크(11)로부터 상기 보조공급탱크(14)로 이송될 수 있도록 할 수 있다.
물론, 2개의 펌프(13)를 모두 동시에 가동시켜 보다 빠른 속도로 대량의 시너를 상기 주공급탱크(11)로부터 상기 보조공급탱크(14)로 이송시키는 것도 가능함은 당연히 이해될 수 있는 것이다.
상기 펌프(13)들에 직렬로 연결되는 단속밸브(3)들은 특히 각각의 펌프(13)들의 전, 후 모두에 단속밸브(3)들이 연결될 수도 있으며, 이들 단속밸브(3)들은 역시 상기한 바와 동일한 목적을 달성할 수 있도록 하는 기능을 한다.
더욱이, 상기 펌프(13)들은 펌프하우징(22)내에 취부되며, 상기 펌프하우징(22)의 저면에 누설감지센서(23)를 설치하여 펌프(13)나 기타 단속밸브(3)들로부터의 시너의 누설이 있는 경우 이를 감지하여 통상의 경보기 등으로 누설여부를 경보할 수 있도록 할 수 있다. 상기 펌프하우징(22)이 없는 경우, 누설감지센서(23)에 의한 누설여부를 효과적으로 확인할 수 없을 뿐 더러, 펌프(13)와 단속밸브(3)가 노출되어 있는 경우의 불의의 접촉 등에 의한 손상이나 고장을 일으킬 수 있으며, 펌프하우징(22)의 설치에 의하여 이러한 손상이나 고장을 예방하고, 펌프(13)와 단속밸브(3)를 보호하며, 시너의 누설시에 이를 누설감지센서(23)로 용이하게 감지할 수 있도록 한다.
또한, 사용하고난 후의 시너를 회수하여 배출하는 배출관(7)을 상기 주공급탱크(11)와 별도로 시너회수탱크(26)로 수집할 수 있으며, 이러한 배출관(7)과 배출관(7)을 통한 시너회수탱크(26)로의 시너의 회수는 당해 기술분야에서 숙련된 자에게는 용이하게 이해될 수 있을 정도로 공지된 것이다. 본 발명에서는 상기한 바와 같이 사용되고 난 후의 시너를 회수하는 시너회수탱크(26)의 상단과 하단 각각에 상기 주공급탱크(11)나 보조공급탱크(14)에 취부되는 것과 동일 또는 유사한 용량감지센서(10)가 역시 취부되며, 이들 용량감지센서(10)들에 의하여 시너회수탱크(26)내의 시너를 적절하게 관리하고 또 처리할 수 있도록 하는 기능을 한다.
특히, 다기관(16)으로의 지속적인 시너의 공급을 보다 확실하게 하기 위하여 상기 하나의 다기관(16)에 대하여 2개의 보조공급탱크(14)를 연결시켜 구성할 수 있으며, 이 경우, 각 보조공급탱크(14)에 연결된 공급관(2)들이 3방향밸브(15)를 통하여 하나의 다기관(16)에 연결될 수 있다. 2개의 보조공급탱크(14)의 연결에 의하여 어느 하나의 보조공급탱크(14)내의 시너량이 하한으로 되는 경우에 상기 3방향밸브(15)를 변위시켜 즉시 다른 하나의 보조공급탱크(14)로부터 시너가 다기관(16)으로 공급되도록 한다. 이들 2개의 보조공급탱크(14)들은 모두 동일한 것이 사용될 수 있으며, 상기에서 다기관(16)으로 연결되는 3방향밸브(15)는 통상의 유체이음에 사용되는 단속밸브로서, 3개의 서로 다른 관들에 연결되어 그들 중 임의의 2개의 관들을 서로 연결하는 단속밸브이며, 이러한 단속밸브는 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 용이하게 이해될 수 있는 것이며, 또한 상용적으로 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것이다.
상기 주공급탱크(11)나 보조공급탱크(14)에 취부되는 용량감지센서(10)들, 상기 펌프하우징(22)내의 누설감지센서(23) 및 화재감지센서(18) 등의 센서들과 상기 펌프(13)들 및 단속밸브(3)들이 모두 별도의 콘트롤패널(24)에 전기적으로 연결되어 이 콘트롤패널(24)에 의하여 동작될 수 있으며, 이 콘트롤패널(24)내에는 프로그래밍가능한 마이크로컴퓨터가 내장되어 이들 센서들과 단속밸브(3)들 및 펌프(13)까지 예정된 프로그램에 따라 동작하도록 전자제어할 수 있는 것으로서, 당해 기술분야에서 숙련된 자에게 이해될 수 있는 것이며, 또한 예정된 프로그램 역시 도3 및 도4에 개략적으로 제어의 흐름을 나타낸 흐름도에 따라 적절하게 제어할 수 있도록 구성할 수 있다.
상기 콘트롤패널(24)에는 디스플레이(25)가 더 연결되어 콘트롤패널(24)에 의하여 동작되는 동작상황을 디스플레이(25)로 표시할 수 있도록 할 수 있으며, 이 디스플레이(25) 역시 통상의 모니터 등이 사용될 수 있으며, 여기에서 상기 모니터는 마이크로컴퓨터에 의하여 제어되면서 마이크로컴퓨터에 저장된 프로그램에 따른 동작상태를 육안으로 확인할 수 있도록 문자나 도형으로 표시할 수 있는 것으로 이해될 수 있는 것이다.
더욱이, 상기 주공급탱크(11)와 펌프하우징(22) 등에 화재감지센서(18)를 취부시키고, 화재발생시에 소화관(20)을 경유하여 소화기(19)에 연결된 소화노즐(21)을 개방시켜 소화기(19)내의 소화물질을 분사하여 소화시키도록 할 수 있으며, 여기에서 화재감지센서(18)는 적외선감지센서와 같은 센서로 일정온도 이상의 온도에 대응하는 적외선이 검출될 때, 이를 화재상태로 간주하고, 소화기(19)를 동작시켜 소화관(20)과 소화노즐(21)을 통해 이산화탄소나 할론과 같은 소화물질을 분사토록 구성할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 자동시너공급방법은, 웨이퍼(6) 상으로 시너를 분사하기 위한 분사노즐(4)에 시너를 공급함에 있어, 주공급탱크(11)내의 시너를 보조공급탱크(14)에 유입시키고, 보조공급탱크(14)내의 시너를 분사노즐(4)이 연결된 다기관(16)으로 유입시키도록 이루어지는 것으로서, 주공급탱크(11)내의 시너를 직접 분사노즐(4)이나 분사노즐(4)이 연결된 다기관(16)으로 직접 유입시키지 아니하고, 상기 주공급탱크(11)와 분사노즐(4) 또는 분사노즐(4)이 연결된 다기관(16)의 중간에 보조공급탱크(14)를 연결시키고, 상기 보조공급탱크(14)를 경유하여 시너가 흐를 수 있도록 함으로써 보조공급탱크(14)에 유입시키고, 보조공급탱크(14)내의 시너를 분사노즐(4)이 연결된 다기관(16)으로 유입시키도록 이루어짐에 특징이 있다. 여기에서 보조공급탱크(14)의 역할은 일정량의 시너를 일시적으로 저장시켰다가 분사노즐(4)에 공급하기 위한 것으로서, 전기회로에서의 콘덴서(condenser)와 같은 역할을 하며, 주공급탱크(11)에 시너가 고갈되는 경우에도 주공급탱크(11)가 보충되는 동안에도 보조공급탱크(14)내의 시너를 공급할 수 있도록 하여 분사노즐(4)이나 분사노즐(4)이 연결된 다기관(16)에 시너를 중단없이 공급하도록 하는 역할을 한다.
따라서, 상기 보조공급탱크(14)내의 시너 양을 측정하여 시너가 완전히 소모되기 전에 상기 주공급탱크(11)로부터 보조공급탱크(14)로 시너가 자동으로 공급되도록 조절할 필요가 있으며, 보조공급탱크(14)내의 시너가 하한까지 도달하는 경우에 즉시 상기 주공급탱크(11)로부터 시너를 공급받도록 한다.
상기 주공급탱크(11)내의 시너는 가압된 기체를 사용하여 주공급탱크(11)내의 시너를 가압하여 공급관(2)을 통하여 보조공급탱크(14)로 유입시키거나 또는 공급관(2)에 취부된 펌프(13)의 가동에 의하여 보조공급탱크(14)로 유입킬 수 있으며, 시너의 오염을 방지하기 위하여는 가압된 기체의 사용이 보다 바람직하다.
상기 보조공급탱크(14)내의 시너 양을 측정하여 시너가 완전히 소모되기 전에 상기 주공급탱크(11)로부터 보조공급탱크(14)로 시너가 자동으로 공급되도록 조절할 수 있으며, 또한 상기 주공급탱크(11)내의 시너 양을 측정하여 시너가 완전히 소모되기 전에 상기 주공급탱크(11)에 시너를 보충토록 할 수 있으며, 상기 보조공급탱크(14)와 주공급탱크(11)내의 시너가 하한까지 소모된 경우에는 경고를 발하도록 할 수 있다.
특히, 상기 보조공급탱크(14)내의 시너의 양이 하한이 되는 경우에 발해지는 경고는 취급자의 주의를 환기시켜 적절한 운영이 가능하도록 하기 위함이며, 또한 상기 주공급탱크(11)내의 시너의 양이 하한이 되는 경우에 발해지는 경고는 외부로부터 주공급탱크(11)내로 시너가 적절하게 보충될 수 있도록 하기 위함이다.
상기 보조공급탱크(14)와 주공급탱크(11)내의 시너의 양을 마이크로컴퓨터에 의한 인터럽트(interrupt)에 의하여 간헐적으로 확인하여 보조공급탱크(14)와 주공급탱크(11)에 항상 시너가 보충되도록 할 수 있으며, 상기 보조공급탱크(14)와 주공급탱크(11)내의 시너가 하한까지 소모된 경우에는 경고를 발하도록 할 수 있다.
상기에서의 인터럽트는 프로그램의 실행중에 중앙제어장치 즉, 마이크로컴퓨터가 강제적으로 제어를 특정번지로 옮기는 것으로서, 본 발명에서는 다양한 인터럽트 기법들 중 주기적인 시각인터럽트를 사용하여 일정시간 경과마다 상기 보조공급탱크(14)와 주공급탱크(11)내의 시너의 잔량을 확인하여 시너량이 하한에 도달하는 경우, 즉시 시너의 보충이 이루어지도록 함으로써 항상 일정량의 시너가 보조공급탱크(14) 및 주공급탱크(11)들에 보충되도록 하여 분사노즐(4)이나 이들이 연결된 다기관(16)에 중단없는 시너의 공급이 가능하도록 하는 기능을 한다.
상기 보조공급탱크(14) 또는 주공급탱크(11)내의 시너의 양의 보충은 상기 보조공급탱크(14)와 주공급탱크(11)들 각각의 상단과 하단에 취부된 용량감지센서(10)에 의한 출력을 콘트롤패널(24)내의 마이크로컴퓨터 등에 의하여 사전에 설정된 일정범위 이내의 시너량이 유지되도록 조절하며, 여기에서의 마이크로컴퓨터는 상용적으로 구입하여 사용할 수 있는 것으로서, 주기억장치(memory)가 갖추어진 마이크로프로세서로서 프로그래밍이 가능한 정도의 것이 사용될 수 있다.
또한, 상기 주공급탱크(11)와 보조공급탱크(14)내로 유입되는 기체를 감압에 의하여 배기시켜 시너의 분사시에 기포가 형성되는 것을 방지할 수 있으며, 이때의 배기는 기포가 공급관(2)으로 유입되지 않을 정도로 상압이나 감압에 의한 배기로 수행될 수 있다.
상기한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 자동시너공급장치는 역시 본 발명에 따른 자동시너공급방법에 의거하여 다기관(16)에 연결된 분사노즐(4)로 시너를 계속적으로 그리고 자동적으로 공급하기 위하여 보조공급탱크(14)를 경유하여 시너가 공급되도록 하고, 상기 보조공급탱크(14)가 주공급탱크(11)에 연결되어 상기 주공급탱크(11)로부터 시너를 자동적으로 공급받을 수 있도록 함으로써 항상 일정량의 시너가 보조공급탱크(14)에 저장되었다가 공급되도록 하여 주공급탱크(11)내의 시너량이 하한이 되거나 극단적으로 완전히 비게 되는 경우에도 주공급탱크(11)에 시너가 재유입되는 동안에도 분사노즐(4)로의 시너의 연속적인 공급을 가능하게 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 분사노즐(4)에 시너가 연속적으로 공급될 수 있도록 함으로써 기포가 유입되지 않도록 하고, 항상 일정하게 시너가 분사될 수 있도록 하여 균일한 린스효과를 얻을 수 있도록 하는 효과가 있으며, 그에 의하여 웨이퍼(6)의 균일한 린스를 가능하게 하고, 반도체 장치의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (40)
- 웨이퍼를 린스하기 위한 분사노즐을 갖는 시너공급장치에 있어서,주공급탱크와, 공급관을 경유하여 상기 주공급탱크에 연결되는 보조공급탱크 및 상기 보조공급탱크에 연결되며 그 말단에 상기 분사노즐이 구비되는 다기관으로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 자동시너공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 주공급탱크에 그 내부로 시너를 공급하기 위한 외부인입관이 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 주공급탱크에 그 내부로 유입되는 시너의 양을 측정하기 위한 용량감지센서가 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 주공급탱크의 상단과 하단에 각각에 그 내부로 유입되는 시너의 양을 측정하기 위한 용량감지센서가 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 주공급탱크내의 시너를 가압하는 가압관이 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 보조공급탱크에 그 내부로 유입되는 시너의 양을 측정하기 위한 용량감지센서가 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 보조공급탱크의 상단과 하단 각각에 그 내부로 유입되는 시너의 양을 측정하기 위한 용량감지센서가 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 보조공급탱크에 그 내부의 시너를 가압하여 시너가 다기관으로 이송될 수 있도록 하는 가압관이 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 보조공급탱크에 그 내부로 유입된 기체를 배기시키기 위한 배기관이 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 주공급탱크와 상기 보조공급탱크를 연결하는 공급관에 펌프가 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 주공급탱크와 상기 보조공급탱크를 연결하는 공급관에 단속밸브와 필터가 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 주공급탱크와 상기 보조공급탱크를 연결하는 공급관에 펌프가 2개 이상 병렬로 연결됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 12 항에 있어서,상기 주공급탱크와 상기 보조공급탱크를 연결하는 공급관에 병렬연결된 펌프들에 직렬로 단속밸브가 더 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 펌프들 각각의 전, 후 모두에 단속밸브들이 연결됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 10 항 내지 제 14 항들 중 어느 한 항에 있어서,상기 펌프가 펌프하우징내에 취부됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 15 항에 있어서,상기 펌프하우징의 저면에 누설감지센서가 설치됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상단과 하단 각각에 용량감지센서가 취부된 시너회수탱크가 더 연결됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 하나의 다기관에 대하여 2개의 보조공급탱크가 연결됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 18 항에 있어서,상기 각 보조공급탱크에 연결된 공급관들이 3방향밸브를 통하여 하나의 다기관에 연결됨을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 1 항에 있어서,화재감지센서를 더 취부시킴을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 제 20 항에 있어서,상기 화재감지센서에 의하여 구동되도록 소화기와 소화관 및 소화노즐을 더 취부시킴을 특징으로 하는 상기 자동시너공급장치.
- 웨이퍼 상으로 시너를 분사하기 위한 분사노즐에 시너를 공급함에 있어,주공급탱크내의 시너를 보조공급탱크에 유입시키고, 보조공급탱크내의 시너를 분사노즐이 연결된 다기관으로 유입시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 자동시너공급방법.
- 제 22 항에 있어서,상기 보조공급탱크내의 시너 양을 측정하여 시너가 완전히 소모되기 전에 상기 주공급탱크로부터 보조공급탱크로 시너가 자동으로 공급되도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 22 항에 있어서,상기 주공급탱크내의 시너 양을 측정하여 시너가 완전히 소모되기 전에 상기 주공급탱크에 시너를 보충토록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 22 항에 있어서,상기 보조공급탱크와 주공급탱크내의 시너가 하한까지 소모된 경우에는 경고를 발하도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 22 항에 있어서,상기 주공급탱크내의 시너를 가압된 기체를 사용하여 가압하여 공급관을 통하여 보조공급탱크로 유입시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 22 항에 있어서,상기 주공급탱크내의 시너를 공급관에 취부된 펌프의 가동에 의하여 보조공급탱크로 유입시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 22 항에 있어서,상기 주공급탱크와 보조공급탱크내로 유입되는 기체를 감압에 의하여 배기시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 웨이퍼 상으로 시너를 분사하기 위한 분사노즐에 시너를 공급함에 있어,상기 보조공급탱크내의 시너의 양을 확인하여 시너량이 하한이 되는 때에 주공급탱크로부터 시너를 보충하도록 하고, 주공급탱크내의 시너의 양을 확인하여 시너량이 하한이 되는 때에 외부공급관을 통하여 시너를 보충하도록 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 자동시너공급방법.
- 제 29 항에 있어서,상기 보조공급탱크와 주공급탱크내의 시너가 하한까지 소모된 경우에는 경고를 발하도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 29 항에 있어서,상기 보조공급탱크 또는 주공급탱크내의 시너의 양을 용량감지센서로 감지하고, 그 출력을 콘트롤패널내의 마이크로컴퓨터 등에 의하여 사전에 설정된 일정범위 이내의 시너량이 유지되도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 29 항에 있어서,상기 주공급탱크내의 시너를 가압된 기체를 사용하여 가압하여 공급관을 통하여 보조공급탱크로 유입시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 29 항에 있어서,상기 주공급탱크내의 시너를 공급관에 취부된 펌프의 가동에 의하여 보조공급탱크로 유입시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 29 항에 있어서,상기 주공급탱크와 보조공급탱크내로 유입되는 기체를 감압에 의하여 배기시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 웨이퍼 상으로 시너를 분사하기 위한 분사노즐에 시너를 공급함에 있어,상기 보조공급탱크와 주공급탱크내의 시너의 양을 마이크로컴퓨터에 의한 인터럽트에 의하여 간헐적으로 확인하여 보조공급탱크와 주공급탱크에 항상 시너가 보충되도록 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 자동시너공급방법.
- 제 35 항에 있어서,상기 보조공급탱크와 주공급탱크내의 시너가 하한까지 소모된 경우에는 경고를 발하도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 35 항에 있어서,상기 보조공급탱크 또는 주공급탱크내의 시너의 양을 용량감지센서로 감지하고, 그 출력을 콘트롤패널내의 마이크로컴퓨터 등에 의하여 사전에 설정된 일정범위 이내의 시너량이 유지되도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 35 항에 있어서,상기 주공급탱크내의 시너를 가압된 기체를 사용하여 가압하여 공급관을 통하여 보조공급탱크로 유입시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 35 항에 있어서,상기 주공급탱크내의 시너를 공급관에 취부된 펌프의 가동에 의하여 보조공급탱크로 유입시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
- 제 35 항에 있어서,상기 주공급탱크와 보조공급탱크내로 유입되는 기체를 감압에 의하여 배기시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 상기 자동시너공급방법.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960070676A KR19980051761A (ko) | 1996-12-23 | 1996-12-23 | 반도체 제조용 자동시너공급장치 및 자동시너공급방법 |
| TW086109473A TW352451B (en) | 1996-12-23 | 1997-07-03 | Automatic thinner supplying apparatus and method for semiconductor manufacturing process |
| JP9298363A JPH10189438A (ja) | 1996-12-23 | 1997-10-30 | 半導体製造用の自動シンナー供給装置及び供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960070676A KR19980051761A (ko) | 1996-12-23 | 1996-12-23 | 반도체 제조용 자동시너공급장치 및 자동시너공급방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980051761A true KR19980051761A (ko) | 1998-09-25 |
Family
ID=19490447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960070676A KR19980051761A (ko) | 1996-12-23 | 1996-12-23 | 반도체 제조용 자동시너공급장치 및 자동시너공급방법 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10189438A (ko) |
| KR (1) | KR19980051761A (ko) |
| TW (1) | TW352451B (ko) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050022430A (ko) * | 2003-08-30 | 2005-03-08 | 동부아남반도체 주식회사 | 매엽식 습식세정장치의 탈이온수 공급 시스템 및 그 방법 |
| KR100790736B1 (ko) * | 2003-11-13 | 2007-12-31 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 세정 장비의 세정수 공급 장치 및 방법 |
| KR101390808B1 (ko) * | 2010-08-18 | 2014-04-30 | 세메스 주식회사 | 약액 공급 장치 |
| KR20180014582A (ko) * | 2016-08-01 | 2018-02-09 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 탱크 유닛 |
| KR20200124596A (ko) * | 2019-04-23 | 2020-11-03 | 주식회사 고도이엔지 | 전해질 이송 장치 및 이를 포함하는 안전 시스템 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MY169584A (en) * | 2005-04-25 | 2019-04-22 | Entegris Inc | Liner-based liquid storage and dispensing system with empty detection capability |
| EP2388233B1 (en) | 2005-06-06 | 2017-02-08 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing systems and processes |
| US20070175392A1 (en) * | 2006-01-27 | 2007-08-02 | American Air Liquide, Inc. | Multiple precursor dispensing apparatus |
| NL1035684A1 (nl) * | 2007-07-23 | 2009-01-27 | Asml Netherlands Bv | Small Volume Resist Dispenser. |
| JP2009130031A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| WO2018123193A1 (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | オルガノ株式会社 | 希釈液製造装置および希釈液製造方法 |
-
1996
- 1996-12-23 KR KR1019960070676A patent/KR19980051761A/ko active IP Right Grant
-
1997
- 1997-07-03 TW TW086109473A patent/TW352451B/zh active
- 1997-10-30 JP JP9298363A patent/JPH10189438A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050022430A (ko) * | 2003-08-30 | 2005-03-08 | 동부아남반도체 주식회사 | 매엽식 습식세정장치의 탈이온수 공급 시스템 및 그 방법 |
| KR100790736B1 (ko) * | 2003-11-13 | 2007-12-31 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 세정 장비의 세정수 공급 장치 및 방법 |
| KR101390808B1 (ko) * | 2010-08-18 | 2014-04-30 | 세메스 주식회사 | 약액 공급 장치 |
| KR20180014582A (ko) * | 2016-08-01 | 2018-02-09 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 탱크 유닛 |
| KR20200124596A (ko) * | 2019-04-23 | 2020-11-03 | 주식회사 고도이엔지 | 전해질 이송 장치 및 이를 포함하는 안전 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10189438A (ja) | 1998-07-21 |
| TW352451B (en) | 1999-02-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR19980051761A (ko) | 반도체 제조용 자동시너공급장치 및 자동시너공급방법 | |
| US7189434B2 (en) | Photoresist supply apparatus and method of controlling the operation thereof | |
| US20170087507A1 (en) | Tail gas treatment device and tail gas treatment method | |
| KR100610023B1 (ko) | 포토스피너설비의 분사불량 제어장치 | |
| JP3628895B2 (ja) | 処理液供給装置 | |
| KR100934329B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
| JP2004128441A (ja) | 半導体コーティング設備のフォトレジストパージ制御装置及びフォトレジストパージ制御方法 | |
| JPH11165116A (ja) | 処理液塗布装置 | |
| KR102623780B1 (ko) | 처리액 공급 장치 | |
| JPH0845816A (ja) | 液体供給装置 | |
| KR19990041379U (ko) | 포토레지스트 공급장치 | |
| JP3673081B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| KR20070069698A (ko) | 도포 장치 | |
| JP3190446B2 (ja) | 内視鏡漏洩検知装置 | |
| JPH0770507B2 (ja) | 半導体ウエハ用洗浄装置 | |
| KR100940405B1 (ko) | 포토레지스트 노즐팁 세정장치 | |
| KR20030042548A (ko) | 반도체 제조 공정에서 사용되는 약액 공급 장치 | |
| KR20030021691A (ko) | 화학용액 내에 포함된 기포를 제거하기 위한 기포제거장치및 이를 이용한 기포제거방법 | |
| KR20220099091A (ko) | 액 공급 장치, 액 공급 방법 및 컴퓨터 기억 매체 | |
| CN213542078U (zh) | 一种流体化学品智能供应系统 | |
| KR20060020138A (ko) | 반도체 코팅설비의 포토레지스트 공급장치 | |
| KR200252738Y1 (ko) | 반도체장비의케미컬공급라인세정장치 | |
| KR200195086Y1 (ko) | 반도체 현상장비의 잔류 현상액 제거장치 | |
| KR100472417B1 (ko) | 반도체 제조설비용 유독가스 누출 검출방법 및 장치 | |
| KR20060047121A (ko) | 화학약품의 수거장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| NORF | Unpaid initial registration fee |