CN213542078U - 一种流体化学品智能供应系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种流体化学品智能供应系统，具体涉及半导体制造领域。该系统主要包括主箱柜、电控箱、上门、下门、原液钢瓶、供液钢瓶、操控屏、控制管路、监测传感器。原液钢瓶是用于供给设备流体化学品；供液钢瓶是为设备系统供应原液到管道输出单元；操控屏是设置运行参数和系统的人机交互界面；控制管路用于液体化学品的供应控制；监测传感器用于管路系统运行过程中的监测。本实用新型推进了半导体加工设备的升级，优化晶圆制造环节的方案，主要针对是晶圆制造过程中化学气相沉积环节，通过流体化学品智能供应系统可以安全及集中供应液体化学品到芯片加工设备，为促进我国芯片制造升级迈进一步。

Description

一种流体化学品智能供应系统

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，具体是流体化学品智能供应系统。

背景技术

受近年来我国电子产品内需的拉动，并叠加互联网进入到千家万户基本实现全覆盖和移动互联网的全民应用，中国芯片迎来的一个崭新的电子时代。由于我们芯片研发起步晚，大部分核心技术和生产设备都在国外完成，在我们内需暴增时期，外国实行技术封锁的背景下，党中央国务院提出大力发展和扶持并加大资金投入芯片制造业，我司在顺应国家政策导向，力行国家芯片战略方针，公司根据自身的实际情况，选择了在围绕芯片制造环节的研磨周围辅助设备上投入大量研发经费，研发并制造出的流体化学品智能供应系统。

实用新型内容

本实用新型采用的技术方案,提供了流体化学品智能供应系统，主要包括主箱柜、电控箱、上门407、下门406、原液钢瓶404、供液钢瓶405、操控屏408、控制管路、监测传感器。所述主箱柜402是整个设备骨架，用于安装和支撑设备的所有零部件；所述的电控箱401用于排布电子控制线路的元器件，且顶部安装有三色蜂鸣报警灯207用于侦测设备运行所处状态及发出警报蜂鸣声；所述的上门407用于设备调试时打开上门，方便所有的手阀307和调压阀305进行运行调试，且上门安装了防爆玻璃，可以在闭门的状态下可视管路中手阀的开关状态；所述的下门406用于更换钢瓶时打开，便于接头松紧操作及可视化装卸；所述的原液钢瓶404用于补充供液钢瓶405使用；所述的供液钢瓶405用于供液输出使用；所述的操控屏 408是用于设置运行参数和调试运行时系统人机交互界面；所述的控制管路403包括主要管路有排气101、氮气102、纯氦气103、纯氮气104、抽真空105、供应输出1 106、供应输出2 107、供应输出3 108、供应输出4 109、供液钢瓶补液管路、供液钢瓶输出管路111、脱气装置208、排风换气管道201；所述的监测传感器有原液钢瓶浮球液位传感器一301和电子称一211、供液钢瓶浮球液位传感器二302和电子称二212、所有压力传感器303、风压表202、红外或紫外传感器203、烟雾传感器204、气体侦测传感器 205、温度传感器206。

原液钢瓶404内部设有浮球液位传感器一301，监测原液钢瓶404的液位高H、低液位L、极低液位 LL，供液钢瓶405内部设有浮球液位传感器二302，监测供液钢瓶405的液位极高HH、液位高H、低液位 L、极低液位LL，便于系统实时监控供液钢瓶405中液位，并自动控制管路403上自动阀306的通断情况，控制管路403包括主要管路有排气101、氮气102、纯氦气103、纯氮气104、抽真空105、供应输出1106、供应输出2107、供应输出3108、供应输出4109、供液钢瓶补液管路、供液钢瓶输出管路111、脱气装置208、排风换气管道201，监测传感器主要分管路控制和设备外围监测两部分，管路控制部分的传感器有原液钢瓶浮球液位传感器一301和电子称一211、供液钢瓶浮球液位传感器二302和电子称二212、所有压力传感器303；设备外围部分的传感器有风压表202、红外或紫外传感器203、烟雾传感器204、气体侦测传感器205、温度传感器206、三色蜂鸣报警灯207。

进一步优化的是，所述的原液钢瓶404可根据浮球液位状态或电子秤一211信号指示进行厂务原液桶自动补液或人工换瓶补液。

进一步优化的是,所述的供液钢瓶405可根据浮球液位状态和电子秤二212信号指示，然后再通过纯氦气103或纯氮气104压力控制进行自动补液，并且可在自动补液的过程中保持持续供应输出。

进一步优化的是,所述的脱气装置208是用于除去供液钢瓶405在通过纯氦气103或纯氮气104压力控制供液过程中残留的气泡。

进一步优化的是,所述的风压表202用于监测设备内外压力的变化，进而判断设备运行情况；红外或紫外传感器203用于监测设备内部的微观环境变化情况，保证设备正常运行；烟雾传感器204用于检测设备内部烟雾情况变化，实时监测设备消防隐患情况；气体侦测传感器205是用于监测设备内部管路泄漏情况；温度传感器206是用于检测设备内部运行温度过高而导致故障的监测。

本实用新型的有益效果

本实用新型是针对晶圆制造过程中化学气相沉积环节，解决了流体化学品供液稳定性的问题，通过流体化学品智能供应系统可以安全及集中供应液体化学品到芯片加工设备，由于设备占地空间小，即利于设备安放又可以做到独立维护保养。

附图说明

图1为本实用新型的流体化学品智能供应系统立体结构示意图。

图2为本实用新型的流体化学品智能供应系统工艺流程原理图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明，通过实施例的方式详细地描述本实用新型提供的流体化学品智能供应系统。

实施例一

请参阅附图1、2，本实施例是一种流体化学品智能供应系统，该系统通过氮气101输入，经过真空发生器304使管道一直处于真空形成负压的排气装置；客户可根据实际现场情况选择纯氮气104或纯氦气103 输入，对所有联通的管道进行一定时间及多个循环周期的吹扫，达到增加管路洁净度的目的；通过两路手动调压阀305调节整个工作的管路的气压，同时依据管路中的压力传感器303对整个管路系统工作进行泄漏检测，对所有阀和监测传感器进行校对和检测，对钢瓶保压及工作压力进行检测；在进行一些设备自检后，在接受到供液钢瓶405浮球低液位L、极低液位LL或电子秤一211信号指示时，通过纯氮气104和纯氦气103压力控制对已准备填充满化学品的原液钢瓶404进行持续稳定的加压，使原液钢瓶404的液体化学品输送到供液钢瓶405，并且在设备正常运行过程中，通过纯氦气103或纯氮气104压力控制形成周期循环进行自动补液；在供液钢瓶输出管路111中需经脱气装置208，该装置是用于除去供液钢瓶405在通过纯氦气103或纯氮气104压力控制供液过程中残留的气泡；同时在自动补液的过程中保持持续供应输出 1 106、供应输出2 107、供应输出3108、供应输出4 109，四路输出可以根据生产需要通过手阀307 控制通断并输出到外围单元供液；在流体化学品智能供应系统中有风压表202用于监测设备内外压力的变化、有红外或紫外传感器203用于监测设备内部的微观环境变化情况、有烟雾传感器204用于监测设备内部烟雾情况变化、有气体侦测传感器205用于监测设备内部管路泄漏情况、有温度传感器206是用于监测设备内部运行温度过高；最后将采集到的报警信息源通过三色蜂鸣报警灯207运行所处状态和警报蜂鸣声来反馈系统的状态。

在此需要说明的是，本实用新型描述中的术语“上”、“下”指示的位置是基于附图所示的位置关系，以上实施例仅用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定，有关技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化、修改、替换、整合和变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由权利要求所限定。

Claims (12)

1.一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，主要包括主箱柜(402)、电控箱(401)、上门(407)、下门(406)、原液钢瓶(404)、供液钢瓶(405)、操控屏(408)、控制管路(403)、监测传感器，电控箱(401)顶部安装有三色蜂鸣报警灯(207)，原液钢瓶(404)内部设有浮球液位传感器一(301)，监测原液钢瓶(404)的液位高(H)、低液位(L)、极低液位(LL)，供液钢瓶(405)内部设有浮球液位传感器二(302)，监测供液钢瓶(405)的液位极高(HH)、液位高(H)、低液位(L)、极低液位(LL)，便于系统实时监控供液钢瓶(405)中液位，并自动控制管路(403)上自动阀(306)的通断情况，控制管路(403)包括主要管路有排气(101)、氮气(102)、纯氦气(103)、纯氮气(104)、抽真空(105)、供应输出1(106)、供应输出2(107)、供应输出3(108)、供应输出4(109)、供液钢瓶补液管路、供液钢瓶输出管路(111)、脱气装置(208)、排风换气管道(201)，监测传感器主要分管路控制和设备外围监测两部分，管路控制部分的传感器有原液钢瓶浮球液位传感器一(301)和电子秤一(211)、供液钢瓶浮球液位传感器二(302)和电子称二(212)、所有压力传感器(303)；设备外围部分的传感器有风压表(202)、红外或紫外传感器(203)、烟雾传感器(204)、气体侦测传感器(205)、温度传感器(206)、三色蜂鸣报警灯(207)。

2.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，主箱柜(402)是整个设备骨架，用于安装和支撑设备的所有零部件。

3.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，电控箱(401)用于排布电子控制线路的元器件。

4.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，上门(407)用于设备调试时打开上门，方便所有的手阀(307)和调压阀(305)进行运行调试，且上门安装了防爆玻璃，可以在闭门的状态下可视管路中手阀的开关状态。

5.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，下门(406)用于更换钢瓶时打开，便于接头松紧操作及可视化装卸。

6.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，原液钢瓶(404)用于补充供液钢瓶(405)使用，便于系统实时监控原液位情况，便于操作人员能及时更换原液钢瓶(404)向原液钢瓶(404)中补液。

7.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，供液钢瓶(405)用于供液输出使用，便于系统实时监控供液钢瓶(405)中液位，执行由原液钢瓶(404)向供液钢瓶(405)补液程序。

8.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，操控屏(408)是用于设置运行参数和调试运行时系统人机交互界面。

9.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，原液钢瓶(404)可根据浮球低液位(L)、极低液位(LL)或电子秤一(211)信号指示进行厂务原液桶自动补液或人工换瓶补液。

10.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，供液钢瓶(405)可根据浮球低液位(L)、极低液位(LL)或电子秤一(211)信号指示，通过纯氦气(103)或纯氮气(104)压力控制进行自动补液，并且可在自动补液的过程中保持持续供应输出1(106)、供应输出2(107)、供应输出3(108)、供应输出4(109)，同时四路输出可以根据生产需要通过手阀控制通断并输出且之间互不影响。

11.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，脱气装置(208)是用于除去供液钢瓶(405)在通过纯氦气(103)或纯氮气(104)压力控制供液过程中残留的气泡，该装置是通过抽真空(105)使装置处于负压状态，从而吸出液体化学品通过时含有的气泡。

12.根据权利要求1所述一种流体化学品智能供应系统，其特征在于，风压表(202)用于监测设备内外压力的变化，进而判断设备运行情况；红外或紫外传感器(203)用于监测设备内部的微观环境变化情况，保证设备正常运行；烟雾传感器(204)用于检测设备内部烟雾情况变化，实时监测设备消防隐患情况；气体侦测传感器(205)是用于监测设备内部管路泄漏情况；温度传感器(206)是用于检测设备内部运行温度过高而导致故障的监测。

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