CN208090318U - 一种全自动特殊液体供应柜 - Google Patents
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Abstract
一种全自动特殊液体供应柜，它涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种全自动特殊液体供应柜。它包含柜体、控制显示单元、工作单元、吹扫单元、报警单元；柜体为密闭装置，控制显示操作单元设置在柜体表面的上部，工作单元、吹扫单元、报警单元设置在柜体的内部且工作单元、吹扫单元、报警单元为一个整体。采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它能通过设备安装的气动阀、过流量开关来防止操作过程中开错阀门及设备故障时的安全联动，达到全自动工作的效果，提高了液体传输效率，减小了液体泄漏的危险性，确保工厂正常生产和员工人身安全，实现设备状况现场显示和操作员最大可能非直接接触有毒、有害介质的全自动特殊液体供应柜。
Description
技术领域
本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种全自动特殊液体供应柜。
背景技术
在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必特别重视且不可小看的。其中特殊气体分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊气体分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。而造成意外事故的主要原因为人为失误。国内半导体厂都采用各种管理及危害分析方法来达到风险的适当控制，但在人员手动控制的状态下，仍然无法降低风险性。
特殊液体供应柜主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺液体。因工艺液体一般为灌体包装，在工厂运转过程中须不断更换新的液体灌，拆除在线的用空的液体灌，我们称之为罐体更换流程。在罐体更换过程中为保证有毒有害液体不外漏威胁到人身安全，拆除用空的罐体前，须用高纯氮气吹净与钢瓶相连的管线内的有毒有害体液，这在罐体更换流程称之为换罐前吹。为确保有毒有害液体能置换干净，须重复开关排放阀和吹扫阀60次以上。当空罐体拆除换装上新的罐体后须对新装好的罐体接口做泄漏测试。对泄漏测试通过的罐体我们要做换罐后吹扫，以清除换罐过程中有可能带入气体管线的空气、水分和微小的颗粒。这个过程须连续持续3至4小时。这在目前和以前的一些老的手动、半自动特殊液体供应柜的操作中都须人工来完成。因此带来诸多不合理因素：1、操作员机械连续重复同一个动作，误操作几率高。2、操作员在整个操作过程中因需要手动开关阀门，直接面对输送有毒有害液体设备时间长，人员安全风险大。3、手动、半自动特殊液体输送柜在有液体泄漏、火灾报警等紧急情况是无法自动关闭阀门，切断源头来减少危害。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种全自动特殊液体供应柜，它能通过设备安装的气动阀、过流量开关来防止操作过程中开错阀门及设备故障时的安全联动，达到全自动工作的效果，提高了液体传输效率，减小了液体泄漏的危险性，确保工厂正常生产和员工人身安全，实现设备状况现场显示和操作员最大可能非直接接触有毒、有害介质的全自动特殊液体供应柜。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案是：一种全自动特殊液体供应柜，它包含柜体1、控制显示单元2、工作单元3、吹扫单元4、报警单元5；柜体1为密闭装置，控制显示操作单元2设置在柜体1表面的上部，工作单元3、吹扫单元4、报警单元5设置在柜体1的内部且工作单元3、吹扫单元4、报警单元5为一个整体。
所述的柜体1表面的底部设置有柜门气栅门11，柜门气栅门11为栅格式换气口。柜门气栅门11可用于柜体1的内外部空气流通，降低工作温度。
所述的控制显示操作单元2包含微处理器21、显示屏和操作单元为触摸屏22；显示屏和操作单元在柜体1的上部且同侧，操作单元连接微处理器21。微处理器21用于控制触摸屏。
所述的工作单元3设置在柜体1的内部，包含原料桶气相加压阀31、压力传感器32、补液阀33、缓冲罐补液阀34、缓冲罐气相加压阀35、缓冲罐供液出口阀36、设备供液出口阀37、秤38、缓冲罐39；加压气通过原料桶气相加压阀31把液体压入缓冲罐39，液体通过缓冲罐补液阀34进入缓冲罐39，加压气把缓冲罐39内的液体通过缓冲罐供液出口阀36、设备供液出口阀37输送至柜体1的外部；压力传感器32为2个，设置在缓冲罐供液出口阀36一端和缓冲罐气相加压阀35的工作管路内，并连接微处理器21；秤38放置在原料桶下，并连接微处理器21。
所述的吹扫单元4包含吹扫气排放阀41、吹扫N2隔离阀42、真空泵排放阀43、旁通管路吹扫阀44、真空泵排放口45、油封罐排放阀46、油封罐47；吹扫气排放阀41设置在柜体1上；吹扫N2隔离阀42的排放口通过旁通管路吹扫阀44连接到吹扫气排放阀41，吹扫气排放阀41的出口通过管路经过单向阀连接到真空泵排放阀43，真空泵排放阀43出口连通真空泵排放口45，吹扫气排放阀41的另一路油封罐排放阀46经过工作管路连通油封罐47。吹扫气排放阀41、吹扫N2隔离阀42、真空泵排放阀43、旁通管路吹扫阀44、油封罐排放阀46、油封罐47受控于微处理器21。
所述的报警单元5包含液体泄漏传感器51、火焰探测器52、差压表53、声光报警器54；液体泄漏传感器51、火焰探测器52、差压表53、声光报警器54设置在柜体1内，连接微处理器21；声光报警器54安装在柜体1的外表面上。声光报警器54受控于微处理器21。
所述的吹扫单元4还具有微漏阀48，微漏阀48设置吹扫气体管路中的调压阀后面的过滤器和吹扫N2隔离阀42之间。
本实用新型的工作原理：柜体为密闭的，设置有封闭的门；控制显示操作单元具有微处理器、显示屏和操作单元；显示屏和操作单元在箱体的下部同侧；操作单元连接微处理器；微处理器控制显示屏；显示屏和操作单元为触摸屏。
工作单元设置在箱体内部，具有气相加压阀、气动隔离阀、出口阀、压力传感器、工作管路；气相加压阀通过管路连接He进口，给罐体加压，受控于微处理器；气动隔离阀受控于微处理器，通过工作管路连接罐体的出口，其出口端连接出口阀，出口阀通过工作管路连接到箱体外；压力传感器为2个，设置在气动隔离阀出口一端和气相加压阀后端，并连接微处理器。
吹扫单元具有吹扫气体进口、微流阀、吹扫隔离阀、旁通管路吹扫阀、吹扫气排放阀、真空泵排放阀、油封罐排放阀和真空泵；吹扫气体进口设置在柜体上；气动吹扫氮气隔离阀的进口通过管路经过微流阀连通吹扫气体进口，其出口连通旁通管路吹扫阀；吹扫气体排放阀的进口连通通旁通管路吹扫阀另一端，其出口通过管路分别连接到真空泵排放阀和油封罐排放阀，分别接入真空泵和油封罐；吹扫隔离阀、旁通管路吹扫阀、吹扫气排放阀、真空泵排放阀、油封罐排放阀和真空泵受控于微处理器。吹扫单元还具有微流阀；微流阀的进口连通吹扫气体进口，出口端连通工作管路的末端，受控于微处理器。报警单元具有漏液传感器、火警探测装置、差压表、液位计；所述的漏液传感器设置在所述的箱体内，连接所述的微处理器；所述的火警探测装置安装在所述的箱体的内部，联动气动风门和柜门气栅门，传递信号到所述的微处理器；所述的差压表可安装在柜体的内部或者外部，传递信号到所述的微处理器；所述的液位计安装在缓冲罐内，传递信号到所述的微处理器。吹扫单元还具有单向阀；单向阀设置在吹扫气体进口、气动吹扫氮气隔离阀之间。所述的气动排放阀分为真空泵管路排放阀、油封罐排放阀；所述的气动吹扫隔离阀进口经过单向阀连接微流阀，后端连接气动隔离阀后端的工作管路，所述的真空泵管路排放阀的一端连通所述的气动隔离阀后端，另一端通过管路连通到所述的真空泵前端管路；所述的油封罐排放阀的一端连通所述的气动隔离阀后端，另一端通过管路连通带所述的油封罐前端管路；所述的吹扫隔离阀、气动隔离阀、真空泵管路排放阀、油封罐排放阀、真空泵受控于所述的微处理器。增加原料桶、缓冲罐一个，配套的出口分支管路和阀等相应的增加，以达到更好的使用效果。
采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它能通过设备安装的气动阀、过流量开关来防止操作过程中开错阀门及设备故障时的安全联动，达到全自动工作的效果，提高了液体传输效率，减小了液体泄漏的危险性，确保工厂正常生产和员工人身安全，实现设备状况现场显示和操作员最大可能非直接接触有毒、有害介质的全自动特殊液体供应柜。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型对应图1的内部连接示意图。
附图标记说明：柜体1、控制显示单元2、工作单元3、吹扫单元4、报警单元5、柜门气栅门11、微处理器21、显示屏和操作单元为触摸屏22、原料桶气相加压阀31、压力传感器32、补液阀33、缓冲罐补液阀34、缓冲罐气相加压阀35、缓冲罐供液出口阀36、设备供液出口阀37、秤38、缓冲罐39、吹扫气排放阀41、吹扫N2隔离阀42、真空泵排放阀43、旁通管路吹扫阀44、真空泵排放口45、油封罐排放阀46、油封罐47、微漏阀48、液体泄漏传感器51、火焰探测器52、差压表53、声光报警器54。
具体实施方式
参看图1-图2所示，本具体实施方式采用的技术方案是：一种全自动特殊液体供应柜，它包含柜体1、控制显示单元2、工作单元3、吹扫单元4、报警单元5；柜体1为密闭装置，控制显示操作单元2设置在柜体1表面的上部，工作单元3、吹扫单元4、报警单元5设置在柜体1的内部且工作单元3、吹扫单元4、报警单元5为一个整体。
所述的柜体1表面的底部设置有柜门气栅门11，柜门气栅门11为栅格式换气口。柜门气栅门11可用于柜体1的内外部空气流通，降低工作温度。
所述的控制显示操作单元2包含微处理器21、显示屏和操作单元为触摸屏22；显示屏和操作单元在柜体1的上部且同侧，操作单元连接微处理器21。微处理器21用于控制触摸屏。
工作单元3设置在柜体1的内部，包含原料桶气相加压阀31、压力传感器32、补液阀33、缓冲罐补液阀34、缓冲罐气相加压阀35、缓冲罐供液出口阀36、设备供液出口阀37、秤38、缓冲罐39；加压气通过原料桶气相加压阀31把液体压入缓冲罐39，液体通过缓冲罐补液阀34进入缓冲罐39，加压气把缓冲罐39内的液体通过缓冲罐供液出口阀36、设备供液出口阀37输送至柜体1的外部；压力传感器32为2个，设置在缓冲罐供液出口阀36一端和缓冲罐气相加压阀35的工作管路内，并连接微处理器21；秤38放置在原料桶下，并连接微处理器21。
吹扫单元4包含吹扫气排放阀41、吹扫N2隔离阀42、真空泵排放阀43、旁通管路吹扫阀44、真空泵排放口45、油封罐排放阀46、油封罐47；吹扫气排放阀41设置在柜体1上；吹扫N2隔离阀42的排放口通过旁通管路吹扫阀44连接到吹扫气排放阀41，吹扫气排放阀41的出口通过管路经过单向阀连接到真空泵排放阀43，真空泵排放阀43出口连通真空泵排放口45，吹扫气排放阀41的另一路油封罐排放阀46经过工作管路连通油封罐47。吹扫气排放阀41、吹扫N2隔离阀42、真空泵排放阀43、旁通管路吹扫阀44、油封罐排放阀46、油封罐47受控于微处理器21。
报警单元5包含液体泄漏传感器51、火焰探测器52、差压表53、声光报警器54；液体泄漏传感器51、火焰探测器52、差压表53、声光报警器54设置在柜体1内，连接微处理器21；声光报警器54安装在柜体1的外表面上。声光报警器54受控于微处理器21。
吹扫单元4还具有微漏阀48，微漏阀48设置吹扫气体管路中的调压阀后面的过滤器和吹扫N2隔离阀42之间。
本实用新型的工作原理：柜体为密闭的，设置有封闭的门；控制显示操作单元具有微处理器、显示屏和操作单元；显示屏和操作单元在箱体的下部同侧；操作单元连接微处理器；微处理器控制显示屏；显示屏和操作单元为触摸屏。
工作单元设置在箱体内部，具有气相加压阀、气动隔离阀、出口阀、压力传感器、工作管路；气相加压阀通过管路连接He进口，给罐体加压，受控于微处理器；气动隔离阀受控于微处理器，通过工作管路连接罐体的出口，其出口端连接出口阀，出口阀通过工作管路连接到箱体外；压力传感器为2个，设置在气动隔离阀出口一端和气相加压阀后端，并连接微处理器。
吹扫单元具有吹扫气体进口、微流阀、吹扫隔离阀、旁通管路吹扫阀、吹扫气排放阀、真空泵排放阀、油封罐排放阀和真空泵；吹扫气体进口设置在柜体上；气动吹扫氮气隔离阀的进口通过管路经过微流阀连通吹扫气体进口，其出口连通旁通管路吹扫阀；吹扫气体排放阀的进口连通通旁通管路吹扫阀另一端，其出口通过管路分别连接到真空泵排放阀和油封罐排放阀，分别接入真空泵和油封罐；吹扫隔离阀、旁通管路吹扫阀、吹扫气排放阀、真空泵排放阀、油封罐排放阀和真空泵受控于微处理器。吹扫单元还具有微流阀；微流阀的进口连通吹扫气体进口，出口端连通工作管路的末端，受控于微处理器。报警单元具有漏液传感器、火警探测装置、差压表、液位计；所述的漏液传感器设置在所述的箱体内，连接所述的微处理器；所述的火警探测装置安装在所述的箱体的内部，联动气动风门和柜门气栅门，传递信号到所述的微处理器；所述的差压表可安装在柜体的内部或者外部，传递信号到所述的微处理器；所述的液位计安装在缓冲罐内，传递信号到所述的微处理器。吹扫单元还具有单向阀；单向阀设置在吹扫气体进口、气动吹扫氮气隔离阀之间。所述的气动排放阀分为真空泵管路排放阀、油封罐排放阀；所述的气动吹扫隔离阀进口经过单向阀连接微流阀，后端连接气动隔离阀后端的工作管路，所述的真空泵管路排放阀的一端连通所述的气动隔离阀后端，另一端通过管路连通到所述的真空泵前端管路；所述的油封罐排放阀的一端连通所述的气动隔离阀后端，另一端通过管路连通带所述的油封罐前端管路；所述的吹扫隔离阀、气动隔离阀、真空泵管路排放阀、油封罐排放阀、真空泵受控于所述的微处理器。增加原料桶、缓冲罐一个，配套的出口分支管路和阀等相应的增加，以达到更好的使用效果。
采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它能通过设备安装的气动阀、过流量开关来防止操作过程中开错阀门及设备故障时的安全联动，达到全自动工作的效果，提高了液体传输效率，减小了液体泄漏的危险性，确保工厂正常生产和员工人身安全，实现设备状况现场显示和操作员最大可能非直接接触有毒、有害介质的全自动特殊液体供应柜。
以上所述，仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (6)
1.一种全自动特殊液体供应柜，其特征在于：它包含柜体(1)、控制显示单元(2)、工作单元(3)、吹扫单元(4)、报警单元(5)；柜体(1)为密闭装置，控制显示单元(2)设置在柜体(1)表面的上部，工作单元(3)、吹扫单元(4)、报警单元(5)设置在柜体(1)的内部且工作单元(3)、吹扫单元(4)、报警单元(5)为一个整体。
2.根据权利要求1所述的一种全自动特殊液体供应柜，其特征在于：柜体(1)表面的底部设置有柜门气栅门(11)，柜门气栅门(11)为栅格式换气口。
3.根据权利要求1所述的一种全自动特殊液体供应柜，其特征在于：工作单元(3)设置在柜体(1)的内部，包含原料桶气相加压阀(31)、压力传感器(32)、补液阀(33)、缓冲罐补液阀(34)、缓冲罐气相加压阀(35)、缓冲罐供液出口阀(36)、设备供液出口阀(37)、秤(38)、缓冲罐(39)；加压气通过原料桶气相加压阀(31)把液体压入缓冲罐(39)，液体通过缓冲罐补液阀(34)进入缓冲罐(39)，加压气把缓冲罐(39)内的液体通过缓冲罐供液出口阀(36)、设备供液出口阀(37)输送至柜体(1)的外部；压力传感器(32)为2个，设置在缓冲罐供液出口阀(36)一端和缓冲罐气相加压阀(35)的工作管路内，并连接微处理器(21)；秤(38)放置在原料桶下，并连接微处理器(21)。
4.根据权利要求1所述的一种全自动特殊液体供应柜，其特征在于：吹扫单元(4)包含吹扫气排放阀(41)、吹扫N2隔离阀(42)、真空泵排放阀(43)、旁通管路吹扫阀(44)、真空泵排放口(45)、油封罐排放阀(46)、油封罐(47)；吹扫气排放阀(41)设置在柜体(1)上；吹扫N2隔离阀(42)的排放口通过旁通管路吹扫阀(44)连接到吹扫气排放阀(41)，吹扫气排放阀(41)的出口通过管路经过单向阀连接到真空泵排放阀(43)，真空泵排放阀(43)出口连通真空泵排放口(45)，吹扫气排放阀(41)的另一路油封罐排放阀(46)经过工作管路连通油封罐(47)。
5.根据权利要求1所述的一种全自动特殊液体供应柜，其特征在于：报警单元（5）包含液体泄漏传感器(51)、火焰探测器(52)、差压表(53)、声光报警器(54)；液体泄漏传感器(51)、火焰探测器(52)、差压表(53)、声光报警器(54)设置在柜体(1)内，连接微处理器(21)；声光报警器(54)安装在柜体(1)的外表面上。
6.根据权利要求1所述的一种全自动特殊液体供应柜，其特征在于：吹扫单元(4)还具有微漏阀(48)，微漏阀(48)设置吹扫气体管路中的调压阀后面的过滤器和吹扫N2隔离阀(42)之间。
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|---|---|---|---|
| CN201721320127.7U CN208090318U (zh) | 2017-10-13 | 2017-10-13 | 一种全自动特殊液体供应柜 |
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| CN201721320127.7U CN208090318U (zh) | 2017-10-13 | 2017-10-13 | 一种全自动特殊液体供应柜 |
Publications (1)
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| CN (1) | CN208090318U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114963001A (zh) * | 2022-05-24 | 2022-08-30 | 武汉沅净科技有限公司 | 一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法 |
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2017
- 2017-10-13 CN CN201721320127.7U patent/CN208090318U/zh active Active
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| CN114963001A (zh) * | 2022-05-24 | 2022-08-30 | 武汉沅净科技有限公司 | 一种超净高纯化学品全自动充装与供应系统及其控制方法 |
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