CN212644251U - 一种全自动特殊液体输送分配箱 - Google Patents

Abstract

一种全自动特殊液体输送分配箱，包括：箱体、操作面板单元、控制显示操作单元、报警单元和本地急停按钮，操作面板单元与箱体内部连接，控制显示操作单元、报警单元和本地急停按钮与箱体连接，控制显示操作单元与操作面板单元、报警单元和本地急停按钮连接。本实用新型与传统技术相比，通过设计全自动特殊液体输送分配箱PLC控制系统，实现按输送分配流程编好程式，通过程式控制气动阀自动输送分配流程，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。

Description

一种全自动特殊液体输送分配箱

技术领域

本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种全自动特殊液体输送分配箱。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊液体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的液体危害性相当高，一旦这些液体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必特别重视且不可小看的。其中特殊液体输送分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊液体输送分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。而造成意外事故的主要原因为人为失误。国内半导体厂都采用各种管理及危害分析方法来达到风险的适当控制，但在人员手动控制的状态下，仍然无法降低风险性。

这在目前和以前的一些老的手动、半自动特殊液体输送分配箱的操作中都须人工来完成。因此带来诸多不合理因素：1、操作员机械连续重复同一个动作，误操作几率高。2、操作员在整个操作过程中因需要手动开关阀门，直接面对输送有毒有害液体设备时间长，人员安全风险大。3、手动、半自动特殊液体输送柜在有液体泄漏、火灾报警等紧急情况是无法自动关闭阀门，切断源头来减少危害。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种全自动特殊液体输送分配箱，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种全自动特殊液体输送分配箱，包括：箱体、操作面板单元、控制显示操作单元、报警单元和本地急停按钮，所述操作面板单元与箱体内部连接，所述控制显示操作单元、报警单元和本地急停按钮与箱体连接，所述控制显示操作单元与操作面板单元、报警单元和本地急停按钮连接；

其中，所述操作面板单元包括：入口阀、备用口阀、备用出口阀、主阀、支路阀、支路吹扫阀、支路气动阀、支路出口阀、吹扫气入口阀、排放隔离阀、直通气动阀、直通阀、收集罐、吹扫阀、排放阀、排放出口阀、测试口阀、压力表和压力传感器，所述入口阀前端与设备外端连接，所述入口阀后端与主阀连接，所述备用口阀前端与入口阀和主阀中间连接，所述备用口阀后端与备用出口阀连接，所述备用口阀和备用出口阀中间设有压力表，所述主阀后端与主管路连接，所述主阀后端与压力传感器连接，所述支路阀前端与主管路连接，所述支路阀后端与支路吹扫阀连接，所述支路吹扫阀后端与支路气动阀连接，所述支路吹扫阀和支路气动阀中间设有压力表，所述支路气动阀前端与支路吹扫阀连接，所述支路气动阀后端与支路出口阀连接，所述支路出口阀后端与设备外端连接，所述吹扫气入口阀前端与设备外端连接，所述吹扫气入口阀后端与支路吹扫阀连接，所述吹扫气入口阀和支路吹扫阀中间设有压力表，所述排放隔离阀前端与吹扫阀连接，所述排放隔离阀后端与排放出口阀连接，所述直通气动阀前端与主管路连接，所述直通气动阀后端与直通阀连接，所述直通阀后端与收集罐连接，所述直通阀和收集罐中间设有压力表，所述收集罐后端与排放阀连接，所述排放出口阀前端与排放隔离阀连接，所述排放出口阀后端与设备外端连接，所述排放出口阀与压力表连接，所述测试口阀前端与排放出口阀和排放隔离阀中间连接，所述测试口阀后端与测试点连接，所述支路气动阀、直通气动阀、压力传感器和收集罐与控制显示操作单元连接。

进一步，所述支路吹扫阀包括：第一支路吹扫阀、第二支路吹扫阀、第三支路吹扫阀、第四支路吹扫阀和第五支路吹扫阀，所述第一支路吹扫阀前端与吹扫气入口阀和支路吹扫阀中间连接，所述第一支路吹扫阀后端与第二支路吹扫阀连接，所述第二支路吹扫阀后端与第三支路吹扫阀连接，所述第三支路吹扫阀后端与第四支路吹扫阀连接，所述第四支路吹扫阀后端与第五支路吹扫阀连接，所述第五支路吹扫阀后端与排放隔离阀连接。

进一步，所述收集罐上设有收集罐入口阀、收集罐出口阀和液位计，所述收集罐入口阀、收集罐出口阀和液位计与收集罐连接，所述收集罐入口阀与直通阀连接，所述收集罐出口阀与排放阀连接。

进一步，所述箱体包括：柜体、架子、电控箱门、柜门和差压表，所述柜体与架子上端连接，所述电控箱门与柜体连接，所述柜门与柜体连接，所述差压表与柜体顶部连接。

进一步，所述控制显示操作单元包括：微处理器、显示屏和操作单元，所述显示屏和操作单元与柜门连接，所述微处理器与操作单元和显示屏连接。

进一步，所述报警单元包括：差压开关、声光报警器和探测器，所述差压开关设于电控箱门内，所述声光报警器与电控箱门连接，所述探测器与柜体内顶部连接，所述声光报警器和探测器与微处理器连接。

进一步，所述操作面板单元设有第一单向阀、第二单向阀和秤，所述第一单向阀与吹扫气入口阀前端连接，所述第二单向阀与排放出口阀后端连接，所述秤设于收集罐底部，所述秤与微处理器连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型与传统技术相比，通过设计全自动特殊液体输送分配箱PLC控制系统，实现按输送分配流程编好程式，通过程式控制气动阀自动输送分配流程，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。

附图说明：

图1为本实用新型的外部结构示意图。

图2为本实用新型的内部结构示意图。

图3为本实用新型的控制逻辑图。

图4为本实用新型的操作面板单元的结构示意图。

附图标记：

箱体100、柜体110、架子120、电控箱门130、柜门140和差压表150。

操作面板单元200、入口阀210、备用口阀220、备用出口阀230、主阀240、支路阀250、支路吹扫阀260、支路气动阀270、支路出口阀280、吹扫气入口阀290、排放隔离阀2100、直通气动阀2200、直通阀2300、收集罐2400、吹扫阀2500、排放阀2600、排放出口阀2700、测试口阀2800、压力表2900和压力传感器2110。

第一支路吹扫阀261、第二支路吹扫阀262、第三支路吹扫阀263、第四支路吹扫阀264和第五支路吹扫阀265。

收集罐入口阀2401、收集罐出口阀2402和液位计2403。

第一单向阀201、第二单向阀202和秤203。

控制显示操作单元300、微处理器310、显示屏320和操作单元330。

报警单元400、差压开关410、声光报警器420、探测器430和本地急停按钮500。

具体实施方式

以下结合具体实施例，对本实用新型作进步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。

实施例1

图1为本实用新型的外部结构示意图。图2为本实用新型的内部结构示意图。图3为本实用新型的控制逻辑图。图4为本实用新型的操作面板单元的结构示意图。

如图1～图4所示，一种全自动特殊液体输送分配箱，包括：箱体100、操作面板单元200、控制显示操作单元300、报警单元400和本地急停按钮500，操作面板单元200与箱体100内部连接，控制显示操作单元300、报警单元400和本地急停按钮500与箱体100连接，控制显示操作单元300与操作面板单元200、报警单元400和本地急停按钮500连接；

其中，操作面板单元200包括：入口阀210、备用口阀220、备用出口阀230、主阀240、支路阀250、支路吹扫阀260、支路气动阀270、支路出口阀280、吹扫气入口阀290、排放隔离阀2100、直通气动阀2200、直通阀2300、收集罐2400、吹扫阀2500、排放阀2600、排放出口阀2700、测试口阀2800、压力表2900和压力传感器2110，入口阀210前端与设备外端连接，入口阀210后端与主阀240连接，备用口阀220前端与入口阀210和主阀240中间连接，备用口阀220后端与备用出口阀230连接，备用口阀220和备用出口阀230中间设有压力表2900，主阀240后端与主管路连接，主阀240后端与压力传感器2110连接，支路阀250前端与主管路连接，支路阀250后端与支路吹扫阀260连接，支路吹扫阀260后端与支路气动阀270连接，支路吹扫阀260和支路气动阀270中间设有压力表2900，支路气动阀270前端与支路吹扫阀260连接，支路气动阀270后端与支路出口阀280连接，支路出口阀280后端与设备外端连接，吹扫气入口阀290前端与设备外端连接，吹扫气入口阀290后端与支路吹扫阀260连接，吹扫气入口阀290和支路吹扫阀260中间设有压力表2900，排放隔离阀2100前端与吹扫阀2500连接，排放隔离阀2100后端与排放出口阀2700连接，直通气动阀2200前端与主管路连接，直通气动阀2200后端与直通阀2300连接，直通阀2300后端与收集罐2400连接，直通阀2300和收集罐2400中间设有压力表2900，收集罐2400后端与排放阀2600连接，排放出口阀2700前端与排放隔离阀2100连接，排放出口阀2700后端与设备外端连接，排放出口阀2700与压力表2900连接，测试口阀2800前端与排放出口阀2700和排放隔离阀2100中间连接，测试口阀2800后端与测试点连接，支路气动阀270、直通气动阀2200、压力传感器2110和收集罐2400与控制显示操作单元300连接。

支路吹扫阀260包括：第一支路吹扫阀261、第二支路吹扫阀262、第三支路吹扫阀263、第四支路吹扫阀264和第五支路吹扫阀265，第一支路吹扫阀261前端与吹扫气入口阀290和支路吹扫阀260中间连接，第一支路吹扫阀261后端与第二支路吹扫阀262连接，第二支路吹扫阀262后端与第三支路吹扫阀263连接，第三支路吹扫阀263后端与第四支路吹扫阀264连接，第四支路吹扫阀264后端与第五支路吹扫阀265连接，第五支路吹扫阀265后端与排放隔离阀2100连接。

收集罐2400上设有收集罐入口阀2401、收集罐出口阀2402和液位计2403，收集罐入口阀2401、收集罐出口阀2402和液位计2403与收集罐2400连接，收集罐入口阀2401与直通阀2300连接，收集罐出口阀2402与排放阀2600连接。

箱体100包括：柜体110、架子120、电控箱门130、柜门140和差压表150，柜体110与架子120上端连接，电控箱门130与柜体110连接，柜门140与柜体110连接，差压表150与柜体110顶部连接。

控制显示操作单元300包括：微处理器310、显示屏320和操作单元330，显示屏320和操作单元330与柜门140连接，微处理器310与操作单元330和显示屏320连接。

报警单元400包括：差压开关410、声光报警器420和探测器430，差压开关410设于电控箱门130内，声光报警器420与电控箱门130连接，探测器430与柜体110内顶部连接，声光报警器420和探测器430与微处理器310连接。

操作面板单元200设有第一单向阀201、第二单向阀202和秤203，第一单向阀201与吹扫气入口阀290前端连接，第二单向阀202与排放出口阀2700后端连接，秤203设于收集罐2400底部，秤203与微处理器310连接。

本实用新型的工作原理是，设计增设计算机控制和触摸显示屏的人机界面系统，气动阀控制工艺液体的流向，可有效的解决以前手动、半自动分配箱的各种弊端，事先按液体输送分配系统流程，通过控制系统控制气动阀自己完成输送分配流程，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害，用触摸屏作为人机界面，操作员只需按操作提示操作触控显示屏即可启动系统分配流程，无需操作人员直接操作阀门，从而最大可能减少有毒有害气体对人员的危害，系统按液体类型不同选装相应的液体泄漏探测器、烟雾探测器、火焰探测器等安全保障设施，当设备有不可预见的泄漏、火灾发生时可通过微处理器联动关闭气动阀、切断气源，从而减少危害。

以上对本实用新型的具体实施方式进行了说明，但本实用新型并不以此为限，只要不脱离本实用新型的宗旨，本实用新型还可以有各种变化。

Claims (7)

1.一种全自动特殊液体输送分配箱，其特征在于，包括：箱体(100)、操作面板单元(200)、控制显示操作单元(300)、报警单元(400)和本地急停按钮(500)，所述操作面板单元(200)与箱体(100)内部连接，所述控制显示操作单元(300)、报警单元(400)和本地急停按钮(500)与箱体(100)连接，所述控制显示操作单元(300)与操作面板单元(200)、报警单元(400)和本地急停按钮(500)连接；

其中，所述操作面板单元(200)包括：入口阀(210)、备用口阀(220)、备用出口阀(230)、主阀(240)、支路阀(250)、支路吹扫阀(260)、支路气动阀(270)、支路出口阀(280)、吹扫气入口阀(290)、排放隔离阀(2100)、直通气动阀(2200)、直通阀(2300)、收集罐(2400)、吹扫阀(2500)、排放阀(2600)、排放出口阀(2700)、测试口阀(2800)、压力表(2900)和压力传感器(2110)，所述入口阀(210)前端与设备外端连接，所述入口阀(210)后端与主阀(240)连接，所述备用口阀(220)前端与入口阀(210)和主阀(240)中间连接，所述备用口阀(220)后端与备用出口阀(230)连接，所述备用口阀(220)和备用出口阀(230)中间设有压力表(2900)，所述主阀(240)后端与主管路连接，所述主阀(240)后端与压力传感器(2110)连接，所述支路阀(250)前端与主管路连接，所述支路阀(250)后端与支路吹扫阀(260)连接，所述支路吹扫阀(260)后端与支路气动阀(270)连接，所述支路吹扫阀(260)和支路气动阀(270)中间设有压力表(2900)，所述支路气动阀(270)前端与支路吹扫阀(260)连接，所述支路气动阀(270)后端与支路出口阀(280)连接，所述支路出口阀(280)后端与设备外端连接，所述吹扫气入口阀(290)前端与设备外端连接，所述吹扫气入口阀(290)后端与支路吹扫阀(260)连接，所述吹扫气入口阀(290)和支路吹扫阀(260)中间设有压力表(2900)，所述排放隔离阀(2100)前端与吹扫阀(2500)连接，所述排放隔离阀(2100)后端与排放出口阀(2700)连接，所述直通气动阀(2200)前端与主管路连接，所述直通气动阀(2200)后端与直通阀(2300)连接，所述直通阀(2300)后端与收集罐(2400)连接，所述直通阀(2300)和收集罐(2400)中间设有压力表(2900)，所述收集罐(2400)后端与排放阀(2600)连接，所述排放出口阀(2700)前端与排放隔离阀(2100)连接，所述排放出口阀(2700)后端与设备外端连接，所述排放出口阀(2700)与压力表(2900)连接，所述测试口阀(2800)前端与排放出口阀(2700)和排放隔离阀(2100)中间连接，所述测试口阀(2800)后端与测试点连接，所述支路气动阀(270)、直通气动阀(2200)、压力传感器(2110)和收集罐(2400)与控制显示操作单元(300)连接。

2.根据权利要求1所述的一种全自动特殊液体输送分配箱，其特征在于：所述支路吹扫阀(260)包括：第一支路吹扫阀(261)、第二支路吹扫阀(262)、第三支路吹扫阀(263)、第四支路吹扫阀(264)和第五支路吹扫阀(265)，所述第一支路吹扫阀(261)前端与吹扫气入口阀(290)和支路吹扫阀(260)中间连接，所述第一支路吹扫阀(261)后端与第二支路吹扫阀(262)连接，所述第二支路吹扫阀(262)后端与第三支路吹扫阀(263)连接，所述第三支路吹扫阀(263)后端与第四支路吹扫阀(264)连接，所述第四支路吹扫阀(264)后端与第五支路吹扫阀(265)连接，所述第五支路吹扫阀(265)后端与排放隔离阀(2100)连接。

3.根据权利要求1所述的一种全自动特殊液体输送分配箱，其特征在于：所述收集罐(2400)上设有收集罐入口阀(2401)、收集罐出口阀(2402)和液位计(2403)，所述收集罐入口阀(2401)、收集罐出口阀(2402)和液位计(2403)与收集罐(2400)连接，所述收集罐入口阀(2401)与直通阀(2300)连接，所述收集罐出口阀(2402)与排放阀(2600)连接。

4.根据权利要求1所述的一种全自动特殊液体输送分配箱，其特征在于：所述箱体(100)包括：柜体(110)、架子(120)、电控箱门(130)、柜门(140)和差压表(150)，所述柜体(110)与架子(120)上端连接，所述电控箱门(130)与柜体(110)连接，所述柜门(140)与柜体(110)连接，所述差压表(150)与柜体(110)顶部连接。

5.根据权利要求4所述的一种全自动特殊液体输送分配箱，其特征在于：所述控制显示操作单元(300)包括：微处理器(310)、显示屏(320)和操作单元(330)，所述显示屏(320)和操作单元(330)与柜门(140)连接，所述微处理器(310)与操作单元(330)和显示屏(320)连接。

6.根据权利要求5所述的一种全自动特殊液体输送分配箱，其特征在于：所述报警单元(400)包括：差压开关(410)、声光报警器(420)和探测器(430)，所述差压开关(410)设于电控箱门(130)内，所述声光报警器(420)与电控箱门(130)连接，所述探测器(430)与柜体(110)内顶部连接，所述声光报警器(420)和探测器(430)与微处理器(310)连接。

7.根据权利要求5所述的一种全自动特殊液体输送分配箱，其特征在于：所述操作面板单元(200)设有第一单向阀(201)、第二单向阀(202)和秤(203)，所述第一单向阀(201)与吹扫气入口阀(290)前端连接，所述第二单向阀(202)与排放出口阀(2700)后端连接，所述秤(203)设于收集罐(2400)底部，所述秤(203)与微处理器(310)连接。

Images