CN212644222U - 一种用于特殊气体输送的气瓶柜 - Google Patents

Abstract

一种用于特殊气体输送的气瓶柜，包括：柜体、控制显示操作单元、工艺气体供应单元、吹扫单元、报警单元、条码扫描枪和本地紧急停止按钮，控制显示操作单元与柜体连接，工艺气体供应单元与柜体内部连接，吹扫单元与工艺气体供应单元连接，报警单元与柜体和控制显示操作单元连接，条码扫描枪和本地紧急停止按钮与柜体表面连接，条码扫描枪设于本地紧急停止按钮正下方。本实用新型与传统技术相比，通过在设备内加装气动阀、过流量开关来防止操作过程中开错阀门及设备故障时的安全联动；增设独立的吹扫气，由独立钢瓶供应，减少不同设备之间因为串气而对其他设备造成危害。

Description

一种用于特殊气体输送的气瓶柜

技术领域

本实用新型涉及气体输送设备上流体控制的技术领域，具体涉及一种用于特殊气体输送的气瓶柜。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC 装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC 设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必须特别重视且不可小看的。其中特殊气体分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊气体分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。而造成意外事故的主要原因为人为失误。国内半导体厂都采用各种管路及危害分析方法来达到风险的适当控制，但在人员手动控制的状态下，仍然无法降低风险性。

特殊气体输送气瓶柜主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体。因工艺一般为钢瓶包装，在工厂运转过程中须不断更换新的气体钢瓶，拆除在线的用空的气体钢瓶，我们称之为钢瓶更换流程。在钢瓶更换过程中为保证有毒有害气体不外漏威胁到人身安全，拆除用空的钢瓶前，须用高纯氮气置换与钢瓶相连的管线内的有毒有害气体，这在钢瓶更换流程称之为换瓶前吹。为确保有毒有害气体能置换干净，须重复开关排空阀和吹扫阀60次以上。当空钢瓶拆除换装上新的钢瓶后须对新装好的钢瓶接口做泄漏测试。对泄漏测试通过的钢瓶我们要做换瓶后吹扫，以清除换瓶过程中有可能带入气体管线的空气、水分和微小的颗粒。这个过程须连续持续3至4小时。

这在目前和以前的一些老的手动、半自动特殊气体供应柜的操作中都须人工来完成。因此带来诸多不合理因素：1、操作员机械连续重复同一个动作，误操作几率高。2、操作员在整个操作过程中因需要手动开关阀门，直接面对输送有毒有害气体设备时间长，人员安全风险大。3、手动、半自动特殊气体输送柜在有气体泄漏、火灾报警等紧急情况是无法自动关闭阀门，切断气源来减少危害。4、吹扫气采用多台柜体集中供应，可能会造成串气情况，而带来一定的危害。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种用于特殊气体输送的气瓶柜，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种用于特殊气体输送的气瓶柜，包括：柜体、控制显示操作单元、工艺气体供应单元、吹扫单元、报警单元、条码扫描枪和本地紧急停止按钮，所述控制显示操作单元与柜体连接，所述工艺气体供应单元与柜体内部连接，所述吹扫单元与工艺气体供应单元连接，所述报警单元与柜体和控制显示操作单元连接，所述条码扫描枪和本地紧急停止按钮与柜体表面连接，所述条码扫描枪设于本地紧急停止按钮正下方；

其中，所述工艺气体供应单元包括：紧急关断阀、高压气动隔离阀、低压气动隔离阀、气动吹扫隔离阀、高压气体排放阀、低压气体排放阀、压力传感器、调压阀、过滤器、隔离阀、工艺气体出口阀、真空隔离阀、真空发生器和工作管路，所述紧急关断阀前端与钢瓶接口连接，所述紧急关断阀后端通过工作管路与高压气动隔离阀连接，所述紧急关断阀后端的工作管路中设有压力传感器，所述高压气动隔离阀前端与工作管路中间设有过滤器，所述高压气动隔离阀后端与调压阀连接，所述高压气动隔离阀中间与高压气体排放阀连接，所述低压气动隔离阀前端与调压阀后端的工作管路连接，所述调压阀后端的工作管路中设有压力传感器，所述低压气动隔离阀后端与过滤器连接，所述低压气动隔离阀中间与低压气体排放阀连接，所述隔离阀前端与过滤器连接，所述隔离阀后端与工艺气体出口阀连接，所述工艺气体出口阀通过工作管路与柜体外部连接，所述真空隔离阀前端与工作管路连接，所述真空隔离阀后端与真空发生器连接，所述真空发生器后端通过工作管路与柜体外部连接，所述高压气动隔离阀和低压气动隔离阀为三通阀，所述紧急关断阀、高压气动隔离阀、低压气动隔离阀、气动吹扫隔离阀、高压气体排放阀、低压气体排放阀、隔离阀、真空隔离阀和真空发生器与控制显示操作单元连接。

进一步，所述工作管路包括：第一管路、第二管路、第三管路、第四管路、第五管路、第一排放管路和第二排放管路，所述第一管路与紧急关断阀前端和钢瓶连接，所述第二管路与紧急关断阀后端、高压气动隔离阀、压力传感器和过滤器连接，所述第三管路与低压气动隔离阀、调压阀、压力传感器和过滤器连接，所述第四管路和第五管路与吹扫单元连接，所述第一排放管路与真空隔离阀、高压气体排放阀和低压气体排放阀连接，所述第二排放管路与吹扫单元连接。

进一步，所述压力传感器包括：第一压力传感器、第二压力传感器、第三压力传感器、第四压力传感器和第五压力传感器，所述第一压力传感器与第二管路连接，所述第二压力传感器与第三管路连接，所述第三压力传感器与第四管路连接，所述第四压力传感器与第五管路连接，所述第五压力传感器与第一排放管路连接。

进一步，所述过滤器包括：垫片式过滤器和普通过滤器，所述垫片式过滤器与第二管路和吹扫单元连接，所述普通过滤器与第三管路和隔离阀连接。

进一步，所述柜体包括：箱体、密闭门、观察窗和电控箱，所述密闭门与箱体连接，所述观察窗与密闭门连接，所述电控箱与箱体内顶部连接，所述观察窗为防爆玻璃窗。

进一步，所述控制显示操作单元包括：微处理器和触摸屏，所述微处理器与电控箱内部连接，所述触摸屏与密闭门外表面连接，所述微处理器与触摸屏连接。

进一步，所述吹扫单元包括：吹扫气体入口隔离阀、吹扫单元调压阀、纯化器、出口阀和高压排放阀，所述高压排放阀前端通过第四管路与钢瓶连接，所述高压排放阀后端与吹扫气体入口隔离阀连接，所述高压排放阀中间与第二排放管路连接，所述高压排放阀和第四管路中间设有垫片式过滤器，所述吹扫气体入口隔离阀后端与吹扫单元调压阀连接，所述吹扫单元调压阀后端通过第五管路与纯化器连接，所述纯化器后端与出口阀连接，所述出口阀与微处理器连接，所述高压排放阀为三通阀。

进一步，所述报警单元包括：温度传感器、火焰探测器、差压开关和声光报警器，所述温度传感器、火焰探测器和差压开关与柜体内部连接，所述差压开关与微处理器连接，所述声光报警器与电控箱外表面连接，所述声光报警器与微处理器连接。

进一步，所述工艺气体供应单元内还设有第一单向阀、流量开关、流量孔板、测试阀和钢瓶接头防护装置，所述第一单向阀与低压气体排放阀后端连接，所述流量开关与调压阀后端连接，所述流量孔板与气动吹扫隔离阀前端和真空隔离阀后端连接，所述测试阀与第一排放管路连接，所述钢瓶接头防护装置与钢瓶连接。

进一步，所述吹扫单元内还设有安全阀、吹扫单元测试阀和第二单向阀，所述安全阀前端与第五管路连接，所述安全阀后端与第二排放管路连接，所述吹扫单元测试阀后端与第五管路连接，所述吹扫单元测试阀前端与柜体外部连接，所述第二单向阀设于纯化器和出口阀中间。

本实用新型的有益效果：

本实用新型与传统技术相比，通过在设备内加装气动阀、过流量开关来防止操作过程中开错阀门及设备故障时的安全联动，确保工厂正常生产和员工人身安全，实现设备状况现场显示和操作员最大可能非直接接触有毒、有害介质的全自动特殊气体供应柜；增设独立的吹扫气，由独立钢瓶供应，减少不同设备之间因为串气而对其他设备造成危害。

附图说明：

图1为本实用新型的外部结构示意图。

图2为本实用新型的内部结构示意图。

附图标记：

柜体100、箱体110、密闭门120、观察窗130和电控箱140。

控制显示操作单元200、微处理器210和触摸屏220。

工艺气体供应单元300、紧急关断阀310、高压气动隔离阀320、低压气动隔离阀330、气动吹扫隔离阀340、高压气体排放阀350和低压气体排放阀360。

压力传感器370、第一压力传感器371、第二压力传感器372、第三压力传感器373、第四压力传感器374和第五压力传感器375。

调压阀380、过滤器390、垫片式过滤器391和普通过滤器392。

隔离阀3100、工艺气体出口阀3200、真空隔离阀3300和真空发生器3400。

工作管路3500、第一管路3510、第二管路3520、第三管路3530、第四管路3540、第五管路3550、第一排放管路3560和第二排放管路3570。

第一单向阀3001、流量开关3002、流量孔板3003、测试阀3004和钢瓶接头防护装置3005。

吹扫单元400、吹扫气体入口隔离阀410、吹扫单元调压阀420、纯化器430、出口阀440和高压排放阀450。

安全阀4001、吹扫单元测试阀4002和第二单向阀4003。

报警单元500、温度传感器510、火焰探测器520、差压开关530、声光报警器540、条码扫描枪600和本地紧急停止按钮700。

具体实施方式

以下结合具体实施例，对本实用新型作进步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。

实施例1

图1为本实用新型的结构示意图。图2为本实用新型的内部结构示意图。

如图1和图2所示，一种用于特殊气体输送的气瓶柜，包括：柜体 100、控制显示操作单元200、工艺气体供应单元300、吹扫单元400、报警单元500、条码扫描枪600和本地紧急停止按钮700，控制显示操作单元200与柜体100连接，工艺气体供应单元300与柜体100内部连接，吹扫单元400与工艺气体供应单元300连接，报警单元500与柜体100 和控制显示操作单元200连接，条码扫描枪600和本地紧急停止按钮700 与柜体100表面连接，条码扫描枪600设于本地紧急停止按钮700正下方；

其中，工艺气体供应单元300包括：紧急关断阀310、高压气动隔离阀320、低压气动隔离阀330、气动吹扫隔离阀340、高压气体排放阀350、低压气体排放阀360、压力传感器370、调压阀380、过滤器390、隔离阀3100、工艺气体出口阀3200、真空隔离阀3300、真空发生器3400和工作管路3500，紧急关断阀310前端与钢瓶接口连接，紧急关断阀310 后端通过工作管路3500与高压气动隔离阀320连接，紧急关断阀310后端的工作管路3500中设有压力传感器370，高压气动隔离阀320前端与工作管路3500中间设有过滤器390，高压气动隔离阀320后端与调压阀 380连接，高压气动隔离阀320中间与高压气体排放阀350连接，低压气动隔离阀330前端与调压阀380后端的工作管路3500连接，调压阀380 后端的工作管路3500中设有压力传感器370，低压气动隔离阀330后端与过滤器390连接，低压气动隔离阀330中间与低压气体排放阀360连接，隔离阀3100前端与过滤器390连接，隔离阀3100后端与工艺气体出口阀3200连接，工艺气体出口阀3200通过工作管路3500与柜体100 外部连接，真空隔离阀3300前端与工作管路3500连接，真空隔离阀3300 后端与真空发生器3400连接，真空发生器3400后端通过工作管路3500 与柜体100外部连接，高压气动隔离阀320和低压气动隔离阀330为三通阀，紧急关断阀310、高压气动隔离阀320、低压气动隔离阀330、气动吹扫隔离阀340、高压气体排放阀350、低压气体排放阀360、隔离阀 3100、真空隔离阀3300和真空发生器3400与控制显示操作单元200连接。

工作管路3500包括：第一管路3510、第二管路3520、第三管路3530、第四管路3540、第五管路3550、第一排放管路3560和第二排放管路3570，第一管路3510与紧急关断阀310前端和钢瓶连接，第二管路3520与紧急关断阀310后端、高压气动隔离阀320、压力传感器370和过滤器390 连接，第三管路3530与低压气动隔离阀330、调压阀380、压力传感器 370和过滤器390连接，第四管路3540和第五管路3550与吹扫单元400 连接，第一排放管路3560与真空隔离阀3300、高压气体排放阀350和低压气体排放阀360连接，第二排放管路3570与吹扫单元400连接。

压力传感器370包括：第一压力传感器371、第二压力传感器372、第三压力传感器373、第四压力传感器374和第五压力传感器375，第一压力传感器371与第二管路3520连接，第二压力传感器372与第三管路 3530连接，第三压力传感器373与第四管路3540连接，第四压力传感器 374与第五管路3550连接，第五压力传感器375与第一排放管路3560连接。

过滤器390包括：垫片式过滤器391和普通过滤器392，垫片式过滤器391与第二管路3520和吹扫单元400连接，普通过滤器392与第三管路3530和隔离阀3100连接。

柜体100包括：箱体110、密闭门120、观察窗130和电控箱140，密闭门120与箱体110连接，观察窗130与密闭门120连接，电控箱140 与箱体110内顶部连接，观察窗130为防爆玻璃窗。

控制显示操作单元200包括：微处理器210和触摸屏220，微处理器 210与电控箱140内部连接，触摸屏220与密闭门120外表面连接，微处理器210与触摸屏220连接。

吹扫单元400包括：吹扫气体入口隔离阀410、吹扫单元调压阀420、纯化器430、出口阀440和高压排放阀450，高压排放阀450前端通过第四管路3540与钢瓶连接，高压排放阀450后端与吹扫气体入口隔离阀410 连接，高压排放阀450中间与第二排放管路3570连接，高压排放阀450 和第四管路3540中间设有垫片式过滤器391，吹扫气体入口隔离阀410 后端与吹扫单元调压阀420连接，吹扫单元调压阀420后端通过第五管路3550与纯化器430连接，纯化器430后端与出口阀440连接，出口阀 440与微处理器连接，高压排放阀450为三通阀。

报警单元500包括：温度传感器510、火焰探测器520、差压开关530 和声光报警器540，温度传感器510、火焰探测器520和差压开关530与柜体100内部连接，差压开关530与微处理器210连接，声光报警器540 与电控箱140外表面连接，声光报警器540与微处理器210连接。

工艺气体供应单元300内还设有第一单向阀3001、流量开关3002、流量孔板3003、测试阀3004和钢瓶接头防护装置3005，第一单向阀3001 与低压气体排放阀360后端连接，流量开关3002与调压阀380后端连接，流量孔板3003与气动吹扫隔离阀340前端和真空隔离阀3300后端连接，测试阀3004与第一排放管路3560连接，钢瓶接头防护装置3005与钢瓶连接。

吹扫单元400内还设有安全阀4001、吹扫单元测试阀4002和第二单向阀4003，安全阀4001前端与第五管路3550连接，安全阀4001后端与第二排放管路3570连接，吹扫单元测试阀4002后端与第五管路3550连接，吹扫单元测试阀4002前端与柜体100外部连接，第二单向阀4003 设于纯化器430和出口阀440中间。

本实用新型的工作原理是，将工艺气体供应单元300原有手动、半自动气柜的吹扫、排放阀门替换为气控阀门。对手动、半自动箱体的压力表替换为压力传感器370(4～20mA信号输出)计数机通过收集压力传感器370的信号，按编辑好的程式控制气控阀门自动完成自动切换钢瓶、换瓶前吹、钢瓶接口泄漏测试、换瓶后吹扫等动作。除有小流量正压氮气通过来维持管线的洁净度，还新增排风检测、过流量保护开关、真空发生器、气体泄漏探测器、火焰探测器、温度感应器、消防喷淋等设施来保证设备正常运转及异常情况下能即时发出报警信息，切断气源。

以上对本实用新型的具体实施方式进行了说明，但本实用新型并不以此为限，只要不脱离本实用新型的宗旨，本实用新型还可以有各种变化。

Claims (10)

1.一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于，包括：柜体(100)、控制显示操作单元(200)、工艺气体供应单元(300)、吹扫单元(400)、报警单元(500)、条码扫描枪(600)和本地紧急停止按钮(700)，所述控制显示操作单元(200)与柜体(100)连接，所述工艺气体供应单元(300)与柜体(100)内部连接，所述吹扫单元(400)与工艺气体供应单元(300)连接，所述报警单元(500)与柜体(100)和控制显示操作单元(200)连接，所述条码扫描枪(600)和本地紧急停止按钮(700)与柜体(100)表面连接，所述条码扫描枪(600)设于本地紧急停止按钮(700)正下方；

其中，所述工艺气体供应单元(300)包括：紧急关断阀(310)、高压气动隔离阀(320)、低压气动隔离阀(330)、气动吹扫隔离阀(340)、高压气体排放阀(350)、低压气体排放阀(360)、压力传感器(370)、调压阀(380)、过滤器(390)、隔离阀(3100)、工艺气体出口阀(3200)、真空隔离阀(3300)、真空发生器(3400)和工作管路(3500)，所述紧急关断阀(310)前端与钢瓶接口连接，所述紧急关断阀(310)后端通过工作管路(3500)与高压气动隔离阀(320)连接，所述紧急关断阀(310)后端的工作管路(3500)中设有压力传感器(370)，所述高压气动隔离阀(320)前端与工作管路(3500)中间设有过滤器(390)，所述高压气动隔离阀(320)后端与调压阀(380)连接，所述高压气动隔离阀(320)中间与高压气体排放阀(350)连接，所述低压气动隔离阀(330)前端与调压阀(380)后端的工作管路(3500)连接，所述调压阀(380)后端的工作管路(3500)中设有压力传感器(370)，所述低压气动隔离阀(330)后端与过滤器(390)连接，所述低压气动隔离阀(330)中间与低压气体排放阀(360)连接，所述隔离阀(3100)前端与过滤器(390)连接，所述隔离阀(3100)后端与工艺气体出口阀(3200)连接，所述工艺气体出口阀(3200)通过工作管路(3500)与柜体(100)外部连接，所述真空隔离阀(3300)前端与工作管路(3500)连接，所述真空隔离阀(3300)后端与真空发生器(3400)连接，所述真空发生器(3400)后端通过工作管路(3500)与柜体(100)外部连接，所述高压气动隔离阀(320)和低压气动隔离阀(330)为三通阀，所述紧急关断阀(310)、高压气动隔离阀(320)、低压气动隔离阀(330)、气动吹扫隔离阀(340)、高压气体排放阀(350)、低压气体排放阀(360)、隔离阀(3100)、真空隔离阀(3300)和真空发生器(3400)与控制显示操作单元(200)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述工作管路(3500)包括：第一管路(3510)、第二管路(3520)、第三管路(3530)、第四管路(3540)、第五管路(3550)、第一排放管路(3560)和第二排放管路(3570)，所述第一管路(3510)与紧急关断阀(310)前端和钢瓶连接，所述第二管路(3520)与紧急关断阀(310)后端、高压气动隔离阀(320)、压力传感器(370)和过滤器(390)连接，所述第三管路(3530)与低压气动隔离阀(330)、调压阀(380)、压力传感器(370)和过滤器(390)连接，所述第四管路(3540)和第五管路(3550)与吹扫单元(400)连接，所述第一排放管路(3560)与真空隔离阀(3300)、高压气体排放阀(350)和低压气体排放阀(360)连接，所述第二排放管路(3570)与吹扫单元(400)连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述压力传感器(370)包括：第一压力传感器(371)、第二压力传感器(372)、第三压力传感器(373)、第四压力传感器(374)和第五压力传感器(375)，所述第一压力传感器(371)与第二管路(3520)连接，所述第二压力传感器(372)与第三管路(3530)连接，所述第三压力传感器(373)与第四管路(3540)连接，所述第四压力传感器(374)与第五管路(3550)连接，所述第五压力传感器(375)与第一排放管路(3560)连接。

4.根据权利要求2所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述过滤器(390)包括：垫片式过滤器(391)和普通过滤器(392)，所述垫片式过滤器(391)与第二管路(3520)和吹扫单元(400)连接，所述普通过滤器(392)与第三管路(3530)和隔离阀(3100)连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述柜体(100)包括：箱体(110)、密闭门(120)、观察窗(130) 和电控箱(140)，所述密闭门(120)与箱体(110)连接，所述观察窗(130)与密闭门(120)连接，所述电控箱(140)与箱体(110)内顶部连接，所述观察窗(130)为防爆玻璃窗。

6.根据权利要求5所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述控制显示操作单元(200)包括：微处理器(210)和触摸屏(220)，所述微处理器(210)与电控箱(140)内部连接，所述触摸屏(220)与密闭门(120)外表面连接，所述微处理器(210)与触摸屏(220)连接。

7.根据权利要求4所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述吹扫单元(400)包括：吹扫气体入口隔离阀(410)、吹扫单元调压阀(420)、纯化器(430)、出口阀(440)和高压排放阀(450)，所述高压排放阀(450)前端通过第四管路(3540)与钢瓶连接，所述高压排放阀(450)后端与吹扫气体入口隔离阀(410)连接，所述高压排放阀(450)中间与第二排放管路(3570)连接，所述高压排放阀(450)和第四管路(3540)中间设有垫片式过滤器(391)，所述吹扫气体入口隔离阀(410)后端与吹扫单元调压阀(420)连接，所述吹扫单元调压阀(420)后端通过第五管路(3550)与纯化器(430)连接，所述纯化器(430)后端与出口阀(440)连接，所述出口阀(440)与微处理器连接，所述高压排放阀(450)为三通阀。

8.根据权利要求6所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述报警单元(500)包括：温度传感器(510)、火焰探测器(520)、差压开关(530)和声光报警器(540)，所述温度传感器(510)、火焰探测器(520)和差压开关(530)与柜体(100)内部连接，所述差压开关(530)与微处理器(210)连接，所述声光报警器(540)与电控箱(140)外表面连接，所述声光报警器(540)与微处理器(210)连接。

9.根据权利要求2所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述工艺气体供应单元(300)内还设有第一单向阀(3001)、流量开关(3002)、流量孔板(3003)、测试阀(3004)和钢瓶接头防护装置(3005)，所述第一单向阀(3001)与低压气体排放阀(360)后端连接，所述流量开关(3002)与调压阀(380)后端连接，所述流量孔板(3003)与气动吹扫隔离阀(340)前端和真空隔离阀(3300)后端连接，所述测试阀(3004)与第一排放管路(3560)连接，所述钢瓶接头防护装置(3005)与钢瓶连接。

10.根据权利要求7所述的一种用于特殊气体输送的气瓶柜，其特征在于：所述吹扫单元(400)内还设有安全阀(4001)、吹扫单元测试阀(4002)和第二单向阀(4003)，所述安全阀(4001)前端与第五管路(3550)连接，所述安全阀(4001)后端与第二排放管路(3570)连接，所述吹扫单元测试阀(4002)后端与第五管路(3550)连接，所述吹扫单元测试阀(4002)前端与柜体(100)外部连接，所述第二单向阀(4003)设于纯化器(430)和出口阀(440)中间。

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