CN207662872U - 一种尾气处理设备中不同位置的毒气浓度监测装置 - Google Patents

Abstract

一种尾气处理设备中不同位置的毒气浓度监测装置，包括毒气检测装置(7)、气动泵(9)、气动阀(3、4、5)、四通管(6)、钢管接头(1、2、8)、和软管(13)；3个气动阀(3、4、5)的一端分别与柜体排气口处钢管接头(2)、处理设备排气口处钢管接头(1)和吸附媒介容器底部吸附媒介90％处形成气体通路；另一端共同连接到四通管(6)上；四通管(6)的另一通路依次连接与毒气检测装置(7)、气动泵(9)、设备进气口处钢管接头(8)形成气体通路；启动气动泵(2)工作，控制使3个气动阀中的一个开启，三处位置中一处的气体样本经被抽取，流经毒气检测装置(7)，气体样本的浓度检测被检测，最后排到设备进气口处。

Description

一种尾气处理设备中不同位置的毒气浓度监测装置

技术领域

本实用新型属于干式工艺特气尾气处理技术领域，特别涉及一种尾气处理设备中设备排气口毒气浓度、设备柜内毒气浓度及吸附媒介90％寿命的监测装置。

背景技术

干式尾气处理设备主要用在半导体半导体、太阳能光伏、LCD等行业中，在上述行业的生产工艺中，会用到大量的、种类繁杂的特殊气体，这些气体通常具有剧毒、易燃、具腐蚀性等特征，因此，在处理这些气体时，对处理的安全需求非常高，不仅要考虑到设备的处理能力，还需在设备泄漏检测、设备寿命两点上有相应的实时监测手段；

目前，在干式特气尾气处理设备中：

对设备的处理能力检测手段主要是在设备的排气口安装颜色指示剂检测排气中是否含有目标气体，若有，则指示剂颜色会发生变化，说明设备处理能力不能达标；

对设备泄漏的处理手段是将设备的柜体排气口与用户的厂务端连接在一起，从而使得设备固体处于一个负压状态；

对设备寿命检测的手段主要是通过在吸附剂容器90％出单独安装一个装满颜色指示剂的圆柱体透明视窗，当指示剂颜色发生变化时，说明吸附剂90％已被使用，寿命即将到期；

上述方法有以下几个缺点：

1.指示剂只能判断尾气中含有特定的气体，不能通过颜色变化反应气体的具体浓度；

2.往往设备的使用寿命远远长于指示剂，而指示剂并没有明显的失效标志，往往会造成错误的判断或指示剂的浪费；

3.此种判断方法需肉眼进行判断，即需人工巡视，时效性非常差；

4.设备被动与工厂厂务端连接在一起，当厂务端发生故障时，设备柜体内部就会处于常压状态，大大降低了设备的安全性；

5.工作人员不知道设备是否处于泄漏状态，可能会在设备泄漏的状态下打开设备，进而发生安全事故；

6.由于设备被动与厂务端连接在一起，进而在厂务端故障和设备泄漏同时发生时，没有应急方案，泄漏的气体将会排放进入工作区域内，造成环境、人员及的损害及后期清理的费用，若发生安全事故，损失是不可估量的；

7.视窗与容器的连接需做密封处理，有泄漏风险；

8.颜色指示剂容易受到环境的影响而导致灵敏性发生变化，从而影响其指示功能；

9.此种判断方法需肉眼进行判断，即需人工巡视，时效性非常差；

10.通常视窗位置(在媒介容器据底部10％的位置)离地面很近，容易使其被污染从而不能很好的观察内部情况或是需频繁的做清洁工作；

11.在更换时或是做固废处理时，视窗容易被损坏，增加处理/使用成本；

12.通常指示剂比较灵敏，在发生颜色变化时并不能反映出尾气的真实状态，即无法通过其获知此时废气的浓度等特征。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型旨在提供一种尾气处理设备中不同位置的毒气浓度监测装置，能更实时和更精确地获得设备不同位置的毒气浓度。

本实用新型的技术方案是，一种尾气处理设备中不同位置的毒气浓度监测装置，包括毒气检测装置、气动泵、气动阀、四通管、处理设备排气口处钢管接头、柜体排气口处钢管接头、设备进气口处钢管接头和软管；所述气动阀为3个，所述3个气动阀的一端分别与柜体排气口处钢管接头、处理设备排气口处钢管接头和吸附媒介容器底部吸附媒介90％处形成气体输送通路；另一端共同连接到四通管上；四通管的另一通路连接至毒气检测装置的进气口；毒气检测装置的排气口与气动泵的进气口连接；气动泵的排气口连接至设备进气口处钢管接头；软管用于各口部的软连接；启动气动泵工作，通过控制使3个气动阀中的一个开启，尾气处理设备中柜体排气口、处理设备排气口和吸附媒介容器底部吸附媒介90％处这三者中一处的气体样本经被抽取，流经毒气检测装置，毒气检测装置检测被抽取气体样本的浓度，然后经气动泵的气体通路排到设备进气口处。

进一步的，本实用新型装置还包括流量计；所述流量计设置在四通管与毒气检测装置之间的气体通路上，以控制和监测经气动阀进入毒气检测装置的气体流量。

更进一步的，本实用新型装置还包括钢管，钢管一端插入到吸附媒介容器底部吸附媒介90％处，另一端伸出吸附媒介容器通过管连接至气动阀，以更稳定地获得吸附媒介容器底部吸附媒介90％处的气体样本。

还进一步的，上述钢管插入到吸附媒介容器底部吸附媒介90％处的端口为网状结构，以防止吸附媒介进入并堵塞钢管。

还进一步的，本实用新型装置还包括控制器，控制器与气动阀连接，以控制气动阀中的一个开启时另两个关闭。

还进一步的，本实用新型装置还包括与控制器相连的人机交互界面，以通过人工选择控制气动阀中的任意一个开启。

作为上述人工选择控制气动阀的替代，本实用新型装置还包括与控制器相连的人机交互界面，控制器设置气动阀中的每个开启20秒，3个气动阀轮流开启，并在人机交互界面显示气动阀状态。

进一步的，本实用新型装置的控制器还与毒气检测装置连接，接收毒气检测装置检测获得的气体浓度信号。

进一步的，上述控制器有气体浓度预警和报警设置。

进一步的，上述钢管和气动阀之间的管为纹软管，在一定范围内自由伸缩。

分别用气体软管在设备排气口、柜体排气口、吸附剂容器90％处抽取气体样本，软管另一端分别连接三个气动控制阀，三个气动阀的出口端分别连接一个四通管的三个进口，四通管的另一个出口连接毒气检测装置进口，毒气检测装置的出口端连接气动泵的进口端，气动泵的出口端链接到尾气处理设备进气口，通过控制系统控制三个气动阀每20s开启一个，同时另外两个处于关闭状态，从而实现用一个毒气检测装置同时对设备的排气口、柜体排气口和吸附剂容器90％处进行检测；

与现有技术相比，本实用新型的益处在于：

1、无需担心颜色指示剂寿命的问题，系统采用的都是机械元器件，更稳定、更可靠并可实现自动化；

2、对系统处理能力的监测更可靠，没有颜色指示剂耗尽或失效等的顾虑；

3、由于采用的是气体实时监测装置，完全解决了以下问题：

a)、不会因为环境的改变而影响装置的灵敏性、准确度等重要功能；

b)、监测装置将直接将检测到的气体相关参数转化成电信号后反馈到PLC 装置，无需人工随时巡视，超标后将会自动发出警报，更及时、更安全；

c)、检测装置可以实时显示气体的浓度，直观地与国家规定的环保政令进行对比，同时也可将监测设备的报警输出信号调整到国家环保要求的标准，当浓度高于设置值时，系统就会发出报警指令，让用户实时了解设备处理能力；

d)、由于装置可直接检测气体浓度，可通过装置检测到的数值更加准确的判断吸附媒介是否确实已经被消耗了90％，更高效、更准确；

4、整套结构都由设备主动控制，即使发生故障，设备也会进入到应急模式，不会发生安全事故；

5、工作人员可从设备的人机交互界面或是设备的报警状态直接查看设备是否有泄露发生，从而从根源上避免安全事故的发生；

6、钢管与容器连接为焊接连接，大大降低了泄漏风险；

7、设备的处理能力、柜体排气检测及吸附剂容器的90％三个部位的检测只需使用一个毒气检测装置，更高效、更经济。

附图说明

从下面结合附图对本实用新型实施例的详细描述中，本实用新型的这些和/或其它方面和优点将变得更加清楚并更容易理解，其中：

附图1为本实用新型实施例的装置结构示意图。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。这里，需要注意的是，在附图中，将相同的附图标记赋予基本上具有相同或类似结构和功能的组成部分，并且将省略关于它们的重复描述。

实施例1

一种尾气处理设备中不同位置的毒气浓度监测装置，如附图1所示，包括处理设备排气口处钢管接头1、柜体排气口处钢管接头2、毒气检测装置7、设备进气口处钢管接头8、气动泵9、气动阀3、4、5、四通管6、流量计10、钢管11、控制器、PVC软管13、波纹管12；

所述气动阀为3个，所述3个气动阀3、4、5的一端分别与柜体排气口处钢管接头1、处理设备排气口处钢管接头2和吸附媒介容器底部吸附媒介 90％处形成气体输送通路，其中需要具体说明的是，气动阀与吸附媒介容器底部吸附媒介90％处形成气体输送通路的连接通过波纹管12和钢管11共同完成，钢管11一端插入到吸附媒介容器底部吸附媒介90％处，另一端伸出吸附媒介容器通过波纹管12连接至气动阀，以更稳定地获得吸附媒介容器底部吸附媒介90％处的气体样本，并且钢管11插入到吸附媒介容器底部吸附媒介90％处的端口为网状结构，以防止吸附媒介进入并堵塞钢管11；另一端共同连接到四通管6上；

四通管6的另一通路连接至流量计10进口；

流量计10出口连接毒气检测装置7的进气口，流量计10用于控制和监测经气动阀进入毒气检测装置7的气体流量；

毒气检测装置7的出气口与气动泵9的进气口连接；

气动泵9的排气口连接至设备进气口处的钢管接头8；

PVC软管13用于各口部的软连接；

控制器与气动阀3、4、5连接，以控制气动阀3、4、5中的一个开启时另两个关闭，本实施例的控制器设置气动阀3、4、5中的每个开启20秒，3 个气动阀轮流开启，并在人机交互界面显示气动阀3、4、5状态；

同时控制器还与毒气检测装置7连接，接收毒气检测装置7检测获得的气体浓度信号，且控制器有气体浓度预警和报警设置，以便当检测的气体浓度超过预设的标准浓度，发出预警和报警信号，提醒人工干预处理。

因此，当启动气动泵9工作时，控制器控制3个气动阀中的一个开启另外两个关闭，尾气处理设备中与开启的气动阀对应的柜体排气口，或理设备排气口，或吸附媒介容器底部吸附媒介90％的气体样本被抽取，经流量计10 流经毒气检测装置7，毒气检测装置7检测被抽取气体样本的浓度，然后经气动泵9的气体通路排到设备进气口处，重新回到设备内部进行处理避免污染环境，因为每个气动阀开启20秒并轮流开启，从而实现处理设备不同位置处的毒气浓度被轮流实时监测。

以上已经描述了本实用新型的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种尾气处理设备中不同位置的毒气浓度监测装置，其特征在于，包括毒气检测装置(7)、气动泵(9)、气动阀(3、4、5)、四通管(6)、处理设备排气口处钢管接头(1)、柜体排气口处钢管接头(2)、设备进气口处钢管接头(8)和软管(13)；

所述气动阀为3个，所述3个气动阀(3、4、5)的一端分别与柜体排气口处钢管接头(2)、处理设备排气口处钢管接头(1)和吸附媒介容器底部吸附媒介90％处形成气体输送通路；另一端共同连接到四通管(6)上；

四通管(6)的另一通路连接至毒气检测装置(7)的进气口；

毒气检测装置(7)的排气口与气动泵(9)的进气口连接；

气动泵(9)的排气口连接至设备进气口处钢管接头(8)；

软管(13)用于各口部的软连接；

启动气动泵(9)工作，通过控制使3个气动阀中的一个开启，尾气处理设备中柜体排气口、处理设备排气口和吸附媒介容器底部吸附媒介90％处这三者中一处的气体样本经被抽取，流经毒气检测装置(7)，毒气检测装置(7)检测被抽取气体样本的浓度，然后经气动泵(9)的气体通路排到设备进气口处。

2.如权利要求1所述的毒气浓度监测装置，其特征在于，还包括流量计(10)；所述流量计(10)设置在四通管(6)与毒气检测装置(7)之间的气体通路上，以控制和监测经气动阀进入毒气检测装置(7)的气体流量。

3.如权利要求2所述的毒气浓度监测装置，其特征在于，还包括钢管(11)，钢管(11)一端插入到吸附媒介容器底部吸附媒介90％处，另一端伸出吸附媒介容器通过管(12)连接至气动阀，以更稳定地获得吸附媒介容器底部吸附媒介90％处的气体样本。

4.如权利要求3所述的毒气浓度监测装置，其特征在于，所述钢管(11)插入到吸附媒介容器底部吸附媒介90％处的端口为网状结构，以防止吸附媒介进入并堵塞钢管(11)。

5.如权利要求4所述的毒气浓度监测装置，其特征在于，还包括控制器，控制器与气动阀(3、4、5)连接，以控制气动阀(3、4、5)中的一个开启时另两个关闭。

6.如权利要求5所述的毒气浓度监测装置，其特征在于，还包括与控制器相连的人机交互界面，以通过人工选择控制气动阀(3、4、5)中的任意一个开启。

7.如权利要求5所述的毒气浓度监测装置，其特征在于，还包括与控制器相连的人机交互界面，控制器设置气动阀(3、4、5)中的每个开启20秒，3个气动阀轮流开启，并在人机交互界面显示气动阀(3、4、5)状态。

8.如权利要求7所述的毒气浓度监测装置，其特征在于，控制器还与毒气检测装置(7)连接，接收毒气检测装置(7)检测获得的气体浓度信号。

9.如权利要求8所述的毒气浓度监测装置，其特征在于，所述控制器有气体浓度预警和报警设置。

10.如权利要求1所述的毒气浓度监测装置，其特征在于，所述管(12)为纹软管，在一定范围内自由伸缩。