KR100742282B1 - 케미컬 필터 - Google Patents

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KR100742282B1
KR100742282B1 KR1020060011331A KR20060011331A KR100742282B1 KR 100742282 B1 KR100742282 B1 KR 100742282B1 KR 1020060011331 A KR1020060011331 A KR 1020060011331A KR 20060011331 A KR20060011331 A KR 20060011331A KR 100742282 B1 KR100742282 B1 KR 100742282B1
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chemical
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변주상
최기룡
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 케미컬 필터에 관한 것으로, 케미컬의 유출입을 허용하는 유출구 및 유입구와 에어의 배출을 허용하는 에어벤트를 구비하고, 상기 유출구와 상기 유입구 사이에서 상기 케미컬의 흐름 경로를 제공하는 하우징을 포함한다. 본 발명은 상기 하우징 내에서 상기 케미컬의 흐름 경로상에 배치되어 상기 케미컬에 함유된 파티클을 걸러내는 제1 여과부재와, 상기 하우징 내에서 상기 에어벤트를 통해 배출되는 에어의 흐름 경로상에 배치되어 상기 케미컬에 함유된 파티클을 집진시키는 제2 여과부재를 포함한다. 본 발명은 상기 제2 여과부재를 상기 하우징의 외부에서 보이게 하는 창을 포함한다. 이에 의하면, 케미컬 필터의 오염 상태를 육안으로 확인할 수 있어서 케미컬 필터를 적시에 교환할 수 있는 효과가 있다.
반도체, 케미컬 필터, 멤브레인

Description

케미컬 필터{CHEMICAL FILTER}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터를 부분 절취한 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터에 있어서 제1 여과부재를 부분 절취한 사시도.
도 3는 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터에 있어서 제2 여과부재를 도시한 사시도.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터에 있어서 집진원리를 설명하는 단면도.
도 7은 본 발명의 변경 실시예에 따른 케미컬 필터를 부분 절취한 사시도.
도 8은 본 발명의 변경 실시예에 따른 제2 여과부재를 도시한 사시도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
100; 케미컬 필터 110; 하우징
112; 상부벽 114; 측벽
116; 하부벽 120; 유출구
130; 유입구 140; 에어벤트
150,160; 여과부재 152; 코어
154,162,164; 멤브레인 156,166; 가드
162a,164a; PTFE 192,194; 파티클
본 발명은 케미컬 필터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 케미컬 필터의 오염정도를 육안으로 확인할 수 있는 케미컬 필터에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하는데 있어서는 엄격한 공정조건과 정밀한 제조기술 및 높은 수준의 청정도가 요구되는 것이 거의 필수적이다. 반도체 제조공정에서의 청정도는 반도체 소자의 손상 및 전기적 특성을 변화시키는 오염물로부터 웨이퍼를 격리시키는데 그 목적이 있다. 웨이퍼를 오염물로부터 격리시키는 방법 중의 하나가 반도체 공정에 사용되는 케미컬에 함유된 오염물을 여과시키는 것이다. 케미컬로부터 오염물을 여과시켜 얻어진 깨끗한 케미컬을 반도체 제조설비에 제공함으로써 양질의 반도체 소자를 제조할 수 있는 것이다.
집적도가 비약적으로 향상되고 있어 패턴의 사이즈가 크게 축소되고 있는 최근의 반도체 공정에 있어서는 수율을 향상시키기 위하여는 케미컬 필터의 적절한 교체가 필요하다. 종래에는 일정시간이 경과하면 주기적으로 케미컬 필터를 교환하였다. 종래에는 케미컬 필터의 교환에 소요되는 시간과 비용을 줄이기 위하여 수명을 허용범위 내에서 늘려서 사용하였다.
그러하지만, 반도체 제조설비에 따라 공정별 진행횟수가 상이하기 때문에 어느 시점에 어떠한 원인에 의해 케미컬 필터가 오염되는지에 대해선 확인되지 않는 것이 종래이다. 특정 공정에서 오염 문제가 발생하는 경우 우선적으로 케미컬 필터를 새로운 것으로 교환하는 것이 통상적이다. 그렇지만, 종래에는 케미컬 필터의 내부상태를 육안으로 확인할 수 없었다. 따라서, 오염원인의 규명을 위해서는 케미컬 필터를 절단하여 확인할 수 밖에 없었기 때문에 제조비용 및 시간적인 측면에서 불리한 점이 있었다.
본 발명은 상술한 종래기술에서의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 오염 정도를 육안으로 확인할 수 있는 케미컬 필터를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 케미컬 필터는 내부를 육안으로 확인할 수 있는 투명창을 구비하고 오염물을 집진할 수 있는 기능을 가지는 또하나의 멤브레인이 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터는, 케미컬의 유출입을 허용하는 유출구 및 유입구와 에어의 배출을 허용하는 에어벤트를 구비하고, 상기 유출구와 상기 유입구 사이에서 상기 케미컬의 흐름 경로를 제공하는 하우징과; 상기 하우징 내에서 상기 케미컬의 흐름 경로상에 배치되어 상기 케미컬에 함유된 파티클을 걸러내는 제1 여과부재와; 상기 하우징 내에서 상기 에어벤트를 통해 배출되는 에어의 흐름 경로상에 배치되어 상기 케미컬에 함유된 파티클을 집진시키는 제2 여과부재와; 상기 제2 여과부재를 상기 하우징의 외부에서 보 이게 하는 창을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1 여과부재는 원통형의 고리모양을 이루는 주름잡힌 멤브레인을 포함한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2 여과부재는 적어도 두 개의 주름잡힌 멤브레인이 상하 적층되어 있다. 상기 적어도 두 개의 주름잡힌 멤브레인은 상대적으로 작은 크기의 파티클을 걸러내는 제1 멤브레인과, 상기 제1 멤브레인에 비해 상대적으로 큰 크기의 파티클을 걸러내는 제2 멤브레인을 포함한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1 멤브레인은 상기 에어벤트에 더 근접하도록 상기 제2 멤브레인의 상부에 배치된다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 창은 상기 제2 여과부재를 확대하여 보이게 하는 렌즈를 포함한다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 변형 실시예에 따른 케미컬 필터는, 유출구와 에어벤트를 구비하는 상부벽, 유입구를 구비하는 하부벽, 및 상기 상부벽과 상기 하부벽을 조합시켜 밀폐된 공간을 정의하는 원통형의 측벽을 구비하는 원통형 하우징과; 상기 하우징 내부에서 상기 유입구 및 상기 유출구 사이에 배치되어, 상기 유입구를 통해 유입되는 케미컬을 걸러내는 원통형의 고리모양을 갖는 주름잡힌 제1 멤브레인을 구비하는 원통형 제1 여과부재와; 상기 제1 여과부재와 상기 측벽 사이의 공간에서 상기 에어벤트 아래에 배치되고, 상기 제1 멤브레인이 상기 에어벤트에 근접하게 배치되고 상기 제1 멤브레인의 하부에 주름잡힌 제2 멤브레인이 적층되어 상기 케미컬에 함유된 파티클을 집진시키는 제2 여과부재와; 상기 측벽에 배치되어 상기 제2 여과부재의 파티클 집진 상태를 육안으로 보이게 하는 투명창을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 변형 실시예에 있어서, 상기 제1 여과부재는, 상기 제1 멤브레인에 의해 둘러싸이는 코어와, 상기 제1 멤브레인의 바깥쪽을 둘러싸는 다수개의 가드를 포함하는 원통형 구조이다.
본 발명의 변형 실시예에 있어서, 상기 제1 여과부재의 중심축은, 상기 하우징의 중심축과 동일한 축이거나 상기 하우징의 중심축으로부터 벗어나 있다.
본 발명의 변형 실시예에 있어서, 상기 제2 멤브레인은 상기 제1 멤브레인에 비해 상대적으로 큰 크기의 파티클을 걸러낸다.
본 발명의 변형 실시예에 있어서, 상기 제1 멤브레인과 상기 제2 멤브레인 중에서 적어도 어느 하나는 PTFE(폴리테트라플루오르에틸렌)과 PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌)과 PVDF(폴리비닐리덴플루오라이드)과 PVF(폴리비닐플루오라이드) 중에서 적어도 어느 하나로 이루어져 있다.
본 발명의 변형 실시예에 있어서, 상기 투명창은 상기 제2 여과부재를 확대시켜 보이게는 하는 돋보기형 투명창이다.
본 발명의 변형 실시예에 있어서, 상기 하부벽은 에어벤트를 더 포함한다.
본 발명에 의하면, 하우징 내부를 확인할 수 있는 돋보기형 투명창이 설치되어 있어 케미컬 필터의 내부를 크게 확대하여 볼 수 있다. 그리고, 케미컬 필터 내부에 파티클을 집진할 수 있는 멤브레인이 더 설치되어 있다. 따라서, 케미컬 필터에 파티클이 집진되어 시간에 따라서 어느 정도 오염이 됐는지를 육안으로 확인가 능하다.
이하, 본 발명에 따른 케미컬 필터를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명에 따른 케미컬 필터는 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명에 따른 케미컬 필터는 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.
(실시예)
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터를 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터(100;chemical filter)는 하우징(110;housing)과, 그 하우징(110)에 내장된 여과부재(150;filtering member)를 포함하여 구성된다. 하우징(110)과 여과부재(150)는 대체로 원통형이다. 본 발명의 케미컬 필터(100)는 케미컬을 여과부재(150)에 통과시켜 케미컬로부터 이물이나 오염물(이하, "파티클"이라 한다)을 여과하여 정화한다. 여기서의 케미컬은 주로 액상의 케미컬, 가령 반도체 포토공정에서 빈번히 사용되는 감광액을 대표적인 예로 들 수 있다.
하우징(110)은 케미컬 필터(100)의 전체적인 외관을 이룬다. 하우징(110)은 원통형 측벽(114;cylindrical side wall)의 상하에 각각 상부벽(112;top wall)과 하부벽(116;bottom wall)이 결합된 밀폐된 구조이다. 상부벽(112)에는 유출구(120;outlet)와 에어벤트(140;air vent)가 마련된다. 하부벽(116)에는 유입구(130;inlet)가 마련된다. 케미컬은 유입구(130)를 통해 하우징(110) 내부로 유입된다. 하우징(110) 내부로 유입된 케미컬은 여과부재(150)에 의해 여과된다. 하우징(110) 내부에서 여과부재(150)에 의해 여과된 케미컬은 유출구(120)를 통해 하우징(110) 내부로부터 유출된다.
일례로, 유출구(120)는 홀(126;hole)을 가진 원통형의 돌출부(122;cylindrical protrusion)로 구성된다. 그 돌출부(122)의 일부는 특정 설비에 연결되기에 적합한 형상의 연결부(124)를 이룬다. 일례로, 연결부(124)는 나사 형상일 수 있다. 유입구(130)는 유출구(120)와 동일하게 구성될 수 있다. 일례로서, 유입구(130)는 홀(136)을 가진 원통형의 돌출부(132)로 구성되고, 돌출부(132)의 일부는 나사 형상의 연결부(134)를 이룬다. 유입구(130)와 유출구(120) 및 여과부재(150)의 중심축이 하우징(110)의 중심축(Ⅰ-Ⅰ축)과 동일한 축 상에 놓이도록 설계될 수 있다.
하우징(110) 내부로 유입되거나 케미컬의 여과작용시 발생되는 기포나 에어 등은 에어벤트(140)를 통해 케미컬 필터(100)에서 배출된다. 에어벤트(140)는, 일례로서, 홀(146)을 가진 원통형의 돌출부(142)로 구성된다. 그 돌출부(142)의 일부는 특정 설비에 연결되기에 적합한 형상의 연결부(144)를 이룬다. 일례로, 연결부(144)는 나사 형상일 수 있다. 유출구(120)와 에어벤트(140)는 위에서 상술한 형상 이외에 다른 형상일 수 있음에 유의하여야 할 것이다.
에어벤트(140)는 하우징(110)의 중심축으로부터 벗어난 위치, 구체적으로 상부벽(112)의 가장자리부에 놓이도록 설계될 수 있다. 하부벽(116)에 별도의 에어벤트(140')가 더 마련될 수 있다. 에어벤트(140')는 에어벤트(140)와 동일하게 구성될 수 있다. 일례로서, 홀(146')을 가진 원통형의 돌출부(142')로 구성되고, 돌출부(142')의 일부는 나사 형상의 연결부(146')를 이룬다. 에어벤트(140')는 에어벤트(140)와 동일한 축(Ⅱ-Ⅱ축) 상에 놓이도록 설계될 수 있다. 또는, 에어벤트(140)는 중심축(Ⅰ-Ⅰ축)의 우측에 에어벤트(140')는 중심축(Ⅰ-Ⅰ축)의 좌측에 놓이도록 설계될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터에 있어서 여과부재(150)를 도시한 사시도이다.
도 2를 참조하면, 여과부재(150)는 하우징(110) 내부에서 케미컬의 흐름 경로상, 즉 유입구(130)와 유출구(120) 사이에 놓인다. 여과부재(150)는 코어(152;Core)의 둘레를 주름잡힌 멤브레인(154;membrane)이 둘러싸고 있고, 멤브레인(154)은 가드(156;guard)에 의해 둘러싸여 있는 대체로 원통형 구조이다. 유입구(130)를 통해 여과부재(150)의 하측으로 유입된 케미컬은 멤브레인(154)을 통과한다. 멤브레인(154)을 통과한 케미컬은 코어(152) 내부로 이동되어 유출구(120)를 통해 케미컬 필터(100)로부터 배출된다. 케미컬이 멤브레인(154)을 통과하는 과정에서 케미컬에 함유된 파티클은 멤브레인(154)에서 여과된다. 멤브레인(154)은 불소수지(fluororesin), 예를 들어, PTFE(폴리테트라플루오르에틸렌) 혹은 PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌) 혹은 PVDF(폴리비닐리덴플루오라이드) 혹은 PVF(폴리 비닐플루오라이드) 등으로 제작될 수 있다.
도 1을 다시 참조하면, 이미 언급한 바와 같이 케미컬이 여과부재(150)에 의해 여과되는 과정에서 발생되거나 케미컬과 함께 케미컬 필터(100)로 유입되는 기포나 에어는 에어벤트(140)를 통해 케미컬 필터(100) 외부로 배출된다. 에어벤트(140)를 통해 배출되는 에어나 기포에는 멤브레인(154)에 의해 걸러진 파티클이 함유되어 있을 수 있다. 이러한 파티클을 집진할 수 있는 여과부재(160)가 에어의 흐름 경로상에 있도록 에어벤트(140)의 하부에 설치된다.
여과부재(160)는 하우징(110)의 측벽(114)과 여과부재(150) 사이에 형성된 공간에 설치된다. 그리고, 하우징(110)의 측벽(114)에는 여과부재(160)를 육안으로 확인할 수 있는 창(170;view window)이 설치된다. 따라서, 여과부재(160)는 에어가 배출되는 과정에서 에어에 함유된 파티클을 모으는 역할을 한다. 여과부재(160)에 집진된 파티클은 창(170)을 통해 외부에서 확인할 수 있다. 창(170)은 여과부재(160)가 파티클을 집진하고 있는 상태를 작업자로 하여금 확대되어 보일수 있도록 하는 렌즈로 구성된 돋보기형 투명창이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터에 있어서 일례의 여과부재(160)를 도시한 사시도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터에 있어서 변경례의 여과부재(160')를 도시한 사시도이다.
도 3을 참조하면, 여과부재(160)는 적어도 두 개의 멤브레인(162,164)이 상하로 적층되고 가드(166)에 의해 둘러싸여 있는 구조이다. 여과부재(160)는 상술한 바와 같이 하우징(110)의 측벽(114)과 여과부재(150) 사이의 공간에 설치된다. 따 라서, 여과부재(160)의 전체적인 외관은 그 공간에 설치되기에 적합한 형상일 것이다. 일례로, 도 3에 도시된 바와 같이 대체로 원통형일 수 있고, 또는 도 8에 도시된 바와 같이 대체로 반월형일 수 있다.
두 개의 멤브레인(162,164) 중에서 에어벤트(140)에 더 근접하는 멤브레인(162)은 여과부재(150)의 멤브레인(154)과 동일한 여과기능을 가지며, 다른 멤브레인(164)은 멤브레인(154)에 비해 더 큰 크기의 파티클을 여과하는 기능을 가진다. 예를 들어, 멤브레인(154)이 100㎚ 크기를 갖는 파티클을 여과하는 것이라면, 멤브레인(162) 역시 100㎚ 크기를 갖는 파티클을 여과하며, 멤브레인(164)은 100㎚ 보다 더 큰 크기를 갖는 파티클을 여과한다. 100㎚ 보다 더 큰 크기를 갖는 파티클은 멤브레인(162)에서 걸러질 뿐 아니라 멤브레인(164)에서도 걸러질 것이다. 즉, 멤브레인(164)은 멤브레인(162)에서 걸러지는 파티클을 집진하는 역할을 갖는다. 멤브레인(162,164)은 앞서의 멤브레인(154)과 동일하게 불소수지(Fluororesin), 예를 들어, PTFE(폴리테트라플루오르에틸렌) 혹은 PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌) 혹은 PVDF(폴리비닐리덴플루오라이드) 혹은 PVF(폴리비닐플루오라이드) 등으로 제작될 수 있다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 필터에 있어서 여과부재(160)의 집진원리를 설명하는 단면도이다.
도 4를 참조하면, 아래에서 위로 에어 흐름(화살표)이 있을 때 멤브레인(164)을 이루는 수많은 PTFE(164a)에 의해 큰 크기의 파티클(192)이 여과된다. 작은 크기의 파티클(194)은 멤브레인(194)을 통과하지만 멤브레인(162)의 PTFE(162a) 에 의해 여과된다. 따라서, 집진용 멤브레인(164)에는 큰 크기의 파티클(192)과 작은 크기의 파티클(194)이 집진된다. 집진원리를 더 개략적으로 도시한 도 5를 참조하면, 멤브레인(162,164)을 통과한 파티클(B)은 에어와 함께 배출되지만 멤브레인(162)을 통과하지 못하는 파티클(A)은 멤브레인(164)에 의해 집진되는 것이다.
도 6을 참조하면, 멤브레인(164)에 의해 파티클이 집진되면 멤브레인(164)은 파티클이 집진되지 않은 상태(A)에 비해 색깔이 더 짙어진 상태(B 내지 F)일 것이다. 작업자는 여과부재(160)의 파티클 집진상태를 창(170)을 통해 육안으로 쉽게 확인할 수 있는 것이다. 따라서, 케미컬 필터(100)의 오염 정도를 여과부재(160)의 색깔을 기준으로 육안으로 쉽게 확인 가능하므로 케미컬 필터(100)를 적시에 교환할 수 있다.
상기와 같이 구성된 케미컬 필터는 다음과 같이 동작한다.
예를 들어, 감광액 저장용기에 저장된 케미컬, 즉 감광액이 유입구(130)를 통해 케미컬 필터(100)로 유입된다. 케미컬 필터(100)로 유입된 감광액은 여과부재(150)를 통과하면서 파티클이 여과부재(150)의 멤브레인(152)의 표면에서 걸러진다. 파티클이 걸러져 깨끗한 상태로 정화된 감광액은 유출구(120)를 통해 특정설비, 가령 감광액 분사노즐로 제공된다. 감광액이 여과부재(150)를 통과하면서 발생되거나 감광액이 케미컬 필터(100)로 유입될 때 같이 유입된 기포나 에어는 에어벤트(140)를 통해 케미컬 필터(100) 외부로 배출된다. 에어가 배출될 때, 여과부재(150)에 의해 걸러진 파티클이 에어와 함께 에어벤트(140)로 이동하여 여과부재(160)에 의해 집진된다. 여과부재(160)에 파티클이 어느 정도 집진되면 여과부재 (160)는 파티클이 집진되지 않는 경우에 비해 색깔이 혼탁해진다. 색깔의 혼탁 정도로써 케미컬 필터(100)의 내부 오염 정도를 유추할 수 있다. 여과부재(160)의 색깔 혼탁 정도는 창(170)을 통해서 육안으로 쉽게 확인할 수 있다.
도 7은 본 발명의 변경 실시예에 따른 케미컬 필터를 도시한 사시도이다. 본 변경 실시예의 케미컬 필터는 상술한 실시예의 케미컬 필터와 대동소이하므로 이하에선 상위한 점을 설명하고 동일한 점에 대해서는 개략적으로 설명하거나 설명을 생략하기로 한다.
도 7을 참조하면, 본 변경 실시예의 케미컬 필터(200)는 상부벽(212)에 유출구(220)와 에어벤트(240)가 마련되고, 하부벽(216)에 유입구(230)가 마련된다. 상부벽(212)과 하부벽(216)은 원통형 측벽(214)에 구조적으로 연결되어 전체적으로 원통형의 하우징(210)을 이룬다. 하우징(210) 내부에는 여과부재(250)가 마련된다. 그리고, 에어벤트(240) 하부에는 케미컬에 함유된 파티클을 집진하는 기능을 가지는 여과부재(260)가 설치된다. 여과부재(260)는 하우징(210) 내부에서 측벽(214)과 여과부재(250) 사이의 공간에 배치된다. 측벽(214)에는 여과부재(250)를 육안으로 확인할 수 있는 투명한 창(270)이 설계된다.
유입구(230)과 여과부재(250)와 유출구(220)의 중심축은 동일한 축 상에 놓이는데, 이들(220,230,250)의 중심축이 하우징(210)의 중심축(Ⅰ-Ⅰ축) 상에서 벗어난 위치에 오도록 설계된다. 따라서, 여과부재(260)가 설치되는 하우징(210) 내부의 공간이 더 확보된다. 여과부재(260)의 설치 공간이 더 확보됨으로써 여과부재(260)의 구조상의 제약을 덜어낼 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 에어벤트 아래에 하우징 내부를 확인할 수 있는 돋보기형 투명창이 설치되어 있어 케미컬 필터의 내부를 크게 확대하여 볼 수 있다. 또한, 케미컬 내부에 오염물을 집진할 수 있는 멤브레인이 더 설치되어 있어 오염물이 집진되어 시간에 따라서 어느 정도 오염이 됐는지를 육안으로 확인가능하다. 따라서, 케미컬 필터를 적시에 교환할 수 있는 효과가 있고, 더 나아가 반도체 소자의 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (13)

  1. 케미컬의 유출입을 허용하는 유출구 및 유입구와 에어의 배출을 허용하는 에어벤트를 구비하고, 상기 유출구와 상기 유입구 사이에서 상기 케미컬의 흐름 경로를 제공하는 하우징과;
    상기 하우징 내에서 상기 케미컬의 흐름 경로상에 배치되어 상기 케미컬에 함유된 파티클을 걸러내는 제1 여과부재와;
    상기 하우징 내에서 상기 에어벤트를 통해 배출되는 에어의 흐름 경로상에 배치되어 상기 에어에 함유된 상기 제1 여과부재에 의해 걸러진 파티클을 집진시키는 제2 여과부재와;
    상기 제2 여과부재를 상기 하우징의 외부에서 보이게 하는 창;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 여과부재는 원통형의 고리모양을 이루는 주름잡힌 멤브레인을 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 여과부재는 적어도 두 개의 주름잡힌 멤브레인이 상하 적층된 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 적어도 두 개의 주름잡힌 멤브레인은, 상대적으로 작은 크기의 파티클을 걸러내는 제1 멤브레인과, 상기 제1 멤브레인에 비해 상대적으로 큰 크기의 파티클을 걸러내는 제2 멤브레인을 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 멤브레인은 상기 에어벤트에 더 근접하도록 상기 제2 멤브레인의 상부에 배치되는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 창은 상기 제2 여과부재를 확대하여 보이게 하는 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  7. 유출구와 제1 에어벤트를 구비하는 상부벽, 유입구를 구비하는 하부벽, 및 상기 상부벽과 상기 하부벽을 조합시켜 밀폐된 공간을 정의하는 원통형의 측벽을 구비하는 원통형 하우징과;
    상기 하우징 내부에서 상기 유입구 및 상기 유출구 사이에 배치되어, 상기 유입구를 통해 유입되는 케미컬을 걸러내는 원통형의 고리모양을 갖는 주름잡힌 제1 멤브레인을 구비하는 원통형 제1 여과부재와;
    상기 제1 여과부재와 상기 측벽 사이의 공간에서 상기 제1 에어벤트 아래에 배치되고, 주름잡힌 제2 멤브레인이 상기 제1 에어벤트에 근접하게 배치되고 상기 제2 멤브레인의 하부에 주름잡힌 제3 멤브레인이 적층되어 상기 케미컬에 함유된 파티클을 집진시키는 제2 여과부재와;
    상기 측벽에 배치되어 상기 제2 여과부재의 파티클 집진 상태를 육안으로 보이게 하는 투명창;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 여과부재는, 상기 제1 멤브레인에 의해 둘러싸이는 코어와, 상기 제1 멤브레인의 바깥쪽을 둘러싸는 다수개의 가드를 포함하는 원통형 구조인 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제1 여과부재의 중심축은, 상기 하우징의 중심축과 동일한 축이거나 상기 하우징의 중심축으로부터 벗어나는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제1 멤브레인과 상기 제2 멤브레인은 제1 크기의 파티클을 걸러내고, 상기 제3 멤브레인은 상기 제1 크기에 비해 큰 제2 크기의 파티클을 걸러내는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 제1 내지 상기 제3 멤브레인 중에서 적어도 어느 하나는 PTFE(폴리테트라플루오르에틸렌)과 PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌)과 PVDF(폴리비닐리덴플루오라이드)과 PVF(폴리비닐플루오라이드) 중에서 적어도 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 투명창은 상기 제2 여과부재를 확대시켜 보이게는 하는 돋보기형 투명창인 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
  13. 제7항에 있어서,
    상기 하부벽에 배치되는 제2 에어벤트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 필터.
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