JP2728415B2 - 濾過フィルター - Google Patents
濾過フィルターInfo
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Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 半導体装置の製造装置における濾過フィルタに関し、 配管チューブとの接続作業の確実化と容易化および生
産性の向上を目的とし、内部に濾過材が装填された密閉
槽と、該密閉槽と一体成形された任意の方向に屈曲可能
な、該密閉槽に原液を流入させるチューブ状の原液ポー
トと、該密閉槽と一体成形され任意の方向に屈曲可能
な、該密閉槽で濾過された透過液を流出させるチューブ
状の透過液ポートと、を備えて濾過フィルタを構成す
る。
産性の向上を目的とし、内部に濾過材が装填された密閉
槽と、該密閉槽と一体成形された任意の方向に屈曲可能
な、該密閉槽に原液を流入させるチューブ状の原液ポー
トと、該密閉槽と一体成形され任意の方向に屈曲可能
な、該密閉槽で濾過された透過液を流出させるチューブ
状の透過液ポートと、を備えて濾過フィルタを構成す
る。
本発明は半導体装置の製造装置に係り、特に配管チュ
ーブとの接続の確実化と容易化および生産性の向上を図
った濾過フィルタに関する。
ーブとの接続の確実化と容易化および生産性の向上を図
った濾過フィルタに関する。
一般に半導体装置の製造工程にはウェハ表面の化学処
理工程が多いが、特にこれらの処理は高温例えば150℃
前後で行われることが多い。
理工程が多いが、特にこれらの処理は高温例えば150℃
前後で行われることが多い。
この場合これらの化学処理に使用される例えば過酸化
水素や硝酸等の如き化学溶液や洗浄液は、異物微粒子等
の不純物を含まない清浄なる液体なることが絶対必要条
件となっているため、工程中の随所に上記化学溶液や洗
浄液を濾過して異物微粒子を除去するための濾過フィル
タを配設している。
水素や硝酸等の如き化学溶液や洗浄液は、異物微粒子等
の不純物を含まない清浄なる液体なることが絶対必要条
件となっているため、工程中の随所に上記化学溶液や洗
浄液を濾過して異物微粒子を除去するための濾過フィル
タを配設している。
通常これらの濾過フィルタには、耐熱性と耐薬品性を
有する弗素系樹脂等で形成され且つ液体の出入ポート部
分に配管チューブと接続するためのねじ継手を備えた市
販の濾過フィルタを使用している。
有する弗素系樹脂等で形成され且つ液体の出入ポート部
分に配管チューブと接続するためのねじ継手を備えた市
販の濾過フィルタを使用している。
しかし、パターンの微細化や特性の向上に伴う化学処
理工程の増等が必然的に濾過フィルタの増加をしてい
ることから、半導体装置製造システムにコンパクトに設
置できると共に確実な配管作業が容易に実施できる濾過
フィルタの実現が望まれている。
理工程の増等が必然的に濾過フィルタの増加をしてい
ることから、半導体装置製造システムにコンパクトに設
置できると共に確実な配管作業が容易に実施できる濾過
フィルタの実現が望まれている。
第３図は従来の濾過フィルタの例を示す外観図であ
り、第４図は配管チューブとの接続状態を示す図であ
る。
り、第４図は配管チューブとの接続状態を示す図であ
る。
第３図で、１は耐熱性と耐薬品性を有する樹脂例えば
弗素系樹脂で形成した密閉槽であり、その上部には原液
ポート1aとエア抜きポート1bがまた下部には透過液ポー
ト1cがそれぞれ接続用のねじを有して一体化成型されて
いる。
弗素系樹脂で形成した密閉槽であり、その上部には原液
ポート1aとエア抜きポート1bがまた下部には透過液ポー
ト1cがそれぞれ接続用のねじを有して一体化成型されて
いる。
また該密閉槽１の内部には、四弗化エチレン樹脂より
なる透過膜２およびサポートネット３がセンターガイド
４の周囲を取り巻くように支持充填されている。
なる透過膜２およびサポートネット３がセンターガイド
４の周囲を取り巻くように支持充填されている。
ここで図面には記載されていないポンプによって図示
Ａの如く原液ポート1aから該密閉槽１の内壁と透過膜２
の間に送り込まれる化学溶液または洗浄液は、該透過膜
２とサポートネット３を透過する間に例えば0.1〜0.2μ
ｍ程度の大きさを持つ異物微粒子が濾過され、結果的に
異物微粒子を含まない清浄な液体のみが濾過液ポート1c
から図示Ａ′の如く送り出されてフィルタ機能を実現し
ている。
Ａの如く原液ポート1aから該密閉槽１の内壁と透過膜２
の間に送り込まれる化学溶液または洗浄液は、該透過膜
２とサポートネット３を透過する間に例えば0.1〜0.2μ
ｍ程度の大きさを持つ異物微粒子が濾過され、結果的に
異物微粒子を含まない清浄な液体のみが濾過液ポート1c
から図示Ａ′の如く送り出されてフィルタ機能を実現し
ている。
一方濾過フィルタの各ポートを各種製造システムの配
管用のチューブと接続する場合には、一般にはチューブ
とチューブの接続が最も容易且つ確実であり、また多く
の接続用部品が市販されている。
管用のチューブと接続する場合には、一般にはチューブ
とチューブの接続が最も容易且つ確実であり、また多く
の接続用部品が市販されている。
従って、上記の如き濾過フィルタをポンプ等の配管チ
ューブと接続する際には、原液ポート1a,エア抜きポー
ト1bおよび透過液ポート1cそれぞれが備えているねじ部
分に、シールテープ等によるシールあるいはゴム,O−リ
ング等の密閉材による端面シールを行ないながら標準部
品として市販されている直線状またはＬ字状のアダプタ
のねじ部を螺止固定し、その後市販の接続具を使用して
該接続具のチューブ状の他端を配管チューブ端面と接続
して半導体装置の製造システムを構築している。
ューブと接続する際には、原液ポート1a,エア抜きポー
ト1bおよび透過液ポート1cそれぞれが備えているねじ部
分に、シールテープ等によるシールあるいはゴム,O−リ
ング等の密閉材による端面シールを行ないながら標準部
品として市販されている直線状またはＬ字状のアダプタ
のねじ部を螺止固定し、その後市販の接続具を使用して
該接続具のチューブ状の他端を配管チューブ端面と接続
して半導体装置の製造システムを構築している。
この状態を示したのが第４図である。
図では理解し易くするために原液ポート1aに直線状の
市販アダプタ５をまた濾過液ポート1cにＬ字状の市販ア
ダプタ６をそれぞれ螺止固定し更に市販の接続具８を使
用して上記市販アダプタ５および６のチューブ状の他端
と配管チューブ７の端面とを接続している。
市販アダプタ５をまた濾過液ポート1cにＬ字状の市販ア
ダプタ６をそれぞれ螺止固定し更に市販の接続具８を使
用して上記市販アダプタ５および６のチューブ状の他端
と配管チューブ７の端面とを接続している。
図では直線状の市販のアダプタ５を使用する時は、濾
過フィルタと配管チューブとの接続方向が固定化するた
めに接続作業に制限が生じると共に、コンパクト装置を
阻害する要因となる。
過フィルタと配管チューブとの接続方向が固定化するた
めに接続作業に制限が生じると共に、コンパクト装置を
阻害する要因となる。
またＬ字状の市販のアダプタ６を使用する時は、濾過
フィルタをコンパクトに装着することができるが、該ア
ダプタ６のチューブ状端面を配管チューブの接続方向に
合わせる必要があるため、ねじの締め付け不足や過剰な
締め付けが発生し、液体の漏れやねじ破損を招く場合が
ある。
フィルタをコンパクトに装着することができるが、該ア
ダプタ６のチューブ状端面を配管チューブの接続方向に
合わせる必要があるため、ねじの締め付け不足や過剰な
締め付けが発生し、液体の漏れやねじ破損を招く場合が
ある。
尚円内は、アダプタ５を原液ポート1aに螺止固定する
場合のシール例として、Ｏ−リング９を使用した場合の
拡大図である。
場合のシール例として、Ｏ−リング９を使用した場合の
拡大図である。
上述の如く従来の濾過フィルタでは、各ポートのねじ
部に市販されている直線状あるいはＬ字状のアダプタの
ねじ部を螺止固定し、該アダプタ他端のチューブ部分と
配管チューブ端面とを更に市販の接続具で接続して半導
体装置の製造システムを構築している。
部に市販されている直線状あるいはＬ字状のアダプタの
ねじ部を螺止固定し、該アダプタ他端のチューブ部分と
配管チューブ端面とを更に市販の接続具で接続して半導
体装置の製造システムを構築している。
しかし、従来の濾過フィルタで、 直線状のアダプタを使用する時は、温度変化が激しい
ときに螺止固定部で液体が漏洩し易いと共に、配管作業
や相対的な位置関係に制約が生じ、コンパクト化および
生産性の向上を阻害すると云う問題があった。
ときに螺止固定部で液体が漏洩し易いと共に、配管作業
や相対的な位置関係に制約が生じ、コンパクト化および
生産性の向上を阻害すると云う問題があった。
またＬ字状のアダプタを使用する時は、上記と同様に
螺止固定部で液体が漏洩する場合があると共に、配管チ
ューブの方向によってねじの締め付け不足や過剰な締め
付けが発生し、液体の漏れやねじ破損を招き易いと云う
問題があった。
螺止固定部で液体が漏洩する場合があると共に、配管チ
ューブの方向によってねじの締め付け不足や過剰な締め
付けが発生し、液体の漏れやねじ破損を招き易いと云う
問題があった。
上記問題点は、内部に濾過材が装填された密閉槽と、
該密閉槽と一体成形され任意の方向に屈曲可能な、該密
閉槽に原液を流入させるチューブ状の原液ポートと、該
密閉槽と一体成形され任意の方向に屈曲可能な、該密閉
槽で濾過された透過液を流出させるチューブ状の透過液
ポートと、を備えてなる濾過フィルタによって達成され
る。
該密閉槽と一体成形され任意の方向に屈曲可能な、該密
閉槽に原液を流入させるチューブ状の原液ポートと、該
密閉槽と一体成形され任意の方向に屈曲可能な、該密閉
槽で濾過された透過液を流出させるチューブ状の透過液
ポートと、を備えてなる濾過フィルタによって達成され
る。
従来の密閉槽の接近した位置にねじ部を備えた原液ポ
ート，エア抜きポート，透過液ポートに代えて本発明に
なる濾過フィルタでは、上記各ポートを長くしてフレキ
シブルを持たせたチューブ状に形成し、接続が最も容易
な位置での配管チューブとの直接接続を可能としてい
る。
ート，エア抜きポート，透過液ポートに代えて本発明に
なる濾過フィルタでは、上記各ポートを長くしてフレキ
シブルを持たせたチューブ状に形成し、接続が最も容易
な位置での配管チューブとの直接接続を可能としてい
る。
従って配管チューブとの接続に際しては、従来の如き
ねじ継手部分での液体の漏洩がなく、またフィルタの各
ポートがフレキシブルなために配管方向の自由度が大き
くなり、市販の接続具を使用することによって容易且つ
確実に配管チューブとの接続作業が実施できる。
ねじ継手部分での液体の漏洩がなく、またフィルタの各
ポートがフレキシブルなために配管方向の自由度が大き
くなり、市販の接続具を使用することによって容易且つ
確実に配管チューブとの接続作業が実施できる。
第１図は、本発明になるチューブポート・濾過フィル
タの例を示す外観図であり、第２図は配管チューブとの
接続状態を示す図である。
タの例を示す外観図であり、第２図は配管チューブとの
接続状態を示す図である。
第１図で、10は耐熱性薬品性のある弗素系樹脂で形成
した外径が180mm程度長さが200mm位の密閉槽であり、内
部に四弗化エチレン樹脂よりなる透過膜2,サポートネッ
ト３がセンターガイド４を取り巻くように支持充填され
ていることは第３図記載の場合と同様である。
した外径が180mm程度長さが200mm位の密閉槽であり、内
部に四弗化エチレン樹脂よりなる透過膜2,サポートネッ
ト３がセンターガイド４を取り巻くように支持充填され
ていることは第３図記載の場合と同様である。
また該密閉槽10の上面には、外径が12mm,内径が9mmで
長さが約45mmの原液ポート10aと外径が約8mm,内径が5mm
で長さがほぼ同じ程度のエア抜きポート10b,更に下部に
は上記原液ポート10aと同寸法の透過液ポート10cをそれ
ぞれ一体化成型している。
長さが約45mmの原液ポート10aと外径が約8mm,内径が5mm
で長さがほぼ同じ程度のエア抜きポート10b,更に下部に
は上記原液ポート10aと同寸法の透過液ポート10cをそれ
ぞれ一体化成型している。
ここで第３図同様に図面には記載されていないポンプ
によって図示Ｂの如く原液ポート10aから送り込まれる
化学溶液または洗浄液は、上記透過膜２とサポートネッ
ト３によって0.1〜0.2μmm程度の大きさの異物微粒子が
濾過され、清浄な液体のみが濾過液ポート10cから図示
Ｂ′の如く送り出される。
によって図示Ｂの如く原液ポート10aから送り込まれる
化学溶液または洗浄液は、上記透過膜２とサポートネッ
ト３によって0.1〜0.2μmm程度の大きさの異物微粒子が
濾過され、清浄な液体のみが濾過液ポート10cから図示
Ｂ′の如く送り出される。
第２図は配管チューブとの接続状態を示した図であ
り、少なくとも原液ポート10aと透過液ポート10cはいず
れもその長さが長いために先端部分を自由に曲げること
ができる。従って市販の接続具８を使用することによっ
て方向に関係なく自由に配管チューブ７と接続すること
ができる。
り、少なくとも原液ポート10aと透過液ポート10cはいず
れもその長さが長いために先端部分を自由に曲げること
ができる。従って市販の接続具８を使用することによっ
て方向に関係なく自由に配管チューブ７と接続すること
ができる。
上述の如く本発明の実施により、配管チューブとの接
続作業が容易且つ確実に実施できると共に、接続部分に
おける液体の漏洩が防止できるチューブポート・濾過フ
ィルタを提供することができる。
続作業が容易且つ確実に実施できると共に、接続部分に
おける液体の漏洩が防止できるチューブポート・濾過フ
ィルタを提供することができる。
更に市販のアダプタが不用となるため、在庫部品の削
減による生産性の向上を図ることができる。
減による生産性の向上を図ることができる。
尚、配管チューブが該チューブポート・濾過フィルタ
と同系の樹脂材料で形成されている場合には、市販の接
続具を使用することなく加熱による溶着接続で同様の効
果を得ることができる。
と同系の樹脂材料で形成されている場合には、市販の接
続具を使用することなく加熱による溶着接続で同様の効
果を得ることができる。
第１図は、本発明になるチューブポート・濾過フィルタ
の例を示す外観図、 第２図は配管チューブとの接続状態を示す図、 第３図は従来の濾過フィルタの例を示す外観図、 第４図は配管チューブとの接続状態を示す図、 である。図において、 ２は透過膜、３はサポートネット、 ４はセンターガイド、７は配管チューブ、 ８は接続具、10は密閉槽、 10aは原液ポート、10bはエア抜きポート、 10cは透過液ポート、 をそれぞれ表わす。
の例を示す外観図、 第２図は配管チューブとの接続状態を示す図、 第３図は従来の濾過フィルタの例を示す外観図、 第４図は配管チューブとの接続状態を示す図、 である。図において、 ２は透過膜、３はサポートネット、 ４はセンターガイド、７は配管チューブ、 ８は接続具、10は密閉槽、 10aは原液ポート、10bはエア抜きポート、 10cは透過液ポート、 をそれぞれ表わす。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小松 一茂 愛知県春日井市高蔵寺町２丁目1844番２ 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−176216（ＪＰ，Ａ) 実開 昭51−8859（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−130718（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−176216（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】内部に濾過材が装填された密閉槽と、該密
閉槽と一体成形され任意の方向に屈曲可能な、該密閉槽
に原液を流入させるチューブ状の原液ポートと、該密閉
槽と一体成形され任意の方向に屈曲可能な、該密閉槽で
濾過された透過液を流出させるチューブ状の透過液ポー
トと、を備えてなることを特徴とする濾過フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013139A JP2728415B2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 濾過フィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013139A JP2728415B2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 濾過フィルター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01189304A JPH01189304A (ja) | 1989-07-28 |
| JP2728415B2 true JP2728415B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=11824829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63013139A Expired - Lifetime JP2728415B2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 濾過フィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2728415B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100742282B1 (ko) | 2006-02-06 | 2007-07-24 | 삼성전자주식회사 | 케미컬 필터 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5900045A (en) * | 1997-04-18 | 1999-05-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co.Ltd. | Method and apparatus for eliminating air bubbles from a liquid dispensing line |
| JP4985191B2 (ja) * | 2006-08-15 | 2012-07-25 | 東京エレクトロン株式会社 | バッファタンク、中間貯留装置、液処理装置及び処理液の供給方法 |
| CN109715266B (zh) * | 2016-10-20 | 2021-11-30 | Emd密理博公司 | 阀门保护和管路管理装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5731936Y2 (ja) * | 1974-07-05 | 1982-07-14 | ||
| JPS5714892Y2 (ja) * | 1979-03-07 | 1982-03-27 | ||
| JPS60176216A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-10 | 松下電器産業株式会社 | 電気二重層キヤパシタ |
| JPS60176216U (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-21 | 日本軽金属株式会社 | 家庭用浄水装置 |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP63013139A patent/JP2728415B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100742282B1 (ko) | 2006-02-06 | 2007-07-24 | 삼성전자주식회사 | 케미컬 필터 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01189304A (ja) | 1989-07-28 |
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