JPH01189304A - チューブポート・濾過フィルタ - Google Patents
チューブポート・濾過フィルタInfo
- Publication number
- JPH01189304A JPH01189304A JP63013139A JP1313988A JPH01189304A JP H01189304 A JPH01189304 A JP H01189304A JP 63013139 A JP63013139 A JP 63013139A JP 1313988 A JP1313988 A JP 1313988A JP H01189304 A JPH01189304 A JP H01189304A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port
- tube
- liq
- vessel
- piping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 15
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims description 14
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000088 plastic resin Substances 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 11
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract description 5
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 abstract 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 abstract 1
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 206010011878 Deafness Diseases 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
半導体装置の製造装置における濾過フィルタに関し、
配管チューブとの接続作業の確実化と容易化および生産
性の向上を目的とし、 それぞれがねじ継手を有する原液ポート透過液ポートお
よびエア抜きポートを備えたプラスチック樹脂よりなる
密閉槽の内部に濾過材を装填し、原液ポートより注入し
た異物微粒子を含む原液を濾過して透過液ポートより取
り出す濾過フィルタにおいて、少なくとも上記原液ポー
トおよび透過液ポートをフレキシブルなチューブ状に形
成して構成する。
性の向上を目的とし、 それぞれがねじ継手を有する原液ポート透過液ポートお
よびエア抜きポートを備えたプラスチック樹脂よりなる
密閉槽の内部に濾過材を装填し、原液ポートより注入し
た異物微粒子を含む原液を濾過して透過液ポートより取
り出す濾過フィルタにおいて、少なくとも上記原液ポー
トおよび透過液ポートをフレキシブルなチューブ状に形
成して構成する。
本発明は半導体装置の製造装置に係り、特に配管チュー
ブとの接続の確実化と容易化および生産性の向上を図っ
たチューブポート・濾過フィルタに関する。
ブとの接続の確実化と容易化および生産性の向上を図っ
たチューブポート・濾過フィルタに関する。
一般に半導体装置の製造工程にはウェハ表面の化学処理
工程が多いが、特にこれらの処理は高温例えば１５０℃
前後で行われることが多い。
工程が多いが、特にこれらの処理は高温例えば１５０℃
前後で行われることが多い。
この場合これらの化学処理に使用される例えば過酸化水
素や硝酸等の如き化学溶液や洗浄液は、異物微粒子等の
不純物を含まない清浄なる液体なることが絶対必要条件
となっているため、工程中の随所に上記化学溶液や洗浄
液を濾過して異物微粒子を除去するための濾過フィルタ
を配設している。
素や硝酸等の如き化学溶液や洗浄液は、異物微粒子等の
不純物を含まない清浄なる液体なることが絶対必要条件
となっているため、工程中の随所に上記化学溶液や洗浄
液を濾過して異物微粒子を除去するための濾過フィルタ
を配設している。
通常これらの濾過フィルタには、耐熱性と耐薬品性を有
する弗素系樹脂等で形成され且つ液体の出入ポート部分
に配管チューブと接続するためのねじ継手を備えた市販
の濾過フィルタを使用している。
する弗素系樹脂等で形成され且つ液体の出入ポート部分
に配管チューブと接続するためのねじ継手を備えた市販
の濾過フィルタを使用している。
しかし、パターンの微細化や特性の向上に伴う化学処理
工程の増等が必然的に濾過フィルタの増加を７している
ことから、半導体装置製造システムにコンパクトに設置
できると共に確実な配管作業が容易に実施できる濾過フ
ィルタの実現が望まれている。
工程の増等が必然的に濾過フィルタの増加を７している
ことから、半導体装置製造システムにコンパクトに設置
できると共に確実な配管作業が容易に実施できる濾過フ
ィルタの実現が望まれている。
第３図は従来の濾過フィルタの例を示す外観図であり、
第４図は配管チューブとの接続状態を示す図である。
第４図は配管チューブとの接続状態を示す図である。
第３図で、ｌは耐熱性と耐薬品性を有する樹脂例えば弗
素系樹脂で形成した密閉槽であり、その上部には原液ポ
ー）１ａとエア抜きポート１ｂがまた下部には透過液ポ
ー）１ｃがそれぞれ接続用のねじを有して一体化成型さ
れている。
素系樹脂で形成した密閉槽であり、その上部には原液ポ
ー）１ａとエア抜きポート１ｂがまた下部には透過液ポ
ー）１ｃがそれぞれ接続用のねじを有して一体化成型さ
れている。
また該密閉槽１の内部には、四弗化エチレン樹脂よりな
る透過膜２およびサポートネット３がセンターガイド４
の周囲を取り巻くように支持装填されている。
る透過膜２およびサポートネット３がセンターガイド４
の周囲を取り巻くように支持装填されている。
ここで図面には記載されていないポンプによって図示Ａ
の如く原液ポートｌａから該密閉槽１の内壁と透過膜２
の間に送り込まれる化学溶液または洗浄液は、該透１ｙ
ｉＷＸ２とサポートネット３を透過する間に例えば０．
１−０．２μｍｍ程度の大きさを持つ異物微粒子が濾過
され、結果的に異物微粒子を含まない清浄な液体のみが
ｉｌｌ液ポートｌｃから図示Ａ°の如く送り出されてフ
ィルタ機能を実現している。
の如く原液ポートｌａから該密閉槽１の内壁と透過膜２
の間に送り込まれる化学溶液または洗浄液は、該透１ｙ
ｉＷＸ２とサポートネット３を透過する間に例えば０．
１−０．２μｍｍ程度の大きさを持つ異物微粒子が濾過
され、結果的に異物微粒子を含まない清浄な液体のみが
ｉｌｌ液ポートｌｃから図示Ａ°の如く送り出されてフ
ィルタ機能を実現している。
一方濾過フィルタの各ポートを各種製造システムの配管
用のチューブと接続する場合には、一般にはチューブと
チューブの接続が最も容易且つ確実であり、また多くの
接続用部品が市販されている。
用のチューブと接続する場合には、一般にはチューブと
チューブの接続が最も容易且つ確実であり、また多くの
接続用部品が市販されている。
従って、上記の如き濾過フィルタをポンプ等の配管チュ
ーブと接続する際には、原液ポートＩａ。
ーブと接続する際には、原液ポートＩａ。
エア抜きボ〜）ｌｂおよび透過液ポートｌｃそれぞれが
備えているねじ部分に、シールテープ等によるシールあ
るいはゴム、Ｏ−リング等の密閉材による端面シールを
行ないながら標準部品として市販されている直線状また
は直角状のアダプタのねじ部を螺出固定し、その後市販
の接続具を使用して該接続具のチューブ状の他端を配管
チューブ端面と接続して半導体装置の製造システムを構
築している。
備えているねじ部分に、シールテープ等によるシールあ
るいはゴム、Ｏ−リング等の密閉材による端面シールを
行ないながら標準部品として市販されている直線状また
は直角状のアダプタのねじ部を螺出固定し、その後市販
の接続具を使用して該接続具のチューブ状の他端を配管
チューブ端面と接続して半導体装置の製造システムを構
築している。
この状態を示したのが第４図である。
図では理解し易くするために原液ポートｌａに直線状の
市販アダプタ５をまた透過液ポー）１ｃに直角状の市販
アダプタ６をそれぞれ螺出固定し更に市販の接続具８を
使用して上記市販アダプタ５および６のチューブ状の他
端と配管チューブ７の端面とを接続している。
市販アダプタ５をまた透過液ポー）１ｃに直角状の市販
アダプタ６をそれぞれ螺出固定し更に市販の接続具８を
使用して上記市販アダプタ５および６のチューブ状の他
端と配管チューブ７の端面とを接続している。
図で直線状の市販のアダプタ５を使用する時は、濾過フ
ィルタと配管チューブとの接続方向が固定化するために
接続作業に制限が生ずると共に、コンパクト装着を阻害
する要因となる。
ィルタと配管チューブとの接続方向が固定化するために
接続作業に制限が生ずると共に、コンパクト装着を阻害
する要因となる。
また直角状の市販のアダプタ６を使用する時は、濾過フ
ィルタをコンパクトに装着することができるが、該アダ
プタ６のチューブ状端面を配管チューブの接続方向に合
わせる必要があるため、ねじの締め付は不足や過剰な°
締め付けが発生し、液体の漏れやねし破損を招く場合が
ある。
ィルタをコンパクトに装着することができるが、該アダ
プタ６のチューブ状端面を配管チューブの接続方向に合
わせる必要があるため、ねじの締め付は不足や過剰な°
締め付けが発生し、液体の漏れやねし破損を招く場合が
ある。
尚円内は、アダプタ５を原液ポート１ａに螺出固定する
場合のシール例として、０−リング９を使用した場合の
拡大図である。
場合のシール例として、０−リング９を使用した場合の
拡大図である。
上述の如〈従来の濾過フィルタでは、各ポートのねじ部
に市販されている直線状あるいは直角状のアダプタのね
じ部を螺出固定し、該アダプタ他端のチューブ部分と配
管チューブ端面とを更に市販の接続具で接続して半導体
装置の製造システムを構築している。
に市販されている直線状あるいは直角状のアダプタのね
じ部を螺出固定し、該アダプタ他端のチューブ部分と配
管チューブ端面とを更に市販の接続具で接続して半導体
装置の製造システムを構築している。
しかし、従来の濾過フィルタで、
直線状のアダプタを使用する時は、温度変化が激しいと
きに螺出固定部で液体が漏洩し易いと共に、配管作業や
相対的な位置関係に制約が生じ、コンパクト化および生
産性の向上を阻害すると云う問題があった。
きに螺出固定部で液体が漏洩し易いと共に、配管作業や
相対的な位置関係に制約が生じ、コンパクト化および生
産性の向上を阻害すると云う問題があった。
また直角状のアダプタを使用する時は、上記と同様に螺
出固定部で液体が漏洩する場合があると共に、配管チュ
ーブの方向によってはねじの締め付は不足や過剰な締め
付けが発生し、液体の漏れやねし破損を招き易いと云う
問題があった。
出固定部で液体が漏洩する場合があると共に、配管チュ
ーブの方向によってはねじの締め付は不足や過剰な締め
付けが発生し、液体の漏れやねし破損を招き易いと云う
問題があった。
上記問題点は、それぞれがねじ継手を有する原液ポート
、透過液ポートおよびエア抜きポートを備えたプラスチ
ック樹脂よりなる密閉槽の内部に濾過材を装填し、原液
ポートより注入した異物微粒子を含む原液をｍ過して透
過液ポートより取り出す濾過フィルタにおいて、 少なくとも上記原液ポートおよび透過液ポートをフレキ
シブルなチューブ状に形成してなるチューブポート・濾
過フィルタによって解決される。
、透過液ポートおよびエア抜きポートを備えたプラスチ
ック樹脂よりなる密閉槽の内部に濾過材を装填し、原液
ポートより注入した異物微粒子を含む原液をｍ過して透
過液ポートより取り出す濾過フィルタにおいて、 少なくとも上記原液ポートおよび透過液ポートをフレキ
シブルなチューブ状に形成してなるチューブポート・濾
過フィルタによって解決される。
従来の密閉槽の接近した位置にねじ部を備えた原液ポー
ト、エア抜きポート、透過液ポートに代えて本発明にな
る濾過フィルタでは、上記各ポートを長くしてフレキシ
ブルを持たせたチューブ状に形成し、接続が最も容易な
位置での配管チューブとの直接接続を可能としている。
ト、エア抜きポート、透過液ポートに代えて本発明にな
る濾過フィルタでは、上記各ポートを長くしてフレキシ
ブルを持たせたチューブ状に形成し、接続が最も容易な
位置での配管チューブとの直接接続を可能としている。
従って配管チューブとの接続に際しては、従来の如きね
じ継手部分での液体の漏洩がなく、またフィルタの各ポ
ートがフレキシブルなために配管方向の自由度が大きく
なり、市販の接続具を使用することによって容易且つ確
実に配管チューブとの接続作業が実施できる。
じ継手部分での液体の漏洩がなく、またフィルタの各ポ
ートがフレキシブルなために配管方向の自由度が大きく
なり、市販の接続具を使用することによって容易且つ確
実に配管チューブとの接続作業が実施できる。
第１図は、本発明になるチューブポート・濾過フィルタ
の例を示す外観図であり、第２図は配管チューブとの接
続状態を示す図である。
の例を示す外観図であり、第２図は配管チューブとの接
続状態を示す図である。
第１図で、１０は耐熱耐薬品性のある弗素系樹脂で形成
した外径が１８０ｍｍ程度長さが２００ｎｕ＋＋位の密
閉槽であり、内部に四弗化エチレン樹脂よりなる透過膜
２．サポートネット３がセンターガイド４を取り巻くよ
うに支持装填されていることは第３図記載の場合と同様
である。
した外径が１８０ｍｍ程度長さが２００ｎｕ＋＋位の密
閉槽であり、内部に四弗化エチレン樹脂よりなる透過膜
２．サポートネット３がセンターガイド４を取り巻くよ
うに支持装填されていることは第３図記載の場合と同様
である。
また該密閉槽１０の上面には、外径が１２ｍｍ、内径が
９＋＋＋ｎ＋で長さが約４５ｍｎ＋の原液ボー目Ｏａと
外径が約８ｍｎ＋、内径が５１１Ｉ１１で長さがほぼ同
じ程度のエア抜きポート１０ｂ、更に下部には上記原液
ポート１０ａと同寸法の透過液ボー） １０ｃをそれぞ
れ一体化成型している。
９＋＋＋ｎ＋で長さが約４５ｍｎ＋の原液ボー目Ｏａと
外径が約８ｍｎ＋、内径が５１１Ｉ１１で長さがほぼ同
じ程度のエア抜きポート１０ｂ、更に下部には上記原液
ポート１０ａと同寸法の透過液ボー） １０ｃをそれぞ
れ一体化成型している。
ここで第３図同様に図面には記載されていないポンプに
よって図示Ｂの如く原液ポート１０ａから送り込まれる
化学溶液または洗浄液は、上記透過膜２とサポートネッ
ト３によって０．１〜０．２μｍａ＋程度の大きさの異
物微粒子が濾過され、清浄な液体のみが透過液ボー）
１０ｃから図示Ｂ′の如く送り出される。
よって図示Ｂの如く原液ポート１０ａから送り込まれる
化学溶液または洗浄液は、上記透過膜２とサポートネッ
ト３によって０．１〜０．２μｍａ＋程度の大きさの異
物微粒子が濾過され、清浄な液体のみが透過液ボー）
１０ｃから図示Ｂ′の如く送り出される。
第２図は配管チューブとの接続状態を示した図であり、
原液ボーＨＯａ、エア抜きポート１０ｂおよび透過液ボ
ー） １０ｃはいずれもその長さが長いために先端部分
を自由に曲げることができる。従って市販の接続具８を
使用することによって方向に関係なく自由に配管チュー
ブ７と接続することができる。
原液ボーＨＯａ、エア抜きポート１０ｂおよび透過液ボ
ー） １０ｃはいずれもその長さが長いために先端部分
を自由に曲げることができる。従って市販の接続具８を
使用することによって方向に関係なく自由に配管チュー
ブ７と接続することができる。
上述の如く本発明の実施により、配管チューブとの接続
作業が容易且つ確実に実施できると共に、接続部分にお
ける液体の漏洩が防止できるチューブポート・濾過フィ
ルタを提供することができる。
作業が容易且つ確実に実施できると共に、接続部分にお
ける液体の漏洩が防止できるチューブポート・濾過フィ
ルタを提供することができる。
更に市販のアダプタが不用となるため、在庫部品の削減
による生産性の向上を図ることができる。
による生産性の向上を図ることができる。
尚、配管チューブが該チューブポート・濾過フィルタと
同系の樹脂材料で形成されている場合には、市販の接続
具を使用することなく加熱による溶着接続で同様の効果
を得ることができる。
同系の樹脂材料で形成されている場合には、市販の接続
具を使用することなく加熱による溶着接続で同様の効果
を得ることができる。
第１図は、本発明になるチューブポート・濾過フィルタ
の例を示す外観図、 第２図は配管チューブとの接続状態を示す図、第３図は
従来の濾過フィルタの例を示す外観図、第４図は配管チ
ューブとの接続状態を示す図、である。図において、 ２は透過膜、 ３はサポートネット、４はセン
ターガイド、７は配管チューブ、８は接続具、 １０
は密閉槽、 １０ａは原液ポート、 １０ｂはエア抜きポート、１０
ｃは透過液ポート、 をそれぞれ表わす。 界 １ 口 配管へ−ブとみ接綬欣聾に串丁目 り ２ 口
の例を示す外観図、 第２図は配管チューブとの接続状態を示す図、第３図は
従来の濾過フィルタの例を示す外観図、第４図は配管チ
ューブとの接続状態を示す図、である。図において、 ２は透過膜、 ３はサポートネット、４はセン
ターガイド、７は配管チューブ、８は接続具、 １０
は密閉槽、 １０ａは原液ポート、 １０ｂはエア抜きポート、１０
ｃは透過液ポート、 をそれぞれ表わす。 界 １ 口 配管へ−ブとみ接綬欣聾に串丁目 り ２ 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 それぞれがねじ継手を有する原液ポート、透過液ポー
トおよびエア抜きポートを備えたプラスチック樹脂より
なる密閉槽の内部に濾過材を装填し、原液ポートより注
入した異物微粒子を含む原液を濾過して透過液ポートよ
り取り出す濾過フィルタにおいて、 少なくとも上記原液ポートおよび透過液ポートをフレキ
シブルなチューブ状に形成してなることを特徴とするチ
ューブポート・濾過フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013139A JP2728415B2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 濾過フィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013139A JP2728415B2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 濾過フィルター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01189304A true JPH01189304A (ja) | 1989-07-28 |
| JP2728415B2 JP2728415B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=11824829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63013139A Expired - Lifetime JP2728415B2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 濾過フィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2728415B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5900045A (en) * | 1997-04-18 | 1999-05-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co.Ltd. | Method and apparatus for eliminating air bubbles from a liquid dispensing line |
| US8034167B2 (en) * | 2006-08-15 | 2011-10-11 | Tokyo Electron Limited | Buffer tank, intermediate accumulation apparatus, liquid treatment apparatus, and supplying method of treating liquid |
| CN109715266A (zh) * | 2016-10-20 | 2019-05-03 | Emd密理博公司 | 阀门保护和管路管理装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100742282B1 (ko) | 2006-02-06 | 2007-07-24 | 삼성전자주식회사 | 케미컬 필터 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS518859U (ja) * | 1974-07-05 | 1976-01-22 | ||
| JPS55130718U (ja) * | 1979-03-07 | 1980-09-16 | ||
| JPS60176216A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-10 | 松下電器産業株式会社 | 電気二重層キヤパシタ |
| JPS60176216U (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-21 | 日本軽金属株式会社 | 家庭用浄水装置 |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP63013139A patent/JP2728415B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS518859U (ja) * | 1974-07-05 | 1976-01-22 | ||
| JPS55130718U (ja) * | 1979-03-07 | 1980-09-16 | ||
| JPS60176216A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-10 | 松下電器産業株式会社 | 電気二重層キヤパシタ |
| JPS60176216U (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-21 | 日本軽金属株式会社 | 家庭用浄水装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5900045A (en) * | 1997-04-18 | 1999-05-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co.Ltd. | Method and apparatus for eliminating air bubbles from a liquid dispensing line |
| US8034167B2 (en) * | 2006-08-15 | 2011-10-11 | Tokyo Electron Limited | Buffer tank, intermediate accumulation apparatus, liquid treatment apparatus, and supplying method of treating liquid |
| CN109715266A (zh) * | 2016-10-20 | 2019-05-03 | Emd密理博公司 | 阀门保护和管路管理装置 |
| JP2019531893A (ja) * | 2016-10-20 | 2019-11-07 | イー・エム・デイー・ミリポア・コーポレイシヨン | バルブ保護およびチューブ管理装置 |
| CN109715266B (zh) * | 2016-10-20 | 2021-11-30 | Emd密理博公司 | 阀门保护和管路管理装置 |
| US11602709B2 (en) | 2016-10-20 | 2023-03-14 | Emd Millipore Corporation | Valve protection and tube management device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2728415B2 (ja) | 1998-03-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7695026B2 (en) | Tube device, and piping system including the tube device | |
| JPH01189304A (ja) | チューブポート・濾過フィルタ | |
| US11938449B2 (en) | Ceramic membrane filtration assembly with multi port endcap and related methods | |
| US7704392B2 (en) | Minimal residual liquid retention filter housing | |
| JPS6271504A (ja) | 液体処理装置 | |
| JP2004340304A (ja) | 半導体製造装置等の配管システム | |
| JP3272847B2 (ja) | 複数結合型中空糸膜モジュール | |
| JPH08312846A (ja) | 管状部材用シールリング保持壁とシール方法、及びその保持壁を持つ流体部品、並びにその流体部品を持つ流体装置 | |
| JPS62266109A (ja) | フイルタ−機構 | |
| JP3847909B2 (ja) | 脱気装置及び脱気方法 | |
| JPH10337447A (ja) | 液体濾過用フィルタ、膜エレメントおよびハウジングと膜エレメントの連結方法 | |
| JP3585077B2 (ja) | 脱気装置 | |
| CN217156494U (zh) | 一种尿素液用超纯水检测装置 | |
| CN209781912U (zh) | 过滤管与排管的连接结构 | |
| CN220588999U (zh) | 中药提取药液用双向出液装置 | |
| JP2003299917A (ja) | コネクタ式のインラインフィルター | |
| CN221254311U (zh) | 一种超滤净水器装置 | |
| JPH0539618U (ja) | 液体濾過装置 | |
| KR200265763Y1 (ko) | 정수용 필터의 연결관 접속구조 | |
| JPS63250824A (ja) | 半導体基板処理装置 | |
| JP2774901B2 (ja) | ガラス管と合成樹脂管との接続部 | |
| JP3386946B2 (ja) | 基板への処理液の供給装置用脱気装置 | |
| JPH0213067Y2 (ja) | ||
| JPH025173Y2 (ja) | ||
| JP2005305443A (ja) | 脱気装置及び脱気方法 |