JPS62266109A - フイルタ−機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「発明の目的」 本発明はフィルター機構に係り、取扱いおよび管理が容
易で、安定した濾過作用をなすことができ、比較的低コ
ストな機構を提供し、更には精度の高い戸別機能を発揮
することのできるフィルター機構を得しめようとするも
のである。

産業上の利用分野 半導体の製造分野や食品工業その他におけるＦ別清浄化
のためのフィルター機構。

従来の技術 近年食品分野や半導体分野などの工業においては空気、
ガス、水、薬品などの清浄化が強く要請されるようにな
り、特に半導体分野においてはその製産過程に用いられ
る処理液などの清浄化について、特に注目され、製品の
歩留り向上、高品質化をはかるためには薬液および純水
などの液体の高純度化が不可欠である。又このような分
野では硝酸、硫酸、塩酸などの強酸類やトリクロルエチ
レン、アセトン、ＩＰＡなどの有機薬品類の如き人体に
有害な薬品の用いられることか多く、このような薬品に
関しては漏れなどの危険性なしに安全な使用をなし得る
フィルター機構が要求されることは当然である。

然して従来、前記半導体製造プロセス中の洗浄工程やエ
ツチング工程などで用いられる薬液槽における清浄化は
、牙４図に示すように槽４３内の薬液および純水等の液
体４０を一旦槽外に導出し、ポンプ４１およびフィルタ
ー機構４２において清浄化してから再び槽４３に循環さ
せるようになっていることが一般であり、その配管や接
続、シール性のよいポンプ、フィルター、このフィルタ
ーにおける内部カートリッジとのシール方法などに関し
種々の提案がなされている。

発明が解決しようとする問題点 然し上記したような従来のものにおいては、その配管、
フィルタ一部分、ポンプ部分などから薬液および純水な
どの液体の漏れ、管内圧送高圧のための破損、配管から
のダスト発生の如き危険性は避は得す、特に薬液および
純水などの液体が高温となったような場合にその危険度
は著しく増加する。

又特別な配管、接手部体、保護外筒、キャップ類など必
要部材が多く、その保守管理が容易でなく、当然に高コ
スト化する。運転上においてもエア抜きのような特別な
操作が必要で、しかもエアによるブロッキング現象など
が避けられず、取扱いが煩雑である。

「発明の構成」 問題点を解決するための手段 内孔な有する濾過材と該濾過材の端部を連結する定置部
体からなり、前記濾過材がシール性をもった外筒ないし
ケースを有せず、濾過処理すべき液中に浸漬して使用さ
れるようにしたことを特徴とするフィルター機構。

作用 濾過材は濾過処理すべき液体中に浸漬して位置せしめら
れ、ポンプのような圧送機構による液体の流動により当
該液体中においてＦ別処理される。

実施例 上記したような本発明の具体的な実施態様を添附図面に
示すものについて説明すると、本発明においては牙１図
に示すように内部に流路８を形成し、該流路８に接続ロ
アを設けた定置部体１を用い、該定置部体１に配設され
た連結口９にν渦管２の両端を夫々連結したもので、こ
のような連結部分には熱収縮チューブ３などを用いて連
結部を安定化する。

前記した濾過管２についての具体的構成の１例は牙２図
に示されている。即ち穿孔１４を配設した支持内管４と
同じく穿孔１６を配設した支持外管６との間にｐ過ＷＡ
５を介装したものであって、濾過膜５としては中空管状
のものの外、中空系状、又はフィルム状ないしテープ状
のものを用い、その寸法条件により支持内管４または支
持外管６の何れか一方または双方を省略することができ
るが、支持外管６が用いられる場合でも矛４図に示した
従来のもののように耐圧シール性のものを用いず、単に
濾過膜５の形状を保護する程度のものでよい。前記のよ
うにテープ状の濾過膜５を用いる場合においては支持内
管４の外側にスパイラル状として一部を重合させた状態
で巻回したものとする。

なお、第１図のものは濾過管２の両端を連結口９に連結
したものであるが、場合によってはν渦管２の一端を定
置部体１に連結し、他端は単に結縛などによって閉塞し
、或いは接続口Ｔを有しない別の定置部体（図示せず）
に連結してもよい。

上記したような本発明によるフィルター機構の利用状態
は矛３図に示す通りであって、液中に浸漬して使用し得
るポンプ３１を用い、該ポンプ３１の吐出口と前記接続
ロアとを濾過すべき液を収容した槽３３内において適宜
に接続パイプ３２により接続する。第１図に示したよう
な定置部体１および濾過管２よりなるフィルターは槽３
３内の底部の如きにセットされ、ポンプ３１を駆動する
ことによって槽３３内で有効なｐ別清浄化作用が行われ
ることは明かである。

濾過膜５の材質または膜厚、孔径のような寸法条件は処
理すべき液の種類、濾過目的によって任意に選択し得る
ことは当然である。然し既述したような強酸類その他の
耐薬品性を考慮してそれなりの汎用性を有するものとし
ては弗素樹脂系による多孔質材があり、例えばポリテト
ラフルオロエチレン樹脂材の圧延又は延伸により多孔質
化されたものとして膜厚な４０〜７０μｍ程度、多孔質
化された孔径が０，１〜ＬＯμｍ程度のものが好ましく
、精度の高いテ過をなし得る。斯かる濾過膜５に強度の
不足している場合に適宜に採用されるのが前記した支持
内管４および支持外管６であり、又フィルム状の場合に
は支持体−濾過膜−支持体あるいは濾過膜−支持体の構
造となし、更にこのフィルム状濾過膜の場合においては
濾過面積を大とするために断面的に矛５図のようなプリ
ーツ状としてよい。

またフィルム状の場合にフィルムを両側からネット、ス
クリムなどで挟み、或いは支持体であるネットなどとラ
ミネートされたものを用い、橢円その他の筒状、プリー
ツを形成して断面を星形その他の筒状とする。前記した
ような定置部体１を用いる場合においては一般的に複数
のｅ過ｔ［−用いる。足置部体として第１図に示しｋも
のに対向して用いられるものはその内部に流路を形成す
る必要がなく、単に濾過管２を所定位置に保持するもの
でよい。面状濾過膜を用いる一合優こおいて支持部材で
両面を挾まれた状態でプリーツ状に折曲加工し筒状に融
詣加工し、第７図に示すような断面構成のものとしてよ
く、このような筒状体の端部を第６図に示すように定置
部体に取付ける。この取付けが熱収縮チューブ３以外に
融着などを採用してよい。

上記したような本発明によるものはエツチング槽や洗浄
槽などの槽内に浸漬して使用されることは第３図の如く
であり、リークなどｌこよる薬液および純水などの液＃
ＩＱ滲出などは皆無であって、又配管からのダスト発生
なども最小限に抑制することができ、従来の第４図に示
した場合のように密閉シールされた外筒やキャップ類或
いはケースなどを完全に省略でき簡易且つ低コストなも
のとなる。

「発明の効果」 以上説明したような本発明によるときは簡易且つ低コス
トにｒ別処理することがで酋、又漏れなどについて銖東
醗こ苦心する必要もなけれにフィルターは液圧によって
包囲され九条件下で使用されるので破敦などによる薬液
および純水などの液体飛散の恐れもな（、保守管理の安
全且つ容易な条件下で処理することができ、ｋにはエア
抜きやエアによるブロッキング現象などもない安定な操
業を実施できるなどの卓越した効果を有しており、工業
的にその効果の大きい発明でおる。

【図面の簡単な説明】 図面は本発明の技術的同容を示すものでろって、第１図
は本発明Ｑこよるフィルター機構の１例につい１の平曲
図、第２図はその…部分についての拡大し九部分切欠斜
面図、第３図はその使用状態の説明図、第４図は従来の
フィルター機構に関する第３図と同様な説明図、第５図
は本考案における濾過管の他の例についての断面図、第
６図は他のｒ過機構の斜面図、第７図はそのｆ過電の断
面図である。 然してこれらの図面において、１は定置部体、２は濾過
管、３は熱収縮チューブ、４は支持内管、５は濾過膜、
６は支持外管、１は接続口、８は流路、９は連結口、３
１はポンプ、３２は接続パイプ、３３は檜を示すもので
ある。 ｔｒｆｊＦｒ−出願　　人　ジャパンボアテックス体式
会社発　　　明　　　者　−安　　　　　　　哲−−−
゛（、Ｌ−； 第　σ　■ 第　４　Ｉ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、内孔を有する濾過材と該濾過材の端部を連結する定
   置部体からなり、前記濾過材がシール性をもった外筒な
   いしケースを有せず、濾過処理すべき液中に浸漬して使
   用されるようにしたことを特徴とするフィルター機構。 ２、濾過材が中空糸状、管状あるいはフィルム状である
   特許請求の範囲第１項に記載のフィルター機構。 ３、濾過材の少くとも一端部が定置部体の内部に形成さ
   れた流路に接続され、該定置部体にポンプのような圧送
   機構が連結された特許請求の範囲第１項に記載のフィル
   ター機構。 ４、エッチング槽や洗浄槽のような薬液および純水など
   の液体を収容した処理槽中に浸漬して使用される特許請
   求の範囲第１項に記載のフィルター機構。