JPS6022904A - 流体処理用の精密フイルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は水、溶剤などの液体あるいは各種の気体中に
含まれる微粒子などを処理流体から除去するための精密
フィルタ・に関する。

ＩＣ＋ＬＳＩなどの半導体素子の製造工程では、各種の
薬液、ガスおよび超純水が用いられ、より純度が高く微
粒子の少ないものが要求されている。

医薬品、遺伝子工学あるいは食品、飲料の分野において
も同様でＩＤ、濾過対象流体に対する耐久性、溶出性、
耐熱性などを有し、０．５μ以下と云った微粒子や細菌
でも容易に捕捉できる精密フィルタが望まれている。

現在、広く利用されている精密フィルタを示せば第１図
のとおりであシ、弗素系の樹脂、ポリプロピレン、ナイ
四ンのように耐薬品性と耐熱性を有する樹脂成形品で作
られ、板面および中央のスペーサボス部ｄ、に流体通路
を形成したデスクｄの上下面に同じ合成樹脂からなる多
孔質のＲ膜ｆを配設し、その内外周縁をデスクｄに溶着
した濾過エレメントｅを所要段数（通常２０段）積層し
てセンターパイプｐに嵌挿し、このセンターパイプｐの
上端をカバー〇に取付けて濾過ニレメン）ｅを容器ａ中
に収容するようにしている。

ところで、この従来のものは、濾過エレメントの構成部
品として樹脂成形品からなる厚手なデスクを用いている
ために、柔軟性に乏しく一容器内径より大きなものを使
用することができず、しかも、一定容積の容器中に占め
るデスクの容積が大きく、そのため炉材（薄膜）の収納
効率が悪く濾過面積が比較的に小さ、い。そして、処理
能力の低い割シに部品点数、（デスク数）が多く、組立
てＫも手間がかかりコスト高にもなっている。。

そこで、この考案は上記従来品の欠点を改良すべく工夫
されたもので、濾過エレメントを柔軟で折り曲げ可能に
形成し、容器の内径よシ大きなもの圧することができ、
積層段数が少ないに拘らず、濾過面積が大きく処理能力
を向上させることのできるフィルタを提供するものであ
り、すべての部材が耐薬品性と耐熱性を有する合成樹脂
からなり、ボス部と該ボス部に通じる複数の横通孔を備
えた水平片とからなるスペーサの水平片の上下の面に多
孔質の薄膜材の両面または片面に可撓性で透過性の流路
部材２ｂを添設した二つの炉材の中心孔の部分をそれぞ
れ気密に取付けると共にそれら炉材の周縁部を密封して
濾過エレメントを形成し、該濾過エレメントを上記スペ
ーサを介してセンターパイプに複数段取付け、該センタ
ーノくイブの上　端をカバーに取付けると共に上記各濾
過エレメントを折り曲げて容器に収容したことを特徴と
している。

以下図面参照の上この発明の実施例について説明する。

第２図は濾過エレメントＥを示すものであり、１は中央
ボス部１ａと水平片１ｂとで段付きボタン状に形成され
たスペーサであって、弗素樹脂、ポリプロピレンまたは
ナイロンのような耐薬品性と耐熱性を有する合成樹脂か
らなり、ボス部１ａにはセンターパイプに挿通すべき縦
孔が、水平片ｉｂにはこれに連通ずる複数の横通孔ＩＣ
が設けられ、このスペーサ１のボス部１ａの上下には次
のような炉材２が中心孔を介してそれぞれ嵌め込まれ、
中心孔の周辺部がスペーサ水平片１ｂの上下面に溶着さ
れている。

炉材２は上記スペーサ１と同効の合成樹脂材からなるも
ので、第３図イのように厚さが３０〜２５０μ程度の多
孔質な円形の薄膜（メンプレン）２ａと、その形体保持
と密着防止を兼ねて両面に流路部材２ｂとして添設され
た網体（３０〜５０メツシユで厚さは０．２〜２ＩＩ０
１１程度）とからなっていて、その大きさは収容容器の
内径のほぼ２倍程度に形成され、中央にはスペーサｌの
ボス部１ａに嵌挿すべき中心孔２Ｃを備えており、そし
て、上下の炉材２の中央部は個々にスペーサの水平片１
ｂの上下面に溶着される一方、周縁部は互いに重ね合わ
されて溶着され、内部はボス部１ａの縦孔に通じる空洞
になっていて可撓性を備え、上下に折り曲は易く形成さ
れている。

この場合、上記流路部材２ｂは薄膜２ａの両面でなく、
片面だけとし、しかも一つのｐ過ニレメン）Ｅを形成し
たとき、薄Ｍ２ａ同志が直接接触しないように両者の間
に一枚だけが存在するように配設してもよく、また、流
路部材２ｂとしては網体のほかに空隙率が５０−以上で
厚さが０．２〜２１１１１１程度の不織布または連続気
泡のスポンジを用いてもよい。

そして、薄膜２ａの外側（原液（ｒｌｌｌ　”）に流路
部４第２ｂを設ける場合には、雪の外側の流路部材２ｂ
は薄膜２ａに対し、内周縁か外周縁のいずれか一方で溶
着するようにしても差支えなく、処理ｖ１［体によって
は薄膜２ａは孔径の異なるものを二枚以上重ねて用いる
場合もある。

しかして、上記のようなｐ過エレメントＥの複数個が第
４図のようにスペーサ１のボス部１ａを介して同効の樹
脂材からなりスペーサの横通孔１ｃに通じる小孔を隼え
たセンターパイプ３に嵌挿され、ボス部りａ同志は溶着
される。

次いで、センターパイプ３にカラー４が嵌挿され、セン
ターパイプ３の上端ねじ部が同効樹脂材のカバー５の中
央取出し口部に螺着され、その状態で、各濾過エレメン
トＥがセンターノくイブ３と共に同効樹脂材のコツプ状
容器６の中に押し込み収容され、第５図のよう九カバー
５の周縁部が容′Ｊ％６の上端縁に溶着される。その際
、容器６の内径より大きな各濾過エレメントＥはスペー
サ１の部分を基にして外側部分が容易に上向きに折れ曲
がり、互いに重なり合２て収容され、その周縁部は第６
図のように波状にひだ付けられ、流体の通路７が多数形
成される。

そこで、使用に当たって、処理すべき流体を容器６の下
端取入れ口６ａから供給すれば、流体は各沖過エレメン
ト１号の周縁部に形成された通路７を通って順次に上昇
し容器６中に充満する。

それと同時に処理流体は各濾過エレメントＥの多孔質な
薄膜２ａを矢印のように通り抜けて浄化され、エレメン
トＥの内部空洞を経て中心部に流れ、各スペーサ１の横
通孔１ｃからセンターパイプ３中に入って上昇し、カバ
ー５の取出し口からタンク側に流れていく。

なお、炉材２を第３図口のように角形にすれば、材料取
りに無駄がなくなり、コストを低減できる。

以上のようにこの発明では、濾過エレメントを耐薬品性
で耐熱性の合成樹脂からなるスペーサと、同効樹脂の薄
膜の両面または片面に可撓かつ透過性の隔離材を添設し
た炉材とで形成したので、柔軟性があって、折シ曲げ易
く、従来のように容器の内径に制限を受けることなく大
きなものを使用することができ、従来のものよシも少な
い段数で濾過面積を大きくすることができ（濾過面積は
工し、段数を同じとするなら濾過面積は従来の４倍とな
シ、また濾過面積が同じならエレメントの段数は気です
む）、液の処理能力が向上し、組立て工数も減らすこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のフィルタの断面図。 第２図はこの考案に係る済過エレメントの断面図。 ｍ３図イ、口は炉材の一部の斜視図。 第４図はセンターパイプに濾過エレメントを取付けた状
態の側面図。 第５図は容器に収容した状態の断面図。 第６図は第５図のＡ−Ａ線に沿った平断面図。 図中、ｌ・・・スペーサ、１ａ・・・ボス部、ｌｂ・・
・水平片、ｌｃ・・・横通孔、２・・・炉材、２ａ・・
・薄膜、２ｂ・・・流路部材、３・・・センターパイプ
、５・・・カバー、６・・・容器、Ｅ・・・Ｖ過エレメ
ント。 特許出願人　株式会社土屋製作所外１名代　ｆＶ　人　
真　１）　真　− 第１図 第２図 第３図 第４図 手続補正書（自発） 昭和５９年１０月４日 特許庁長官　志　賀　学　殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第１３０２９１号 ２、発明の名称 流体処理用の精密フィルタ ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　東京都豊島区東池袋４丁目６番３号名称　株式
会社土屋製作所 外１名 代表者犬山高志 ４、代理人 住　所　東京都港区虎ノ門１丁目２０番８号氏名　弁理
士（７７２１）真田真− ５６補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 明細書第２頁７行の「溶出性」は「耐溶出性」と補正し
ます。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. すべての部材が耐薬品性と耐熱性を有する合成樹脂から
   なシ、ボス部と該ボス部に通じる複数の横通孔を備えた
   水平片とからなるスペーサの水平片の上下の面に多孔質
   の薄膜材の両面または片面に可撓性て透過性の流路部材
   を添設した二つの部材の中心孔の部分をそれぞれ気密に
   取付けると共にそれら部材÷の周縁部を密封して濾過ニ
   レメン（トを形成し、該濾過エレメントを上記スペーサ
   を介してセンターパイプに複数段取付け、該センターパ
   イプの上端をカバーに取付けると共に上記各濾過エレメ
   ントを折り曲げて容器に収容したことを特徴とする流体
   処理用の精密フィルタ。