JPH025173Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は高純度ガスの導通させるのに適したフ
レキシブルパイプに関するものである。

（従来例の構成とその問題点） 従来から、例えば、半導体製造プロセスにおけ
る拡散炉では、99.99999％以上の超高純度で且つ
0.1μｍ以上の大きさのパーテイクル（塵埃）が
2.8に５ケ以下という極めて清浄なガスが要求
されている。

拡散炉に至るまでの配管が固定配管であれば内
面が研磨されたステンレス等の金属管を採用すれ
ば前記要求を満足させることができるが、例えば
HClガスを流通させる配管においては金属管では
腐食する虞れがあつて採用できない。又、拡散炉
の炉芯管の端部に接続する配管としては着脱する
必要上、可撓性を有する管を配設しなければなら
ず、このため、現在においてはテフロンPFAチ
ユーブやテフゼルパイプ等のような若干の柔軟性
を有し且つ耐薬品性の高い材料からなるパイプを
採用している。

しかしながら、この種の合成樹脂製管は金属製
管に比べて３Å〜５Å以下の分子を通過させると
いう極めて大きな通気性があり、そのため、高純
度を必要とするガス中に外部から管壁を通して空
気成分や水分の混入を避けることができない。

このような空気成分等の混入は、例えば外径が
12.7mm、肉厚が1.0mmのテフロンPFA製パイプ中
を純度99.99999％のArガスを流通させると、お
よそ２ｍの長さを通過中に純度が99.9999％に下
がることが実験の結果確かめられている。

拡散炉においては、通常、窒素ガス中にアルシ
ン、ホスフイン、デイボラン等のドーパントガス
を混合して使用するが、このガス中に空気中の酸
素が混入すると製品であるシリコン表面に予期せ
ぬ酸化物が生じて均一な拡散層を有する製品を得
ることができなく、良質な製品の歩留りに悪影響
を及ぼすことになる。

又、フレキシブルパイプとして金属製ベローパ
イプを用いると通気性については問題が解決でき
るが、ベローパイプはその構造上、多数の湾曲し
た襞があり、従つて、パーテイクルが一度混入す
ると完全に除去することが不可能である。

（考案の目的） 本考案は上記問題点をなくするもので、外部か
らの酸素や水分の混入を確実に防止して高純度の
ガスの導通を可能にすると共に柔軟性と耐薬品
性、耐腐食性に優れたフレキシブルパイプを提供
するものである。

（考案の構成） 上記目的を達成するために、本考案のフレキシ
ブルパイプは、第１図に示すように、柔軟性と耐
薬品性を有する合成樹脂製内パイプ１に金属製の
ベローパイプ２を適宜隙間３を存して被嵌して二
重パイプＡを形成し、この二重パイプＡの適所に
ガスの出入口４，５を設けて該出入口４，５を通
じて前記隙間３内に不活性ガス等の適宜なガスを
流通させるように構成したものであり、隙間３を
流通するガス及び外管である金属製ベローパイプ
２によつて外部からの空気成分等の浸入を阻止す
ると共に万一内パイプからガスが漏洩しても外部
にまで漏れないようにしたものである。

（実施例の説明） 本考案の実施例を図面について説明すると、１
はテフロンPFA樹脂パイプやテフゼルパイプ等
の柔軟性と耐薬品性に富んだパイプよりなる合成
樹脂製内パイプで、その外周面を略全長に亘つて
金属製のベローパイプ２で適宜の隙間３を介し被
覆して可撓性の二重パイプに形成してある。

６，６はベローパイプ２の両端にその内端を接
着等により一体に固着した端管部で、この内周面
の一部を内パイプ１の両端部外周面に夫々密接さ
せてあり、さらに内側端部に外周面から前記隙間
３の端部に連通するガス入口４とガス出口５を
夫々穿設してある。

７は端管部６の外端側において内パイプ１の両
端部外周面に夫々密着したテフロン等の合成樹脂
製又はSUS製の接続用短管で、その中央部外周
に内パイプ１の端部側に向かつて開口した雌螺子
部８を一体に形成してあり、さらに内側端部外周
面にＯリング９を装着した周溝１０を設けて該０
リング９を端管部６の外側端部内周面に密接させ
てある。又、雌螺子部に囲繞されている短管部分
を先端に向かつて徐々に薄肉１１に形成してあ
る。

１２はテフロン樹脂製短管状コネクターで、そ
の内方部の外周面に形成した螺子部１３を前記短
管７の雌螺子部８に螺合させてあり、さらに、該
螺子部１３の先端内周面を拡開したテーパ面１４
に形成してそのテーパ面１４により前記短管７の
薄肉部１１を内パイプ１の端部外周面に圧着さ
せ、確実なシール効果を奏しているものである。

１５は前記端管部６の外端に取りつけた固定用
内フランジ片で、端管部６からの短管７の抜け止
めを行つているものである。

このように構成したフレキシブルパイプは、例
えばその一端を拡散炉の石英管（図示せず）にコ
ネクター１２を介して接続し、他端を固定配管
（図示せず）に同じく他端のコネクター１２を介
して接続して該固定配管から内パイプ１通じて拡
散炉内に窒素ガスとアルシン、ホスフイン等のド
ーパントガスとの混合ガスを供給し、シリコン片
の表面に拡散層を形成するのに使用するものであ
る。

の際、内パイプ１と金属製ベローパイプ２との
隙間３にアルゴン等の不活性ガス或いは内パイプ
１内を流通するガスと同じガス、又はその他の適
宜なガスを入口４から供給し、出口５から排出し
ながら流動させるものである。

（考案の効果） 以上のように本考案のフレキシブルパイプによ
れば、柔軟性と耐薬品性を有する合成樹脂性内パ
イプ１に金属製のベローパイプ２を被嵌して二重
パイプＡに形成しているので、柔軟性と屈曲性に
富んで固定配管等への接続配管が容易に行えるの
は勿論、両パイプ１，２間の隙間３に出入口４，
５を介して外部から適宜な配管により不活性ガス
等を流通させることによつて内パイプ１を通じて
流通させるガス中に外部から空気成分や水分が浸
入する虞れが全くなく、ガスを高純度に保持した
状態で拡散炉等に供給でき、従つて、精度の高い
製品を製造できるものでなる。

又、内パイプ１は合成樹脂製であるから金属管
のように腐食する虞れがないとともに内面が平滑
面であるので、塵埃等が付着してもその除去が容
易となり、さらに、万一この内パイプからガスが
漏洩しても外管として設けた金属製ベローパイプ
２により外部に漏れるのを確実に防止でき、安全
に使用できるものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は
簡略断面図、第２図はコネクターを装着した状態
要部の断面図である。 １……合成樹脂製内パイプ、２……金属製ベロ
ーパイプ、３……隙間、４，５……ガス出入口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 柔軟性と耐薬品性を有する合成樹脂製内パイプ
   １に金属製のベローパイプ２を適宜隙間３を存し
   て被嵌して二重パイプＡを形成し、この二重パイ
   プＡの適所にガスの出入口４，５を設けて該出入
   口４，５を通じて前記隙間３内に不活性ガス等の
   適宜なガスを流通させるように構成したことを特
   徴とするフレキシブルパイプ。