JPH0639191Y2 - ガラス管用ユニオン継手 - Google Patents
ガラス管用ユニオン継手Info
- Publication number
- JPH0639191Y2 JPH0639191Y2 JP1990053500U JP5350090U JPH0639191Y2 JP H0639191 Y2 JPH0639191 Y2 JP H0639191Y2 JP 1990053500 U JP1990053500 U JP 1990053500U JP 5350090 U JP5350090 U JP 5350090U JP H0639191 Y2 JPH0639191 Y2 JP H0639191Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass tube
- union nut
- outer diameter
- joint body
- union
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Joints With Pressure Members (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この考案は、例えば半導体基板等の処理装置に多用され
るガラス管の継手構造に関し、特に侵食性の流体を流通
させるのに適したガラス管用ユニオン継手に関するもの
である。
るガラス管の継手構造に関し、特に侵食性の流体を流通
させるのに適したガラス管用ユニオン継手に関するもの
である。
《従来の技術》 この種のものとしては、従来より例えば第５図に示すも
の（発明協会公開技報第87−2035号）がある。
の（発明協会公開技報第87−2035号）がある。
それは、耐食樹脂製の継手本体101の一端部外周に雄ネ
ジ102aを形成し、ガラス管103の一端部にユニオンナッ
ト104を遊嵌状に装着し、ガラス管103の一端部近くにＶ
溝103bを形成してそのＶ溝にＯリング110を装着し、ユ
ニオンナット104を継手本体101にねじ込み、継手本体10
1の先端面108aとユニオンナット104の係止面108bとでＯ
リング110を押圧変形させることにより、ガラス管103を
抜止めするとともに、継手本体101とガラス管103とを封
止接続するように構成されている。なお、第６図は第５
図中の要部の拡大図である。
ジ102aを形成し、ガラス管103の一端部にユニオンナッ
ト104を遊嵌状に装着し、ガラス管103の一端部近くにＶ
溝103bを形成してそのＶ溝にＯリング110を装着し、ユ
ニオンナット104を継手本体101にねじ込み、継手本体10
1の先端面108aとユニオンナット104の係止面108bとでＯ
リング110を押圧変形させることにより、ガラス管103を
抜止めするとともに、継手本体101とガラス管103とを封
止接続するように構成されている。なお、第６図は第５
図中の要部の拡大図である。
《考案が解決しようとする課題》 上記従来例では、Ｏリング110を押圧変形させることに
より封止する構造であるため、次のような難点がある。
より封止する構造であるため、次のような難点がある。
イ．第６図に示すように、押圧力が分散するため、Ｏリ
ング110とガラス管103との当接圧が必ずしも十分ではな
く、封止性が低い。
ング110とガラス管103との当接圧が必ずしも十分ではな
く、封止性が低い。
ロ．流通させる流体の温度を上昇させた場合、継手を構
成する各部材間に熱膨張の差を生じ、封止性能がさらに
低下するとともに、ガラス管が抜脱するおそれがある。
成する各部材間に熱膨張の差を生じ、封止性能がさらに
低下するとともに、ガラス管が抜脱するおそれがある。
ハ.Oリングは必ずしも耐食性が十分ではなく、流体中に
不純物が溶出して基板処理等の品質、ひいては歩留まり
を低下させる。
不純物が溶出して基板処理等の品質、ひいては歩留まり
を低下させる。
本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、上記
イ〜ハに記載した難点を解消することを技術課題とす
る。
イ〜ハに記載した難点を解消することを技術課題とす
る。
《課題を解決するための手段》 本考案は上記課題を解決するものとして、前記従来のガ
ラス管用ユニオン継手を次のように改良したものであ
る。
ラス管用ユニオン継手を次のように改良したものであ
る。
即ち、耐食樹脂製の継手本体の一端部外周に雄ネジを形
成し、ガラス管の一端部にユニオンナットを装着し、ユ
ニオンナットを継手本体の雄ネジにねじ込むことにより
継手本体とガラス管とを着脱自在で、かつ封止可能に接
続するガラス管用ユニオン継手において、 上記ガラス管の外径を一様に形成してその一端部に凹溝
を形成し、その外径が上記ガラス管の外径より大きく、
その内径がガラス管の外径より小さいアダプタリングを
拡開可能な切割状、または半割状に形成して上記ガラス
管の凹溝に抜止状に装着し、上記アダプタリングでユニ
オンナットを抜止状に係止するとともに、ユニオンナッ
トを継手本体にねじ込装着することにより、継手本体と
ガラス管とに形成した係合当接部を圧接して封止接続す
るように構成したことを特徴とするものである。
成し、ガラス管の一端部にユニオンナットを装着し、ユ
ニオンナットを継手本体の雄ネジにねじ込むことにより
継手本体とガラス管とを着脱自在で、かつ封止可能に接
続するガラス管用ユニオン継手において、 上記ガラス管の外径を一様に形成してその一端部に凹溝
を形成し、その外径が上記ガラス管の外径より大きく、
その内径がガラス管の外径より小さいアダプタリングを
拡開可能な切割状、または半割状に形成して上記ガラス
管の凹溝に抜止状に装着し、上記アダプタリングでユニ
オンナットを抜止状に係止するとともに、ユニオンナッ
トを継手本体にねじ込装着することにより、継手本体と
ガラス管とに形成した係合当接部を圧接して封止接続す
るように構成したことを特徴とするものである。
《作用》 本考案では、ガラス管にフランジ部を形成することなく
継手本体とガラス管とを強力に接合させ、また、Ｏリン
グを介在させずに、直接継手本体とガラス管とにそれぞ
れ形成した係合当接部を相互に圧接する構造になってい
る。
継手本体とガラス管とを強力に接合させ、また、Ｏリン
グを介在させずに、直接継手本体とガラス管とにそれぞ
れ形成した係合当接部を相互に圧接する構造になってい
る。
即ち、その外径を一様に形成したガラス管の一端部凹溝
に、その外径が上記ガラス管の外径より大きく、その内
径がガラス管の外径より小さく、かつ、拡開可能な切割
状又は半割状に形成したアダプタリングを装着すること
により、ガラス管の一端部にユニオンナットが抜止状に
装着される。従って、ガラス管の一端部にユニオンナッ
トを抜止状に装着するためのフランジ部を形成する必要
はない。
に、その外径が上記ガラス管の外径より大きく、その内
径がガラス管の外径より小さく、かつ、拡開可能な切割
状又は半割状に形成したアダプタリングを装着すること
により、ガラス管の一端部にユニオンナットが抜止状に
装着される。従って、ガラス管の一端部にユニオンナッ
トを抜止状に装着するためのフランジ部を形成する必要
はない。
このユニオンナットを継手本体の雄ネジにねじ込むこと
により継手本体とガラス管とに形成された係合当接部が
相互に圧接する。つまり、ユニオンナットのねじ込みに
より、管軸方向の押圧力が係合当接部に直接作用する。
従って、素手によるねじ込みでも十分大きな接圧とな
り、高い封止性能が得られる。なお、前記のように継手
本体は耐食性の樹脂材料で形成されており、継手本体の
係合当接部はＯリングのような弾性変形をしないまで
も、若干の弾性変形によりガラス管の係合当接部になじ
むので、上記のような高い封止性能が得られることにな
る。
により継手本体とガラス管とに形成された係合当接部が
相互に圧接する。つまり、ユニオンナットのねじ込みに
より、管軸方向の押圧力が係合当接部に直接作用する。
従って、素手によるねじ込みでも十分大きな接圧とな
り、高い封止性能が得られる。なお、前記のように継手
本体は耐食性の樹脂材料で形成されており、継手本体の
係合当接部はＯリングのような弾性変形をしないまで
も、若干の弾性変形によりガラス管の係合当接部になじ
むので、上記のような高い封止性能が得られることにな
る。
《実施例》 以下考案の実施例を図面に基づいて説明する。第１図は
第１の実施例を示すユニオン継手の断面図、第２図は第
１図中のアダプタリング５の斜視図である。
第１の実施例を示すユニオン継手の断面図、第２図は第
１図中のアダプタリング５の斜視図である。
この実施例は４フッ化エチレン等の耐食樹脂製継手本体
１の一端部外周に雄ネジ2aを形成し、ガラス管３の一端
部にアダプタリング５を介してユニオンナット４を装着
し、ユニオンナット４を継手本体１の雄ねじ2aにねじ込
むことにより、継手本体１とガラス管３とに形成された
係合当接部8a・8bを相互に圧接するように構成されてい
る。
１の一端部外周に雄ネジ2aを形成し、ガラス管３の一端
部にアダプタリング５を介してユニオンナット４を装着
し、ユニオンナット４を継手本体１の雄ねじ2aにねじ込
むことにより、継手本体１とガラス管３とに形成された
係合当接部8a・8bを相互に圧接するように構成されてい
る。
上記ガラス管３の外径は一様に形成され、上記ユニオン
ナット４は、その係止部4aの内径がガラス管３の外径よ
り若干大径に形成されており、ガラス管３の一端側より
外嵌させて簡単に装着し得るように構成されている。
ナット４は、その係止部4aの内径がガラス管３の外径よ
り若干大径に形成されており、ガラス管３の一端側より
外嵌させて簡単に装着し得るように構成されている。
アダプタリング５は第２図に示すように、その外径が上
記ガラス管３の外径より大きく、その内径がガラス管３
の外径より小さく、かつ、拡開できるように切割5bが形
成されており、ガラス管３の一端寄りに凹設された凹溝
3bに抜止状に装着されている。従ってユニオンナット４
はその係止部4aがアダプタリング５で係止されるので、
ガラス管３の一端側（継手本体１側）へ抜け出ることは
ない。
記ガラス管３の外径より大きく、その内径がガラス管３
の外径より小さく、かつ、拡開できるように切割5bが形
成されており、ガラス管３の一端寄りに凹設された凹溝
3bに抜止状に装着されている。従ってユニオンナット４
はその係止部4aがアダプタリング５で係止されるので、
ガラス管３の一端側（継手本体１側）へ抜け出ることは
ない。
継手本体１の係合当接部8aは、継手本体１の内周面に雌
型テーパ面として形成されている。これに対してガラス
管３の係合当接部8bは、ガラス管３の端部外周に雄型テ
ーパ面として形成されており、ユニオンナット４のねじ
込みにより、ガラス管３の軸線方向に押圧力が作用し、
両テーパ面8a・8bを相互に圧接することにより、強力に
封止接続される。なお、第１図中符号７はリング状のぬ
すみ溝、９はガラス管押入用のガイド穴である。
型テーパ面として形成されている。これに対してガラス
管３の係合当接部8bは、ガラス管３の端部外周に雄型テ
ーパ面として形成されており、ユニオンナット４のねじ
込みにより、ガラス管３の軸線方向に押圧力が作用し、
両テーパ面8a・8bを相互に圧接することにより、強力に
封止接続される。なお、第１図中符号７はリング状のぬ
すみ溝、９はガラス管押入用のガイド穴である。
第３図は第１の実施例（第１図）において、係合当接部
8a・8bのみに変形を加えた第２の実施例を示す要部の断
面図である。
8a・8bのみに変形を加えた第２の実施例を示す要部の断
面図である。
即ち、本実施例は継手本体１のガイド穴９の奥端部に係
合当接部8aを雄型テーパ面として形成するとともに、他
方の係合当接部8bをガラス管３の先端に雌型テーパ面と
して形成し、その他の点では第１の実施例と同様に構成
されている。
合当接部8aを雄型テーパ面として形成するとともに、他
方の係合当接部8bをガラス管３の先端に雌型テーパ面と
して形成し、その他の点では第１の実施例と同様に構成
されている。
第４図は第１図の変形例を示す第３実施例の要部断面図
である。
である。
この実施例は、係合当接部18a・18bを第１図におけるテ
ーパ状のものに代えて、それぞれ平端面に形成し、安価
で加工を容易にするとともに、相互の密接封止性能を高
めるように構成したものである。また、ユニオンナット
４の先端部には補強つば4cが突設されており、加熱流体
を流通させた場合に、熱によるユニオンナット４の変形
や、緩みを生じないように考慮されている。
ーパ状のものに代えて、それぞれ平端面に形成し、安価
で加工を容易にするとともに、相互の密接封止性能を高
めるように構成したものである。また、ユニオンナット
４の先端部には補強つば4cが突設されており、加熱流体
を流通させた場合に、熱によるユニオンナット４の変形
や、緩みを生じないように考慮されている。
ちなみに、第４図の実施例によれば流体の圧力を3kg/cm
2に設定し、流体の温度を常温から200℃まで１時間毎に
交互に加熱〜冷却を繰り返す熱サイクル試験において
も、ユニオンナット４の増し締めを行うことにより、68
回の熱サイクル試験中、液漏れは一度も発生しなかっ
た。
2に設定し、流体の温度を常温から200℃まで１時間毎に
交互に加熱〜冷却を繰り返す熱サイクル試験において
も、ユニオンナット４の増し締めを行うことにより、68
回の熱サイクル試験中、液漏れは一度も発生しなかっ
た。
《考案の効果》 以上の説明で明らかなように、本考案ではガラス管の一
端部の凹溝に、その外径が上記ガラス管の外径より大き
く、その内径がガラス管の外径より小さく、かつ、拡開
可能な切割状又は半割状に形成したアダプタリングを装
着し、ガラス管の一端部にこのアダブタリングを介して
ユニオンナットを装着することにより、継手本体とガラ
ス管とを強力に係合させ、また、Ｏリングを介在させる
ことなく、耐食樹脂製の継手本体とガラス管とに形成し
た係合当接部を相互に圧接するように構成したので、次
のような効果を奏する。
端部の凹溝に、その外径が上記ガラス管の外径より大き
く、その内径がガラス管の外径より小さく、かつ、拡開
可能な切割状又は半割状に形成したアダプタリングを装
着し、ガラス管の一端部にこのアダブタリングを介して
ユニオンナットを装着することにより、継手本体とガラ
ス管とを強力に係合させ、また、Ｏリングを介在させる
ことなく、耐食樹脂製の継手本体とガラス管とに形成し
た係合当接部を相互に圧接するように構成したので、次
のような効果を奏する。
イ.Oリングのように押圧力が分散することはなく、ユニ
オンナットのねじ込みによる管の軸線方向の押圧力が係
合当接部に直接作用し、高い封止性能が得られる。
オンナットのねじ込みによる管の軸線方向の押圧力が係
合当接部に直接作用し、高い封止性能が得られる。
ロ．ガラス管の一端部にアダブタリングを介してユニオ
ンナットを装着したので、ガラス管の一端部にユニオン
ナットを抜止状に装着するためのフランジ部を形成する
必要がなくなり、ガラス管の製造が容易になる。しか
も、継手を構成する各部材間に熱膨張差を生じた場合で
も、従来例のように封止性能が低下したり、ガラス管が
抜脱するおそれがない。
ンナットを装着したので、ガラス管の一端部にユニオン
ナットを抜止状に装着するためのフランジ部を形成する
必要がなくなり、ガラス管の製造が容易になる。しか
も、継手を構成する各部材間に熱膨張差を生じた場合で
も、従来例のように封止性能が低下したり、ガラス管が
抜脱するおそれがない。
ハ.Oリングを介在させないので、耐久性に優れ、又従来
例のように流体中に不純物が溶出するおそれはないの
で、基板処理工程の品質向上、ひいては歩留りを向上さ
せることができる。
例のように流体中に不純物が溶出するおそれはないの
で、基板処理工程の品質向上、ひいては歩留りを向上さ
せることができる。
第１図は第１の実施例を示すユニオン継手の断面図、第
２図は第１図中のアダプタリングの斜視図、第３図は第
２の実施例を示すユニオン継手の要部の断面図、第４図
は第３の実施例を示す要部の断面図、第５図は従来例を
示す第１図相当図、第６図は第５図中の要部の拡大図で
ある。 １…耐食樹脂製の継手本体、2a…雄ネジ、３…ガラス
管、４…ユニオンナット、4a…ユニオンナットの係止
部、５…アダプタリング、5b…切割り、8a・8b・18a・1
8b…係合当接部。
２図は第１図中のアダプタリングの斜視図、第３図は第
２の実施例を示すユニオン継手の要部の断面図、第４図
は第３の実施例を示す要部の断面図、第５図は従来例を
示す第１図相当図、第６図は第５図中の要部の拡大図で
ある。 １…耐食樹脂製の継手本体、2a…雄ネジ、３…ガラス
管、４…ユニオンナット、4a…ユニオンナットの係止
部、５…アダプタリング、5b…切割り、8a・8b・18a・1
8b…係合当接部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 高野 薫 東京都世田谷区瀬田２丁目１番14号 株式 会社フロウエル内 (56)参考文献 特開 昭58−174787（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−77388（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】耐食樹脂製の継手本体の一端部外周に雄ネ
ジを形成し、ガラス管の一端部に、その係止部内径が当
該一端部外径より大径に形成されたユニオンナットを装
着し、ユニオンナットを継手本体の雄ネジにねじ込むこ
とにより継手本体とガラス管とを着脱自在で、かつ封止
可能に接続するガラス管用ユニオン継手において、 上記ガラス管の外径を一様に形成してその一端部に凹溝
を形成し、 その外径が上記ガラス管の外径より大きく、その内径が
ガラス管の外径より小さいアダプタリングを拡開可能な
切割状、または半割状に形成して上記ガラス管の凹溝に
抜止状に装着し、 上記アダプタリングでユニオンナットを抜止状に係止す
るとともに、ユニオンナットを継手本体にねじ込装着す
ることにより、継手本体とガラス管とに形成した係合当
接部を圧接して封止接続するように構成したことを特徴
とするガラス管用ユニオン継手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990053500U JPH0639191Y2 (ja) | 1989-11-28 | 1990-05-21 | ガラス管用ユニオン継手 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13832289 | 1989-11-28 | ||
| JP1990053500U JPH0639191Y2 (ja) | 1989-11-28 | 1990-05-21 | ガラス管用ユニオン継手 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0399292U JPH0399292U (ja) | 1991-10-16 |
| JPH0639191Y2 true JPH0639191Y2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=31890103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990053500U Expired - Lifetime JPH0639191Y2 (ja) | 1989-11-28 | 1990-05-21 | ガラス管用ユニオン継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639191Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008125955A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Moonbat Co Ltd | リサイクル傘の手元の取付け構造 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4221348B2 (ja) * | 2004-09-17 | 2009-02-12 | 日本ピラー工業株式会社 | フランジ配管どうしの接続構造及びフランジ配管と流体機器との接続構造 |
| JP4048193B2 (ja) * | 2004-09-22 | 2008-02-13 | 日本ピラー工業株式会社 | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
| JP4654013B2 (ja) * | 2004-12-03 | 2011-03-16 | 日本ピラー工業株式会社 | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58174787A (ja) * | 1982-04-06 | 1983-10-13 | 旭硝子株式会社 | 管継手 |
| JPH0334542Y2 (ja) * | 1985-10-31 | 1991-07-22 |
-
1990
- 1990-05-21 JP JP1990053500U patent/JPH0639191Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008125955A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Moonbat Co Ltd | リサイクル傘の手元の取付け構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0399292U (ja) | 1991-10-16 |
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