JP4985191B2 - バッファタンク、中間貯留装置、液処理装置及び処理液の供給方法 - Google Patents
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Description
前記供給タンクからの処理液をバッファタンク本体内に導入するための導入ポート部と、
前記バッファタンク本体内を、前記導入ポートから導入された処理液を貯留するための第1の貯留領域と、第2の貯留領域と、に仕切り、その底面がバッファタンク本体の底面よりも上方に位置する筒状体からなる仕切り部材と、
前記導入ポート部と接続され、前記筒状体の底面の下方側に処理液を導入する流路と、
前記第1の貯留領域に溜まった気泡を排出するための第1のベントポート部と、
前記筒状体の下部側を構成すると共に、前記第1の貯留領域から第2の貯留領域へ処理液が通過する通路を形成し、当該処理液をろ過するためのフィルタと、
このフィルタにてろ過された処理液を供給ノズル側に供給するための供給ポート部と、を備え、
前記バッファタンク本体は、前記筒状体の上部側を格納する上部容器と、当該筒状体の下部側のフィルタを格納する下部容器と、から構成され、これら上部容器と下部容器とは互いに着脱自在に連結されていることを特徴とする。
このバッファタンクは、処理液と気泡との比重差を利用して、前記フィルタを透過した気泡を処理液から分離する気液分離部と、この気液分離部に溜まった気泡を排出するための第2のベントポート部と、を前記第2の貯留領域に更に備えていると更によい。
また、中間貯留装置は、その上面に導入ポート部及び供給ポート部が設けられたバッファタンクを固定すると共に、前記導入ポート部及び供給ポート部に夫々ワンタッチで着脱される継手部を備えた固定ユニットを設けてあることが好ましい。ここで、前記供給タンク内が空になったことを知らせるために第1の貯留領域の液面レベルを検知する第1の検知手段と前記供給ノズルへの処理液の供給を停止するための下限液面レベルを検知する第2の検知手段とを前記固定ユニットに設けておくとよい。
処理液を供給する供給タンクと、
この供給タンクから供給ノズルへと供給される処理液の供給経路の途中に設けられた上記の各種中間貯留装置と、を備えたことを特徴とする。
2 供給タンク
3 バッファタンク
3a リサイクル使用部
3b 使い捨て(ディスポーザブル)部
4a 残量液面センサ
4b 処理液エンプティセンサ
5 加圧部
9 制御部
10 液処理装置
10a 液処理ユニット
10b 供給ユニット
21 切り替えバルブ
31 バッファタンク容器
31a 上部容器
31b 下部容器
33 導入ポート部
33a 導入口
34、34a
1次ベントポート部
34b 第2の1次ベントポート部
34a ベントバルブ
35 2次ベントポート部
35a ベントバルブ
36 供給ポート部
37a 貯留部
37b フィルタ格納部
37c 気液分離部
38a フィルタ
38b フィルタコア
39a 隔壁部
39b 通流部
39c 仕切り壁
39d 第2の隔壁部
40 固定ユニット
41 側板
42 底板
43 天板
44 導入配管
45 1次ベント配管
46 2次ベント配管
47 供給配管
48a 第2の固定部材
48b ヒンジ
49 固定棒
49a 第1の固定部材
49b 蝶ナット
50a、50b
連結部
51a、51b
導入流路連結部
52a〜53a、52b〜53b
外筒連結部
54a、54b
内筒連結部
61 スピンチャック
63 駆動機構
70 カップ体
71 排出口
81 供給ノズル
85a サックバックバルブ
85b エアオペレーティドバルブ
91 中央演算処理装置(CPU)
92 プログラム格納部
93 表示部
501a、501b
溝部
Claims (11)
- 基板の表面に供給ノズルから処理液を供給して所定の液処理を行う液処理装置に用いられ、処理液の供給タンクと供給ノズルとの間の処理液の流路に備えられるバッファタンクにおいて、
前記供給タンクからの処理液をバッファタンク本体内に導入するための導入ポート部と、
前記バッファタンク本体内を、前記導入ポートから導入された処理液を貯留するための第1の貯留領域と、第2の貯留領域と、に仕切り、その底面がバッファタンク本体の底面よりも上方に位置する筒状体からなる仕切り部材と、
前記導入ポート部と接続され、前記筒状体の底面の下方側に処理液を導入する流路と、
前記第1の貯留領域に溜まった気泡を排出するための第1のベントポート部と、
前記筒状体の下部側を構成すると共に、前記第1の貯留領域から第2の貯留領域へ処理液が通過する通路を形成し、当該処理液をろ過するためのフィルタと、
このフィルタにてろ過された処理液を供給ノズル側に供給するための供給ポート部と、を備え、
前記バッファタンク本体は、前記筒状体の上部側を格納する上部容器と、当該筒状体の下部側のフィルタを格納する下部容器と、から構成され、これら上部容器と下部容器とは互いに着脱自在に連結されていることを特徴とするバッファタンク。 - 処理液と気泡との比重差を利用して、前記フィルタを透過した気泡を処理液から分離する気液分離部と、この気液分離部に溜まった気泡を排出するための第2のベントポート部と、を前記第2の貯留領域に更に備えたことを特徴とする請求項1に記載のバッファタンク。
- 前記第2の貯留領域において、前記フィルタに臨む領域と供給ポート部の通液口に臨む領域との間を仕切る仕切り壁が設けられ、フィルタを通過した処理液が仕切り壁の上端を越えて前記供給ポート部の通液口に流入するように構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のバッファタンク。
- 前記導入ポート部及び供給ポート部は、前記バッファタンク本体の上面に設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のバッファタンク。
- 請求項1ないし4のいずれか一つに記載のバッファタンクと、前記供給タンク内が空になったことを知らせるために第1の貯留領域の液面レベルを検知する第1の検知手段を備えたことを特徴とする中間貯留装置。
- 前記第1の検知手段は、前記バッファタンクの側部で着脱自在に設けられることを特徴とする請求項5記載の中間貯留装置。
- 請求項1ないし4のいずれか一つに記載のバッファタンクと、前記第1の貯留領域におけるフィルタよりも上方位置の液面レベルであって、前記供給ノズルへの処理液の供給を停止するための下限液面レベルを検知する第2の検知手段を備えたことを特徴とする中間貯留装置。
- 前記第2の検知手段は、前記バッファタンクの側部で着脱自在に設けられることを特徴とする請求項7記載の中間貯留装置。
- その上面に導入ポート部及び供給ポート部が設けられたバッファタンクを固定すると共に、前記導入ポート部及び供給ポート部に夫々ワンタッチで着脱される継手部を備えた固定ユニットを設けたことを特徴とする請求項5ないし8のいずれか一つに記載の中間貯留装置。
- 前記供給タンク内が空になったことを知らせるために第1の貯留領域の液面レベルを検知する第1の検知手段と前記供給ノズルへの処理液の供給を停止するための下限液面レベルを検知する第2の検知手段とを前記固定ユニットに設けたことを特徴とする請求項9記載の中間貯留装置。
- 基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を供給して、基板の表面を液処理する液処理装置において、
処理液を供給する供給タンクと、
この供給タンクから供給ノズルへと供給される処理液の供給経路の途中に設けられた請求項5ないし10のいずれか一つに記載の中間貯留装置と、を備えたことを特徴とする液処理装置。
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