JP6895818B2 - 処理液供給装置および処理液供給方法 - Google Patents
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Description
先ず、本実施の形態にかかるレジスト塗布装置を備えた基板処理システムの構成について説明する。図1は、基板処理システム1の構成の概略を模式的に示す平面図である。図2および図3は、各々基板処理システム1の内部構成の概略を模式的に示す正面図と背面図である。基板処理システム1では、被処理基板としてのウェハWに所定の処理を行う。
次に、以上のように構成された基板処理システム1を用いて行われるウェハ処理について説明する。
次に、上述した第1のブロックG1の液処理装置の一つである処理液塗布装置としてのレジスト塗布装置32の構成について説明する。図4は、レジスト塗布装置32の構成の概略を模式的に示す縦断面図であり、図5は、レジスト塗布装置32の構成の概略を模式的に示す平面図である。
次に、本発明の実施の形態にかかるレジスト塗布装置32の処理液吐出部としての塗布ノズル142に対してレジスト液を供給するレジスト液供給装置200の構成について説明する。図6は、レジスト液供給装置200の構成の概略を示す説明図である。なお、レジスト液供給装置200は、例えば不図示のケミカル室内に設けられている。ケミカル室とは、各種処理液を液処理装置に供給するためのものである。
次に、本発明の実施の形態にかかるフィルタユニット203および捕集ユニットについて説明する。図7は、フィルタユニット203の構成の概略を模式的に示す横断面図であり、図8は、フィルタユニット203および捕集ユニット204の構成を模式的に示す縦断面図である。
次に、以上のように構成されたフィルタユニット203および捕集ユニット204を用いて行われるフィルタ立ち上げ時の液入れ作業の手順について、図9に基づいて説明する。
32 レジスト塗布装置
142 塗布ノズル
200 レジスト液供給装置
201 レジスト液供給源
203 フィルタユニット
204 捕集ユニット
210 供給管
212 排気管
222 排出弁
231 気泡検知器
303 フィルタ
304 流路出口空間
305 超音波振動子
310 バッファ空間
W ウェハ
Claims (10)
- 被処理体に処理液を吐出する処理液吐出部に、当該処理液を供給する処理液供給装置であって、
前記処理液を貯留する処理液供給源と、
前記処理液供給源と前記処理液吐出部とを接続する処理液供給路と、
前記処理液供給路に設けられ、前記処理液中の異物を除去する筒状のフィルタを有するフィルタユニットと、
前記フィルタの中空部である流路出口空間に配置された超音波振動子と、
を有し、
前記超音波振動子は、前記フィルタユニットに着脱自在であることを特徴とする、処理液供給装置。 - 被処理体に処理液を吐出する処理液吐出部に、当該処理液を供給する処理液供給装置であって、
前記処理液を貯留する処理液供給源と、
前記処理液供給源と前記処理液吐出部とを接続する処理液供給路と、
前記処理液供給路に設けられ、前記処理液中の異物を除去する筒状のフィルタを有するフィルタユニットと、
前記フィルタの中空部である流路出口空間に配置された超音波振動子と、
を有し、
前記超音波振動子の表面はガラスで被覆されていることを特徴とする、処理液供給装置。 - 被処理体に処理液を吐出する処理液吐出部に、当該処理液を供給する処理液供給装置であって、
前記処理液を貯留する処理液供給源と、
前記処理液供給源と前記処理液吐出部とを接続する処理液供給路と、
前記処理液供給路に設けられ、前記処理液中の異物を除去する筒状のフィルタを有するフィルタユニットと、
前記フィルタの中空部である流路出口空間に配置された超音波振動子と、
を有し、
前記フィルタの中空部の上方に、前記フィルタユニット内で発生した気泡を捕集するバッファ空間を備える捕集ユニットが設けられ、
前記捕集ユニットには、前記処理液供給路と、前記気泡を排出する排出管とが設けられていることを特徴とする、処理液供給装置。 - 前記バッファ空間の高さ方向の寸法は、前記気泡が前記処理液の流速によって前記処理液供給路に侵入しないように設定されることを特徴とする、請求項3に記載の処理液供給装置。
- 前記捕集ユニットは、捕集した気泡の検知を行う気泡検知器を有することを特徴とする、請求項3または4のいずれかに記載の処理液供給装置。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の処理液供給装置を用いた処理液供給方法であって、
前記処理液の流路の出口側から、前記超音波振動子により超音波振動を与えることを特徴とする、処理液供給方法。 - 請求項3〜5のいずれか一項に記載の処理液供給装置を用いた処理液供給方法であって、
前記フィルタユニットに前記フィルタおよび前記超音波振動子の取り付けを行う挿入ステップと、
前記処理液を前記処理液供給路に通液するステップと、
前記超音波振動子を振動させて、前記フィルタユニットおよび処理液に超音波振動を与える加振ステップと、
前記加振ステップにより発生した気泡を前記捕集ユニットで捕集し、排出する排出ステップと、
を有することを特徴とする、処理液供給方法。 - 請求項5に記載の処理液供給装置を用いた処理液供給方法であって、
前記フィルタユニットに前記フィルタおよび前記超音波振動子の取り付けを行う挿入ステップと、
前記処理液を前記処理液供給路に通液するステップと、
前記超音波振動子を振動させて、前記フィルタユニットおよび処理液に超音波振動を与える加振ステップと、
前記加振ステップにより発生した気泡を前記捕集ユニットで捕集し、排出する排出ステップと、を有し、
前記気泡検知器により検知した気泡量が、予め設定した量以下になるまで、前記加振ステップと前記排出ステップとを繰り返すことを特徴とする、処理液供給方法。 - 前記処理液を前記フィルタユニット内に充填させた後、前記処理液供給源からの前記処理液の供給を停止して、前記超音波振動子により超音波振動を与えることを特徴とする、請求項6〜8のいずれか一項に記載の処理液供給方法。
- 前記処理液供給源から前記処理液供給路に前記処理液の供給を行いながら、前記超音波振動子により超音波振動を与えることを特徴とする、請求項6〜8のいずれか一項に記載の処理液供給方法。
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