JP6905902B2 - 処理液供給装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る処理液供給装置としてのレジスト液供給装置を搭載した基板処理システム1の構成の概略を示す説明図である。図2および図3は、各々基板処理システム1の内部構成の概略を模式的に示す、正面図と背面図である。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
次に、以上のように構成された基板処理システム1を用いて行われるウェハ処理について説明する。
図7のサックバックバルブ208は、供給源201と塗布ノズル142とを接続しレジスト液が充填されるレジスト液流路の一部を構成する流路220が設けられている。また、サックバックバルブ208は、図中上下方向に移動可能にロッド221が設けられている。ロッド221の下面221は、流路220に対して露出している。このサックバックバルブ208を動作させると、ロッド221が上昇し、流路220の体積が増加するように、サックバックバルブ208は構成されている。
レジスト液供給装置200において、供給弁203やバッファタンク204、開閉バルブ205、ポンプ207、サックバックバルブ208などは、前述の制御部Uによって制御される。また、圧力センサ212での測定結果は、制御部Uに出力される。
レジスト液供給処理では、まず、制御部Uからの制御信号に基づいて、供給弁203を開状態とすると共に、バッファタンク204の貯留室を減圧し、これにより供給源201からバッファタンク204の貯留室内にレジスト液を供給し、補充する。
バッファタンク204の貯留室内に所定量のレジスト液が補充されると、供給弁203を閉状態とし、開閉バルブ205を開状態とする。それと共に、ポンプ207の貯留室内の圧力を大気圧としたままバッファタンク204の貯留室を大気圧に対して加圧することで、バッファタンク204の貯留室内のレジスト液をポンプ207に向けて圧送する。圧送されたレジスト液は、フィルタ206を通過した後、ポンプ207の貯留室に移される。なお、以後、制御部Uは、バッファタンク204の貯留室を常時正圧保持制御する。すなわち、制御部Uは、圧力センサ212での測定結果に基づいて、バッファタンク204の貯留室内の圧力がポンプ207の貯留室内の圧力より高くなるよう制御を行う。
ポンプ207の貯留室内に所定量のレジスト液が補充されると、開閉バルブ205を閉状態とし、ポンプ207へのレジスト液の補充を終了する。また、バッファタンク204から圧送されるレジスト液の量は予め定められており、ポンプ207へのレジスト液の補充時に、圧送されたレジスト液がポンプ207を経て塗布ノズル142から漏れ出すことがないようにしている。
塗布ノズル142からの吐出の際は、開閉バルブ205を開状態としたまま、ポンプ207の貯留室を大気圧に対して加圧状態とする。これにより、ポンプ207内のレジスト液が当該ポンプ207から塗布ノズル142に向けて圧送され、塗布ノズル142からウェハWへのレジスト液の吐出が開始される。なお、この際、バッファタンク204の貯留室の圧力は、圧力センサ212での測定結果に基づいて、ポンプ207の貯留室の圧力より高くなるよう制御する。これにより、ポンプ207から吐出された分のレジスト液をバッファタンク204から補充することができる。
塗布ノズル142から所定量のレジスト液が吐出されると、すなわち、ポンプ207から所定量のレジスト液が圧送されると、レジスト液供給装置200では、サックバックバルブ208を制御し当該サックバックバルブ208を作動させる。具体的には、例えば図8(A)のように下側に位置していたサックバックバルブ208のロッド221を図8(C)のように上昇させ、レジスト液Lで充填されている流路220(図7参照)の体積を増加させる。これにより、塗布ノズル142からの処理液の吐出を中断させる。言い換えると、図8(B)のように塗布ノズル142から処理液を吐出していた状態から、図8(D)のように処理液が吐出されていない状態に瞬時に切り替える。
また、上述のようにサックバックバルブを作動させると共に、ポンプ207からのレジスト液の圧送を停止するための制御信号(以下、停止制御信号)を制御部Uからポンプ207に送り、ポンプ207の貯留室内の圧力が大気圧になるよう制御する。なお、停止制御信号の送出タイミングとサックバックバルブ208を作動させるタイミングは、どちらが早くても良いし、同じであってもよい。ただし、後者のタイミングの方が早いか同じであることが好ましい。
レジスト液供給装置200では、停止制御信号の送出後であってサックバックバルブ208の作動により塗布ノズル142からの吐出が中断されている間に、開閉バルブ205を制御し、開閉バルブ205を閉状態とする。これにより、塗布ノズルからの吐出を完全に停止させる。
(1)開閉バルブ205を開状態としたまま、ポンプ207およびバッファタンク204からの圧送を停止する方法(すなわち、開閉バルブ205を開状態としたまま、ポンプ207およびバッファタンク204の貯留室の圧力を大気圧にする方法)。
(2)ポンプ207からの圧送を停止すると共に、開閉バルブ205を閉状態とする方法。
したがって、上記停止制御信号を送信してからポンプ207からのレジスト液の送液が停止するまでに当該ポンプ207から流れ出したレジスト液は、サックバックバルブ208の作動により体積が増加する流路に収容することができる。また、開閉バルブ205を閉じた後に慣性力によりポンプ207より上流側に移動したレジスト液も、サックバックバルブ208の作動により体積が増加する流路に収容することができる。よって、本実施形態のレジスト液供給装置200は、塗布ノズル142における液切れ性が良い。
したがって、レジスト液供給装置200のレジスト液供給処理には、液面保持処理、すなわち、レジスト液の吐出が停止しているときの塗布ノズル142におけるレジスト液の液面を所定の位置に保持するための処理が含まれる場合がある。
液面保持処理では、ポンプ207が所定量のレジスト液を吸液するよう当該ポンプ207を制御する。具体的には、例えば、塗布ノズル142からのレジスト液の吐出を停止するために、ポンプ207に対して停止制御信号を送信すると共に、サックバックバルブ208が作動するよう制御した後、液面保持処理として、ポンプ207の貯留室が所定時間にわたって減圧状態となるように当該ポンプ207を制御する処理を行う。これにより、ポンプ207より下流側の供給経路202中のレジスト液がポンプ207に所定量戻される。そのため、レジスト液の吐出が停止しているときの塗布ノズル142におけるレジスト液の液面を所定の位置に保持することができる。
なお、本例の液面保持処理で行われる液面保持制御は、サックバックバルブ208を作動させる制御以降であれば、開閉バルブ205を閉状態とする制御の前後いずれに行ってもよい。
液面保持処理の他の例では、チューブフラムポンプからなるバッファタンク204が所定量のレジスト液を吸液するよう当該バッファタンク204を制御する。具体的には、例えば、塗布ノズル142からのレジスト液の吐出を停止するために、ポンプ207に対して停止制御信号を送信すると共に、サックバックバルブ208が作動するよう制御した後、液面保持処理として、開閉バルブ205を開状態としたまま、バッファタンク204の貯留室が所定時間にわたって減圧状態となるように当該バッファタンク204を制御する処理を行う。これにより、バッファタンク204より下流側の供給経路202中のレジスト液がバッファタンク204に所定量戻される。そのため、レジスト液の吐出が停止しているときの塗布ノズル142におけるレジスト液の液面を所定の位置に保持することができる。
なお、本例の液面保持処理で行われる液面保持制御は、サックバックバルブ208を作動させる制御以降であって、開閉バルブ205を閉状態とする制御の前に行われる。
図9は、第2の実施形態に係るレジスト液供給装置の要部を示す図である。
図9のレジスト液供給装置は、図6のレジスト液供給装置200と異なり、ポンプ207の下流側にサックバックバルブ208とは別にサックバックバルブ300が配設されている。なお、サックバックバルブ300の構造はサックバックバルブ208と同様である。また、本実施形態のレジスト液供給装置は、ポンプ207より上流側の構成は図6のものと同様であるため、図示等は省略する。
なお、本例の液面保持処理で行われる液面保持制御は、サックバックバルブ208を作動させる制御以降であれば、開閉バルブ205を閉状態とする制御の前後いずれに行ってもよい。
サックバックバルブ300が作動することによる流路の体積の変化量は、サックバックバルブ208のものと同じてあってもよいし、サックバックバルブ208のものと比べて大きくても小さくても良い。ただし、サックバックバルブ208、300のうち最初に作動するものの上記変化量が最も大きいことが好ましい。
図10は、第3の実施形態に係るレジスト液供給装置の構成の概略を示す説明図である。図11は、図10のレジスト液供給装置におけるポンプ207の周囲の構造を模式的に示す図である。
図10のレジスト液供給装置200は、その一部が、具体的には、ポンプ207を含むフィルタ206より上流側の部分が、レジスト塗布装置32を収容する筐体400内に配設されている。
容器500内には、可撓性を有するダイヤフラム501によって、レジスト液を一時的に貯留する貯留室502が形成されている。また、容器500内には、貯留室502内のレジスト液の圧力を調整するための作動液としての作動油が充填された作動液充填室503が貯留室502の周囲に形成されている。
モータ510は、作動液充填室503内の作動油の圧力を調整するためのものであり、具体的には、作動液充填室503内の作動油の圧力を調整する不図示の調整手段を駆動するものである。
また、レジスト液供給装置200は、作動油の温度調節を行う温度調節機構601を、容器500の外部であってモータ510とは反対側に有する。レジスト液供給装置200は、制御部Uにより温度調節機構601を制御して容器500内の作動油を温度調節することにより、貯留室502内のレジスト液の温度を制御することができる。
32 レジスト塗布装置
142 塗布ノズル
200 レジスト液供給装置
201 処理液供給源(供給源)
201 液体供給源
202 供給経路
203 供給弁
204 バッファタンク
205 開閉バルブ
206 フィルタ
207 ポンプ
208 サックバックバルブ
208、300 サックバックバルブ
209 供給管
212 圧力センサ
400 筐体
401 フィルタ
410 断熱部材
420 管路温度調節機構
500 容器
501 ダイヤフラム
502 貯留室
503 作動液充填室
510 モータ
600 断熱部材
601 温度調節機構
U 制御部
W ウェハ
Claims (10)
- 処理液中の異物を除去するフィルタと処理液を送出するチューブフラムポンプとが配設された供給経路を介して、処理液吐出部に処理液を供給する処理液供給装置であって、
前記供給経路は、前記チューブフラムポンプおよび前記フィルタの上流側に開閉バルブが配設され、前記チューブフラムポンプおよび前記フィルタの下流側にサックバックバルブが配設され、
当該処理液供給装置は、少なくとも前記チューブフラムポンプと前記開閉バルブと前記サックバックバルブとを制御する制御部を備え、
該制御部は、
前記チューブフラムポンプからの処理液の送出を停止させる制御と、
前記サックバックバルブの作動により前記処理液吐出部からの処理液の吐出を中断させた後に、前記開閉バルブを閉止することで前記吐出を停止させる制御とを行う、ことを特徴とする処理液供給装置。 - 前記制御部は、処理液の吐出を停止させているときの前記処理液吐出部における処理液の液面を所定の位置に保持するための液面保持制御を行うことを特徴とする請求項1に記載の処理液供給装置。
- 前記制御部は、前記液面保持制御において、前記チューブフラムポンプが当該チューブフラムポンプより下流側の前記供給経路内の処理液を吸液するよう当該チューブフラムポンプを制御する、ことを特徴とする請求項2に記載の処理液供給装置。
- 前記供給経路は、処理液を一時的に貯留する別のチューブフラムポンプが前記開閉バルブの上流側に配設され、
前記制御部は、前記液面保持制御において、前記別のチューブフラムポンプが当該別のチューブフラムポンプより下流側の前記供給経路内の処理液を吸液するよう当該別のチューブフラムポンプを制御する、ことを特徴とする請求項2に記載の処理液供給装置。 - 前記供給経路は、前記チューブフラムポンプおよび前記フィルタの下流側に別のサックバックバルブが配設され、
前記制御部は、前記液面保持制御において、前記別のサックバックバルブが作動するよう当該別のサックバックバルブを制御する、ことを特徴とする請求項2に記載の処理液供給装置。 - 前記チューブフラムポンプは、処理液を貯留する貯留室と、該貯留室内の圧力を調整するための作動液が充填された作動液充填室と、を備え、
当該処理液供給装置は、前記作動液の温度を調節する温度調節機構を備え、
前記制御部は、前記温度調節機構を制御して、前記作動液を温度調節することにより、前記貯留室内の処理液の温度を制御することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の処理液供給装置。 - 前記チューブフラムポンプは、前記作動液に加える圧力を調整するための駆動部を備え、
前記処理液供給装置は、前記駆動部の熱から前記作動液充填室を断熱する断熱部材を備える、ことを特徴とする請求項6に記載の処理液供給装置。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載の処理液供給装置を備える基板処理システムであって、
前記処理液供給装置から供給された処理液を前記処理液吐出部を介して被処理体上に塗布する塗布処理装置と、
該塗布処理装置を収容する筐体と、を備え、
該筐体内に、前記処理液供給装置の前記チューブフラムポンプから下流側の部分が配設されていることを特徴とする基板処理システム。 - 前記チューブフラムポンプから下流側の前記供給経路内の処理液の温度を調節する別の温度調節機構を備えることを特徴とする請求項8に記載の基板処理システム。
- 前記筐体内は、所定の温度に調節されていることを特徴とする請求項8または9に記載の基板処理システム。
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