JP2010141162A - 基板の処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【課題】基板上のレジスト膜の有効面積を向上させつつ、露光処理後に基板の周縁部上のレジスト膜を完全に除去する。
【解決手段】ウェハ上にレジスト液を塗布し、ウェハの全面にレジスト膜を形成する(工程S1)。その後、プリベーク処理を行った後(工程S2)、ウェハ上のレジスト膜を露光処理する(工程S3)。その後、ウェハの周縁部上のレジスト膜に溶剤を供給し、この周縁部上のレジスト膜を除去する(工程S4)。その後、露光後ベーク処理を行った後(工程S5)、ウェハ上のレジスト膜を現像する(工程S6)。
【選択図】図6
【解決手段】ウェハ上にレジスト液を塗布し、ウェハの全面にレジスト膜を形成する(工程S1)。その後、プリベーク処理を行った後(工程S2)、ウェハ上のレジスト膜を露光処理する(工程S3)。その後、ウェハの周縁部上のレジスト膜に溶剤を供給し、この周縁部上のレジスト膜を除去する(工程S4)。その後、露光後ベーク処理を行った後(工程S5)、ウェハ上のレジスト膜を現像する(工程S6)。
【選択図】図6
Description
本発明は、例えば周縁部がベベル構造を有する半導体ウェハ等の基板の処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システムに関する。
例えば半導体デバイスの製造プロセスにおけるフォトリソグラフィー工程では、例えば半導体ウェハ(以下、「ウェハ」という。)上にレジスト液を塗布しレジスト膜を形成するレジスト塗布処理、レジスト膜を所定のパターンに露光する露光処理、露光されたレジスト膜を現像する現像処理などが順次行われ、ウェハ上に所定のレジストパターンが形成されている。
上述したレジスト塗布処理では、通常ウェハがスピンチャックに保持され、ウェハが回転した状態で、ウェハの中心部にレジスト液が供給される。ウェハの中心に供給されたレジスト液は遠心力によってウェハの全面に拡散し、ウェハ上にレジスト液の液膜が形成される。その後、ウェハの周縁部上のレジスト液を除去するいわゆるエッジリンスが行われる(特許文献1)。
しかしながら、従来のようにレジスト塗布処理においてエッジリンスを行った場合、図12に示すようにウェハW上のレジスト液が過度に除去されてレジスト膜Rが形成されることがあり、本来利用することができるレジスト膜(図中の点線部分)までも除去される場合があった。すなわち、最終的にチップとして利用されるウェハW上のレジスト膜Rの有効面積を最大にすることができない場合があった。
そこで、発明者らは、レジスト塗布処理においてエッジリンスを行わずに周縁部B上までレジスト膜Rを形成する、すなわちウェハWの全面にレジスト膜Rを形成することを試みた。かかる場合、露光処理前に、周縁部B上のレジスト膜Rを露光する周辺露光処理を行い、露光処理後の現像処理で周縁部B上のレジスト膜Rが除去される。しかしながら、図13に示すようにウェハWの周縁部Bは搬送アームにより保持されるためにテーパー状のベベル構造になっているため、周縁部B上のレジスト膜Rを完全に除去するには至らず、特に周縁部Bの外端部にレジストQが残ることが分かった。そして、この周縁部B上のレジストQが、レジストパターン形成後の工程においてパーティクル発生の汚染源となっていた。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、基板上のレジスト膜の有効面積を向上させつつ、露光処理後に基板の周縁部上のレジスト膜を完全に除去することを目的とする。
前記の目的を達成するため、本発明は、周縁部がベベル構造を有する基板の処理方法であって、基板上にレジスト液を塗布し、当該基板の全面にレジスト膜を形成する塗布工程と、その後、前記基板上のレジスト膜を露光する露光工程と、その後、前記基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給し、当該基板の周縁部上のレジスト膜を除去する洗浄工程と、を有することを特徴としている。なお、ベベル構造とは、基板の側面から見て、周縁部が基板の中心部から外側に向かってテーパー状に縮小している構造をいう。また、塗布工程において基板の全面にレジスト膜を形成することは、基板の周縁部上までレジスト膜を形成することを含んでいる。
本発明によれば、塗布工程において基板の全面にレジスト膜を形成しているので、その後の工程において、従来のようにエッジリンスを行った場合に除去されていたレジスト膜の一部を有効に利用することができ、基板上のレジスト膜の有効面積を向上させることができる。また、露光工程後の洗浄工程において基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給しているので、この周縁部上のレジスト膜を完全に除去することができる。これによって、基板の周縁部上のレジスト膜が、パーティクル発生の汚染源として後の工程に搬送されることを防止することができる。
ところで、近年パターン解像度を向上させるため、露光処理において、露光レンズと基板との間に液浸液、例えば純水を介して露光するいわゆる液浸露光が行われている。この液浸露光を行う前に、従来のようにエッジリンスを行った場合、レジスト液が除去された基板の周縁部の表面状態によっては、露光処理の際に液浸液が基板の周縁部から裏面側に流れ落ちる場合があった。このように液浸液の液漏れが発生すると、液浸液の気化熱によりレジストパターンの線幅が不均一になる等の問題が生じる。この点、本発明によれば、上述したように塗布工程において基板全面にレジスト膜を形成しているので、液浸露光における液浸液の液漏れの発生も防止することができる。
前記基板の処理方法は、前記露光工程で露光されたレジスト膜を現像する現像工程をさらに有し、前記洗浄工程は、前記現像工程の前に行われるようにしてもよい。
前記基板の処理方法は、前記塗布工程の後であって前記露光工程の前に、前記基板の周縁部上のレジスト膜を露光する周辺露光工程と、前記露光工程で露光されたレジスト膜を現像する現像工程と、をさらに有し、前記洗浄工程は、前記現像工程の後に行われるようにしてもよい。
別な観点による本発明によれば、前記基板の処理方法を基板処理システムによって実行させるために、当該基板処理システムを制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。
また別な観点による本発明によれば、前記プログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体が提供される。
さらに別な観点による本発明は、周縁部がベベル構造を有する基板の処理システムであって、基板上にレジスト液を塗布し、当該基板上にレジスト膜を形成する塗布装置と、基板上のレジスト膜を露光する露光装置と、基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給し、当該基板の周縁上のレジスト膜を除去する洗浄装置と、基板上にレジスト液を塗布し、当該基板の全面にレジスト膜を形成する塗布工程と、その後、前記基板上のレジスト膜を露光する露光工程と、その後、前記基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給し、当該基板の周縁部上のレジスト膜を除去する洗浄工程と、を実行するように、前記塗布装置、前記露光装置及び前記洗浄装置を制御する制御装置と、を有することを特徴としている。
前記基板処理システムは、前記露光装置で露光されたレジスト膜を現像する現像装置をさらに有し、前記制御装置は、前記洗浄工程を前記現像装置における現像工程の前に行うように、前記洗浄装置及び前記現像装置を制御するようにしてもよい。
前記基板処理システムは、前記基板の周縁部上のレジスト膜を露光する周辺露光装置と、前記露光装置で露光されたレジスト膜を現像する現像装置と、をさらに有し、前記制御装置は、前記周辺露光装置における周辺露光工程を前記塗布工程後であって前記露光工程前に行い、前記洗浄工程を前記現像装置における現像工程の後に行うように、前記洗浄装置、前記周辺露光装置及び前記現像装置を制御するようにしてもよい。
前記洗浄装置は、基板の裏面側から基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給する溶剤ノズルを有していてもよい。
また、前記洗浄装置は、基板の表面側から基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給する他の溶剤ノズルをさらに有していてもよい。
本発明によれば、基板上のレジスト膜の有効面積を向上させつつ、露光処理後に基板の周縁部上のレジスト膜を完全に除去することができる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明にかかる基板処理システム1の構成の概略を示す平面図である。
基板処理システム1は、塗布現像処理装置10と、この塗布現像処理装置10に隣接する露光装置11とを有している。なお、本実施の形態において、基板としてのウェハWの周縁部はベベル構造になっている。また、露光装置11では、露光レンズとウェハWとの間に液浸液、例えば純水を介して露光するいわゆる液浸露光が行われる。
塗布現像処理装置10は、図1に示すように例えば外部との間で複数枚のウェハWを収容したカセットCが搬入出されるカセットステーション20と、フォトリソグラフィー処理の中で枚葉式に所定の処理を施す複数の各種処理装置を備えた処理ステーション21と、処理ステーション21に隣接する露光装置11との間でウェハWの受け渡しを行うインターフェイスステーション22とを一体に接続した構成を有している。
カセットステーション20には、カセット載置台30が設けられている。カセット載置台30には、複数、例えば4つのカセット載置板31が設けられている。カセット載置板31は、水平方向のX方向(図1中の上下方向)に一列に並べて設けられている。これらのカセット載置板31には、塗布現像処理装置10の外部に対してカセットCを搬入出する際に、カセットCを載置することができる。なお、塗布現像処理装置10とその外部との間のカセットの搬入出は、工場内の処理装置間でカセットを搬送する図2に示す外部カセット搬送装置Aにより行われる。
カセットステーション20には、図1に示すようにX方向に延びる搬送路40上を移動自在なウェハ搬送装置41が設けられている。ウェハ搬送装置41は、上下方向及び鉛直軸周り(θ方向)にも移動自在であり、各カセット載置板31上のカセットCと、後述する処理ステーション21の第3のブロックG3の受け渡し装置との間でウェハWを搬送できる。
処理ステーション21には、各種装置を備えた複数例えば4つのブロックG1、G2、G3、G4が設けられている。例えば処理ステーション21の正面側(図1のX方向負方向側)には、第1のブロックG1が設けられ、処理ステーション21の背面側(図1のX方向正方向側)には、第2のブロックG2が設けられている。また、処理ステーション21のカセットステーション20側(図1のY方向負方向側)には、第3のブロックG3が設けられ、処理ステーション21のインターフェイスステーション22側(図1のY方向正方向側)には、第4のブロックG4が設けられている。
例えば第1のブロックG1には、図3に示すように複数の液処理装置、例えばウェハWを現像処理する現像装置50、ウェハWのレジスト膜の下層に反射防止膜(以下、「下部反射防止膜」という)を形成する下部反射防止膜形成装置51、ウェハWにレジスト液を塗布してレジスト膜を形成するレジスト塗布装置52、ウェハWのレジスト膜の上層に反射防止膜(以下、「上部反射防止膜」という)を形成する上部反射防止膜形成装置53が下から順に4段に重ねられている。
例えば第1のブロックG1の各装置50〜53は、処理時にウェハWを収容するカップFを水平方向に複数有し、複数のウェハWを並行して処理することができる。
例えば第2のブロックG2には、図2に示すようにウェハWの熱処理を行う熱処理装置60や、ウェハWを疎水化処理するアドヒージョン装置61、ウェハWの周縁部上のレジスト膜を除去する洗浄装置62が上下方向と水平方向に並べて設けられている。熱処理装置60は、ウェハWを載置して加熱する熱板と、ウェハWを載置して冷却する冷却板を有し、加熱処理と冷却処理の両方を行うことができる。なお、熱処理装置60、アドヒージョン装置61及び洗浄装置62の数や配置は、任意に選択できる。
例えば第3のブロックG3には、複数の受け渡し装置70、71、72、73、74、75、76が下から順に設けられている。また、第4のブロックG4には、複数の受け渡し装置80、81、82が下から順に設けられている。
図1に示すように第1のブロックG1〜第4のブロックG4に囲まれた領域には、ウェハ搬送領域Dが形成されている。ウェハ搬送領域Dには、例えばウェハ搬送装置90が配置されている。
ウェハ搬送装置90は、例えばY方向、X方向、θ方向及び上下方向に移動自在な搬送アームを有している。ウェハ搬送装置90は、ウェハ搬送領域D内を移動し、周囲の第1のブロックG1、第2のブロックG2、第3のブロックG3及び第4のブロックG4内の所定の装置にウェハWを搬送できる。
ウェハ搬送装置90は、例えば図2に示すように上下に複数台配置され、例えば各ブロックG1〜G4の同程度の高さの所定の装置にウェハWを搬送できる。
また、ウェハ搬送領域Dには、第3のブロックG3と第4のブロックG4との間で直線的にウェハWを搬送するシャトル搬送装置100が設けられている。
シャトル搬送装置100は、例えばY方向に直線的に移動自在になっている。シャトル搬送装置100は、ウェハWを支持した状態でY方向に移動し、第3のブロックG3の受け渡し装置72と第4のブロックG4の受け渡し装置82との間でウェハWを搬送できる。
図1に示すように第3のブロックG3のX方向正方向側の隣には、ウェハ搬送装置110が設けられている。ウェハ搬送装置110は、例えばX方向、θ方向及び上下方向に移動自在な搬送アームを有している。ウェハ搬送装置110は、ウェハWを支持した状態で上下に移動して、第3のブロックG3内の各受け渡し装置にウェハWを搬送できる。
インターフェイスステーション22には、ウェハ搬送装置120と受け渡し装置121が設けられている。ウェハ搬送装置120は、例えばY方向、θ方向及び上下方向に移動自在な搬送アームを有している。ウェハ搬送装置120は、例えば搬送アームにウェハWを支持して、第4のブロックG4内の各受け渡し装置と受け渡し装置121にウェハWを搬送できる。
次に、上述した洗浄装置62の構成について説明する。洗浄装置62は、図4に示すように内部を密閉することができる処理容器150を有している。処理容器150の一の側面には、図5に示すようにウェハWの搬入出口151が形成され、搬入出口には、開閉シャッタ152が設けられている。
処理容器150内部には、図4に示すようにウェハWを吸着保持するスピンチャック160が設けられている。スピンチャック160は、水平な上面を有し、当該上面には、例えばウェハWを吸引する吸引口(図示せず)が設けられている。この吸引口からの吸引により、ウェハWをスピンチャック160上に吸着保持できる。
スピンチャック160は、例えばモータなどを備えた駆動機構161を有し、その駆動機構161により所定の速度に回転できる。また、駆動機構161には、シリンダなどの昇降駆動源が設けられており、スピンチャック160は上下動可能になっている。
スピンチャック160の下方側には断面形状が山形のガイドリング162が設けられており、このガイドリング162の外周縁は下方側に屈曲して延びている。前記スピンチャック160、スピンチャック160に保持されたウェハW及びガイドリング162を囲むようにカップ163が設けられている。カップ163は、ウェハWから飛散又は落下する液体を受け止め、回収することができる。
このカップ163は上面にスピンチャック160が昇降できるようにウェハWよりも大きい開口部が形成されていると共に、側周面とガイドリング162の外周縁との間に排出路をなす隙間164が形成されている。前記カップ163の下方側は、ガイドリング162の外周縁部分と共に屈曲路を形成して気液分離部を構成している。カップ163の底部の内側領域には、カップ163内の雰囲気を排気する排気口165が形成されており、この排気口165には排気管165aが接続されている。さらに前記カップ163の底部の外側領域には、回収した液体を排出する排液口166が形成されており、この排液口166には排液管166aが接続されている。
また、スピンチャック160の上方には、ウェハWの表面側からウェハWの周縁部にレジスト液の溶剤、例えばシンナーを供給するための表面側溶剤ノズル170が配置されている。表面側溶剤ノズル170には、溶剤供給源171に連通する供給管172が接続されている。溶剤供給源171内には、溶剤が貯留されている。供給管172には、溶剤の流れを制御するバルブや流量調節部等を含む供給機器群173が設けられている。なお、本実施の形態においては、表面側溶剤ノズル170は、その軸方向が鉛直方向になるように配置されているが、表面側溶剤ノズルは、その軸方向が鉛直方向から傾斜するように配置されていてもよい。
表面側溶剤ノズル170は、図5に示すようにアーム174を介して移動機構175に接続されている。アーム174は、移動機構175により、処理容器150の長さ方向(Y方向)に延伸するガイドレール176に沿って、カップ163の一端側(図5の右側)の外側に設けられた待機領域177からカップ163の一端側に向かって移動できると共に、上下方向に移動できる。
スピンチャック160の下方であって、ガイドリング162上には、図4に示すようにウェハWの裏面側からウェハWの周縁部にレジスト液の溶剤を噴射する裏面側溶剤ノズル180、180が例えば2箇所に設けられている。裏面側溶剤ノズル180には、上述した溶剤供給源171に連通する供給管181が接続されている。供給管181には、溶剤の流れを制御するバルブや流量調節部等を含む供給機器群182が設けられている。
以上の基板処理システム1には、図1に示すように制御装置200が設けられている。制御装置200は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部(図示せず)を有している。プログラム格納部には、洗浄装置62のスピンチャック160の回転動作と上下動作、移動機構175による表面側溶剤ノズル170の移動動作、供給機器群173による表面側溶剤ノズル170の溶剤の供給動作、供給機器群182による裏面側溶剤ノズル180の溶剤の供給動作などを制御するプログラムが格納されている。これに加えて、プログラム格納部には、上述の各種処理装置や搬送装置などの駆動系の動作を制御して、後述する基板処理システム1の所定の作用、すなわちウェハWへのレジスト液の塗布、現像、露光、加熱処理、ウェハWの受け渡し、各装置の制御などを実現させるためのプログラムも格納されている。なお、前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルデスク(MO)、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体Hに記録されていたものであって、その記憶媒体Hから制御装置200にインストールされたものであってもよい。
次に、以上のように構成された基板処理システム1を用いて行われるウェハWの処理方法について説明する。図6は、かかるウェハ処理の主な工程の例を示すフローチャートである。
先ず、複数枚のウェハWを収容したカセットCが、外部カセット搬送装置Aにより図1に示すカセットステーション20の所定のカセット載置板31に載置される。その後、ウェハ搬送装置41によりカセットC内の各ウェハWが順次取り出され、処理ステーション21の第3のブロックG3の例えば受け渡し装置73に搬送される。
次にウェハWは、ウェハ搬送装置90によって第2のブロックG2の熱処理装置60に搬送され、温度調節される。その後ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって第1のブロックG1の下部反射防止膜形成装置51に搬送され、ウェハW上に下部反射防止膜が形成される。その後ウェハWは、第2のブロックG2の熱処理装置60に搬送され、加熱され、温度調節され、その後第3のブロックG3の受け渡し装置73に戻される。
次にウェハWは、ウェハ搬送装置110によって同じ第3のブロックG3の受け渡し装置74に搬送される。その後ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって第2のブロックG2のアドヒージョン装置61に搬送され、アドヒージョン処理される。
その後ウェハWは、ウェハ搬送装置90によってレジスト塗布装置52に搬送され、回転中のウェハW上にレジスト液を塗布し、ウェハW上にレジスト膜が形成される(図6の工程S1)。このとき、図7に示すようにレジスト膜Rは、ウェハWの周縁部B上まで形成される。すなわち、ウェハW上の全面にレジスト膜Rが形成される。なお、レジスト膜RはウェハWの周縁部B上まで形成されていればよく、周縁部Bの外端部まで形成されていなくてもよい。
その後ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって熱処理装置60に搬送されて、プリベーク処理される(図6の工程S2)。その後ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって第3のブロックG3の受け渡し装置75に搬送される。
次にウェハWは、ウェハ搬送装置90によって上部反射防止膜形成装置53に搬送され、ウェハW上に上部反射防止膜が形成される。その後ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって熱処理装置60に搬送されて、加熱され、温度調節される。その後ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって第3のブロックG3の受け渡し装置76に搬送される。
次にウェハWは、ウェハ搬送装置110によって受け渡し装置72に搬送され、シャトル搬送装置100によって第4のブロックG4の受け渡し装置82に搬送される。
その後、ウェハWは、インターフェイスステーション22のウェハ搬送装置120によって露光装置11に搬送され、露光処理される(図6の工程S3)。このとき、露光装置11において、ウェハW上のレジスト膜Rは液浸露光されるが、レジスト膜RがウェハWの全面に形成されているため、液浸液がウェハWの周縁部Bから流れ落ちることがない。
次に、ウェハWは、ウェハ搬送装置120によって露光装置11から第4のブロックG4の受け渡し装置80に搬送される。その後、ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって洗浄装置62に搬送される。
洗浄装置62内に搬送されたウェハWは、先ず、スピンチャック160に吸着保持される。次に、ウェハWをスピンチャック160によって所定の回転数で回転させる。そして、図8に示すように回転中のウェハWに対して、裏面側溶剤ノズル180から溶剤Lが噴射される。噴射された溶剤ノズルLは、ウェハWの裏面及び側面に沿って流れ、ウェハWの周縁部B上まで流れる。また同時に、表面側溶剤ノズル170から周縁部Bに向けて溶剤Lが供給される。この溶剤Lにより、周縁部B上のレジスト膜Rが溶解されて除去される(図6の工程S4)。その後周縁部B上のレジスト膜Rが完全に除去されると、裏面側溶剤ノズル180と表面側溶剤ノズル170からの溶剤Lの供給を停止し、ウェハWを回転させることで、ウェハW上に残存する溶剤Lを振り切り乾燥させる。なお、周縁部B上のレジスト膜Rを除去する際、裏面側溶剤ノズル180又は表面側溶剤ノズル170のいずれか一方から溶剤Lを供給することにより、周縁部B上のレジスト膜Rを除去してもよい。
その後、ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって熱処理装置60に搬送され、露光後ベーク処理される(図6の工程S5)。その後、ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって現像装置50に搬送され、現像される(図6の工程S6)。現像終了後、ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって熱処理装置60に搬送され、ポストベーク処理される(図6の工程S7)。
その後、ウェハWは、ウェハ搬送装置90によって第3のブロックG3の受け渡し装置70に搬送され、その後カセットステーション20のウェハ搬送装置41によって所定のカセット載置板31のカセットCに搬送される。こうして、一連のフォトリソグラフィー工程が終了する。
以上の実施の形態によれば、工程S1のレジスト塗布処理において、ウェハWの全面にレジスト膜Rを形成しているので、その後の工程おいて、従来のようにエッジリンスを行った場合に除去されていたレジスト膜の一部を有効に利用することができる。したがって、ウェハW上のレジスト膜Rの有効面積を向上させることができる。
また、工程S4の周縁部洗浄処理において、ウェハWの周縁部B上のレジスト膜Rに溶剤Lを供給しているので、工程S3の露光処理後に、周縁部B上のレジスト膜Rを完全に除去することができる。これによって、ウェハWの周縁部B上のレジスト膜Rがパーティクル発生の汚染源として、後の工程に搬送されることを防止することができる。
さらに、工程S3の露光処理において、レジスト膜RはウェハWの全面に形成されているので、液浸露光における液浸液がウェハWの裏面側に流れ落ちるのを防止することができる。したがって、液浸液の液漏れに起因するレジストパターンの線幅の不均一性を改善することができる。
以上の実施の形態では、工程S4の周縁部洗浄処理は、工程S3の露光処理直後に行われていたが、図9に示すように現像処理後に行ってもよい。かかる場合、露光処理前にウェハWの周縁部Bを露光する周辺露光処理が行われ、塗布現像処理装置10の第2のブロックG2には、図10に示すようにウェハWの周縁部Bを露光する周辺露光装置300が設けられる。周辺露光装置300は、例えば一部の熱処理装置60に置き換えられて配置される。
そして、先ず、上記実施の形態の工程S2までと同様の処理を行い、ウェハW上の全面にレジスト膜Rが形成され、プリベーク処理される(図9の工程T1、T2)。その後、ウェハWは周辺露光装置300に搬送され、ウェハWの周縁部B上のレジスト膜Rが露光される(図9の工程T3)。
次に、上記実施の形態の工程S6までと同様の処理を行い、ウェハW上のレジスト膜Rの露光(図9の工程T4)、露光後ベーク処理(図9の工程T5)、ウェハW上のレジスト膜Rの現像(図9の工程T6)が順次行われる。なお、本実施の形態では、上記実施の形態で工程S3の露光処理の直後に行われていた工程S4の周縁部洗浄処理は行わない。
そして、工程T6の現像処理が終了すると、工程T3においてウェハWの周縁部B上のレジスト膜Rが露光されているため、図11に示すように周縁部B上のレジスト膜Rが除去される(図11中の点線部分)。なお、この際レジスト膜Rは完全に除去されず、周縁部Bの外端部においてレジストQが残存している。
その後、ウェハWは洗浄装置62に搬送され、上述した周縁部B上のレジストQが除去される(図9の工程T7)。このとき、少なくとも裏面側溶剤ノズル180又は表面側溶剤ノズル170から溶剤Lを周縁部B上に供給することにより、周縁部B上のレジストQが除去される。その後、上記実施の形態の工程S7と同様にウェハWがポストベーク処理され、一連のフォトリソグラフィー工程が終了する。
以上の実施の形態によっても、工程T1のレジスト塗布処理において、ウェハWの全面にレジスト膜Rを形成しているので、ウェハW上のレジスト膜Rの有効面積を向上させることができる。
また、工程T7の周縁部洗浄処理において、ウェハWの周縁部B上に溶剤Lを供給しているので、周縁部B上のレジストQを除去して、周縁部B上からレジスト膜Rを完全に除去するとことができる。しかも、本実施の形態では、周縁部B上のレジストQを除去するだけでよいため、周縁部B上に供給する溶剤Lの供給量を少量にすることができる。
さらに、工程T4の露光処理において、レジスト膜RはウェハWの全面に形成されているので、液浸露光における液浸液の液漏れを防止することができる。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。本発明は、基板がウェハ以外のFPD(フラットパネルディスプレイ)、フォトマスク用のマスクレチクルなどの他の基板である場合にも適用できる。
本発明は、例えば周縁部がベベル構造を有する半導体ウェハ等の基板の処理方法及び基板処理システムに有用である。
1 基板処理システム
10 塗布現像処理装置
11 露光装置
50 現像装置
52 レジスト塗布装置
62 洗浄装置
170 表面側溶剤ノズル
180 裏面側溶剤ノズル
200 制御装置
300 周辺露光装置
B 周縁部
L 溶剤
Q レジスト
R レジスト膜
W ウェハ
10 塗布現像処理装置
11 露光装置
50 現像装置
52 レジスト塗布装置
62 洗浄装置
170 表面側溶剤ノズル
180 裏面側溶剤ノズル
200 制御装置
300 周辺露光装置
B 周縁部
L 溶剤
Q レジスト
R レジスト膜
W ウェハ
Claims (10)
- 周縁部がベベル構造を有する基板の処理方法であって、
基板上にレジスト液を塗布し、当該基板の全面にレジスト膜を形成する塗布工程と、
その後、前記基板上のレジスト膜を露光する露光工程と、
その後、前記基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給し、当該基板の周縁部上のレジスト膜を除去する洗浄工程と、を有することを特徴とする、基板の処理方法。 - 前記露光工程で露光されたレジスト膜を現像する現像工程をさらに有し、
前記洗浄工程は、前記現像工程の前に行われることを特徴とする、請求項1に記載の基板の処理方法。 - 前記塗布工程の後であって前記露光工程の前に、前記基板の周縁部上のレジスト膜を露光する周辺露光工程と、
前記露光工程で露光されたレジスト膜を現像する現像工程と、をさらに有し、
前記洗浄工程は、前記現像工程の後に行われることを特徴とする、請求項1に記載の基板の処理方法。 - 請求項1〜3の基板の処理方法を基板処理システムによって実行させるために、当該基板処理システムを制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項4に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
- 周縁部がベベル構造を有する基板の処理システムであって、
基板上にレジスト液を塗布し、当該基板上にレジスト膜を形成する塗布装置と、
基板上のレジスト膜を露光する露光装置と、
基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給し、当該基板の周縁上のレジスト膜を除去する洗浄装置と、
基板上にレジスト液を塗布し、当該基板の全面にレジスト膜を形成する塗布工程と、その後、前記基板上のレジスト膜を露光する露光工程と、その後、前記基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給し、当該基板の周縁部上のレジスト膜を除去する洗浄工程と、を実行するように、前記塗布装置、前記露光装置及び前記洗浄装置を制御する制御装置と、を有することを特徴とする、基板処理システム。 - 前記露光装置で露光されたレジスト膜を現像する現像装置をさらに有し、
前記制御装置は、前記洗浄工程を前記現像装置における現像工程の前に行うように、前記洗浄装置及び前記現像装置を制御することを特徴とする、請求項6に記載の基板処理システム。 - 前記基板の周縁部上のレジスト膜を露光する周辺露光装置と、
前記露光装置で露光されたレジスト膜を現像する現像装置と、をさらに有し、
前記制御装置は、前記周辺露光装置における周辺露光工程を前記塗布工程後であって前記露光工程前に行い、前記洗浄工程を前記現像装置における現像工程の後に行うように、前記洗浄装置、前記周辺露光装置及び前記現像装置を制御することを特徴とする、請求項6に記載の基板処理システム。 - 前記洗浄装置は、基板の裏面側から基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給する溶剤ノズルを有することを特徴とする、請求項6〜8のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記洗浄装置は、基板の表面側から基板の周縁部上のレジスト膜にレジスト液の溶剤を供給する他の溶剤ノズルをさらに有することを特徴とする、請求項9に記載の基板処理システム。
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