JP5635452B2 - 基板処理システム - Google Patents
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別な観点による本発明は、基板にフォトリソグラフィ処理を行い、当該基板上に所定のパターンを形成する基板処理システムにおいて、基板上に塗布液を塗布する塗布処理装置を含む基板の処理装置が鉛直方向に複数段に積層され、前記塗布処理装置には、基板を保持して回転させる回転保持部と、前記回転保持部に保持された基板上に塗布液を供給する塗布液ノズルと、前記回転保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられたカップと、前記カップ内で回収された廃液を貯留する廃液貯留部と、前記廃液貯留部内の廃液の高さを測定するレベルセンサと、前記レベルセンサで測定された廃液の高さが所定の高さに達した場合、前記廃液貯留部から廃液を排出させるように、排液管を介して前記廃液貯留部に連通するポンプを制御する制御部と、が設けられ、前記塗布液ノズルに塗布液を供給する塗布液供給装置を有し、前記塗布液供給装置は、内部に塗布液を貯留する塗布液供給源と、前記塗布液供給源から前記塗布液ノズルに塗布液を供給するための塗布液供給管と、前記塗布液供給管に設けられ、前記塗布液供給源から前記塗布液ノズルに塗布液を圧送するためのポンプと、前記ポンプより前記塗布液ノズル側の前記塗布液供給管に設けられ、前記塗布液ノズルへの塗布液の供給を制御するバルブと、前記ポンプと前記バルブとの間の前記塗布液供給管に設けられ、当該塗布液供給管に塗布液の溶剤を供給し、前記バルブを洗浄する洗浄機構と、を有し、前記洗浄機構は、前記塗布液供給管に空気を供給し、前記バルブを洗浄することを特徴としている。
また別な観点による本発明は、基板にフォトリソグラフィ処理を行い、当該基板上に所定のパターンを形成する基板処理システムにおいて、基板上に塗布液を塗布する塗布処理装置を含む基板の処理装置が鉛直方向に複数段に積層され、前記塗布処理装置には、基板を保持して回転させる回転保持部と、前記回転保持部に保持された基板上に塗布液を供給する塗布液ノズルと、前記回転保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられたカップと、前記回転保持部に保持された基板の裏面にリンス液を噴射するバックリンスノズルと、前記回転保持部の下方に設けられ、当該回転保持部に保持された基板の裏面側に落下する廃液を回収するためのカップベースと、前記カップ内と前記カップベース内で回収された廃液を貯留する廃液貯留部と、前記廃液貯留部内の廃液の高さを測定するレベルセンサと、前記レベルセンサで測定された廃液の高さが所定の高さに達した場合、前記廃液貯留部から廃液を排出させるように、排液管を介して前記廃液貯留部に連通するポンプを制御する制御部と、が設けられ、前記排液管は、前記カップ及び前記カップベースと前記ポンプとを接続し、前記廃液貯留部は、前記排液管に設けられた廃液容器であり、前記制御部は、レベルセンサで測定された廃液の高さに基づいて、前記廃液貯留部から廃液がオーバーフローしないように、前記カップと前記カップベースからの廃液の排出を制御し、前記廃液容器の内部は、前記カップからの廃液が前記排液管に向かって流通する廃液流路と、前記カップベースからの廃液を貯留する貯留空間とに区画され、前記廃液容器の内部には、前記廃液流路及び前記貯留空間と前記排液管とに接続され、前記廃液流路と前記貯留空間からの廃液を一時的に溜める貯液部が設けられ、前記廃液流路には、当該廃液流路の内部を洗浄するためのリンス液を供給するリンス液供給管が接続されていることを特徴としている。
30、31 現像処理装置
32 廃液回収装置
33、34 塗布処理装置
60 廃液排出装置
140〜142 塗布部
152 レジストノズル
154 待機部
155 レジスト供給装置
160 スピンチャック
163 カップベース
164 排液管
165 バックリンスノズル
168 ガイドリング
170 カップ
172 気液分離部
173 仕切壁
174 外側領域
175 内側領域
176 排液管
177 排気管
180 廃液容器
182 排液管
184、185 レベルセンサ
190〜192 塗布部
200 回収タンク
201 鉛直配管
202 傾斜配管
203 ポンプ
204 排液管
210 レジスト供給源
213 レジスト供給管
215 ポンプ
217 バルブ
220 洗浄機構
221 三方バルブ
222 洗浄媒体供給管
230 (第1の)溶剤供給源
236 空気供給管
241 ダイヤフラム
250 制御部
300、301 レベルセンサ
310 第2の溶剤供給源
320 洗浄装置
400 廃液容器
410 排液管
412 排液管
420 エッジリンスノズル
422 待機部
423 排液管
430 廃液流路
431 貯留空間
432 貯液カップ
440 排出口
450 フィルタ
451 本体部
452 突起部
453、454 貫通孔
W ウェハ
Claims (21)
- 基板にフォトリソグラフィ処理を行い、当該基板上に所定のパターンを形成する基板処理システムにおいて、
基板上に塗布液を塗布する塗布処理装置を含む基板の処理装置が鉛直方向に複数段に積層され、
前記塗布処理装置には、
基板を保持して回転させる回転保持部と、
前記回転保持部に保持された基板上に塗布液を供給する塗布液ノズルと、
前記回転保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられたカップと、
前記カップ内で回収された廃液を貯留する廃液貯留部と、
前記廃液貯留部内の廃液の高さを測定するレベルセンサと、
前記レベルセンサで測定された廃液の高さが所定の高さに達した場合、前記廃液貯留部から廃液を排出させるように、排液管を介して前記廃液貯留部に連通するポンプを制御する制御部と、が設けられ、
前記塗布液ノズルに塗布液を供給する塗布液供給装置を有し、
前記塗布液供給装置は、
内部に塗布液を貯留する塗布液供給源と、
前記塗布液供給源から前記塗布液ノズルに塗布液を供給するための塗布液供給管と、
前記塗布液供給管に設けられ、前記塗布液供給源から前記塗布液ノズルに塗布液を圧送するためのポンプと、
前記ポンプより前記塗布液ノズル側の前記塗布液供給管に設けられ、前記塗布液ノズルへの塗布液の供給を制御するバルブと、
前記ポンプと前記バルブとの間の前記塗布液供給管に設けられ、当該塗布液供給管に塗布液の溶剤を供給し、前記バルブを洗浄する洗浄機構と、を有し、
前記洗浄機構は、前記塗布液供給管と、前記溶剤を供給する洗浄媒体供給管とに接続された三方バルブを有し、
前記三方バルブには、前記溶剤の流れを制御するダイヤフラムが前記洗浄媒体供給管側に設けられ、
前記溶剤には、第1の溶剤と第2の溶剤の2種類の溶剤が用いられ、
前記洗浄媒体供給管には、前記第1の溶剤を貯留する第1の溶剤供給源と、前記第2の溶剤を貯留する第2の溶剤供給源とが接続されていることを特徴とする、基板処理システム。 - 基板にフォトリソグラフィ処理を行い、当該基板上に所定のパターンを形成する基板処理システムにおいて、
基板上に塗布液を塗布する塗布処理装置を含む基板の処理装置が鉛直方向に複数段に積層され、
前記塗布処理装置には、
基板を保持して回転させる回転保持部と、
前記回転保持部に保持された基板上に塗布液を供給する塗布液ノズルと、
前記回転保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられたカップと、
前記カップ内で回収された廃液を貯留する廃液貯留部と、
前記廃液貯留部内の廃液の高さを測定するレベルセンサと、
前記レベルセンサで測定された廃液の高さが所定の高さに達した場合、前記廃液貯留部から廃液を排出させるように、排液管を介して前記廃液貯留部に連通するポンプを制御する制御部と、が設けられ、
前記塗布液ノズルに塗布液を供給する塗布液供給装置を有し、
前記塗布液供給装置は、
内部に塗布液を貯留する塗布液供給源と、
前記塗布液供給源から前記塗布液ノズルに塗布液を供給するための塗布液供給管と、
前記塗布液供給管に設けられ、前記塗布液供給源から前記塗布液ノズルに塗布液を圧送するためのポンプと、
前記ポンプより前記塗布液ノズル側の前記塗布液供給管に設けられ、前記塗布液ノズルへの塗布液の供給を制御するバルブと、
前記ポンプと前記バルブとの間の前記塗布液供給管に設けられ、当該塗布液供給管に塗布液の溶剤を供給し、前記バルブを洗浄する洗浄機構と、を有し、
前記洗浄機構は、前記塗布液供給管に空気を供給し、前記バルブを洗浄することを特徴とする、基板処理システム。 - 前記洗浄機構は、前記塗布液供給管と、前記溶剤を供給する洗浄媒体供給管とに接続された三方バルブを有し、
前記三方バルブには、前記溶剤の流れを制御するダイヤフラムが前記洗浄媒体供給管側に設けられていることを特徴とする、請求項2に記載の基板処理システム。 - 前記塗布液ノズルは複数設けられ、当該複数の塗布液ノズルに対応して、前記塗布液供給管、前記バルブ及び前記三方バルブも複数設けられ、
前記洗浄媒体供給管は分岐して前記複数の三方バルブに接続されていることを特徴とする、請求項1又は3に記載の基板処理システム。 - 前記排液管は、前記カップと前記ポンプとを接続し、
前記廃液貯留部は、前記排液管に設けられた廃液容器であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理システム。 - 前記制御部は、レベルセンサで測定された廃液の高さに基づいて、前記廃液貯留部から廃液がオーバーフローしないように、前記カップからの廃液の排出を制御することを特徴とする、請求項5に記載の基板処理システム。
- 前記廃液容器の内部には、前記廃液が前記排液管に向かって流通する廃液流路が形成されていることを特徴とする、請求項5又は6に記載の基板処理システム。
- 前記廃液容器の内部には、前記廃液流路と前記排液管に接続され、当該廃液流路からの廃液を一時的に溜める貯液部が設けられていることを特徴とする、請求項7に記載の基板処理システム。
- 前記廃液貯留部は、前記カップ自体であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記カップの下部には、環状の気液分離部が形成され、
前記気液分離部は、前記排液管が接続され且つ前記廃液貯留部として機能する外側領域と、前記カップ内を排気する排気管が接続された内側領域とに区画され、
前記外側領域には、常時所定の高さの廃液が貯留されていることを特徴とする、請求項9に記載の基板処理システム。 - 前記制御部は、レベルセンサで測定された廃液の高さに基づいて、前記廃液貯留部から廃液がオーバーフローしないように、前記塗布液ノズルを制御することを特徴とする、請求項9又は10に記載の基板処理システム。
- 基板にフォトリソグラフィ処理を行い、当該基板上に所定のパターンを形成する基板処理システムにおいて、
基板上に塗布液を塗布する塗布処理装置を含む基板の処理装置が鉛直方向に複数段に積層され、
前記塗布処理装置には、
基板を保持して回転させる回転保持部と、
前記回転保持部に保持された基板上に塗布液を供給する塗布液ノズルと、
前記回転保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられたカップと、
前記回転保持部に保持された基板の裏面にリンス液を噴射するバックリンスノズルと、
前記回転保持部の下方に設けられ、当該回転保持部に保持された基板の裏面側に落下する廃液を回収するためのカップベースと、
前記カップ内と前記カップベース内で回収された廃液を貯留する廃液貯留部と、
前記廃液貯留部内の廃液の高さを測定するレベルセンサと、
前記レベルセンサで測定された廃液の高さが所定の高さに達した場合、前記廃液貯留部から廃液を排出させるように、排液管を介して前記廃液貯留部に連通するポンプを制御する制御部と、が設けられ、
前記排液管は、前記カップ及び前記カップベースと前記ポンプとを接続し、
前記廃液貯留部は、前記排液管に設けられた廃液容器であり、
前記制御部は、レベルセンサで測定された廃液の高さに基づいて、前記廃液貯留部から廃液がオーバーフローしないように、前記カップと前記カップベースからの廃液の排出を制御し、
前記廃液容器の内部は、前記カップからの廃液が前記排液管に向かって流通する廃液流路と、前記カップベースからの廃液を貯留する貯留空間とに区画され、
前記廃液容器の内部には、前記廃液流路及び前記貯留空間と前記排液管とに接続され、前記廃液流路と前記貯留空間からの廃液を一時的に溜める貯液部が設けられ、
前記廃液流路には、当該廃液流路の内部を洗浄するためのリンス液を供給するリンス液供給管が接続されていることを特徴とする、基板処理システム。 - 前記塗布液ノズルに塗布液を供給する塗布液供給装置を有し、
前記塗布液供給装置は、
内部に塗布液を貯留する塗布液供給源と、
前記塗布液供給源から前記塗布液ノズルに塗布液を供給するための塗布液供給管と、
前記塗布液供給管に設けられ、前記塗布液供給源から前記塗布液ノズルに塗布液を圧送するためのポンプと、
前記ポンプより前記塗布液ノズル側の前記塗布液供給管に設けられ、前記塗布液ノズルへの塗布液の供給を制御するバルブと、
前記ポンプと前記バルブとの間の前記塗布液供給管に設けられ、当該塗布液供給管に塗布液の溶剤を供給し、前記バルブを洗浄する洗浄機構と、を有することを特徴とする、請求項12に記載の基板処理システム。 - 前記洗浄機構は、前記塗布液供給管と、前記溶剤を供給する洗浄媒体供給管とに接続された三方バルブを有し、
前記三方バルブには、前記溶剤の流れを制御するダイヤフラムが前記洗浄媒体供給管側に設けられていることを特徴とする、請求項13に記載の基板処理システム。 - 前記塗布液ノズルは複数設けられ、当該複数の塗布液ノズルに対応して、前記塗布液供給管、前記バルブ及び前記三方バルブも複数設けられ、
前記洗浄媒体供給管は分岐して前記複数の三方バルブに接続されていることを特徴とする、請求項14に記載の基板処理システム。 - 前記溶剤には、第1の溶剤と第2の溶剤の2種類の溶剤が用いられ、
前記洗浄媒体供給管には、前記第1の溶剤を貯留する第1の溶剤供給源と、前記第2の溶剤を貯留する第2の溶剤供給源とが接続されていることを特徴とする、請求項14又は15に記載の基板処理システム。 - 前記洗浄機構は、前記塗布液供給管に空気を供給し、前記バルブを洗浄することを特徴とする、請求項13〜16のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記廃液貯留部は、前記カップ内で回収された廃液に加えて、前記塗布処理装置の内部であって前記カップ外で回収された廃液を貯留することを特徴とする、請求項1〜17のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記カップ内の廃液を排出する排出口には、当該廃液を通過させるためのフィルタが設けられ、
前記フィルタは、本体部と当該本体部から突起した突起部とを有し、
前記本体部と前記突起部には、前記廃液が通過する貫通孔がそれぞれ形成されていることを特徴とする、請求項1〜18のいずれかに記載の基板処理システム。 - 前記塗布処理装置の下層には、当該塗布処理装置から排出された廃液を回収する廃液回収装置が設けられ、
廃液回収装置は、前記排液管に接続された廃液回収部を有し、
前記排液管は、前記カップから鉛直下方に延伸する鉛直配管と、前記鉛直配管から前記廃液回収部に所定の角度で傾斜して延伸する傾斜配管とを有することを特徴とする、請求項1〜19のいずれかに記載の基板処理システム。 - 前記カップの内部にリンス液を供給し、当該カップの内部を洗浄する際、
前記制御部は、前記ポンプを制御して前記リンス液を前記排液管に供給し、当該排液管を洗浄することを特徴とする、請求項1〜20のいずれかに記載の基板処理システム。
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