JP5948097B2 - 基板の成膜装置 - Google Patents
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Description
また、吸引口からも異物を回収することができるため、カップ部内をより清浄に保つことができる。
配管は、霧化部と回収タンクを接続し、霧化された回収液を送る回収配管と、回収タンクと貯留部を接続し、液化された回収液を送る供給配管とを備え、この供給配管の途中には、回収タンクで回収された回収液を貯留部へ供給するポンプが設けられている構成としてもよい。
このような構成によると、液化された回収液を回収タンクから供給配管を経由して貯留部へ供給することにより、回収液を再利用することができる。
このような構成によると、フィルターによって異物を除去した上で回収液を貯留部に供給することができる。したがって、貯留部とポンプが異物で汚れることを回避できる。
このような構成によると、貯留部の外周端部に形成された返し部によって回収液を霧化できるため、基板の成膜装置全体を簡素化して小型化できる。
このような構成によると、スプレーノズルによって塗布液を霧化して基板に吹き付けた際に飛散した塗布液を回収液で回収することができる。
このような構成によると、塗布液の液滴をさらに微小化させることができる。
本発明の実施形態1を図1ないし図4の図面を参照しながら説明する。本実施形態における基板の成膜装置11は、基板保持部21に保持された基板Bに対して、回転霧化式のスプレーノズルN1を用いてレジスト液(本発明の「塗布液」の一例)を吹き付けて塗布する装置である。この成膜装置11は、水平面に平行な床面に載置されて用いられる。なお、このような成膜装置11は、クリーンルーム内に設置され、成膜装置11内の空気は、ヘパフィルタを介して循環されており、Class100の清浄度に保たれている。
次に、本発明の実施形態2を図5の図面を参照しながら説明する。本実施形態の成膜装置12は、実施形態1の成膜装置11の塗布部20の構成を一部変更したものであって、実施形態1と同じ構成については同一の符号を用いるものとし、実施形態1と同じ構成、作用、および効果については重複するため、その説明を省略するものとする。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記実施形態では、回転霧化式のスプレーノズルN1を用いてレジスト液を塗布しているものの、本発明によると、スピンコート方式のノズルによってレジスト液を塗布してもよい。
20,60…塗布部
22,61…カップ部
22A,62…側壁
23…貯留部
23A…外周端部
23D…返し部
24…霧化部
25,66…排気口
30…回収部
31…回収タンク
32…回収ブース
33…排気接続部(排気部)
40…回収配管(配管)
50…供給配管(配管)
64…囲い壁
B…基板
F…フィルター
L…回収液
P…ポンプ
Claims (6)
- 基板に塗布液を塗布する塗布部と、前記基板に成膜されなかった前記塗布液を回収する回収部と、前記塗布部と前記回収部を接続する配管とを備えた基板の成膜装置であって、
前記塗布部は、前記基板の周りを囲むカップ部と、前記カップ部の下方において前記回収液を貯留する貯留部と、前記回収液を霧化させつつ前記カップ部の外部に排出する霧化部とを備え、
前記回収部は、霧化された前記回収液を液化する回収ブースと、液化された前記回収液を収容する回収タンクと、前記霧化部で霧化された前記回収液を前記回収ブースに向けて吸引する排気部とを備え、
前記カップ部は、前記基板を全周に亘って囲む側壁を備え、前記霧化部は、前記側壁の上方に配された囲い壁を備えており、前記側壁の上端部と前記囲い壁の間には、前記配管を経由して前記回収タンクに接続された吸引口が設けられている基板の成膜装置。 - 前記配管は、前記霧化部と前記回収タンクを接続し、霧化された前記回収液を送る回収配管と、前記回収タンクと前記貯留部を接続し、液化された前記回収液を送る供給配管とを備え、この供給配管の途中には、前記回収タンクで回収された前記回収液を前記貯留部へ供給するポンプが設けられている請求項1に記載の基板の成膜装置。
- 前記供給配管における前記ポンプの上流側には、異物除去用のフィルターが設けられている請求項2に記載の基板の成膜装置。
- 前記貯留部の外周端部は、前記霧化部の内部に収容されており、同貯留部の外周端部には、返し部が形成されている請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の基板の成膜装置。
- 前記塗布部は、前記塗布液を霧化して前記基板に吹き付けるスプレーノズルを備える請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の基板の成膜装置。
- 前記スプレーノズルは、回転霧化式のスプレーノズルである請求項5に記載の基板の成膜装置。
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