JP2010104884A - 薬液のフィルタリング方法 - Google Patents
薬液のフィルタリング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010104884A JP2010104884A JP2008278179A JP2008278179A JP2010104884A JP 2010104884 A JP2010104884 A JP 2010104884A JP 2008278179 A JP2008278179 A JP 2008278179A JP 2008278179 A JP2008278179 A JP 2008278179A JP 2010104884 A JP2010104884 A JP 2010104884A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical
- filter
- amount
- tank
- filtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/40—Concentrating samples
- G01N1/4077—Concentrating samples by other techniques involving separation of suspended solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/40—Concentrating samples
- G01N1/4077—Concentrating samples by other techniques involving separation of suspended solids
- G01N2001/4088—Concentrating samples by other techniques involving separation of suspended solids filtration
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【課題】より適切にフィルタを交換することが可能な薬液のフィルタリング方法を提供する。
【解決手段】第1のタンクに貯留された第1の薬液をフィルタによりフィルタリングし、このフィルタリングにより得られた第2の薬液を第2のタンクに貯留する、薬液のフィルタリング方法であって、第1回目から第n回目までに第1のタンクに各々貯留された各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量を取得する工程と、積算捕獲量と予め規定されたフィルタの限界捕獲量とを比較し、この比較結果に基づいて、フィルタを交換する工程と、を備える。
【選択図】図2
【解決手段】第1のタンクに貯留された第1の薬液をフィルタによりフィルタリングし、このフィルタリングにより得られた第2の薬液を第2のタンクに貯留する、薬液のフィルタリング方法であって、第1回目から第n回目までに第1のタンクに各々貯留された各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量を取得する工程と、積算捕獲量と予め規定されたフィルタの限界捕獲量とを比較し、この比較結果に基づいて、フィルタを交換する工程と、を備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、薬液の製造工程、リソグラフィ工程、洗浄工程等に用いられる薬液のフィルタリング方法に関する。
従来の半導体装置には、使用する薬液から不純物をフィルタリングするフィルタを備えるものがある(例えば、特許文献1参照。)。
例えば、従来の薬液の製造工程、精製工程で使用されているフィルタは、該フィルタの出口の圧力がモニタされ、その圧力低下により該フィルタの劣化が判断され、この判断結果に基づいて、その交換時期が管理される。
また、他のフィルタの交換時期の管理方法には、フィルタリングの時間をモニタし、このフィルタリングの時間が規定時間を超えれば、フィルタが劣化したと判断するものもある。
しかしながら、フィルタのポアサイズは規格が決められているものの、一定ではなく分布を持っている。このため、捕獲物でフィルタの小さいポアサイズの穴が詰まっても流量が低下せず、フィルタの劣化がモニタされない場合がある。さらに、フィルタの比較的大きい穴を薬液と一緒に不純物も通過し、薬液中の不純物が増加し得る。
したがって、フィルタリングの時間をモニタするだけでは、適切にフィルタの交換時期の管理することができない。
このように、従来の薬液のフィルタリング方法では、所望の不純物規格の薬液が製造できないという問題が生じる。
特開2008−72096号公報
本発明は、上記課題を解決するものであり、より適切にフィルタを交換することが可能な薬液のフィルタリング方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係る薬液のフィルタリング方法は、
第1のタンクに貯留された第1の薬液をフィルタによりフィルタリングし、このフィルタリングにより得られた第2の薬液を第2のタンクに貯留する、薬液のフィルタリング方法であって、
前記第1のタンクに第n(n:整数≧1)回目に貯留される前記第1の薬液を検査し、前記第1の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第1の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第1の測定値を取得する工程と、
前記第1のタンクに第n回目に貯留された前記第1の薬液が前記フィルタを通過した通過液量を測定する工程と、
前記第1のタンクに前記第n回目に貯留された前記第1の薬液をフィルタリングして前記第2のタンクに第n回目に貯留した前記第2の薬液を検査し、前記第2の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第2の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第2の測定値を取得する工程と、
前記第1の測定値から前記第2の測定値を減算して得られた減算値に前記通過液量を乗算することにより、前記第1の薬液に含まれていた不純物のうち前記フィルタにより捕獲された不純物の捕獲量を取得する工程と、
第1回目から第n回目までに前記第1のタンクに各々貯留された各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量を取得する工程と、
前記積算捕獲量と予め規定された前記フィルタの限界捕獲量とを比較し、この比較結果に基づいて、前記フィルタを交換する工程と、を備える
ことを特徴とする。
第1のタンクに貯留された第1の薬液をフィルタによりフィルタリングし、このフィルタリングにより得られた第2の薬液を第2のタンクに貯留する、薬液のフィルタリング方法であって、
前記第1のタンクに第n(n:整数≧1)回目に貯留される前記第1の薬液を検査し、前記第1の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第1の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第1の測定値を取得する工程と、
前記第1のタンクに第n回目に貯留された前記第1の薬液が前記フィルタを通過した通過液量を測定する工程と、
前記第1のタンクに前記第n回目に貯留された前記第1の薬液をフィルタリングして前記第2のタンクに第n回目に貯留した前記第2の薬液を検査し、前記第2の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第2の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第2の測定値を取得する工程と、
前記第1の測定値から前記第2の測定値を減算して得られた減算値に前記通過液量を乗算することにより、前記第1の薬液に含まれていた不純物のうち前記フィルタにより捕獲された不純物の捕獲量を取得する工程と、
第1回目から第n回目までに前記第1のタンクに各々貯留された各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量を取得する工程と、
前記積算捕獲量と予め規定された前記フィルタの限界捕獲量とを比較し、この比較結果に基づいて、前記フィルタを交換する工程と、を備える
ことを特徴とする。
本発明の他の態様に係る薬液のフィルタリング方法は、
第1の薬液をフィルタによりフィルタリングし、このフィルタリングにより第2の薬液を得る、薬液のフィルタリング方法であって、
第n(n:整数≧1)回目にフィルタリングされるべき前記第1の薬液を検査し、前記第1の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第1の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第1の測定値を取得する工程と、
第n回目にフィルタリングされるべき前記第1の薬液が前記フィルタを通過した通過液量を測定する工程と、
第n回目にフィルタリングされるべき前記第1の薬液をフィルタリングして第n回目に得られた前記第2の薬液を検査し、前記第2の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第2の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第2の測定値を取得する工程と、
前記第1の測定値から前記第2の測定値を減算して得られた減算値に前記通過液量を乗算することにより、前記第1の薬液に含まれていた不純物のうち前記フィルタにより捕獲された不純物の捕獲量を取得する工程と、
第1回目から第n回目までにフィルタリングされた各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量を取得する工程と、
前記積算捕獲量と予め規定された前記フィルタの限界捕獲量とを比較し、この比較結果に基づいて、前記フィルタを交換する工程と、を備える
ことを特徴とする。
第1の薬液をフィルタによりフィルタリングし、このフィルタリングにより第2の薬液を得る、薬液のフィルタリング方法であって、
第n(n:整数≧1)回目にフィルタリングされるべき前記第1の薬液を検査し、前記第1の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第1の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第1の測定値を取得する工程と、
第n回目にフィルタリングされるべき前記第1の薬液が前記フィルタを通過した通過液量を測定する工程と、
第n回目にフィルタリングされるべき前記第1の薬液をフィルタリングして第n回目に得られた前記第2の薬液を検査し、前記第2の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第2の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第2の測定値を取得する工程と、
前記第1の測定値から前記第2の測定値を減算して得られた減算値に前記通過液量を乗算することにより、前記第1の薬液に含まれていた不純物のうち前記フィルタにより捕獲された不純物の捕獲量を取得する工程と、
第1回目から第n回目までにフィルタリングされた各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量を取得する工程と、
前記積算捕獲量と予め規定された前記フィルタの限界捕獲量とを比較し、この比較結果に基づいて、前記フィルタを交換する工程と、を備える
ことを特徴とする。
本発明の一態様に係る薬液のフィルタリング方法によれば、より適切にフィルタを交換することができる。
以下、本発明を適用した各実施例について図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の実施例1に係る薬液のフィルタリング方法が適用される工程の構成を示す図である。
図1に示すように、第1のタンク(原料タンク)1と第2のタンク(製品タンク)とは、第1の配管3、第2の配管4により接続されている。
なお、フィルタリング前の薬液を第1の薬液(原料)とし、第1のタンク1に貯留されるものとする。また、フィルタリング後の薬液を第2の薬液(製品)とし、第2のタンク2に貯留されるものとする。
また、第1、第2の配管3、4は、SUS(Stainless Used Steel)配管、電解研磨を施した配管、又は、テフロン(登録商標)コートを施した配管など、薬液の性質、製品に求められる品質を考慮した配管で構成されている。
第1の配管3と第2の配管4との間には、フィルタ5が設けられている。このフィルタ5は、第1の薬液に含まれる不純物を除去するようになっている。この不純物は、例えば、パーティクル、金属、または、有機物等である。
なお、フィルタ5は、例えば、並列に複数本並べたり、多段に配置したりしてもよい。
カウンタ6a、6bは、フィルタ5の第1の薬液の通過液量を測定するようになっている。このカウンタ6aは、例えば、フィルタ5の入口に設けられている。また、カウンタ6bはフィルタ5の出口に設けられている。
以上のような構成による薬液のフィルタリング工程は、第1のタンク1に貯留された第1の薬液をフィルタ5によりフィルタリングし、このフィルタリングにより得られた第2の薬液を第2のタンク2に貯留するものである。
なお、本実施例においては、第2のタンク2に貯留した第2の薬液を回収した後、新たに第1の薬液を第1のタンク1に貯留するものとする。
ここで、以上のような構成のフィルタリング工程における、薬液のフィルタリング方法の一例について説明する。
図2は、本発明の実施例1に係る薬液のフィルタリング方法のフローの一例を示すフローチャートである。
先ず、未使用(新品)のフィルタ5をフィルタリング工程に設置する。そして、原料である第1の薬液を第1のタンク1に貯留する。なお、既述のように、第2のタンク2に貯留した第2の薬液を回収した後、新たに第1の薬液を第1のタンク1に貯留するものとする。
そして、第1の薬液(原料)の異物数(不純物数)の検査あるいは金属不純物濃度あるいは有機不純物濃度の検査を行う。この検査は、第1の薬液が第1のタンクに貯留される前に、実施されてもよい。
すなわち、未使用のフィルタ5を設置後、第1のタンク1に第1回目に貯留される第1の薬液を検査し、第1の薬液に含まれる不純物の濃度または第1の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第1の測定値M11を取得する(ステップS1)。
なお、未使用のフィルタ5を設置後、第1のタンク1に第n(n:整数≧1)回目に第1の薬液を貯留した状態においては、第1のタンク1に第n回目に貯留される第1の薬液を検査し、第1の薬液に含まれる不純物の濃度または第1の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第1の測定値M1nを取得することになる。
次に、未使用のフィルタ5を設置後、第1のタンク1に第1回目に貯留された第1の薬液をフィルタ5によりフィルタリングする。このとき、カウンタ6a、6bが第1のタンク1に第1回目に貯留された第1の薬液がフィルタ5を通過した通過液量L1を測定する(ステップS2)。
なお、未使用のフィルタ5を設置後、第1のタンク1に第n(n:整数≧1)回目に第1の薬液を貯留した状態においては、第1のタンク1に第n回目に貯留された第1の薬液をフィルタ5によりフィルタリングする。このとき、カウンタ6a、6bが第1のタンク1に第n回目に貯留された第1の薬液がフィルタ5を通過した通過液量Lnを測定することになる。
次に、フィルタ5を通過後の第2の薬液(製品)の異物数の検査あるいは金属不純物濃度あるいは有機不純物濃度の検査を行う(ステップS3)。この検査は、第2の薬液が第2のタンクに貯留される前に、実施されてもよい。
すなわち、第1のタンク1に第1回目に貯留された第1の薬液をフィルタリングして第2のタンク2に第1回目に貯留した第2の薬液を検査する。これにより、第2の薬液に含まれる不純物の濃度または第2の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第2の測定値M21を取得する。
なお、未使用のフィルタ5を設置後、第1のタンク1に第n回目に第1の薬液を貯留した状態においては、第1のタンク1に第n回目に貯留された第1の薬液をフィルタリングして第2のタンク2に第n回目に貯留した第2の薬液を検査する。これにより、第2の薬液に含まれる不純物の濃度または第2の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第2の測定値M2nを取得することとなる。
次に、ステップS4において、第1の測定値M11から第2の測定値M21を減算して得られた減算値に通過液量L1を乗算することにより、第1の薬液に含まれていた不純物のうちフィルタ5により捕獲された不純物の捕獲量X1を取得する。
なお、未使用のフィルタ5を設置後、第1のタンク1に第n回目に第1の薬液を貯留した状態においては、第1の測定値M1nから第2の測定値M2nを減算して得られた減算値に通過液量Lnを乗算することにより、第1の薬液に含まれていた不純物のうちフィルタ5により捕獲された不純物の捕獲量Xnを取得することとなる。
ここで、第n回目のフィルタ5の捕獲量Xnは、式(1)のように表される。なお、式(1)において、既述のように、M1nは第n回目の第1の測定値を、M2nは第n回目の第2の測定値を、Lnは第n回目のフィルタ5の通過液量を、表す。
Xn=(M1n−M2n)×Ln・・・(1)
Xn=(M1n−M2n)×Ln・・・(1)
さらに、第1回目から第n回目までに第1のタンク1に各々貯留された各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量Σを取得する(ステップS4)。
すなわち、第1回目から第n回目までのフィルタ5の積算捕獲量Σは、式(2)のように表される。
Σ=X1+X2+・・・・・・+Xn・・・(2)
Σ=X1+X2+・・・・・・+Xn・・・(2)
次に、積算捕獲量Σと予め規定されたフィルタ5の限界捕獲量Xlimitとを比較する(ステップS5)。なお、この限界捕獲量Xlimitは、例えば、フィルタの吸着性能に基づいて決定される。
積算捕獲量Σが限界捕獲量Xlimit未満の場合には、ステップS1に戻り、次の原料(第2回目(第n+1回目)に第1のタンク1に貯留される第1の薬液)の検査を行う。以降は、既述の場合と同様に、ステップS2以降のフローが実施される。
一方、積算捕獲量Σと限界捕獲量Xlimitを比較し、積算捕獲量Σが限界捕獲量Xlimit以上の場合は、フィルタ5を交換し、フローを終了する(ステップS6)。
このように、積算捕獲量Σと予め規定されたフィルタ5の限界捕獲量Xlimitとの比較結果に基づいて、フィルタ5を新しいものと交換する。
なお、上述の積算捕獲量Σとの比較において、限界捕獲量Xlimitに代えて、限界捕獲量Xlimitから1回当たりの捕獲量を引いた値、或いは、限界捕獲量Xlimitに安全係数α(0<α<1)を乗じた値を用いてもよい。これにより、フィルタ5の捕獲量が限界捕獲量Xlimitを超える前に、より確実にフィルタ5を交換することができる。
以上の薬液のフィルタリング方法のフローにより、フィルタ5の交換時期をより適切に判断することができる。
さらに、フィルタ5における捕獲量を調査、解析することで、フィルタのポアサイズ、並列数、段数などを最適化することができる。すなわち、製造工程あるいは精製工程におけるフィルタ構成の最適化を図ることができる。
以上のように、本実施例に係る薬液のフィルタリング方法によれば、より適切にフィルタを交換することができる。
なお、本実施例においては、2つのタンク間を流れる薬液について説明した。しかし、薬液をフィルタによりフィルタリングする構成であれば、本発明を適用可能である。
本実施例2では、薬液をフィルタリングするフィルタを備えた薬液塗布装置の例について述べる。
従来、半導体リソグラフィプロセスの微細化、高精度化の進展に伴い、レジスト製造時の材料ロット間感度差が無視できなくなっている。これまで、例えば、走査型電子顕微鏡(CD−SEM)を用いてレジストパターン寸法を測定し、後続工程の処理条件(例えば、露光工程の露光量)を補正することで寸法精度を確保してきた。
しかし、上記場合、レジスト材料ロット間感度差のように、レジストの切り換わりに伴う短時間の感度変動に対しては、この変動に追従して補正することが困難であった。
そこで、本実施例2では、使用する薬液材料ロットの実効的な切り換わりタイミングを把握することが可能な薬液塗布装置について提案する。
図3は、本発明の実施例2に係る薬液塗装置201を含むリソグラフィ工程200の構成の一例を示す図である。
図3に示すように、リソグラフィ工程200には、薬液塗布装置201と、APC(Advanced Process Control)システム202と、露光装置203と、が設けられている。
薬液塗布装置201は、レジストボトル201aと、サブタンク201bと、ドレインバルブ201cと、サブタンク液面センサ201dと、モニタ用試料投入器201eと、検出器201fと、レジストフィルタ201gと、チューブフラムポンプ201hと、レジストノズル201iと、コータカップ201jと、第1の配管201kと、第2の配管201lと、第3の配管201mと、第4の配管201nと、を備える。
チューブフラムポンプ201hを駆動することにより、レジストボトル201aに貯留されたレジスト薬液は、第1の配管201kを介して、サブタンク201bに貯留される。
このサブタンク201bに貯留されたレジスト薬液は、チューブフラムポンプ201hを駆動することにより、第2の配管201lを介して、レジストフィルタ201gを通過する。このレジストフィルタ201gを通過したレジスト液は、第3の配管201mを介して、チューブフラムポンプ201hを通過する。このチューブフラムポンプ201hを通過したレジスト薬液は、第4の配管201n、レジストノズル201iを介して、コータカップ201jに供給される。
ここで、サブタンク201b内のレジスト量は、サブタンク液面センサ201dにより管理されている。サブタンク液面センサ201dは、サブタンク201b内のレジストの液面が規定レベルよりも低下した場合、レジストボトル201aの交換を促すアラームを発報するようになっている。
このアラームの発報に応じて、レジストボトル201aが交換される。新たなレジストボトル201aを接続した後、サブタンク201bのドレインバルブ201cを開けてサブタンク201b内に新しいレジスト薬液を満たす。その後、薬液塗布装置201による処理を再開させる。
該アラーム発生後にコータカップ201jに供給されたレジスト量が規定量を超えたときに、モニタ用試料投入器201eから第2の配管201l内にモニタ用試料を投入する。
なお、ここでは、モニタ用試料投入器201eは、サブタンク201bの出力側付近の第2の配管201lに設置されている。また、該規定量は、ここでは、例えば、該規定レベルに液面がある場合にサブタンク201bに貯留されているレジスト量とする。
また、該モニタ用試料の形状は、例えば、第2の配管201lの内径以下の直径を有する球形である。また、該モニタ用試料は、レジスト薬液を汚染しない不透明な素材(例えば、ポリエチレン)で構成されている。
また、該モニタ用試料は、レジスト薬液と比重が等しくなるように設計されている(例えば、中空の構成を有する)。このため、レジスト薬液の移動に追従して配管内を移動することができるようになっている。
モニタ用試料は、レジスト薬液の消費に伴って、レジスト薬液とともに第2の配管201l内を移動する。そして、該モニタ用紙料は、レジストフィルタ201gに捕捉される前に検出器201fにより検知される。
この検出器201fは、例えば、赤外線を用いた光透過型センサで構成されている。この検出器201fは、第2の配管201l内の不透明なモニタ用試料の通過を、赤外線を用いて検出する。なお、モニタ用試料を検出するための光は、上述の赤外線以外にも、レジスト薬液を感光しない波長を有する光を用いてもよい。
その後、モニタ用試料はレジストフィルタ201gに捕獲される。
検出器201fがモニタ用試料を検出した後、コータカップ201jに供給されたレジスト量が、既知の容量に達した時点を、制御回路(図示せず)がレジスト薬液の切り換わりのタイミングと認識し、APCシステム202に伝達する。なお、該制御回路は、コータカップ201jに供給されたレジスト量をディスペンスの回数等により把握することができるようになっている。なお、ここでは、該既知の容量は、第3、第4の配管201m、201n、チューブフラムポンプ201hの容量である。
そして、APCシステム202は、レジストボトル201と処理ウェハを対応させるとともにレジストボトル製造時の性能検査データを参照し、各ウェハ露光時の感度補正値を計算する。そして、APCシステム202は、この計算結果に基づいて、露光装置203の露光量を補正する制御を行う。
これにより、処理ウェハのレジスト寸法精度を向上することができる。
各処理ウェハに使用されたレジスト薬液について、より正確な履歴管理行うことができる。
以上のように、本実施例に係る薬液塗布装置によれば、薬液材料ロット(薬液ボトル)の実効的な切り換わりタイミングをより正確に把握することができる。
1 第1のタンク(原料タンク)
2 第2のタンク(製品タンク)
3 第1の配管
4 第2の配管
5 フィルタ
6a、6b カウンタ
200 リソグラフィ工程
201 薬液塗布装置
201a レジストボトル
201b サブタンク
201c ドレインバルブ
201d サブタンク液面センサ
201e モニタ用試料投入器
201f 検出器
201g レジストフィルタ
201h チューブフラムポンプ
201i レジストノズル
201j コータカップ
201k 第1の配管
201l 第2の配管
201m 第3の配管
201n 第4の配管
202 APCシステム
203 露光装置
2 第2のタンク(製品タンク)
3 第1の配管
4 第2の配管
5 フィルタ
6a、6b カウンタ
200 リソグラフィ工程
201 薬液塗布装置
201a レジストボトル
201b サブタンク
201c ドレインバルブ
201d サブタンク液面センサ
201e モニタ用試料投入器
201f 検出器
201g レジストフィルタ
201h チューブフラムポンプ
201i レジストノズル
201j コータカップ
201k 第1の配管
201l 第2の配管
201m 第3の配管
201n 第4の配管
202 APCシステム
203 露光装置
Claims (5)
- 第1のタンクに貯留された第1の薬液をフィルタによりフィルタリングし、このフィルタリングにより得られた第2の薬液を第2のタンクに貯留する、薬液のフィルタリング方法であって、
前記第1のタンクに第n(n:整数≧1)回目に貯留される前記第1の薬液を検査し、前記第1の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第1の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第1の測定値を取得する工程と、
前記第1のタンクに第n回目に貯留された前記第1の薬液が前記フィルタを通過した通過液量を測定する工程と、
前記第1のタンクに前記第n回目に貯留された前記第1の薬液をフィルタリングして前記第2のタンクに第n回目に貯留した前記第2の薬液を検査し、前記第2の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第2の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第2の測定値を取得する工程と、
前記第1の測定値から前記第2の測定値を減算して得られた減算値に前記通過液量を乗算することにより、前記第1の薬液に含まれていた不純物のうち前記フィルタにより捕獲された不純物の捕獲量を取得する工程と、
第1回目から第n回目までに前記第1のタンクに各々貯留された各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量を取得する工程と、
前記積算捕獲量と予め規定された前記フィルタの限界捕獲量とを比較し、この比較結果に基づいて、前記フィルタを交換する工程と、を備える
ことを特徴とする薬液のフィルタリング方法。 - 前記積算捕獲量が前記限界捕獲量以上の場合は、前記フィルタを交換する
ことを特徴とする請求項1に記載の薬液のフィルタリング方法。 - 前記通過液量を測定するカウンタが、前記フィルタの入口または出口に設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の薬液のフィルタリング方法。 - 前記不純物は、パーティクル、金属、または、有機物であることを特徴とする請求項1ないし3の何れかに記載の薬液のフィルタリング方法。
- 第1の薬液をフィルタによりフィルタリングし、このフィルタリングにより第2の薬液を得る、薬液のフィルタリング方法であって、
第n(n:整数≧1)回目にフィルタリングされるべき前記第1の薬液を検査し、前記第1の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第1の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第1の測定値を取得する工程と、
第n回目にフィルタリングされるべき前記第1の薬液が前記フィルタを通過した通過液量を測定する工程と、
第n回目にフィルタリングされるべき前記第1の薬液をフィルタリングして第n回目に得られた前記第2の薬液を検査し、前記第2の薬液に含まれる不純物の濃度または前記第2の薬液に含まれる不純物の単位体積当たりの個数である第2の測定値を取得する工程と、
前記第1の測定値から前記第2の測定値を減算して得られた減算値に前記通過液量を乗算することにより、前記第1の薬液に含まれていた不純物のうち前記フィルタにより捕獲された不純物の捕獲量を取得する工程と、
第1回目から第n回目までにフィルタリングされた各々の第1の薬液に対応する捕獲量を積算することにより、積算捕獲量を取得する工程と、
前記積算捕獲量と予め規定された前記フィルタの限界捕獲量とを比較し、この比較結果に基づいて、前記フィルタを交換する工程と、を備える
ことを特徴とする薬液のフィルタリング方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008278179A JP2010104884A (ja) | 2008-10-29 | 2008-10-29 | 薬液のフィルタリング方法 |
US12/561,768 US8097169B2 (en) | 2008-10-29 | 2009-09-17 | Method for filtering chemical |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008278179A JP2010104884A (ja) | 2008-10-29 | 2008-10-29 | 薬液のフィルタリング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010104884A true JP2010104884A (ja) | 2010-05-13 |
Family
ID=42116468
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008278179A Abandoned JP2010104884A (ja) | 2008-10-29 | 2008-10-29 | 薬液のフィルタリング方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8097169B2 (ja) |
JP (1) | JP2010104884A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014216471A (ja) * | 2013-04-25 | 2014-11-17 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49111100A (ja) * | 1973-02-27 | 1974-10-23 | ||
JPS63135586A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-06-07 | 三菱重工業株式会社 | ふるい分け装置 |
JP2002233716A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-20 | Yaskawa Electric Corp | 浄水処理方法 |
JP2008080193A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Fujitsu Ltd | 濾過システム及び濾過方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4263805A (en) * | 1979-10-10 | 1981-04-28 | Teledyne Industries, Inc. | Solid impurity detector |
US4304663A (en) * | 1981-01-19 | 1981-12-08 | Manders Logan J | Oil filter apparatus |
US5458767A (en) * | 1994-08-10 | 1995-10-17 | Parker-Hannifin Corporation | Fuel filter assembly with dual filter media and by-pass device |
US5871651A (en) * | 1997-04-02 | 1999-02-16 | Gilbarco Inc. | Electronic filter status sensor |
US6596174B1 (en) * | 1998-09-11 | 2003-07-22 | Alexander C. Marcus | Diesel fuel cleaning and re-circulation system |
US6652740B2 (en) * | 2001-09-10 | 2003-11-25 | Honeywell International Inc. | Pressure sensing fluid filter system |
JP4985191B2 (ja) | 2006-08-15 | 2012-07-25 | 東京エレクトロン株式会社 | バッファタンク、中間貯留装置、液処理装置及び処理液の供給方法 |
-
2008
- 2008-10-29 JP JP2008278179A patent/JP2010104884A/ja not_active Abandoned
-
2009
- 2009-09-17 US US12/561,768 patent/US8097169B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49111100A (ja) * | 1973-02-27 | 1974-10-23 | ||
JPS63135586A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-06-07 | 三菱重工業株式会社 | ふるい分け装置 |
JP2002233716A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-20 | Yaskawa Electric Corp | 浄水処理方法 |
JP2008080193A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Fujitsu Ltd | 濾過システム及び濾過方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014216471A (ja) * | 2013-04-25 | 2014-11-17 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8097169B2 (en) | 2012-01-17 |
US20100102000A1 (en) | 2010-04-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103813863B (zh) | 清洁设备 | |
KR20130085220A (ko) | 역삼투 막의 막오염 진단 기능을 가지는 해수담수화장치 | |
WO2011042254A1 (de) | Biosensorvorrichtung mit filterüberwachungseinrichtung | |
WO2019054018A1 (ja) | クーラント液処理システム | |
JP4543799B2 (ja) | 水質評価方法、該方法を用いる超純水評価装置及び超純水製造システム | |
JP2010104884A (ja) | 薬液のフィルタリング方法 | |
TWI441272B (zh) | 監測蝕刻製程的方法 | |
JP6984875B2 (ja) | 薬液供給装置 | |
JP2013506839A (ja) | 全有機炭素(toc)流体センサー | |
JP2010044022A (ja) | 検水の連続モニタリング方法および装置 | |
WO2021059754A1 (ja) | 濃度監視システム、濃度管理システムおよび濃度監視方法 | |
JP4591702B2 (ja) | 膜処理装置及び膜損傷検知方法 | |
KR20070079695A (ko) | 반도체 웨이퍼의 세정 설비 | |
JP5534329B2 (ja) | 粒子計測式水質分析装置 | |
US20060160239A1 (en) | Method of measuring a level of contamination in a chemical solution and systems thereof | |
AU2018269036B2 (en) | Membrane integrity monitoring in water treatment | |
JP3787341B2 (ja) | テトラメチルアンモニア水酸化物(tmah)を含むフォトレジストの現像液におけるリサイクル方法およびそのシステム | |
KR20200042437A (ko) | 수처리용 고분자 분리막의 노후화 진단 방법 및 그 장치 | |
CN106990053A (zh) | 用于湿式化学分析仪的具有清洁剂的标准溶液 | |
JP2019095461A (ja) | 計量装置、計量システム、処理装置、および計量方法 | |
JP4409489B2 (ja) | 薬液濃度モニタ | |
JP5978123B2 (ja) | 電磁流量計を使用した洗浄品質管理システム、及び洗浄品質管理方法 | |
JP2016090363A (ja) | 計量装置、計量システム、処理装置、および計量方法 | |
JP6802405B2 (ja) | 計量装置、計量システム、処理装置、および計量方法 | |
KR101596727B1 (ko) | 용액의 메탈에 대한 온라인 모니터링 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120911 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120914 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20121012 |