JPS63252538A

JPS63252538A - 薬液供給装置

Info

Publication number: JPS63252538A
Application number: JP8728687A
Authority: JP
Inventors: Ryoichi Saito; 斉藤　良一; Minoru Nango; 南後　実
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1987-04-09
Filing date: 1987-04-09
Publication date: 1988-10-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、半導体製造の際に、洗浄、エツチングあるい
は現像などに用いられる各薬液を供給する薬液供給装置
に関し、特に薬液を充填した薬液タンクの交換頻度の軽
減を図った薬液供給装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種の装置では、薬液供給装置に１本の薬液タ
ンクを備え、その薬液を消費する毎に薬液タンクを交換
するようにしていた。

また、その交換頻度を軽減するために、複数の薬液タン
クを備えた薬液供給装置が開示されている（特開昭６０
−１３６９１号公報）。そこでここでは該特許公報に記
載された薬液供給装置の薬液タンクと同種のものを記載
した第２図に基づいて説明する。

図において、（１）は所要の薬液を充填した複数の薬液
タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）を収容し
たオイルパン、（３ａ）　、　（３ｂ）　、　（３ｃ）
は薬液タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）に
挿入された薬液供給用の導管で、該導管（３ａ）。

（３ｂ）　、　（３ｃ）にはそれぞれバルブ（４ａ）　
、　（４ｂ）　、　（４ｃ）が配設されている。また（
５ａ）　、　（５ｂ）　、　（５ｃ）は薬液タンク（２
ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）の口部に挿入され、
各タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）内に窒
素ガスを圧入して加圧するための給気管であり、給気は
そわぞわに配設さねたバルブ（６ａ）　、　（６ｂ）　
、　（６ｃ）によって制御するようになされている。尚
、（７ａ）　、　（７ｂ）　、　（７ｃ）は各タンク（
２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）の口部に装着され
内部を密閉するための蓋、（８）はドレン抜用のコック
である。

然して上記薬液タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（
２ｃ）から薬液を供給する場合には、薬液タンク（２ａ
）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）の中からいずれか１つ
の薬液タンク、例えば薬液タンク（２ａ）が選択される
と、バルブ（６ａ）が開き、給気管（５ａ）から薬液タ
ンク（２ａ）に窒素ガスが圧入されて内部を加圧する。

次いでバルブ（４ａ）が開くとガス圧によって薬液がタ
ンク（２ａ）から導管（３ａ）を介して所定の部位に必
要量供給される。薬液タンク（２Ｃ）が空になると、図
示しない検出手段がこわを検出してバルブ（４ａ）を閉
じて薬液の供給を止めるとともに、バルブ（６ａ）も閉
止する。次いで残りのいずれかの薬液タンクが選択され
て同様に薬液か供給され、全薬液タンク（２ａ）　、　
（２ｂ）　、　（２ｃ）が空になる迄供給されることに
なる。

（発明が解決しようとする問題点）ところが上記薬液タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　
（２ｃ）によれば、各タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　
、　（２ｃ）に独立した窒素ガス加圧手段を用いており
、必要なタンクのみを個別に加圧するようにしていた。

従フて各タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）
としてはいずれも耐圧容器を用いる必要があり、しかも
各タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）に圧力
窒素ガスを振り分ける必要からその配管が繁雑になりが
ちであった。更に各タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　。

（２Ｃ）を交換するには、個別に蓋（７ａ）　、　（７
ｂ）　、　（７ｃ）などを取り外す必要があり、取り扱
いが面倒であった。

本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
加圧手段を簡素化して薬液タンクの交換を容易にした薬
液供給装置を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の薬液供給装置は、薬液を満たした薬液タンクを
密閉容器内に複数配置するとともに、該密閉容器に加圧
手段を設け、該圧力によって各薬液タンクの薬液中から
密閉容器を貫通した導管を介して個別に薬液を供給する
ようにしたものである。

〔作用〕

本発明によれば、各薬液タンクから薬液を供給する場合
には、密閉容器を加圧するだけで各薬液タンクは一斉に
加圧され、いずれかの薬液タンクのバルブを選択的に開
放するだけで個別に薬液を供給することができる。

（実施例）以下第１図に示す実施例に基づいて、従来と同−又は相
当部分には同一符号を付してその説明は省略し、本発明
の特徴を中心に説明する。

本実施例装置では、薬液を満たした薬液タンク（２ａ）
　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）は密閉容器（９）内に収
容され、該密閉容器（９）は蓋体（ｌＯ）によって気密
を保持するように閉塞されている。当該蓋体（１０）に
は薬液タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）か
らの導管（３ａ）　、　（３ｂ）　、　（３ｃ）がＬ’
ｆ通する孔（１０ａ）　、　（１０ｂ）　、　（１０ｃ
）が形成され、孔（１０ａ）　、　（１０ｂ）　、　（
１０ｃ）と導管（３ａ）　、　（３ｂ）　、　（３ｃ）
間は気密になっている。導管（３ａ）　、　（３ｂ）　
、　（３ｃ）の下端は薬液タンク（２ａ）　、　（２ｂ
）　、　（２ｃ）底面近傍まで垂下し、薬液の殆どが供
給されるようになっている。そして導管（３ａ）　、　
（３ｂ）　、　（３ｃ）の薬液タンク（２ａ）　、　（
２ｂ）　、　（２ｃ）への侵入部は何ら拘束されずフリ
ーであって、薬液タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　
（２ｃ）は密閉容器（９）内部において開放されている
ために導管（３ａ）　、　（３ｂ）　、　（３ｃ）を口
部に差し込んだだけで薬液タンク（２ａ）　、　（２ｂ
）　。

（２ｃ）に対し装着できるようになっている。

従って給気管（５）のバルブ（６）を開放すれば密閉容
器（９）内に窒素ガスが圧入されて密閉容器（９）内、
ひいては薬液タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２
ｃ）内は加圧状態になって、例えばバルブ（４ａ）を開
放すると薬液タンク（２ａ）の薬液はガス圧によって導
管（３ａ）から押し出されて所定の部位に薬液を供給す
ることになる。内部が空になると従来同様、このことを
検出してバルブ（４ａ）を閉止し、次のバルブ（４ｂ）
を自動的に開放して引き続き薬液を供給することになる
。この際、密閉容器（９）内を一度加圧しておけば、バ
ルブ（６）を閉止して窒素ガスの圧入を停止しておいて
もよい。窒素ガスの圧入は薬液の供給状態に応じて、つ
まり容器内の加圧状態を検出することによって適宜開閉
動作を制御するようにしておけばよい。

以上本実施例によれば、給気管（５）を従来に比べて簡
素化することができ、窒素の工大制御が簡素化される。

更に導管（３ａ）　、　（３ｂ）　、　（３ｃ）の薬液
タンク（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）への装着
が容易なためにこれらの交換を迅速に行い得、外部から
不純物が混入することを防止して半導体を製造する際の
品質管理を向上させることができる。更に薬液タンク（
２ａ）、　（２ｂ）　、　（２ｃ）として耐圧性が不要
となって、タンクを選定する自由度が向上する。

尚、本実施例では密閉容器（９）の加圧手段として窒素
ガスを用いたものについて説明したが、他の不活性ガス
を用いることができるのは言うまでもない。

（発明の効果）以上本発明によれば、薬液タンクを加圧する手段を簡素
化することによって加圧制御が容易になり、しかも薬液
タンクの交換を迅速化することができる。しかも薬液タ
ンクに耐圧性が要求されず、薬液タンクを選択する自由
度が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る薬液供給装置に用いられる薬液タ
ンク及びその付帯装置の一実施例を示す断面図、第２図
は従来のものを示す第１図相当図である。図において、（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）は薬液タンク、
（３ａ）　、　（３ｂ）　、　（３ｃ）は導管、（４ａ
）　、　（４ｂ）　、　（４ｃ）はバルブ、（５）は給
気管、　　（６）はバルブ、（９）は密閉容器、（ｌＯ
）は密閉容器の蓋体である。尚、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）半導体を製造する際に用いる薬液を供給する薬液
供給装置において、薬液を満たした薬液タンクを密閉容
器内に複数配置し、該薬液タンクには薬液を供給する導
管を該密閉容器を貫通させて設け、かつ該密閉容器には
内圧を加圧する加圧手段を設けて該内圧によって上記薬
液タンクの薬液を上記導管を介して個別に供給すること
を特徴とする薬液供給装置。
（２）上記加圧手段が圧縮気体を圧入する圧縮気体供給
装置であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の薬液供給装置。
（３）上記薬液の個別供給をバルブによって制御するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項に記載
の薬液供給装置。