JPS63252538A - 薬液供給装置 - Google Patents
薬液供給装置Info
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- JPS63252538A JPS63252538A JP8728687A JP8728687A JPS63252538A JP S63252538 A JPS63252538 A JP S63252538A JP 8728687 A JP8728687 A JP 8728687A JP 8728687 A JP8728687 A JP 8728687A JP S63252538 A JPS63252538 A JP S63252538A
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 65
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/008—Feed or outlet control devices
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造の際に、洗浄、エツチングあるい
は現像などに用いられる各薬液を供給する薬液供給装置
に関し、特に薬液を充填した薬液タンクの交換頻度の軽
減を図った薬液供給装置に関する。
は現像などに用いられる各薬液を供給する薬液供給装置
に関し、特に薬液を充填した薬液タンクの交換頻度の軽
減を図った薬液供給装置に関する。
従来のこの種の装置では、薬液供給装置に1本の薬液タ
ンクを備え、その薬液を消費する毎に薬液タンクを交換
するようにしていた。
ンクを備え、その薬液を消費する毎に薬液タンクを交換
するようにしていた。
また、その交換頻度を軽減するために、複数の薬液タン
クを備えた薬液供給装置が開示されている(特開昭60
−13691号公報)。そこでここでは該特許公報に記
載された薬液供給装置の薬液タンクと同種のものを記載
した第2図に基づいて説明する。
クを備えた薬液供給装置が開示されている(特開昭60
−13691号公報)。そこでここでは該特許公報に記
載された薬液供給装置の薬液タンクと同種のものを記載
した第2図に基づいて説明する。
図において、(1)は所要の薬液を充填した複数の薬液
タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)を収容し
たオイルパン、(3a) 、 (3b) 、 (3c)
は薬液タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)に
挿入された薬液供給用の導管で、該導管(3a)。
タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)を収容し
たオイルパン、(3a) 、 (3b) 、 (3c)
は薬液タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)に
挿入された薬液供給用の導管で、該導管(3a)。
(3b) 、 (3c)にはそれぞれバルブ(4a)
、 (4b) 、 (4c)が配設されている。また(
5a) 、 (5b) 、 (5c)は薬液タンク(2
a) 、 (2b) 、 (2c)の口部に挿入され、
各タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)内に窒
素ガスを圧入して加圧するための給気管であり、給気は
そわぞわに配設さねたバルブ(6a) 、 (6b)
、 (6c)によって制御するようになされている。尚
、(7a) 、 (7b) 、 (7c)は各タンク(
2a) 、 (2b) 、 (2c)の口部に装着され
内部を密閉するための蓋、(8)はドレン抜用のコック
である。
、 (4b) 、 (4c)が配設されている。また(
5a) 、 (5b) 、 (5c)は薬液タンク(2
a) 、 (2b) 、 (2c)の口部に挿入され、
各タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)内に窒
素ガスを圧入して加圧するための給気管であり、給気は
そわぞわに配設さねたバルブ(6a) 、 (6b)
、 (6c)によって制御するようになされている。尚
、(7a) 、 (7b) 、 (7c)は各タンク(
2a) 、 (2b) 、 (2c)の口部に装着され
内部を密閉するための蓋、(8)はドレン抜用のコック
である。
然して上記薬液タンク(2a) 、 (2b) 、 (
2c)から薬液を供給する場合には、薬液タンク(2a
) 、 (2b) 、 (2c)の中からいずれか1つ
の薬液タンク、例えば薬液タンク(2a)が選択される
と、バルブ(6a)が開き、給気管(5a)から薬液タ
ンク(2a)に窒素ガスが圧入されて内部を加圧する。
2c)から薬液を供給する場合には、薬液タンク(2a
) 、 (2b) 、 (2c)の中からいずれか1つ
の薬液タンク、例えば薬液タンク(2a)が選択される
と、バルブ(6a)が開き、給気管(5a)から薬液タ
ンク(2a)に窒素ガスが圧入されて内部を加圧する。
次いでバルブ(4a)が開くとガス圧によって薬液がタ
ンク(2a)から導管(3a)を介して所定の部位に必
要量供給される。薬液タンク(2C)が空になると、図
示しない検出手段がこわを検出してバルブ(4a)を閉
じて薬液の供給を止めるとともに、バルブ(6a)も閉
止する。次いで残りのいずれかの薬液タンクが選択され
て同様に薬液か供給され、全薬液タンク(2a) 、
(2b) 、 (2c)が空になる迄供給されることに
なる。
ンク(2a)から導管(3a)を介して所定の部位に必
要量供給される。薬液タンク(2C)が空になると、図
示しない検出手段がこわを検出してバルブ(4a)を閉
じて薬液の供給を止めるとともに、バルブ(6a)も閉
止する。次いで残りのいずれかの薬液タンクが選択され
て同様に薬液か供給され、全薬液タンク(2a) 、
(2b) 、 (2c)が空になる迄供給されることに
なる。
(発明が解決しようとする問題点)
ところが上記薬液タンク(2a) 、 (2b) 、
(2c)によれば、各タンク(2a) 、 (2b)
、 (2c)に独立した窒素ガス加圧手段を用いており
、必要なタンクのみを個別に加圧するようにしていた。
(2c)によれば、各タンク(2a) 、 (2b)
、 (2c)に独立した窒素ガス加圧手段を用いており
、必要なタンクのみを個別に加圧するようにしていた。
従フて各タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)
としてはいずれも耐圧容器を用いる必要があり、しかも
各タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)に圧力
窒素ガスを振り分ける必要からその配管が繁雑になりが
ちであった。更に各タンク(2a) 、 (2b) 。
としてはいずれも耐圧容器を用いる必要があり、しかも
各タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)に圧力
窒素ガスを振り分ける必要からその配管が繁雑になりが
ちであった。更に各タンク(2a) 、 (2b) 。
(2C)を交換するには、個別に蓋(7a) 、 (7
b) 、 (7c)などを取り外す必要があり、取り扱
いが面倒であった。
b) 、 (7c)などを取り外す必要があり、取り扱
いが面倒であった。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
加圧手段を簡素化して薬液タンクの交換を容易にした薬
液供給装置を提供することを目的としている。
加圧手段を簡素化して薬液タンクの交換を容易にした薬
液供給装置を提供することを目的としている。
本発明の薬液供給装置は、薬液を満たした薬液タンクを
密閉容器内に複数配置するとともに、該密閉容器に加圧
手段を設け、該圧力によって各薬液タンクの薬液中から
密閉容器を貫通した導管を介して個別に薬液を供給する
ようにしたものである。
密閉容器内に複数配置するとともに、該密閉容器に加圧
手段を設け、該圧力によって各薬液タンクの薬液中から
密閉容器を貫通した導管を介して個別に薬液を供給する
ようにしたものである。
本発明によれば、各薬液タンクから薬液を供給する場合
には、密閉容器を加圧するだけで各薬液タンクは一斉に
加圧され、いずれかの薬液タンクのバルブを選択的に開
放するだけで個別に薬液を供給することができる。
には、密閉容器を加圧するだけで各薬液タンクは一斉に
加圧され、いずれかの薬液タンクのバルブを選択的に開
放するだけで個別に薬液を供給することができる。
(実施例)
以下第1図に示す実施例に基づいて、従来と同−又は相
当部分には同一符号を付してその説明は省略し、本発明
の特徴を中心に説明する。
当部分には同一符号を付してその説明は省略し、本発明
の特徴を中心に説明する。
本実施例装置では、薬液を満たした薬液タンク(2a)
、 (2b) 、 (2c)は密閉容器(9)内に収
容され、該密閉容器(9)は蓋体(lO)によって気密
を保持するように閉塞されている。当該蓋体(10)に
は薬液タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)か
らの導管(3a) 、 (3b) 、 (3c)がL’
f通する孔(10a) 、 (10b) 、 (10c
)が形成され、孔(10a) 、 (10b) 、 (
10c)と導管(3a) 、 (3b) 、 (3c)
間は気密になっている。導管(3a) 、 (3b)
、 (3c)の下端は薬液タンク(2a) 、 (2b
) 、 (2c)底面近傍まで垂下し、薬液の殆どが供
給されるようになっている。そして導管(3a) 、
(3b) 、 (3c)の薬液タンク(2a) 、 (
2b) 、 (2c)への侵入部は何ら拘束されずフリ
ーであって、薬液タンク(2a) 、 (2b) 、
(2c)は密閉容器(9)内部において開放されている
ために導管(3a) 、 (3b) 、 (3c)を口
部に差し込んだだけで薬液タンク(2a) 、 (2b
) 。
、 (2b) 、 (2c)は密閉容器(9)内に収
容され、該密閉容器(9)は蓋体(lO)によって気密
を保持するように閉塞されている。当該蓋体(10)に
は薬液タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)か
らの導管(3a) 、 (3b) 、 (3c)がL’
f通する孔(10a) 、 (10b) 、 (10c
)が形成され、孔(10a) 、 (10b) 、 (
10c)と導管(3a) 、 (3b) 、 (3c)
間は気密になっている。導管(3a) 、 (3b)
、 (3c)の下端は薬液タンク(2a) 、 (2b
) 、 (2c)底面近傍まで垂下し、薬液の殆どが供
給されるようになっている。そして導管(3a) 、
(3b) 、 (3c)の薬液タンク(2a) 、 (
2b) 、 (2c)への侵入部は何ら拘束されずフリ
ーであって、薬液タンク(2a) 、 (2b) 、
(2c)は密閉容器(9)内部において開放されている
ために導管(3a) 、 (3b) 、 (3c)を口
部に差し込んだだけで薬液タンク(2a) 、 (2b
) 。
(2c)に対し装着できるようになっている。
従って給気管(5)のバルブ(6)を開放すれば密閉容
器(9)内に窒素ガスが圧入されて密閉容器(9)内、
ひいては薬液タンク(2a) 、 (2b) 、 (2
c)内は加圧状態になって、例えばバルブ(4a)を開
放すると薬液タンク(2a)の薬液はガス圧によって導
管(3a)から押し出されて所定の部位に薬液を供給す
ることになる。内部が空になると従来同様、このことを
検出してバルブ(4a)を閉止し、次のバルブ(4b)
を自動的に開放して引き続き薬液を供給することになる
。この際、密閉容器(9)内を一度加圧しておけば、バ
ルブ(6)を閉止して窒素ガスの圧入を停止しておいて
もよい。窒素ガスの圧入は薬液の供給状態に応じて、つ
まり容器内の加圧状態を検出することによって適宜開閉
動作を制御するようにしておけばよい。
器(9)内に窒素ガスが圧入されて密閉容器(9)内、
ひいては薬液タンク(2a) 、 (2b) 、 (2
c)内は加圧状態になって、例えばバルブ(4a)を開
放すると薬液タンク(2a)の薬液はガス圧によって導
管(3a)から押し出されて所定の部位に薬液を供給す
ることになる。内部が空になると従来同様、このことを
検出してバルブ(4a)を閉止し、次のバルブ(4b)
を自動的に開放して引き続き薬液を供給することになる
。この際、密閉容器(9)内を一度加圧しておけば、バ
ルブ(6)を閉止して窒素ガスの圧入を停止しておいて
もよい。窒素ガスの圧入は薬液の供給状態に応じて、つ
まり容器内の加圧状態を検出することによって適宜開閉
動作を制御するようにしておけばよい。
以上本実施例によれば、給気管(5)を従来に比べて簡
素化することができ、窒素の工大制御が簡素化される。
素化することができ、窒素の工大制御が簡素化される。
更に導管(3a) 、 (3b) 、 (3c)の薬液
タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)への装着
が容易なためにこれらの交換を迅速に行い得、外部から
不純物が混入することを防止して半導体を製造する際の
品質管理を向上させることができる。更に薬液タンク(
2a)、 (2b) 、 (2c)として耐圧性が不要
となって、タンクを選定する自由度が向上する。
タンク(2a) 、 (2b) 、 (2c)への装着
が容易なためにこれらの交換を迅速に行い得、外部から
不純物が混入することを防止して半導体を製造する際の
品質管理を向上させることができる。更に薬液タンク(
2a)、 (2b) 、 (2c)として耐圧性が不要
となって、タンクを選定する自由度が向上する。
尚、本実施例では密閉容器(9)の加圧手段として窒素
ガスを用いたものについて説明したが、他の不活性ガス
を用いることができるのは言うまでもない。
ガスを用いたものについて説明したが、他の不活性ガス
を用いることができるのは言うまでもない。
(発明の効果)
以上本発明によれば、薬液タンクを加圧する手段を簡素
化することによって加圧制御が容易になり、しかも薬液
タンクの交換を迅速化することができる。しかも薬液タ
ンクに耐圧性が要求されず、薬液タンクを選択する自由
度が向上する。
化することによって加圧制御が容易になり、しかも薬液
タンクの交換を迅速化することができる。しかも薬液タ
ンクに耐圧性が要求されず、薬液タンクを選択する自由
度が向上する。
第1図は本発明に係る薬液供給装置に用いられる薬液タ
ンク及びその付帯装置の一実施例を示す断面図、第2図
は従来のものを示す第1図相当図である。 図において、 (2a) 、 (2b) 、 (2c)は薬液タンク、
(3a) 、 (3b) 、 (3c)は導管、(4a
) 、 (4b) 、 (4c)はバルブ、(5)は給
気管、 (6)はバルブ、(9)は密閉容器、(lO
)は密閉容器の蓋体である。 尚、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
ンク及びその付帯装置の一実施例を示す断面図、第2図
は従来のものを示す第1図相当図である。 図において、 (2a) 、 (2b) 、 (2c)は薬液タンク、
(3a) 、 (3b) 、 (3c)は導管、(4a
) 、 (4b) 、 (4c)はバルブ、(5)は給
気管、 (6)はバルブ、(9)は密閉容器、(lO
)は密閉容器の蓋体である。 尚、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (3)
- (1)半導体を製造する際に用いる薬液を供給する薬液
供給装置において、薬液を満たした薬液タンクを密閉容
器内に複数配置し、該薬液タンクには薬液を供給する導
管を該密閉容器を貫通させて設け、かつ該密閉容器には
内圧を加圧する加圧手段を設けて該内圧によって上記薬
液タンクの薬液を上記導管を介して個別に供給すること
を特徴とする薬液供給装置。 - (2)上記加圧手段が圧縮気体を圧入する圧縮気体供給
装置であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の薬液供給装置。 - (3)上記薬液の個別供給をバルブによって制御するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項に記載
の薬液供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8728687A JPS63252538A (ja) | 1987-04-09 | 1987-04-09 | 薬液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8728687A JPS63252538A (ja) | 1987-04-09 | 1987-04-09 | 薬液供給装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63252538A true JPS63252538A (ja) | 1988-10-19 |
Family
ID=13910550
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8728687A Pending JPS63252538A (ja) | 1987-04-09 | 1987-04-09 | 薬液供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63252538A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06208983A (ja) * | 1992-06-17 | 1994-07-26 | Santa Barbara Res Center | 半導体ウェハ等の湿式化学処理装置 |
JP2003518591A (ja) * | 1998-06-30 | 2003-06-10 | アドバンスト・デリバリー・アンド・ケミカル・システムズ・リミテッド | 複数の化学物質をプロセス・ツールに供給するシステム |
JP2008032584A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Seiko Instruments Inc | マイクロリアクターシステム |
US8322571B2 (en) | 2005-04-25 | 2012-12-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability |
JP2015076473A (ja) * | 2013-10-08 | 2015-04-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP2015076472A (ja) * | 2013-10-08 | 2015-04-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 薬液容器交換装置、容器載置モジュール及び薬液容器の交換方法 |
US9079758B2 (en) | 2005-06-06 | 2015-07-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing systems and processes |
WO2019026494A1 (ja) * | 2017-08-03 | 2019-02-07 | 東レエンジニアリング株式会社 | 薬液合成装置 |
-
1987
- 1987-04-09 JP JP8728687A patent/JPS63252538A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06208983A (ja) * | 1992-06-17 | 1994-07-26 | Santa Barbara Res Center | 半導体ウェハ等の湿式化学処理装置 |
JP2003518591A (ja) * | 1998-06-30 | 2003-06-10 | アドバンスト・デリバリー・アンド・ケミカル・システムズ・リミテッド | 複数の化学物質をプロセス・ツールに供給するシステム |
US8322571B2 (en) | 2005-04-25 | 2012-12-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability |
US9073028B2 (en) | 2005-04-25 | 2015-07-07 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability |
US9802749B2 (en) | 2005-04-25 | 2017-10-31 | Entegris, Inc. | Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability |
US9079758B2 (en) | 2005-06-06 | 2015-07-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing systems and processes |
US9802808B2 (en) | 2005-06-06 | 2017-10-31 | Entegris, Inc. | Fluid storage and dispensing systems and processes |
JP2008032584A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Seiko Instruments Inc | マイクロリアクターシステム |
JP2015076473A (ja) * | 2013-10-08 | 2015-04-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP2015076472A (ja) * | 2013-10-08 | 2015-04-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 薬液容器交換装置、容器載置モジュール及び薬液容器の交換方法 |
WO2019026494A1 (ja) * | 2017-08-03 | 2019-02-07 | 東レエンジニアリング株式会社 | 薬液合成装置 |
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