CN102050248A

CN102050248A - 液体容器、使用该液体容器的送液装置以及送液方法

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Publication number: CN102050248A
Application number: CN2010105444458A
Authority: CN
Inventors: 川合惠治; 太田康之
Original assignee: Aicello Chemical Co Ltd
Current assignee: Aicello Chemical Co Ltd
Priority date: 2009-11-04
Filing date: 2010-11-03
Publication date: 2011-05-11
Anticipated expiration: 2030-11-03
Also published as: CN102050248B; KR20110049684A; TWI542514B; KR101661963B1; TW201139218A; JP2011098736A; JP5560019B2

Abstract

一种液体容器、液体送出装置以及送液方法，所述液体容器不仅能高品质维持所填充的液体，还能节省空间储存液体，并且能将液体送出时的残液量减少到非常小，且可以送出，所述液体送出装置以及送液方法能方便地进行所述液体容器的安装作业和更换作业、且结构简单、廉价、能可靠地减少液体容器内的残液量，并能将液体安全地送出。液体容器(1)包括由具有弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂吹塑成形而成的圆底的容器主体(2)和支承台(3)，容器主体(2)的内表面由高纯度热塑性树脂形成，支承台(3)形成有贯穿部(9)。送液装置(20)在液体容器(1)上将送液管(23)的末端(23a)插入到圆底(6)的最底部附近，用突起部(32)和扣压构件(34)夹住容器主体(2)的上下两侧，供应压力为200kPa的气体，将液体(17)送出。

Description

液体容器、使用该液体容器的送液装置以及送液方法

技术领域

本发明涉及一种用于容纳液体的液体容器、用于将液体从该液体容器送出的送液装置以及液体的送出方法。

背景技术

在半导体和液晶领域中所使用的光致抗蚀剂或溶剂等工业用高纯度药液、医疗用高纯度药液以及食品用材料液这样的液体需要在没有异物混入的前提下、高纯度地储存、搬运以及使用。因此，希望用于储存、搬运这些液体的液体容器，或是直接安装到送液装置上使用的液体容器是成分溶出极少的容器。这种液体容器和液体的送出方法例如被记载在日本专利特开平11-290420号公报中。

在上述文献中所记载的液体容器是一种具多层结构且由高纯度树脂形成内层的容器，在容器上部侧突出设置有排出口，并且将该底部形成平坦状以使容器能自立。在这种容器中填充高纯度药品液，如上述文献所示，将容器周围用能耐气体压力的耐压保护容器或保护容器覆盖以进行耐压保护之后，再用气体压力将液体送出。

然而，在上述文献所记载的液体容器中，具有在送出液体时，很难将残留在平坦容器底部的液体排出，残液量多的技术问题。此外，还具有在欲保管多个液体容器，或在送液装置附近准备液体容器时，需将液体容器并排放置，而需要宽敞空间的技术问题。而且，由于在将液体容器安装到送液装置上时，需要用耐压保护容器来覆盖，因此，还具有送液装置的零件数增多，成为大规模且高价的装置，并且液体容器的安装作业或更换作业也很繁杂的技术问题。而且，在使用高压的气体压力送出液体时，在液体内容易产生气泡，因此在送液装置中需要有用于从液体中去除气泡的过滤器的技术问题。

发明内容

本发明为了解决上述技术问题发明而成，其目的在于提供一种可进行输送的液体容器，该液体容器不仅能高品质地保持所填充的液体，还能在节省空间内进行液体的储存，并且能将送液时的残液量减小到非常小。此外，本发明的目的还在于提供一种能方便进行此液体容器的安装作业和交换作业，且结构简单、廉价、并能可靠地减少液体容器内的残液量，并能将液体安全送出的送液装置和送液方法。

为实现上述目的，本发明的液体容器包括：

容器主体，该容器主体是由弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂吹塑成型，在大致呈圆筒状的胴部形成有圆底，在顶部形成具有与该胴部同心的排出口，上述容器主体能对液体进行收容，且在该排出口上有可进行拆装的栓体；以及

树脂制的支承台，为了能使容器主体自立，该支承台与该胴部的该圆底侧嵌合，其特征在于，

该容器主体的至少内表面是由不会在液体中浸出规定的标准值以上的杂质微粒的高纯度热塑性树脂形成，

当将多个容器主体叠起时，在该支承台上形成有，可对叠在下层的该容器主体的带有该栓体的该排出口进行收容的贯穿部，并且形成有可与叠在下层的该容器主体的顶部卡合的底部。

上述液体容器的特征在于，形成上述容器主体和/或上述支承台的树脂是可材料再生的树脂。

本发明的送液装置是安装有上述液体容器以将该液体容器内的液体送出的装置，其特征在于，包括：

底座，该底座安装有上述液体容器，并具有突起部，该突起部与上述支承台的上述贯穿部相嵌而与上述容器主体的上述圆底抵接；

送液转接器，该送液转接器可代替上述栓体能相对于前述排出口拆装，且能对该容器主体进行密封，上述送液转接器具有气体供应口和送液管，其中，上述气体供应口用于与最高不超过200kPa的压力的加压源相连以对上述容器主体内供应气体，上述送液管的末端位于与该容器主体内的上述圆底的最底部接近的位置且使其前端导出到该容器主体外部；以及

扣压构件，该扣压构件可自由运动地设置在从该底座起立设置的支柱上，其可在和与该排出口相嵌的该送液转接器的上部抵接的位置上固定扣压构件的动作。

上述送液装置的特征在于，在上述气体供应口上连接有压力为10k～50kPa的上述加压源。

上述送液装置的特征在于，在上述气体供应口上可连接地形成有与上述加压源相连的加压连接器，上述扣压构件具有限位件，该限位件在与上述送液转接器的上部抵接的状态下将该加压连接器与该气体供应口连接，此时，与该加压连接器抵接而将该扣压构件的移动卡定。

上述送液装置的特征在于，上述扣压构件和上述送液转接器具有定位机构，该定位机构相互嵌合以限定该气体供应口相对于该扣压构件的位置。

一种送液方法，其特征在于，在上述液体容器中填充液体，将送液管的末端插入到圆底的最底部附近，并将送液管的前端导出到外部，夹住该液体容器的容器主体的上下两侧，在该液体容器内供应最高不超过200kPa的压力的气体，将液体从上述液体容器送出。

上述送液方法的特征在于，上述气体压力为10k～50kPa。

根据本发明的液体容器，容器主体是由从内表面不会在液体中浸出标准值以上的杂质微粒的高纯度热塑性树脂，且具有弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂形成，不仅能维持液体的高品质，同时还具有很好的机械强度，因此可以防止输送时或保管时容器破损或变形。特别是在送液时，即使以压力200kPa加压也可防止容器的较大形变。此外，由于其具有很好的机械强度，因此即使将多个填充有液体的容器叠起，叠在下层的液体容器也不会发生破损。而且，当将多个液体容器叠起时，由于叠在下层的液体容器的附有栓体的排出口嵌入支承台的贯穿部，叠在下层的顶部与支承台的底部卡合，因此能稳定地层叠且可节省保管空间。此外，由于容器主体呈圆底，因此可减少送液时的液体残量。

根据本发明的液体容器，通过由可材料再生的树脂形成，由于作为原材料可以再生，而能循环使用，因此环保性优良。

根据本发明的送液装置和送液方法，通过夹住容器主体的上下两侧，就能防止向上下方向的形变。因此，送液管的末端与圆底之间的距离不变，因此送液时能将集中到圆底的液体毫无浪费地、可靠地残液量少地送出。作为一例，将液体的残液量为容器容量的0.5％以下、较好为0.1％以下。因此，可增加收容在液体容器中的液体的可使用量，因而能提高产率，且可减少液体容器的更换频率，因此很好的生产性。而且，由于其使用具有很好的机械强度的液体容器，不需要用耐压保护容器来覆盖液体容器，因此不仅使液体容器的安装作业和更换作业程序简便，同时装置结构简单且廉价，还容易维护，因而用来作为经济性优良的装置。此外，通过加压最高不超过200kPa的压力的气体，液体容器不会发生破损非常安全，且因其为低压，因而可减少在液体中所产生的气泡量。

根据本发明的送液装置和送液方法，通过将供应到液体容器内的气压定为10k～50kPa，从而能进一步减少液体中所产生的气泡量。

根据本发明的送液装置，通过使扣压构件具有与加压连接器抵接以将扣压构件的移动卡定的限位件，可防止连接着加压连接器即液体容器内残留有压力的状态下，不小心解开固定送液转接器的扣压构件，因此可防止送液转接器因压力而突飞，且可从装置上安全的拆下液体容器。

根据本发明的送液装置，通过使扣压构件和送液转接器具有限定气体供应口相对于该扣压构件的定位机构，由于此机构能使气体供应口朝固定方向，因此能方便地将加压连接器与气体供应口连接，且能迅速且方便地进行液体容器的安装作业。而且，与气体供应口相连的加压连接器和限位件之间的位置关系被限定成固定的位置关系，因此，限位件能可靠地卡住扣压构件的移动。

附图说明

图1是表示适用本发明的液体容器的保管状态的局部剖视主视图。

图2是表示适用本发明的液体容器和送液装置的使用状态的局部剖视主视图。

图3是表示适用本发明的液体容器和送液装置(主视截面)的使用状态的结构图。

图4是表示适用本发明的送液装置的使用状态的局部放大立体图。

图5是表示适用本发明的另一送液装置的使用状态的局部放大立体图。

(符号说明)

1液体容器

2容器主体

3支承台

5胴部

6圆底

7顶部

7a隆起部

8排出口

9贯穿部

11转槽(日文：周回溝)

12突起部

13外侧圆筒部

14内侧圆筒部

15底部

16栓体

17液体

18保管台

20送液装置

21送液转接器(日文：送液アダプタ)

21a嵌合部

21b管道支承部

23送液管

23a末端

23b前端

24定位槽

25气体供应口

26压力计

27安全阀

28手动阀

29加压源

30加压连接器

30a连接部

30b主体部

31底座

32突起部

33支柱

34扣压构件

35转轴

36限位件

36a通口部

37定位销

39连接器

50光致抗蚀剂散布装置

51缓冲容器

52泵

53过滤器

54三通阀

55喷嘴；

具体实施方式

以下，对用于实施本发明的实施方式进行详细说明，但本发明的范围并不限定于这些实施方式。

参照图1对本发明的液体容器的较为理想的实施方式进行说明。

在图1中，表示将作为一例的两个本发明的液体容器1叠起并承载在保管台18上的状态。液体容器1是一种没有成分溶出且不会污染所填充的液体17的容器，其能用于液体17的储存、运输，或可将其直接安装到送液装置以供使用。

上述液体容器1例如能较好地适用于要求有洁净的液体品质的半导体或液晶设备的制造领域、医药领域以及食品领域。作为液体17，可列举如光致抗蚀液、酸、碱、溶剂等在半导体或液晶设备制造时所采用液体、或是消毒液、输液、透析液等医药用液体、或是香料、浓缩液、食品添加物等食品领域所采用的液体。以下，作为一个例子，对液体17为半导体或液晶设备制造时所采用的光致抗蚀液的情形加以说明。

如图1所示，液体容器1由容器主体2和支承台3构成。

容器主体2的大致呈圆筒状的胴部5的下部侧(图中下侧)为圆底6，胴部5的上部侧(图中上侧)为被形成有排出口8的顶部7封闭的形状。

排出口8是以形成为直径比胴部5小的圆筒状，与胴部5同心地从顶部7的中央部朝容器外侧突设而形成。排出口8的外周形成有阳螺栓，从而可与形成有阴螺栓的栓体16拆装。

顶部7的从排出口8的下端到胴部5的部分也可形成为大致平坦的形状，但是如图1所示，由于将从排出口8的下端到胴部5的部分形成为缓缓向下倾斜的形状能增加容器的耐压强度，因而较为理想。此外，若如上所述将顶部7形成为向下倾斜，则由于在液体容器1使用后，将容器主体2上下颠倒就能容易排出稍许残留在液体容器1中的残液或洗净液，从材料再生的观点来看较为理想。此外，为了在将支承台3叠到顶部7上方时支承台3不会左右偏离，较为理想的是，形成使顶部7上部隆起成直径比贯穿部9稍小的隆起部7a以与后述的贯穿部9相嵌。

在胴部5的圆底6侧形成有用于嵌入支承台3的转槽11。

容器主体2形成例如1～200L(升)这样能收容所希望容量的液体17。容器主体2的直径在容量为1L时形成例如直径为90mm而在容量为200L时形成例如直径为600mm，其直径及容量可为任意大小。

容器主体2是对弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂吹塑成型以使至少其内表面层是由高纯度热塑性树脂形成。例如，当容器主体2是由多层结构的壁部形成时，其内表面层由高纯度热塑性树脂形成，其他任意一层只要由弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂形成即可，或是由热塑性树脂形成的多层结构的壁部只要是整体具有至少700MPa的弯曲弹性率形成即可。此外，当容器主体2是由单层的壁部形成时，只要使用弯曲弹性率至少为700MPa的高纯度热塑性树脂形成即可。不管是哪一种，均可使用公知的吹塑成型机成形。弯曲弹性率的测定方法依照JIS(JIS：日本工业规格)K7171的方法进行。

对容器主体2供应最高不超过压力200kPa的气体，当通过这种加压来输送液体17时，作为防止容器破损或较大变形所需的强度，需要容器树脂的弯曲弹性率至少为700MPa。若弯曲弹性率不足700MPa，则当被加压时，容器的变形较大，就会需要像以往的液体容器那样，用例如不锈钢耐压容器这样的耐压保护容器来覆盖容器主体2以进行保护。

由于容器主体2的板厚越厚越能提高容器强度，但若过厚则不仅需要较多的原材料还会使容器重量变重，因此只要用弯曲弹性率至少为700MPa就能在容易成形的范围内形成较薄的板厚，因而较为理想。作为一个例子，若具有1.5-4mm左右的板厚，则由于也容易进行成形，因而较为理想。

在此，高纯度热塑性树脂是指不会浸出规定标准值以上的杂质微粒到液体17中的树脂。具体而言，当将液体17长时间储存在容器主体2中时，也可以将清洁度作为表示因浸出杂质微粒而使品质降低的程度的指标。清洁度的定义是将超纯水或光致抗蚀液储存在检测容器中一定期间后，计算1mL(毫升)所储存的内容物中存在多少粒径0.2μm以上的微粒。具体而言，其定义如下式：

在式(1)中，a是检测容器的容量，b是从检测容器所采样的内容液的液量。首先，通过如下步骤采取用于对初始清洁度进行测定的试样液。对容量a(mL)的检测容器放入容量一半即a/2(mL)的超纯水或光致抗蚀液，振动15秒再静置24小时后进行采取。用于对储存后的清洁度进行测定的试样液在将栓体安装到测定过初始清洁度之后的容器，放置一定期间之后，为了不使其产生气泡而使容器旋转3次，之后再进行采取。c是用微粒计数器对试样液全量中所含的粒径0.2μm以上的微粒进行计算的值。用这些数值与式(1)一起计算出初始以及储存一定期间后的清洁度。清洁度的数值越低表示光致抗蚀液的品质越好。当清洁度为不足100个/mL时，其不会降低半导体、液晶显示器(LCD)的品质及成品率，能稳定地储存药液。

因此，在将容器主体2作为检测容器对清洁度进行测定时，使用能满足所希望的清洁度的树脂作为高纯度热塑性树脂。在收容光致抗蚀液时，使用清洁度为不足100个/mL(规定标准值的一例)的树脂。换言之，高纯度热塑性树脂是指不会浸出规定标准值以上的杂质微粒到液体中的树脂。另外，也可以对应于所适用的规格来计算出粒径0.3μm以上的微粒数。此外，也可以对应于所适用的规格而使用清洁度为不足200个/mL的树脂。另外，栓体16也可由高纯度热塑性树脂形成。

此外，除了清洁度之外，也可以用液体17的透明度变差程度(规定标准值的另外一例)来限定杂质微粒的浸出程度。

形成容器主体2的树脂最好是可材料再生的树脂，可列举例如：聚乙烯、聚丙烯等聚烯；聚酰胺；聚乙烯醇；乙烯-乙烯醇共聚物；聚酯；聚环氧乙烷等。既可以单独使用上述树脂来形成单层的壁部，也可以使用多种上述树脂来形成多层结构的壁部。

若列举具体例来说，容器主体2也可以为如下所述的结构：

其是由均为聚乙烯或乙烯/α-烯烃的共聚物的聚合物(a)和聚合物(b)形成；

其中，聚合物(a)：

重量平均分子量为20万以上，密度为0.940～0.970g/cm³，根据JISK6760的熔融指数为0.09g/10分钟以下，该聚合物(a)占总重量中的30～95％，实质上被用来覆盖在外层表面；

聚合物(b)：

重量平均分子量为3万以上、不足20万，密度为0.930～0.970g/cm³，根据JIS标准的熔融指数为0.1～1.0g/10分钟以下，该聚合物(b)占总重量中的5～70重量％，实质上被用来覆盖在内侧表面。

此时，微粒杂质在所储存药品中的浸出极少，且耐药品性优良，并具有充分的机械强度，因而可作为能充分满足有关危险物药品搬运容器的最新最严格国际标准的容器主体2。

此外，作为其它具体例，容器主体2还可以为如下所述的结构：

至少其内侧表面是由密度为0.940～0.970g/cm³的聚乙烯或乙烯/α-烯烃的共聚物的树脂构成；通过液相层析仪定量的该树脂中的中和剂、防氧化剂以及耐光稳定剂的含量相对于树脂总重量为0.01％重量以下；通过凝胶层析仪测定的该树脂的重量平均分子量为12～26×10⁴，树脂中的分子量1×10³以下的聚合物相对于树脂总重量不足2.5重量％。在此，α-烯烃可为选自丙烯、1-丁烯、4-甲基-1-戊烯、1-己烯、1-辛烯中的至少一种。此时，能得到具有很好的机械强度、操作容易、且杂质微粒在所保管储存的溶剂中浸出极少的容器主体2。此外，即使将下述液体收容到上述容器主体2中，也能充分满足日本药局方所制定的品质标准：

甲醇、乙醇、异丙醇、异丁醇、乙二醇、丙酮、乙酸乙酯、甲苯、二甲基甲酰胺、乙二醇乙酸酯、甲氧基乙酸丙酯、丁基溶纤剂等；及

用于杀菌、消毒、制剂原料等医药用途的高纯度溶剂，例如：甲醇、乙醇、异丙醇等。

接着，作为其它的具体例，容器主体2也可以由树脂组合物成形，该树脂组合物包括：

通过凝胶层析仪测定的重量平均分子量12～26×10⁴、分子量1×10³以下不足5重量％、密度为0.940～0.970g/cm³的聚乙烯或乙烯/α-烯烃共聚物的树脂；

通过液相层析仪定量的各含量均为0.01重量％以下的中和剂、防氧化剂及耐光稳定剂；

0.01-5重量％的选自氧化酞、炭黑及红色氧化铁的无机颜料，酞菁蓝系，喹啉吖啶酮系及偶氮系有机颜料中的至少一种遮光性颜料；以及

不足5重量％的数均分子量为2×10³以上的烯烃系聚合物的分散剂。

此时，可获得具有很好的机械强度、操作容易且杂质微粒在所保管储存药品中的浸出极少并且能防止内容物遇光变质的容器主体2。因此，可广泛用于半导体用药液或上述的医药用溶剂等。

此外，作为其它具体例，容器主体2还可以为如下述结构吹塑成型的容器：

内层，该内层是由包括选自乙烯、丙烯、1-丁烯、4-甲基-1-戊烯、1-己烯或1-辛烯的烯烃聚合物、及乙烯与乙烯之外的烯烃所成的共聚物中一种，中和剂、防氧化剂及耐光稳定剂的含量最高不超过0.01重量％的高纯度树脂所构成；

中间层，该中间层是由含乙烯-乙烯醇共聚物的具溶剂阻隔性树脂所构成；

外层，该外层是由含遮光性物质的树脂组合物所构成，

通过分光光度计测定的波长400nm以下的容器整层的最低吸光度为2.0以上，且容器整层的吸光度除以容器整层的厚度而得到的在波长400nm的吸光系数为1.5mm^-1以上，同时波长600nm的吸光系数为1.5mm^-1以下。在此，外层的树脂组合物中还可以包括：

不足5％重量的由选自数均分子量为2×10³以上的聚乙烯及聚丙烯中的至少一种的烯烃系聚合物所构成的颜料分散剂；

0.01-5重量％的选自无机颜料及有机颜料中的至少一种遮光性颜料。也可以在外层的树脂组合物中包括不足2.5重量％的紫外线吸收剂。此时，可得到在保存及输送过程中无微粒或金属离子的浸出，能维持高纯度药液的品质，且不易破损，轻量的容器主体2。

另外，也可以在这些具体例所记载的容器的外层设置弯曲弹性率为700MPa以上的热塑性树脂层以形成容器主体2，还可以与所设置的外层一起，在多层结构的整个壁部都具有700MPa以上的弯曲弹性率。

如图1所示，支承台3具有与容器主体2的转槽11嵌合的突起部12，直径与胴部5大致相同的外侧圆筒部13和与圆底6的下侧抵接以进行支撑的内侧圆筒部14形成为各自圆筒部13、14的下部在底部15相连的两层圆筒状。由于通过将上述支承台3嵌入到容器主体2而不会使圆底6碰到平坦的保管台18，因此，液体容器1能稳定地自立。

此外，如图1所示，当将多个液体容器1叠起时，通过使支承台3的底部15至少一部分与叠在下层的容器主体2的顶部7抵接而卡合。而且，由支承台3的内侧圆筒部14而形成在其中央部的贯穿部9为可对叠在下层的容器主体2的带栓体16的排出口8进行收容的空间。因此，能将多个液体容器稳定地叠起。上述贯穿部9用于将液体容器1安装到后述送液装置20时的定位。

另外，底部15的形状也可以是与顶部7的倾斜相对应的形状或是使底部15的一部分隆起而具有与顶部7抵接的足部的形状，以使其能稳定且容易地承载到叠在下层的顶部7上。

较为理想的是，支承台3由前述可材料再生的热塑性树脂形成。

另外，由于若将容器主体2的圆底6的曲面直径形成得较小，则液体17容易集中到最底部，需要将支承台3的高度形成得较高，因此需要协调这些因素来形成。作为一例，较为理想的是，以胴部5的半径的1～30倍左右的半径来形成圆底6的曲面。此外，较为理想的是，以圆底6的最底部与胴部下端具有3～300mm左右落差的形态形成圆底6，更为理想的是，以圆底6的最底部与胴部下端具有5～100mm左右落差的形态形成圆底6。

此外，也可以在容器主体2的顶部7设置用于在搬运时把握的把手。此时，在将液体容器1叠起时，将把手设置成收纳在支承台3的贯穿部9中。把手最好是可倒式。

通过将规定量的液体17填充到如上所述的液体容器1，再将栓体16与排出口8螺合密封，从而能进行液体17的储存及输送。

接着，参照图2、图3、图4对本发明的液体输送装置及送液方法，进行说明。

送液装置20是设有液体容器1来将液体17输出的装置，如图2所示，包括底座31、送液转接器21以及扣压构件34。

底座31是用于承载液体容器1的构件，其在金属制板上具有圆柱状的突起部32，该突起部32与液体容器1的贯穿部9正好相嵌，并且与容器主体2的圆底6的至少最底部外壁相抵接。突起部32的上表面部(图的上部)可如图2所示呈平坦状、或可形成为在与圆底6正好相嵌这样的曲面上凹陷的形状。由于使突起部32的上表面部在曲面上凹陷的形状能用面来对容器主体2予以支承，因而较为理想。从底座上部突起的突起部32的高度可如图2所示，既可以是液体容器1的底部15悬空于底座31的高度，也可以是底部15正好与底座31相接触的高度。此外，从液体容器1的定位的观点来看，突起部32的直径最好是能与贯穿部9恰好相嵌的直径，但只要至少比贯穿部9小即可。

如图2所示，扣压构件34被带固定机构的转轴35可自由动作地支承在从底座31起立设置的立柱33上。这种扣压构件34在与被嵌入排出口8的送液转接器21上部抵接的位置上可由转轴35的固定机构固定该扣压构件的动作。在转轴35上设有固定解除按钮(未图示)，通过操作该按钮就可使扣压构件34再次自由动作。作为扣压构件34的固定机构，能使用各种公知的机构。

而且，如图2～4所示，扣压构件34具有限位件36，该限位件36形成有用于贯穿后述加压连接器30的通口部36a。作为一例，限位件36是由金属制棒材经弯曲或经焊接等连接而形成，其具有形成为U字型形状的通口部36a，并形成具有从各个端部延伸到扣压构件34的侧面的支承棒材。这种限位件36被牢牢的固定于扣压构件34的侧壁。限位件36在扣压构件34转动时不会与送液转接器21相干扰，通口部36a与加压连接器30相接触而使限位件36设置在对扣压构件34的转动进行卡定的位置。另外，通口部36a只要是能穿过加压连接器30的形状即可，既可以是将棒材弯曲成环状而形成的圆环状，也可以是具有孔部的平板状。尤其是在形成为如图示的U字型形状的情况下，由于其上部侧开口，因此能方便进行加压连接器30的拆装作业，因而较为理想。

此外，扣压构件34具有定位销37。

如图3所示，送液转接器21形成为阴螺栓，从而可对液体容器1的排出口8进行密封。送液转接器21具有：气体供应口25；送液管23；压力计26；安全阀27；以及手动阀28。

如图3、图4所示，送液转接器21具有与排出口8相嵌合的呈圆筒状的嵌合部21a以及对与送液管23、气体供应口25及气压计等相连的管道进行支承的管道支承部21b，两者均具有气密性，并且，管道支承部21b形成为与嵌合部21a相结合且在其轴向上可自由转动。

此外，如图4所示，送液转接器21的管道支承部21b被形成为上表面平坦，并且在其上表面的一部分形成有与扣压构件34的定位销37相嵌的定位槽24。作为一例，定位槽24为在管道支承部21b的圆柱侧壁开有槽端，其沿着圆柱侧壁朝圆柱中心轴的方向，以与定位销37相嵌的槽宽形成至到达送液管23跟前的位置。。

定位槽24和定位销37是本发明的定位机构的一例，在扣压构件34与送液转接器21的上部相抵接的位置上，当定位销37与定位槽24相嵌合时，管道支承部21b相对于扣压构件34，的方向会被固定，以限定气体供应口25相对于扣压构件34的位置。具体而言，当定位槽24与定位销37嵌合时，限定了扣压构件34与气体供应口25的位置，以使加压连接器30与气体供应口25能在加压连接器30穿过限位件36的通口部36a的状态下连接。另外，也可以将与定位销37相嵌的孔部形成在管道支承部21b上来代替定位槽24。

气体供应口25，其是对容器主体2内供应气体的供给口，其呈可连接加压连接器30的结构，该加压连接器30通过耐压管与加压源29相连。加压连接器30附有安全锁定机构，并具有开放阀，该开放阀在容器内留存有气压，从气体供应口25不小心取下加压连接器30时，将气体释放到外部。

加压源29从由如图3所示那样的储气瓶或未图示的气体发生装置、减压调整器、储气罐等构成的气体供应装置以最高不超过200kPa的压力、较好为10k～200kPa的压力、更好为压力10k～50kPa的压力，供应除去了非活性气体(作为一例为氮气)或微粒的空气。

送液管23的末端23a位于与容器主体2内的圆底6的最低位置的部分(最底部)接近的位置，并且被固定于送液转接器21以使前端23b被导出到容器主体2的外部。具体而言，送液管23被固定在与管道支承部21b的中心轴大致一致的位置。较为理想的是，送液管23的末端23a固定于送液转接器21，以使距圆底6的最底部的距离尽可能接近，作为一例，可固定成1～3mm的距离。在送液管23的前端23b附有配管连接用的连接器39。

压力计26是用于对容器主体2的内压进行监视的测定器。安全阀27在当容器主体2内的压力高于规定值时，将气体释放到外部。手动阀28通常是关闭着的，根据需要进行手动操作来气体释放到外部。

接着，对送液装置20的使用方法及动作、以及液体17的送液方法进行说明。

如图3所示，将填充了液体17的液体容器1以其贯穿部9与底座31的突起部32相嵌的形态承载。藉此，液体容器1被方便地定位在底座31上。接着，若液体容器1安装有栓体16则卸下该栓体，将送液转接器21安装到排出口8。

藉此，送液转接器21的送液管23的末端23a被插入到圆底6的最低部附近，送液管23的前端23b被导出到容器外部。

接着，将扣压构件34押接固定到送液转接器21的上部。此时，如图4所示，使管道支承部21b转动，以使扣压构件34的定位销37与送液转接器21的定位槽24嵌合。藉此，如图3所示，能方便地使扣压构件34和送液转接器21的方向呈一致的状态，通过底座31的突起部32和扣压构件34来夹住容器主体2的上下两侧。此外，限位件36随着扣压构件34的转动而与气体供应口25接近，限位件36的通口部36a位于穿过气体供应口25的轴线的位置。

接着，对气体供应口25安装停止气体供应的加压源29的加压连接器30。此时，由于气体供应口25已被定位，因此，加压连接器30必然穿过限位件36的通口部36a而与气体供应口25连接。

在送液管23的连接器39上，经由耐压管连接有作为一例的光致抗蚀散布装置50。光致抗蚀散布装置50是用于对未图示的半导体晶片喷射光致抗蚀液的装置，其具有：缓冲容器51；泵52；过滤器53；三通阀54；以及喷嘴55。

接着，若打开加压源29的调节器来供应气体，则气体会流入容器主体2内以对液体17的液面施加压力，液体17被从送液管23输送出以而被送到光致抗蚀散布装置50。此时，对容器主体2施加有利用气体压力而膨胀方向的力，但由于容器主体2是由弯曲弹性率至少为700MPa的树脂形成，不会发生破损等，因而很安全。

此外，由于气体压力最高不超过200kPa，因此在被送出的液体17中几乎不会产生气泡。由于气体压力越低，气泡的产生越少，因此，压力最好是例如10k～50kPa。

由于容器主体2和送液转接器21是通过突起部32和扣压构件34来限定上下方向的位置，因此可防止朝上下方向的形变。因此，送液管23的末端23a与圆底6之间的距离不会变大，而是维持挨近的状态。因而，即使液体17的残液量变少，也能将集中到圆底6中央部的液体17基本送出。

最后，如图3中的右侧圆框内所示，由于因液体17的表面张力和气体压力，能将积到比末端23a更下侧的液体17基本送出，因此，液体17的残液量变的非常少。因而，液体17的残液量为液体容器1的收容容量的0.5％以下。

使用完毕的液体容器1通过解除对送液转接器21加以固定的扣压构件34的固定而朝上方转动来使其开放，但若在加压状态下开放，则会因残压而使液体容器1与送液转接器21一起飞出，对操作者带来进一步危险。但是，通过将加压连接器30穿过限位件36的通口部36a来安装，即使欲使扣压构件34朝上方转动，限位件36也会与加压连接器30的下部抵接而卡定其转动。因此，由于能可靠地防止送液转接器21因残压而飞出，因此能制成为非常安全的装置。只要在加压连接器30上有效利用所附带的安全锁定机构且不解开安全锁定机构，就无法使扣压构件34朝上方跳起来取出使用完毕的液体容器1。

使用完毕的液体容器1可作为塑胶原料进行材料再生(再资源化)。支承台3可以洗净后直接再利用。此外，根据所填充的液体17的种类，也可以将容器主体2洗净后再利用。

另外，如图5所示，当使用气体供应口25朝上方(图的上方)安装的送液转接器21时，在扣压构件34与送液转接器21的上部相抵接的状态下，将限位件36固定在扣压构件34的侧面，以使U字型的通口部36a穿过气体供应口25的轴线。此时，通口部36a以可穿过图5所示的加压连接器30的连接部30a、但却无法穿过主体部30b的大小形成。

在上述送液装置20中，如图5的双点划线的箭线所示，随着扣压构件34的转动限位件36也一起转动。使扣压构件34与送液转接器21抵接而固定的状态下，将其轴线穿过气体供应口25附近，通口部36a位于比气体供应口25稍靠上侧的位置。将加压连接器30的连接部30a穿过通口部36a而与气体供应口25连接。藉此，加压连接器30的主体部30b位于比通口部36a更靠上侧的位置。在此状态下，即使欲解除固定而使扣压构件34朝上方转动，通口部36a也会与加压连接器30的主体部30b抵接而卡定。因此，能防止在安装着加压连接器30的情况下就将扣压构件34朝上方跳起，因此，送液转接器21不会因残压而飞出，非常安全。

另外，对在液体容器的排出口8上形成阳螺栓、在栓体16和送液转接器21上形成阴螺栓，以用螺栓结合的例子进行了说明，但是只要能使气体不从排出口8漏出而进行密封，并不限于上述例子，例如也可以通过嵌合来使其结合。

实施例

试制应用本发明的液体容器1和送液装置20。容器主体2是由弯曲弹性率920MPa的高密度聚乙烯树脂(密度为0.955g/cm³、熔融指数为0.15g/10分钟)形成，支承台3是由直链状低密度聚乙烯树脂(密度为0.938g/cm³、熔融指数为3.8g/10分钟)形成，从而形成20L的容器。容器主体2的平均板厚为3mm，支承台3的板厚为3mm。容器主体2的胴部5的半径为150mm，胴部5的长度为300mm，圆底6是由半径2253mm的曲面形成。将外径为6mm的送液管23固定于送液转接器21，以使圆底6与送液管23的末端23a的距离为5mm。在液体容器1中填充20L的水，再安装到送液装置20上，以20kPa的气体压力进行送液，此时液体容器1内的残留水量为10mL。

在上述液体容器1中填充20L的水，并叠起3个液体容器。没有确认到任一个液体容器1破损或形变，因此能稳定地叠起。

试制另一个应用本发明的液体容器1和送液装置20。容器主体2是由：

内层原料为弯曲弹性率1370MPa的高密度聚乙烯树脂(密度为0.958g/cm³、熔融指数为0.35g/10分钟)；中间层原料为密度为1.19g/cm³、熔融指数为1.6g/10分钟、乙烯共聚比率为32mol％的乙烯-乙烯醇共聚树脂；以及外层原料为弯曲弹性率1100MPa的高密度聚乙烯树脂(密度为0.957g/cm³、熔融指数为0.04g/10分钟)形成，

支承台3是由直链状低密度聚乙烯树脂(密度为0.938g/cm³、熔融指数为3.8g/10分钟)形成，从而形成4L的容器。容器主体2的平均板厚为3mm，支承台3的板厚为3mm。此时，多层容器的弯曲弹性率为1150MPa。容器主体2的胴部5的半径为85mm、容器全高为310mm(胴部5的长度为230mm)、圆底6是由半径为731mm的曲面形成。将外径为6mm的送液管23固定于送液转接器21，以使圆底6与送液管23的末端23a的距离为3mm。在液体容器1中填充4L的水，再安装在送液装置20上，以20kPa的气体压力进行送液，此时液体容器1内的残留水量为8mL。

不管是在工业制造领域，医药品领域以及食品领域，只要是在使用高品质液体的领域均能使用本发明的液体容器和送液装置，也可一起使用本发明的送液方法。

Claims

1.一种液体容器，包括：

容器主体，该容器主体是由弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂吹塑成型，在大致呈圆筒状的胴部形成有圆底，顶部具有与所述胴部同心的排出口，所述容器主体能对液体进行收容，且所述排出口有可进行拆装的栓体；以及

树脂制的支承台，为了能使容器主体自立，该支承台与所述胴部的所述圆底侧嵌合，其特征在于，

所述容器主体的至少内表面是由不会在液体中浸出规定标准值以上的杂质微粒的高纯度热塑性树脂形成，

当将多个容器主体叠起时，在所述支承台上形成有可对叠在下层的所述容器主体的带有所述栓体的所述排出口进行收容的贯穿部，并且形成有可与叠在下层的所述容器主体的顶部卡合的底部。

2.如权利要求1所述的液体容器，其特征在于，形成所述容器主体和/或所述支承台的树脂是可材料再生的树脂。

3.一种送液装置，安装有如权利要求1或2所述的液体容器，以将所述液体容器内的液体送出，其特征在于，包括：

底座，该底座安装有所述液体容器，并具有突起部，该突起部与所述支承台的所述贯穿部相嵌而与所述容器主体的所述圆底抵接；

送液转接器，该送液转接器能代替所述栓体而相对于所述排出口拆装，且能对所述容器主体进行密封，所述送液转接器具有气体供应口和送液管，其中，所述气体供应口用于与最高不超过200kPa的压力的加压源连接，以对所述容器主体内供应气体，所述送液管的末端位于与所述容器主体内的所述圆底的最底部接近的位置，且所述送液管的前端导出到所述容器主体的外部；以及

扣压构件，该扣压构件可自由运动地设置在从所述底座起立设置的支柱上，且能在和与所述排出口相嵌的所述送液转接器的上部抵接的位置上固定其动作。

4.如权利要求3所述的送液装置，其特征在于，在所述气体供应口上连接有压力为10k～50kPa的所述加压源。

5.如权利要求3或4所述的送液装置，其特征在于，在所述气体供应口上可连接地形成有与所述加压源相连的加压连接器，所述扣压构件具有限位件，当在与所述送液转接器的上部抵接的状态下将所述加压连接器与所述气体供应口连接时，所述限位件与所述加压连接器抵接而将所述扣压构件的移动卡定。

6.如权利要求5所述的送液装置，其特征在于，所述扣压构件和所述送液转接器具有定位机构，该定位机构相互嵌合以限定对所述气体供应口相对于所述扣压构件的位置。

7.一种送液方法，其特征在于，在如权利要求1或2所述液体容器中填充液体，将送液管的末端插入到圆底的最底部附近，并将所述送液管的前端导出到外部，夹住所述液体容器的容器主体的上下两侧，在所述液体容器内供应最高不超过200kPa的压力的气体，将液体从所述液体容器送出。

8.如权利要求7所述的送液方法，其特征在于，所述气体的压力为10k～50kPa。