TWI542514B

TWI542514B - A liquid delivery device and a liquid container

Info

Publication number: TWI542514B
Application number: TW099137783A
Authority: TW
Inventors: Keiji Kawai; Yasuyuki Ota
Original assignee: Aicello Corp
Priority date: 2009-11-04
Filing date: 2010-11-03
Publication date: 2016-07-21
Also published as: KR101661963B1; KR20110049684A; CN102050248B; CN102050248A; JP2011098736A; JP5560019B2; TW201139218A

Description

送液裝置以及液體容器

本發明是關於填充液體用之液體容器，以及將液體從該液體容器送出的送液裝置和液體之送出方法。

於半導體及液晶領域中所使用的光阻劑或溶劑等的工業用高純度藥液、醫療用高純度藥液及液態食品用材料等的液體，必須於無異物混入而維持高純度的狀態下進行儲存、搬運及使用。所以，用於儲存、搬運這些液體的液體容器，或者直接安裝到送液裝置來使用的液體容器，最好其成份溶出極少。如此之液體容器及液體之送出方法被揭示於日本特開平11-290420號公報。

於上述文獻中所記載之液體容器，具有多層結構且以高純度樹脂形成內層，於容器上部側突設排出口，且底部形成平坦狀而使容器能站立。將高純度藥品液填充到此容器，如該文獻所圖示，在容器周圍用能耐氣壓的耐壓保護容器或保護容器覆蓋而進行耐壓保護，利用氣體壓力送出液體。

然而，上述文獻所記載之液體容器，於液體送出時，很難排出殘留於平坦容器底部之液體，而有殘液量多的課題。此外，欲保管複數個液體容器、或在送液裝置附近進行準備時，必須將液體容器排成一列而需要寬廣的空間。並且，將液體容器安裝於送液裝置時，必須用耐壓保護容器覆蓋，所以送液裝置的零件數變多，變成大規模且高價的裝置，又液體容器的安裝作業和交換作業繁雜。再者，使用高壓氣壓送出液體時，於液體內將容易產生氣泡，所以送液裝置必須設置用來去除液體中氣泡的過濾器。

本發明係為了解決上述課題而開發完成的，其目的係為了提供一種可輸送的液體容器，其不僅能將所填充之液體維持高品質，且能省空間地進行液體之儲存，同時能儘量減少送液時之殘液量。再者，其目的是為了提供一種送液裝置及送液方法，能簡便地進行該液體容器的安裝作業和交換操作，且結構簡單又低成本，並能確實地減少液體容器內之殘液量，且能安全地送出液體。

為了達成前述目的之本發明之液體容器，係具備容器主體及樹脂製的支承台；該容器主體，係由彎曲彈性模數至少為700MPa之熱可塑性樹脂進行吹塑成形而製得，於大致呈圓筒狀之胴部形成圓底及頂部，且在頂部具有與該胴部同心之排出口，能容納液體且設有可在該排出口裝卸的栓蓋；該支承台，是為了使該容器主體站立而嵌合於該胴部之該圓底側；其特徵在於：該容器主體，至少其內表面係由不會滲出既定基準值以上之雜質微粒子到液體中的高純度熱可塑性樹脂所形成；在該支承台形成有貫通部及底部，於堆疊複數個該液體容器時，該貫通部可收容堆在下層的該容器主體之附有該栓蓋之該排出口，該底部可卡合於堆在下層的該容器主體之頂部。

此液體容器的特徵為，形成前述容器主體及/或前述支承台之樹脂係可再生的樹脂。

一種送液裝置，係供安裝前述液體容器並將該液體容器內的液體送出之送液裝置，其特徵在於，係具備台座、送液接頭及按壓構件；該台座，是供載置前述液體容器，其具有突起部，用於嵌入前述支承台之前述貫通部並抵接於前述容器主體之前述圓底；該送液接頭，可替換前述栓蓋而在前述排出口裝卸以密封該容器主體，其具有氣體供給口及送液管；該氣體供給口，是連結壓力至多為200kPa的加壓源而供應氣體到前述容器主體內；該送液管，其末端接近該容器主體內之前述圓底的最底部且前端朝該容器主體的外部導出；該按壓構件，是可動作自如地設置於從該台座豎設的支柱上，在抵接於嵌入該排出口的該送液接頭上部之位置，可固定其動作。

該送液裝置之特徵為，在前述氣體供給口連結壓力為10k至50kPa之前述加壓源。

該送液裝置之特徵為，前述氣體供給口可連接與前述加壓源連結之加壓連接器；前述按壓構件具有制動件，在其抵接於前述送液接頭上部之狀態而將該加壓連接器連接於該氣體供給口時，該制動件碰觸該加壓連接器而將該按壓構件的移動予以卡止。

該送液裝置之特徵為，前述按壓構件與前述送液接頭具有：互相嵌合而規定相對於該按壓構件之該前述氣體供給口的位置之定位機構。

一種送液方法，其特徵為，於前述液體容器填充液體，將送液管的末端插入到圓底的最底部附近，將其前端朝外部導出，夾住該液體容器的容器主體的上下，對該液體容器內供給壓力至多為200kPa的氣體，從該液體容器將液體送出。

該送液方法之特徵為，前述氣體壓力為10k至50kPa。

依據本發明之液體容器，其容器主體所使用的樹脂，係從內表面不會滲出基準值以上之雜質微粒子到液體中的高純度熱可塑性樹脂，且彎曲彈性模數至少為700MPa之熱可塑性樹脂，因此不僅可維持液體的高品質，同時還具有優異的機械強度，可防止輸送時或保管時的容器發生破損或變形。特別是於送液時，即使以壓力200kPa加壓也能防止容器的大幅變形。此外，因其具有優異的機械強度，即使堆疊複數個填充有液體的容器，堆在下層的液體容器也不會發生破損。再者，當堆疊複數個液體容器時，因堆在下層的液體容器之附有栓蓋的排出口收容於支承台的貫通部，且在下層的頂部卡合支承台的底部，因此可進行穩定地堆疊且省空間地進行保管。又，因容器主體呈圓底，可減少送液時之液體殘量。

依據本發明之液體容器，是由可回收再生的樹脂所形成，可作為原料而進行再生循環使用，具有優良的環保性。

依據本發明之送液裝置及送液方法，藉由夾住容器主體的上下兩側，可防止上下方向之變形。因此，送液管的末端與圓底之間的距離不會變遠，所以送液時能將集中到圓底的液體毫無浪費地以確實減少殘液量的方式送出。作為一例，其液體的殘液量可為容器容量的0.5%以下，較佳為0.1%以下。因此，可增加收容於液體容器中之液體的可使用量，進而提高產率，且能減少液體容器的交換頻率而具有優異的生產性。再者，因其使用具有優異的機械強度之液體容器，不須用耐壓保護容器來覆蓋液體容器，不僅液體容器的安裝作業和交換作業簡便，且裝置結構簡單而變得低成本，又容易維修，而成為經濟性優異的裝置。此外，藉由以壓力至多為200kPa的氣體進行加壓，液體容器不會產生破損而非常安全，又因為是低壓而能減少在液體中產生之氣泡量。

依據本發明之送液裝置及送液方法，藉由使供給到液體容器內的氣體壓力為10k~50kPa，可進一步減少在液體中產生的氣泡量。

依據本發明之送液裝置，因按壓構件具有可碰觸加壓連接器而將按壓構件的移動予以卡止之制動器，所以可防止：在連接著加壓連接器(亦即液體容器內殘留有壓力)的狀態下，不小心卸下用來固定送液接頭的按壓構件，因此可防止壓力造成送液接頭飛出，可從裝置安全地卸下液體容器。

依據本發明之送液裝置，按壓構件及送液接配器具有：規定相對於按壓構件之氣體供給口的位置之定位機構，藉此能使氣體供給口朝一定的方向，能簡便地將加壓連接器連接於氣體供給口，所以能迅速且簡便地進行液體容器的安裝作業。再者，將連接於氣體供給口的加壓連接器與制動器間的位置關係規定成一定的位置關係，所以制動器可確實地卡止按壓構件的移動。

以下，對本發明之實施形態作詳細說明，但本發明之範圍並不限定於該等形態。

有關本發明之液體容器的較佳形態，參照第1圖作說明。

第1圖顯示，堆疊例如兩個本發明之液體容器1並置於保管台18上之狀態。液體容器1，係一種無成分溶出而不會污染所填充液體17之物，可用於液體17的儲存、搬運，或將其直接安裝到送液裝置供使用。

此液體容器1，例如適用於要求潔淨液體品質的半導體和液晶元件的製造領域、醫藥品領域及食品領域。作為液體17可舉例如：光阻液、酸、鹼、溶劑等在半導體和液晶元件製造時所用的液體；消毒藥液、輸液、透析液等醫藥用液體；香料、濃縮液、食品添加物等用於食品領域之液體。以下說明，液體17為半導體和液晶元件製造時所用的光阻液的例子。

液體容器1如第1圖所示，係由容器主體2及支承台3所構成。

容器主體2，其大致呈圓筒狀的胴部5之下部側(圖之下側)為圓底6，胴部5之上部側(圖之上側)被形成有排出口8之頂部7封閉。

排出口8形成比胴部5直徑小的圓筒狀，與胴部5同心，從頂部7之中央部朝容器外側突設。在排出口8的外周形成公螺紋，可讓形成有母螺紋的栓蓋16進行裝卸。

頂部7，從排出口8下端到胴部5可形成大致平坦狀，但如第1圖所示，最好是形成從排出口8到胴部5稍往下傾斜的形狀，如此可增加容器的耐壓強度。此外，若頂部7形成往下傾斜的形狀，於液體容器1使用後，將容器主體2上下顛倒即可容易地排出微量殘留的殘液或洗淨水，從回收再生的觀點是較佳的。此外，在頂部7上方堆疊支承台3時，為了避免支承台3左右移位，較佳為讓頂部7的上部隆起，而形成可嵌入後述的貫通部9之比貫通部9稍小徑的隆起部7a。

於胴部5的圓底6側，形成供支承台3嵌入之環繞溝槽11。

容器主體2形成能填充期望容量的液體17之大小，例如1~200L(公升)。關於容器主體2之直徑，若容量為1L例如形成直徑90mm，若容量為200L例如形成直徑600mm，其直徑和容量可為任意大小。

容器主體2係由彎曲彈性模數至少為700MPa之熱可塑性樹脂進行吹塑成形而製得，且至少其內表面係由高純度熱可塑性樹脂所形成。例如，當容器主體2係由多層構造的壁部所形成時，只要內表面層由高純度熱可塑性樹脂所形成，其他任一層可由彎曲彈性模數至少為700MPa之熱可塑性樹脂所形成即可，或由熱可塑性樹脂所形成之多層構造的壁部整體形成具有彎曲彈性模數至少為700MPa亦可。此外，當容器主體2係由單層的壁部所形成時，則使用彈性模數至少為700MPa之高純度熱可塑性樹脂來形成即可。不管哪一種情況，皆可使用公知的吹塑成型機進行成形。在此，彎曲彈性模數的測定法係依照JIS K7171。

對容器主體2供給至多為壓力200kPa的氣體，藉由此加壓來輸送液體17的情況，作為防止容器的破損和大幅變形所需的強度，容器樹脂之彎曲彈性模數至少為700MPa。若彎曲彈性模數未達700MPa，當加壓時容器的變形量大，必需像習知容器那樣，例如用不鏽鋼耐壓容器等的耐壓保護容器來覆蓋並保護容器主體2。

容器主體2的板厚，雖然增加板厚度能提高容器強度，但若過厚，不僅需要更多的原材料同時容器重量也會變重，所以在彎曲彈性模數至少為700MPa且容易成型的範圍內，板厚越薄越好。例如板厚為1.5~4mm左右時容易成形，是較佳的。

在此，高純度熱可塑性樹脂是指：不會滲出既定基準值以上之雜質微粒子到液體17中的樹脂。具體而言，於容器主體2中長時間儲存液體17的期間發生雜質微粒子的滲出，作為表示品質降低程度的指標稱為潔淨度。潔淨度，是將超純水或光阻液儲存於檢查容器中一定期間之後，算出所儲存的內容液1mL中粒徑0.2μm以上的微粒子之存在個數。具體而言是依下式(1)所定義。

式(1)中，a：檢查容器容量；b：從檢查容器所取樣的內容液量。首先，用於測定初期潔淨度的取樣液之採取步驟如下：於容量a(mL)的檢查容器中放入容量之半量，亦即a/2(mL)的超純水或光阻液，振動15秒再靜置24小時後進行採取。用於測定儲存後之潔淨度的取樣液之採取步驟如下：在測過初期潔淨度的容器上安裝栓蓋放置一定期間之後，為避免產生氣泡而將容器旋轉3次後進行採取。c：通過微粒子計數器計算取樣液全量中所含粒徑0.2μm以上的微粒子個數。根據這些數值依式(1)算出初期及一定期間儲存後之潔淨度。潔淨度的數值越低顯示光阻液的品質越好。當潔淨度為未達100個/mL時，其不會降低半導體、液晶顯示器(LCD)的品質及良率，可穩定地儲存藥液。

因此，作為高純度熱可塑性樹脂，將容器主體2作為檢查容器而測定其潔淨度時，是使用能滿足期望潔淨度的樹脂。收容光阻液時，使用潔淨度為未達100個/mL(既定基準值之一例)的樹脂。換句話說，高純度熱可塑性樹脂是指：不會滲出既定基準值以上之雜質微粒子到液體中的樹脂。此外，亦可對應於所適用的規格而算出粒徑0.3μm以上的微粒子個數。亦可對應於所適用的規格而使用潔淨度未達200個/mL的樹脂。另外，栓蓋16亦可由高純度熱可塑性樹脂所形成。

此外，除了潔淨度以外，亦可利用液體17的透明度惡化程度(既定基準值之其他例)來規定雜質微粒子的滲出程度。

形成容器主體2之樹脂較佳為可回收再生的樹脂，可舉例如：聚乙烯、聚丙烯等的聚烯烴；聚醯胺、聚乙烯醇、乙烯-乙烯醇共聚物、聚酯、聚氧苯等。可將該等樹脂單獨地使用而形成單層的壁部，亦可將該等樹脂使用複數個而形成多層構造的壁部。

作為具體例，容器主體2可採用下述結構：由皆為聚乙烯或乙烯‧α-烯烴共聚物之聚合體(a)和聚合體(b)所構成。聚合體(a)之重量平均分子量為20萬以上，密度為0.940~0.970g/cm³，根據JIS K6760的熔融指數為0.09g/10分以下，且在總重量中占30~95重量%，實質上覆蓋外側表面；聚合體(b)之重量平均分子量為3萬以上未達20萬，密度為0.930~0.970g/cm³，根據JIS標準熔融指數為0.1~1.0g/10分，且在總重量中占5~70重量%，實質上覆蓋內側表面。在此情況，雜質微粒子朝所儲存藥品中的滲出量極少，具優異的耐藥品性，並有充分的機械強度，可作為能充分滿足有關危險物藥品搬運容器之最新最嚴格國際標準的容器主體2。

再者，作為其他具體例，容器主體2可採用下述結構：至少其內側表面係由密度為0.940~0.970g/cm³的聚乙烯或乙烯‧α-烯烴共聚物所構成。通過液相層析儀定量，相對於樹脂總重量，此樹脂中所含的中和劑、抗氧化劑及耐光安定劑的含量皆為0.01重量%以下；通過凝膠滲透層析儀測定之此樹脂的重量平均分子量為12~26×10⁴，樹脂中分子量1×10³以下的聚合體，相對於樹脂總重量未達2.5重量%。其中，α-烯烴可選自丙烯、1-丁烯、4-甲基-1-戊烯、1-己烯、1-辛烯中至少任一種。如此，可獲得具有優異的機械強度，操作容易且雜質微粒子朝所保管儲存的溶劑中之滲出量極少的容器主體2。此外，即使把下述液體收容到此容器主體2中，仍可充分滿足日本藥典所制定的品質標準：甲醇、乙醇、異丙醇、異丁醇、乙二醇、丙酮、醋酸乙酯、甲苯、二甲基甲醯胺、乙二醇乙酸酯、甲氧丙醇乙酸酯、丁基賽路蘇等，及用於殺菌、消毒、製劑原料等的醫藥用高純度溶劑，例如甲醇、乙醇、異丙醇等。

作為其他的具體例，容器主體2可由樹脂組成物進行成形而得，該樹脂組成物含有：凝膠滲透層析儀所測定之重量平均分子量為12~26×10⁴，分子量1×10³以下之成分未達5重量%，密度為0.940~0.970g/cm³的聚乙烯或乙烯‧α-烯烴共聚物的樹脂；通過液相層析儀定量之含量皆為0.01重量%以下之中和劑、抗氧化劑及耐光安定劑；選自氧化鈦、碳黑、及氧化鐵紅的無機顏料，酞花青系、喹吖酮系、及偶氮系的有機顏料中至少一種的遮光性顏料0.01~5重量%；數平均分子量為2×10³以上的烯烴系聚合體的分散劑未達5重量%。在此情況，可獲得具優異的機械強度、操作容易、雜質微粒子朝所儲存的藥品中之滲出量極少、且可防止遇光變質的容器主體2。所以，可廣泛適用於半導體用藥液和上述醫藥用的溶劑等。

又，作為其他具體例，容器主體2亦可為包含內層、中間層和外層之吹塑成形的容器。該內層，係由含有選自乙烯、丙烯、1-丁烯、4-甲基-1-戊烯、1-己烯或1-辛烯的烯烴聚合體，及乙烯與乙烯以外的烯烴之共聚物中的一種，且中和劑、抗氧化劑及耐光安定劑之各個含量至多為0.01重量%的高純度樹脂所構成；該中間層，係由含乙烯-乙烯醇共聚物的溶劑阻隔性樹脂所構成；該外層，係由含遮光性物質的樹脂組成物所構成；通過分光光度計測定，於波長400nm以下，容器全層的最低吸光度為2.0以上，且將容器全層的吸光度除以容器全層的厚度，於波長400nm其吸光係數為1.5mm^-1以上，於波長600nm其吸光係數為1.5mm^-1以下。在外層的樹脂組成物中可含有：由選自數平均分子量為2×10³以上的聚乙烯及聚丙烯中至少一種的烯烴系聚合體所構成之顏料分散劑未達5重量%；選自無機顏料及有機顏料中至少一種之遮光性顏料0.01~5重量%。在外層的樹脂組成物中亦可含有未達2.5重量%的紫外線吸收劑。在此情況，可獲得於保存及輸送中不會發生微粒子和金屬離子的滲出而能維持高純度藥品液的品質，且不易破損又輕量的容器主體2。

又亦可於該等具體例中所記載容器的外周設置彎曲彈性模數為700MPa以上之熱可塑性樹脂層而構成容器主體2，或者配合所設置的外層，使層構造之壁部整體之彎曲彈性模數成為700MPa以上亦可。

支承台3如圖所示，是將外側圓筒部13的下部和內側圓筒部14的下部在底部15連結而形成雙層圓筒形。該外側圓筒部13，具有可嵌合於容器主體2的環繞溝槽11之突起部12，且與胴部5大致同徑。該內側圓筒部14踫觸圓底6的下側而進行支承。藉由將支承台3嵌合於容器主體2，使圓底6不會碰觸到平坦的保管台18，因此液體容器1成為可穩定地站立。

又支承台3如圖所示，當堆疊複數個液體容器1時，其底部15之至少一部分抵接並卡合於堆在下層的容器主體2之頂部7。再者，藉由支承台3之內側圓筒部14而形成於其中央部的貫通部9，成為可收容堆在下層之容器主體2之附有栓蓋16的排出口8之空間。因此，可穩定地堆疊複數個液體容器1。此貫通部9，也作為在將液體容器1安裝到後述送液裝置20時之定位用。

此外，有關底部15的形狀，為了容易穩定地載置在堆在下層的頂部7上，可具有配合頂部7的傾斜的形狀，或讓底部15的一部分隆起而具有抵接於頂部7的腳部。

支承台3較佳為由前述可回收再生的熱可塑性樹脂所形成。

若縮小容器主體2之圓底6之曲面半徑則液體17容易集中到最底部，但必須加高支承台3的高度，所以必須調和這些因素進行成形。例如，較佳為以胴部5半徑之1~30倍的半徑來形成圓底6之曲面。此外，較佳為以圓底6的最底部到胴部下端具有3~300mm、更佳為具有5~100mm的落差的方式來形成圓底6。

此外，於容器主體2之頂部7設置供搬運時握持用的把手亦可。在此情況，於堆疊液體容器1時，設置成能收容於支承台3之貫通部9中。且把手宜為可倒式的。

在前述液體容器1填充既定量的液體17後，在排出口8螺合栓蓋16，即可進行液體17的儲存和輸送。

其次，對本發明的液體之輸送裝置及送液方法，參照第2、3、4圖作說明。

送液裝置20係供安裝液體容器1，而用來輸送出液體17，如第2圖所示係具備：台座31、送液接頭21及按壓構件34。

台座31係用於載置液體容器1，於金屬製板上具有圓柱狀之突起部32，該突起部32恰好能嵌入液體容器1之貫通部9，同時抵接於容器主體2之圓底6之至少最底部外壁。突起部32之上面部(圖之上部)可如圖示般呈平坦狀，亦可使其凹陷成圓底6恰好能嵌入的曲面。呈曲面凹陷之形狀時，能面狀地支承容器主體2而較佳。從台座上部突起之突起部32的高度，如圖所示，可為液體容器1之底部15懸空於台座31之高度，亦可為底部15恰好接觸台座31之高度。此外，從液體容器1的定位觀點來看，突起部32之直徑宜為恰好能嵌入貫通部9之徑，至少比貫通部9小即可。

如第2圖所示之按壓構件34，係透過附設有固定機構的旋轉軸35而藉由豎設於台座31之支柱33可動作自如地支承著。此按壓構件34，在抵接於嵌合在排出口8的送液接頭21上部之位置，旋轉軸35的固定機構可固定其動作。在旋轉軸35設有固定解除按鈕(未圖示)，操作此按鈕可讓按壓構件34再度動作自如。作為按壓構件34的固定機構可使用各式公知的機構。

再者，按壓構件34如第2~4圖所示具備制動器36，該制動器36形成有讓後述的加壓連接器30通過之通口部36a。制動器36之一例，係將金屬製的棒材彎曲，或經由焊接等進行連接而形成，具有U字型形之通口部36a，且具有從其各個端部延伸到按壓構件34的側面之支承棒材。此制動器36被牢牢地固定於按壓構件34之側壁。該制動器36設置成，當轉動按壓構件34時，其不會干涉送液接頭21，且通口部36a會碰觸加壓連接器30而將按壓構件34的轉動予以卡止。又通口部36a只要是能讓加壓連接器30通過的形狀即可，可將棒材彎曲成環狀，亦可為具有孔部的平板狀。特別又以形成如圖所示之U字型形狀的情況，因其上部側呈開口狀，能簡便地進行加壓連接器30的裝卸操作而較佳。

此外，按壓構件34具有定位銷37。

送液接頭21如第3圖所示，形成有母螺紋，可密封液體容器1的排出口8。送液接頭21係具備：氣體供給口25、送液管23、壓力計26、安全閥27及手動閥28。

送液接頭21如第3、4圖所示，能嵌合於排出口8之圓筒狀的嵌合部21a、及支承管路(連結送液管23，氣體供給口25及壓力計等)之圓柱狀的管路支承部21b，兩者具有氣密型，且管路支承部21b以能繞其軸方向轉動自如的方式結合於嵌合部21a。

此外，如第4圖所示，送液接頭21之管路支承部21b，其上面形成平坦，同時，在其上面之一部分形成供按壓構件34之定位銷37嵌入的定位溝槽24。作為定位溝槽24之一例，溝槽端開口於管路支承部21b之圓柱側壁，沿著從圓柱側壁朝圓柱中心軸的方向，形成定位銷37可嵌入的溝槽寬度迄送液管23的前方位置為止。

定位溝槽24及定位銷37是本發明之定位機構的一例，於按壓構件34抵接於送液接頭21上部之位置，當定位銷37嵌合於定位溝槽24時，相對於按壓構件34之管路支承部21b的方向可無歧異地決定，藉此規定相對於按壓構件34之氣體供給口25的位置。具體而言，當定位溝槽24與定位銷37彼此嵌合時，是將按壓構件34和氣體供給口25的位置規定成：能在制動器36之通口部36a讓加壓連接器30通過的狀態下連接加壓連接器30與氣體供給口25。此外，亦可取代定位溝槽24，於管路支承部21b上形成可嵌合定位銷37的孔部。

氣體供給口25，可連接加壓連接器30(通過耐壓軟管連結於加壓源29)，是對容器主體2內供應氣體之供氣口。加壓連接器30附設有安全鎖定機構，其具有釋放閥，當殘留有氣體壓力時不小心要從氣體供給口25卸下的情況，可將氣體釋放到外界。

加壓源29，其係由第3圖所示之儲氣鋼瓶、或未圖示的氣體產生裝置、減壓調整器、儲氣槽等所構成的氣體供給裝置，以至多為壓力200kPa、較佳為壓力10k~200kPa、更佳為壓力10k~50kPa供給非活性氣體(例如氮氣)、或除去微粒子後之空氣。

送液管23，其末端23a接近容器主體2內之圓底6之最低位置的部分(最底部)，前端23b朝容器主體2的外部導出，而以此方式固定於送液接頭21。具體而言，送液管23固定於與管路支承部21b的中心軸大致一致的位置。較佳為固定成使送液管23之末端23a與圓底6之最底部的距離儘量縮短，例如固定成距離為1~3mm。於送液管23之前端23b附設有配管連接用的連接器39。

壓力計26，係用來監視容器主體2的內壓之測定器。安全閥27，當容器主體2內的壓力高於規定值時，將氣體釋放到外界。手動閥28通常是關閉的，按照需要經手動操作將氣體釋放到外界。

其次，對送液裝置20的使用方法及動作，還有液體17的送液方法作說明。

如第3圖所示，將裝有液體17之液體容器1，以貫通部9嵌入台座31之突起部32的方式進行載置。如此，可簡便地將液體容器1定位於台座31上。接著，如果液體容器1安裝有栓蓋16的話則將其卸下，再將送液接頭21安裝於排出口8。

如此，將送液接頭21之送液管23之末端23a插入到圓底6的最低部附近，且將送液管23之前端23b朝容器外部導出。

接著，將按壓構件34按壓固定於送液接頭21之上部。此時，如第4圖所示，轉動管路支承部21b，讓按壓構件34之定位銷37嵌合於送液接頭21之定位溝槽24。藉此如第3圖所示，在簡便地讓按壓構件34和送液接頭21的方向呈無歧異地一致之狀態下，藉由台座31之突起部32及按壓構件34夾住容器主體2的上下。並且，制動器36隨著按壓構件34的轉動而接近氣體供給口25，使制動器36之通口部36a位於能讓氣體供給口25的軸線通過的位置。

接著，在氣體供給口25安裝氣體供給停止中的加壓源29之加壓連接器30。這時，由於氣體供給口25已被定位，加壓連接器30必然會通過制動器36之通口部36a而連接於氣體供給口25。

在送液管23之連接器39，透過耐壓軟管而連接例如光阻液散布裝置50。光阻液散布裝置50係具備緩衝槽51、泵浦52、過濾器53、三通閥54及吐出噴嘴55，用來對未圖示之半導體晶圓吐出光阻液。

接著，若打開加壓源29的調節器而供給氣體，氣體將流入容器主體2內而對液體17的液面施加壓力，液體17將從送液管23送出而送到光阻液散布裝置50。此時，雖然藉由氣壓而有膨脹方向的力量作用於容器主體2，但因容器主體2係由彎曲彈性模數至少為700MPa之樹脂所形成，並不會發生破損等而相當安全。

此外，因氣壓至多為200kPa，所以被輸送的液體17中幾乎無氣泡產生。由於氣壓越低氣泡產生量越少，例如壓力較佳為10k~50kPa。

容器主體2及送液接頭21，是藉由突起部32及按壓構件34來規定其上下方向的位置，所以可防止朝上下方向的變形。因此，送液管23之末端23a與圓底6之間的距離不會變大而維持接近的狀態。所以，即使液體17的殘液量變少，集中於圓底6中央部之液體17幾乎都能進行送液。

最後，如第3圖中之右側圓框內所示，利用液體17的表面張力及氣壓，積存在比末端23a更下側的液體17也幾乎都能進行送液，所以液體17的殘液量變的非常少。因此液體17的殘液量成為液體容器1的收容容量的0.5%以下。

使用完畢之液體容器1，藉由解除固定送液接頭21之按壓構件34之固定而使其往上方轉動即可將其釋放，但若在加壓狀態下進行釋放，殘留的壓力會使送液接頭21和液體容器1一起飛出，給操作者帶來危險。然而，藉由通過制動器36之通口部36a來裝設加壓連接器30，即使想讓按壓構件34往上方轉動，制動器36會碰觸加壓連接器30之下部而卡止其轉動。因此，可確實地防止送液接頭21因殘壓所造成的飛出，而構成極為安全的裝置。活用附設於加壓連接器30之安全鎖定機構，只要不解除該機構，就無法使按壓構件34往上方彈跳，而無法取出使用完畢之液體容器1。

使用完畢之液體容器1可作為塑膠原料進行回收再生(再資源化)。支承台3洗淨後可直接再利用。此外，依所填充液體17之種類，容器主體2亦可洗淨再利用。

再者，如第5圖所示，當使用氣體供給口25朝上方(圖之上方)安裝之送液接頭21時，於按壓構件34抵接送液接頭21上部之狀態下，以讓U字型的通口部36a朝向讓氣體供給口25的軸線通過的方向之方式，將制動器36固定於按壓構件34的側面。在此情況，如第5圖所示通口部36a形成能讓加壓連接器30之連接部30a通過但無法讓主體部30b通過的大小。

此送液裝置20，如第5圖中之兩點鏈線的箭線所示，隨著按壓構件34的轉動，制動器36也一起轉動。於按壓構件34抵接固定於送液接頭21的狀態下，使通口部36a位於氣體供給口25附近而讓其軸線通過，且比氣體供給口25稍上側的位置。將加壓連接器30之連接部30a通過通口部36a連接於氣體供給口25。如此，使加壓連接器30之主體部30b位於比通口部36a更上側的位置。在此狀態下，即使欲解除按壓構件34的固定而讓其往上方轉動，通口部36a會碰觸加壓連接器30之主體部30b而卡止。因此，可防止在安裝著加壓連接器30的狀態下讓按壓構件34往上方移動，可避免因殘壓造成送液接頭21飛出，故相當安全。

在此，雖是說明在液體容器1的排出口8形成公螺紋，在栓蓋16及送液接頭21形成母螺紋，而利用螺紋結合的例子，但並不限定於此，只要能密封成不致從排出口8漏出氣體即可。例如藉由嵌入而結合亦可。

[實施例]

試作運用本發明之液體容器1及送液裝置20。形成20L的容器，容器主體2係由彎曲彈性模數920MPa之高密度聚乙烯樹脂(密度0.955g/cm³，熔融指數0.15g/10分)所形成，支承台3係由直鏈狀低密度聚乙烯樹脂(密度0.938g/cm³，熔融指數3.8g/10分)所形成。容器主體2之平均板厚為3mm，支承台3之板厚為3mm。容器主體2之胴部5半徑為150mm，胴部5長度為300mm，圓底6係由半徑2253mm的曲面所形成。以圓底6與送液管23之末端23a的距離為5mm的方式，將外徑6mm之送液管23固定於送液接頭21。填充20L的水到液體容器1中，再安裝到送液裝置20，以20kPa的氣壓進行送液時，液體容器1中的殘留水量為10mL。

將填充20L水之液體容器1堆疊3個。沒有任一個液體容器1發生破損或變形，可穩定地堆疊。

試作另一個運用本發明之液體容器1及送液裝置20。形成4L容器，容器主體2含有內層、中間層及外層；內層原料為彎曲彈性模數1370MPa之高密度聚乙烯樹脂(密度0.958g/cm³，熔融指數0.35g/10分)，中間層原料為密度1.19g/cm³、熔融指數1.6g/10分、乙烯共聚比率32mol%的乙烯-乙烯醇共聚樹脂；外層原料為1100MPa之高密度聚乙烯樹脂(密度0.957g/cm³，熔融指數0.04g/10分)。支承台3係由直鏈狀低密度聚乙烯樹脂(密度0.938g/cm³，熔融指數3.8g/10分)所形成。容器主體2之平均板厚為3mm，支承台3之板厚為3mm。此時多層容器之彎曲彈性模數為1150MPa。容器主體2之胴部5半徑為85mm，容器全高為310mm(胴部5之長度為230mm)，圓底6係由半徑731mm的曲面所形成。以圓底6與送液管23之末端23a之距離為3mm的方式，將外徑6mm之送液管23固定於送液接頭21。填充4L的水到液體容器1中，再安裝於送液裝置20上，以20kPa的氣壓進行送液時，液體容器1中的殘留水量為8mL。

[產業上之利用可能性]

無論係工業製造領域、醫藥品領域及食品領域，只要是使用高品質液體的領域皆能使用本發明之液體容器及送液裝置以及本發明之送液方法。

1．．．液體容器

2．．．容器主體

3．．．支承台

5．．．胴部

6．．．圓底

7．．．頂部

7a．．．隆起部

8．．．排出口

9．．．貫通部

11．．．環繞溝槽

12．．．突起部

13．．．外側圓筒部

14．．．內側圓筒部

15．．．底部

16．．．栓蓋

17．．．液體

18．．．保管台

20．．．送液裝置

21．．．送液接頭

21a．．．嵌合部

21b．．．管路支承部

23．．．送液管

23a．．．末端

23b．．．前端

24．．．定位溝槽

25．．．氣體供給口

26．．．壓力計

27．．．安全閥

28．．．手動閥

29．．．加壓源

30．．．加壓連接器

30a．．．連接部

30b．．．主體部

31．．．台座

32．．．突起部

33．．．支柱

34．．．按壓構件

35．．．旋轉軸

36．．．制動器

36a．．．通口部

37．．．定位銷

39．．．連接器

50．．．光阻液散布裝置

51．．．緩衝槽

52．．．泵浦

53．．．過濾器

54．．．三通閥

55．．．吐出噴嘴

第1圖顯示運用本發明之液體容器之保管狀態的局部剖開前視圖。

第2圖顯示運用本發明之液體容器及送液裝置之使用狀態的局部剖開側面圖。

第3圖顯示運用本發明之液體容器及送液裝置(正面截面)之使用狀態的構造圖。

第4圖顯示運用本發明之送液裝置之使用狀態的局部放大立體圖。

第5圖顯示運用本發明之其他送液裝置之使用狀態的局部放大立體圖。