JPH10340845A - レジストボトル及びレジストコーティング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、レジスト液へのダストの混入を防
止することが可能で、取扱いや使用後の処理が容易なレ
ジストボトルを提供することを目的とする。 【解決手段】 レジストコーティング装置に用いられる
レジストボトルは、合成樹脂からなるパック式レジスト
ボトル１０である。従って、その製造過程からパック式
レジストボトル１０をクリーンに保つことが可能になる
ため、この合成樹脂からなるパック式レジストボトル１
０内に充填したレジスト液１２中にダストが混入するこ
とを防止することができる。また、比較的軽量であり、
その出口部１０ｂを下に向けて逆さに吊設する取扱いが
容易であるため、パック式レジストボトル１０内のレジ
スト液１２を余すことなく全て使い切ることが容易にな
る。更に、使い切ったパック式レジストボトル１０の処
理においても、焼却等によって簡単に処理することが可
能になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はレジスト（Resist）
液を充填するレジストボトル（Resist Bottle ）及びレ
ジスト膜をウェーハ（Wafer ）上にコーティング（coat
ing ）するレジストコーティング装置（Resist Coater
）に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の標準的なレジストコーティング装
置を、図５を用いて説明する。ガラスビン製のレジスト
ボトル６０内にはレジスト液６２が充填されている。こ
のガラスビン製のレジストボトル６０の下には、ガラス
ビン製のレジストボトル６０内のレジスト液６２の減少
の程度を検出するための重量センサ６４が設置されてい
る。この重量センサ６４はＣＰＵ（Central Processig
Unit；中央処理装置）に接続され、ガラスビン製のレジ
ストボトル６０内のレジスト液６２の残量が少なくなる
と、重量センサ６４からＣＰＵに信号が送信されるよう
になっている。そして、この重量センサ６４から信号を
受信したＣＰＵは、ガラスビン製のレジストボトル６０
の交換が必要なことをアラームによって知らせ、コーテ
ィング作業を停止させるようになっている。

【０００３】また、ガラスビン製のレジストボトル６０
の口を閉じている蓋６６を貫通して、加圧用Ｎ₂ （窒
素）ガスを導入するガス導入管６８が挿入されており、
このＮ₂ ガスによってガラスビン製のレジストボトル６
０内のレジスト液６２表面に圧力を加えるようになって
いる。同様に、ガラスビン製のレジストボトル６０の蓋
６６を貫通して、一端がガラスビン製のレジストボトル
６０の底近くに達しているレジスト配管７０ａがレジス
ト液６２内に挿入されている。そして、このレジスト配
管７０ａの他端はポンプ（Pump）７２に接続されてお
り、このポンプ７２によってガラスビン製のレジストボ
トル６０内のレジスト液６２がレジスト配管７０ａを介
して吸い出されるようになっている。

【０００４】また、このポンプ７２は、レジスト配管７
０ｂを介してレジスト液６２中のダストを除去するため
のレジストフィルタ（Resist Filter ）７４に接続さ
れ、このレジストフィルタ７４は、レジスト配管７０ｃ
を介してレジスト液６２を適正な温度に調整するための
レジスト温調器７６に接続され、更に、このレジスト温
調器７６は、レジスト配管７０ｄを介してレジスト液６
２を吐出するためのレジストノズル（Resist Nozzle ）
７８に接続されている。そして、このポンプ７２によっ
てレジスト液６２がレジスト配管７０ｂ、レジストフィ
ルタ７４、レジスト配管７０ｃ、レジスト温調器７６、
及びレジスト配管７０ｄを介してレジストノズル７８に
押し出されるようになっている。

【０００５】また、このレジストノズル７８の下方に
は、ウェーハ８０を搭載し真空吸着するためのステージ
８２が設置され、スピンモータ（Spin Moter）８４によ
って回転されるようになっている。そして、スピンモー
タ８４によって回転しているウェーハ８０上にレジスト
ノズル７８からレジスト液６２が吐出され、ウェーハ８
０上に均一なレジスト膜がコーティングされるようにな
っている。

【０００６】また、このステージ８２の周囲には、回転
しているウェーハ８０上から飛び散ったレジスト液６２
を受けるためのコータカップ（Coater Cup）８６が設置
されている。また、このコータカップ８６の底部には、
コーティング中のコータカップ８６内の排気を行うと共
に、コータカップ８６内側に飛び散ったレジスト廃液を
排出するための開口部８８が設けられている。

【０００７】そして、このようなレジストコーティング
装置を用いて、ガラスビン製のレジストボトル６０内に
充填されているレジスト液６２をポンプ７２により吸い
出した後、レジストフィルタ７４によってダストを除去
し、レジスト温調器７６によって適正な温度に調整した
レジスト液６２をレジストノズル７８に押し出し、この
レジストノズル７８からレジスト液６２を回転している
ウェーハ８０上に吐出して、ウェーハ８０上に均一なレ
ジスト膜をコーティングする。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のレジストコーティング装置においては、ガラスビン
製のレジストボトル６０内のレジスト液６２の残量が一
定量以下にまで減少すると、レジスト液６２を安定的に
供給することが困難になるため、この事実を検知した重
量センサ６４及びＣＰＵがガラスビン製のレジストボト
ル６０の交換が必要なことをアラームによって知らせ、
コーティング作業を停止させることから、コーティング
作業が停止した状態がガラスビン製のレジストボトル６
０を使い切った状態となるものの、この使い切ったガラ
スビン製のレジストボトル６０内の底にはレジスト液６
２が一定程度残存することになる。

【０００９】仮に、使い切ったガラスビン製のレジスト
ボトル６０内の底に残存するレジスト液６２を余すこと
なく目一杯まで使用しようとすると、レジスト液６２を
安定的に供給することが困難になり、コーティング不良
を引き起こしてしまう。また、重量センサ６４のセンサ
調整が非常に難しくなり、この調整を失敗すると、セン
サ未感知によるコーティング不良を引き起こしてしま
う。更に、レジスト配管７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０
ｄ中に空気（Air ）が混入する恐れが生じ、その場合に
は空気抜き作業が必要となるため、作業が煩雑になるば
かりでなく、空気が混入したレジスト液６２を無駄に捨
ててしまうことにもなる。

【００１０】従って、上記従来のレジストコーティング
装置を用いる場合、使い切ったガラスビン製のレジスト
ボトル６０内の底にレジスト液６２が一定程度残存する
ことになるため、露光光源として例えばｇ線（波長４３
６ｎｍ）やｉ線（波長４３６ｎｍ）のスペクトル光を用
いるリソグラフィ（Lithography ）において使用する比
較的安価なレジスト液の場合であっても、半導体生産ラ
イン等において大量に使用する際には大きな損失とな
る。また、露光光源としてエキシマレーザ（Excimer La
ser ）を用いるエキシマリソグラフィにおいては、レジ
スト液６２として化学増幅レジスト（Chemically Ampli
fied Resist ）を使用し、この化学増幅レジストはｇ線
やｉ線を用いるリソグラフィにおいて使用するレジスト
と比較すると格段に高価であるため、その損失は無視で
きないものとなる。

【００１１】また、上記従来のレジストコーティング装
置においては、図５に示されるように、レジスト容器と
してガラスビン製のレジストボトル６０が一般的である
が、このガラスビン製のレジストボトル６０はレジスト
液６２中へのダストの混入の防止という観点からは問題
がある。即ち、ガラスビン製のレジストボトル６０の場
合、その製造後に内部を洗浄してからレジスト液６２を
充填することになるが、いくら洗浄方法が確立されても
限界があるため、ガラスビン製のレジストボトル６０内
壁のダストがレジスト液６２中に混入する恐れがあっ
た。特に、ガラスビン製のレジストボトル６０の口が小
さい場合は、その内部の完璧な洗浄が困難なため、レジ
スト液６２のダスト汚染の恐れが強いが、その一方でレ
ジスト液６２の品質維持のためにはガラスビン製のレジ
ストボトル６０の口をなるべく小さくすることが要請さ
れる。

【００１２】しかも、このレジスト液６２中へのダスト
の混入という問題は、昨今の半導体装置の微細化の進展
に伴い、コーティング不良や現像不良の原因としてクロ
ーズアップされてきており、ウェーハ８０上に直接コー
ティングされるレジスト液６２については、微細パター
ンを良好に形成するという観点から、特に低ダスト化が
要求されるようになってきている。

【００１３】また、上記従来のレジストコーティング装
置においては、ガラスビン製のレジストボトル６０を交
換する際に、図６に示されるように、蓋６６を貫通して
いる状態でレジスト配管７０ａをガラスビン製のレジス
トボトル６０内に差し込み、続いてこの蓋６６をガラス
ビン製のレジストボトル６０の口に螺合しているが、こ
の時、誤ってレジスト配管７０ａをガラスビン製のレジ
ストボトル６０側面等に接触させてしまったりして、レ
ジスト配管７０ａに付着したダストをガラスビン製のレ
ジストボトル６０内のレジスト液６２中に持ち込む恐れ
もあった。

【００１４】また、ガラスビン製のレジストボトル６０
を交換する際に、レジスト配管７０ａ中に空気が混入し
易いため、空気抜き作業が必要となり、交換作業が煩雑
になるばかりでなく、空気が混入したレジスト液６２を
無駄に捨ててしまうことにもなる。更に、レジスト容器
としてガラスビン製のレジストボトル６０を用いる場
合、ガラスビン製のレジストボトル６０はかなりの重量
があるため、搬送その他の取扱いが容易でなかったり、
不注意によって落とした際には割れたりする恐れがあ
る。また、使用後の処理においても、不燃物処理を要す
るゴミになるという問題もある。

【００１５】そこで本発明は、上記事情を鑑みてなされ
たものであり、レジスト液へのダストの混入を防止する
ことが可能で、取扱いや使用後の処理が容易なレジスト
ボトルを提供することを目的とする。また、使い切った
レジストボトル内へのレジスト液の残存を防止し、レジ
ストボトルの交換の際のレジスト液へのダストの混入や
レジスト配管中への空気の混入を防止することが可能な
レジストコーティング装置を提供することを目的とす
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記課題は、以下の本発
明に係るレジストボトル及びレジストコーティング装置
により達成される。即ち、請求項１に係るレジストボト
ルは、レジストコーティング装置に使用されるレジスト
液を充填するレジストボトルであって、このレジストボ
トルが合成樹脂からなるパック式レジストボトルである
構成とすることにより、製造後にその内部を洗浄しなけ
ればならない従来のガラスビン製のレジストボトルと異
なり、その製造過程からパック式レジストボトルをクリ
ーンに保つことが可能になるため、この合成樹脂からな
るパック式レジストボトル内に充填したレジスト液にダ
ストが混入することが防止され、ダストの低減が図られ
る。

【００１７】また、この合成樹脂からなるパック式レジ
ストボトルは、従来のガラスビン製のレジストボトルと
比べると軽量であるため、搬送その他の取扱いが容易に
なると共に、不注意によって落としても割れたりする恐
れがなくなる。また、使用後の処理においても、焼却等
によって簡単に処理することが可能になる。

【００１８】また、請求項２に係るレジストコーティン
グ装置は、レジスト液が充填されているレジストボトル
と、このレジストボトルからレジスト配管を経て供給さ
れたレジスト液を回転するウェーハ上に吐出するレジス
トノズルとを有するレジストコーティング装置であっ
て、レジストボトルがレジスト液の出口を下向きにして
逆さに吊設されている構成とすることにより、レジスト
ボトルからレジスト液を安定的に供給しつつ、レジスト
ボトル内のレジスト液を余すことなく全て使い切ること
が可能となる。

【００１９】また、レジストボトルを交換する際に、た
とえレジスト配管中に空気が混入しても、その空気はジ
スト配管を通って逆さに吊設されたレジストボトル内の
上方に上昇していくため、空気抜き作業が不必要とな
り、交換作業の煩雑化が防止されるばかりでなく、空気
が混入したレジスト液を無駄に捨ててしまうこともなく
なる。

【００２０】また、請求項３に係るレジストコーティン
グ装置は、レジスト液が充填されたレジストボトルと、
このレジストボトルからレジスト配管を経て供給された
レジスト液を回転するウェーハ上に吐出するレジストノ
ズルとを有するレジストコーティング装置であって、レ
ジストボトルを交換する際に、このレジストボトルとレ
ジスト配管とがワンタッチで着脱される構成とすること
により、従来のように蓋を貫通している状態でレジスト
配管をレジストボトル内に差し込んだ後にこの蓋をレジ
ストボトルの口に螺合する場合と比較すると、レジスト
ボトルの交換作業が簡単かつ容易になると共に、誤って
レジスト配管をレジストボトルその他に接触させて付着
したダストをレジスト液中に持ち込む恐れもなくなる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら、
本発明の実施の形態を説明する。 （第１の実施形態）図１は本発明の一実施形態に係るレ
ジストコーティング装置を示す概略図、図２（ａ）は図
１のレジストコーティング装置のパック式レジストボト
ルを側面から見た図、図２（ｂ）は図２（ａ）のパック
式レジストボトル内のレジスト液を使い切った状態を示
す図、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は図１のレジストコ
ーティング装置のパック式レジストボトルの交換を説明
するための図である。

【００２２】図１に示されるように、パック式レジスト
ボトル１０は、その本体部１０ａ内にレジスト液１２を
充填した状態で、その出口部１０ｂを下に向けて逆さに
吊設されている。そして、このパック式レジストボトル
１０は、その本体部１０ａが可塑性の合成樹脂で作ら
れ、その出口部１０ｂが硬化性の合成樹脂で作られてい
る。そのため、このパック式レジストボトル１０内にレ
ジスト液１２が十分に充填されている使用開始前の状態
では、図２（ａ）に示されるように、パック式レジスト
ボトル１０の本体部１０ａは内部のレジスト液１２によ
って膨らんでいるが、内部のレジスト液１２を使い切っ
た使用後の状態では、図２（ｂ）に示されるように、内
部が空になってパック式レジストボトル１０の本体部１
０ａはぺしゃんこに潰れてしまう。また、このパック式
レジストボトル１０は、その出口部１０ｂを介してレジ
スト配管１４ａとは予め一体型の形状として成形されて
いる。

【００２３】また、逆さに吊設されているパック式レジ
ストボトル１０の上部には、パック式レジストボトル１
０内のレジスト液１２の減少の程度を検出するための重
量センサ１６が設置されている。また、パック式レジス
トボトル１０直下のレジスト配管１４ａ近傍には、レジ
スト配管１４ａ内をレジスト液１２が流れているか或い
はレジスト液１２がなくなっているかを検出するための
静電容量センサ１８が設置されている。

【００２４】そして、これら重量センサ１６及び静電容
量センサ１８はそれぞれＣＰＵに接続されており、パッ
ク式レジストボトル１０内のレジスト液１２を使い切っ
て空になり、最後のレジスト液１２が静電容量センサ１
８近傍のレジスト配管１４ａを通り過ぎると、それぞれ
重量センサ１６及び静電容量センサ１８からＣＰＵに信
号が送信されるようになっている。

【００２５】また、パック式レジストボトル１０と一体
成形されているレジスト配管１４ａは、接続カプラ２０
を介してレジスト配管１４ｂに接続され、このレジスト
配管１４ｂの他端は、例えば隔膜型のダイヤフラムポン
プや蛇腹型のベローズポンプ等の空気圧制御式のポンプ
２２に接続されている。そして、このポンプ２２によっ
てパック式レジストボトル１０内のレジスト液１２がレ
ジスト配管１４ａ、１４ｂを通って吸い出されるように
なっている。

【００２６】また、このポンプ２２は、レジスト配管１
４ｃを介してレジスト液１２中のダストを除去するため
のレジストフィルタ２４に接続され、このレジストフィ
ルタ２４は、レジスト配管１４ｄを介してレジスト液１
２を適正な温度に調整するためのレジスト温調器２６に
接続され、更に、このレジスト温調器２６は、レジスト
配管１４ｅを介してレジスト液１２を吐出するためのレ
ジストノズル２８に接続されている。そして、このポン
プ２２によってレジスト液１２がレジスト配管１４ｃ、
レジストフィルタ２４、レジスト配管１４ｄ、レジスト
温調器２６、及びレジスト配管１４ｅを介してレジスト
ノズル２８に押し出されるようになっている。

【００２７】また、このレジストノズル２８の下方に
は、ウェーハ３０を搭載し真空吸着するためのステージ
３２が設置され、スピンモータ３４によって回転される
ようになっている。そして、このステージ３２上に真空
吸着されスピンモータ３４によって回転しているウェー
ハ３０上に、レジストノズル２８からレジスト液１２が
吐出され、ウェーハ３０上に均一なレジスト膜がコーテ
ィングされるようになっている。

【００２８】また、このステージ３２の周囲には、回転
しているウェーハ３０上から飛び散ったレジスト液１２
を受けるためのコータカップ３６が設置されている。ま
た、このコータカップ３６の底部には、コーティング中
のコータカップ３６内の排気を行うと共に、コータカッ
プ３６内側に飛び散ったレジスト廃液を排出するための
開口部３８が設けられている。

【００２９】次に、図１のレジストコーティング装置の
動作を説明する。ポンプ２２により、出口部１０ｂを下
に向けて吊設されているパック式レジストボトル１０内
のレジスト液１２をレジスト配管１４ａ、１４ｂを通っ
て吸い出すと共に、レジスト配管１４ｃ、１４ｄ、１４
ｅを通ってレジストノズル２８に精密かつ再現性よく押
し出す。そして、その途中で、コーティング不良や現像
不良の原因となるレジスト液１２中のダストをレジスト
フィルタ２４により除去し、レジスト膜厚の均一性の変
動要因となるレジスト液１２の温度をレジスト温調器２
６により適正な温度に調整する。

【００３０】他方、ステージ３２上にウェーハ３０を搭
載し真空吸着した後、スピンモータ３４によって所定の
回転数で回転する。そして、この回転しているウェーハ
３０上に、レジストノズル２８からレジスト液１２を精
密かつ再現性よく吐出し、ウェーハ３０上に均一なレジ
スト膜をコーティングする。

【００３１】そして、このようなコーティング作業を繰
り返すうちに、パック式レジストボトル１０内のレジス
ト液１２を使い切り、最後のレジスト液１２が静電容量
センサ１８近傍のレジスト配管１４ａを通り過ぎると、
パック式レジストボトル１０の本体部１０ａは図２
（ｂ）に示されるようにぺしゃんこに潰れてしまうと共
に、重量センサ１６及び静電容量センサ１８からの信号
を受信したＣＰＵがコーティング作業を停止させ、パッ
ク式レジストボトル１０の交換が必要なことをアラーム
によって知らせる。従って、このアラームを受けると、
内部のレジスト液１２を使い切ってぺしゃんこに潰れて
しまったパック式レジストボトル１０を新しいパック式
レジストボトル１０と交換する。

【００３２】次に、このパック式レジストボトル１０の
交換を、図３を用いて説明する。図１のレジストコーテ
ィング装置の接続カプラ２０は、図３（ａ）の拡大斜視
図に示されるように、左右の押圧部４０ａ、４０ｂを２
本の指で内側に押すと締め付け部４２ａ、４２ｂが開
き、押圧部４０ａ、４０ｂから指を離すと締め付け部４
２ａ、４２ｂが締まるようになっている。即ち、ワンタ
ッチで締め付け部４２ａ、４２ｂの開閉ができるように
なっている。

【００３３】先ず、ワンタッチで接続カプラ２０の締め
付け部４２ａ、４２ｂを開き、内部のレジスト液１２を
使い切ったパック式レジストボトル１０と一体成形され
ているレジスト配管１４ａを接続カプラ２０から取り外
し、レジスト配管１４ｂと分離する。

【００３４】続いて、図３（ｂ）に示されるように、内
部にレジスト液１２が充填されている新しいパック式レ
ジストボトル１０を逆さにした状態のまま、パック式レ
ジストボトル１０と一体成形されているレジスト配管１
４ａの端部を締め付け部４２ａ、４２ｂ内に差し込んだ
後、締め付け部４２ａ、４２ｂを閉めて、接続カプラ２
０に取り付ける。このとき、パック式レジストボトル１
０内のレジスト液１２がレジスト配管１４ａを通って流
れ落ちないように、パック式レジストボトル１０の出口
部１０ｂに逆止弁（図示せず）を設けておく。こうし
て、パック式レジストボトル１０と一体成形されている
レジスト配管１４ａ端部を接続カプラ２０を介してレジ
スト配管１４ｂ端部に接続し、パック式レジストボトル
１０の交換を完了する。

【００３５】なお、ここでは、内部にレジスト液１２が
充填されている新しいパック式レジストボトル１０を逆
さにした状態のままパック式レジストボトル１０に一体
成形されているレジスト配管１４ａ端部を接続カプラ２
０に取り付けているが、接続カプラ２０とポンプ２２と
を接続しているレジスト配管１４ｂの長さに余裕を持た
せることが可能な場合には、新しいパック式レジストボ
トル１０をその出口部１０ｂが上向きになるように立て
た状態のまま、一体成形されているレジスト配管１４ａ
端部を接続カプラ２０に取り付けてレジスト配管１４ｂ
端部に接続してもよい。この場合は、新しいパック式レ
ジストボトル１０に交換した後、このパック式レジスト
ボトル１０を逆さにして所定の位置に吊設する。

【００３６】このように、本実施形態に係るレジストコ
ーティング装置によれば、レジスト液１２が充填されて
いるパック式レジストボトル１０がその出口部１０ｂを
下に向けて逆さに吊設されていることにより、レジスト
液１２を安定的に供給しつつ、パック式レジストボトル
１０内のレジスト液１２を余すことなく全て使い切るこ
とが可能となる。従って、レジスト液１２の使用量を低
減して、コストの低減を実現することができる。

【００３７】なお、このコスト低減の効果は、ｇ線やｉ
線のスペクトル光を用いるリソグラフィにおいて使用す
る比較的安価なレジスト液の場合であっても半導体生産
ライン等において大量に使用する際には無視できないも
のであり、まして高価な化学増幅レジストを使用する場
合には特に大きいものとなる。

【００３８】また、パック式レジストボトル１０を交換
する際に、レジスト配管１４ａ、１４ｂ中に空気が混入
しても、交換された新しいパック式レジストボトル１０
は逆さに吊設されるため、レジスト配管１４ａ、１４ｂ
中に混入した空気はパック式レジストボトル１０内の上
方に、即ち逆さにしたパック式レジストボトル１０内の
底部の方に上昇していくことになる。従って、空気抜き
作業が不必要となるため、交換作業の煩雑化を防止する
ことができる。また、空気が混入したレジスト液１２を
無駄に捨ててしまうこともなくなるため、コストの低減
を実現することができる。

【００３９】また、パック式レジストボトル１０を交換
する際に、レジスト配管１４ａと一体成形されているパ
ック式レジストボトル１０及びレジスト配管１４ａとレ
ジスト配管１４ｂとを接続する接続カプラ２０を用いる
ことにより、レジスト配管１４ａの接続カプラ２０から
の取り外し及び接続カプラ２０への取り付けをワンタッ
チで行うことが可能になるため、上記図６に示されるよ
うに蓋を貫通している状態でレジスト配管をガラスビン
製のレジストボトル内に差し込んでこの蓋をレジストボ
トルの口に螺合する従来の場合と比較すると、レジスト
ボトルの交換作業を簡単かつ容易にすることができると
共に、誤ってレジスト配管をレジストボトルその他に接
触させて付着したダストをレジスト液中に持ち込むこと
を防止することもできる。

【００４０】また、本実施形態に係るレジストコーティ
ング装置に用いられるパック式レジストボトル１０が合
成樹脂からなることにより、製造後にその内部を洗浄し
なければならない従来のガラスビン製のレジストボトル
と異なり、その製造過程からパック式レジストボトル１
０をクリーンに保つことが可能になるため、この合成樹
脂からなるパック式レジストボトル１０内に充填したレ
ジスト液１２中にダストが混入することを防止すること
ができ、コーティング不良や現像不良の原因となるダス
トの低減を実現することができる。

【００４１】また、この合成樹脂からなるパック式レジ
ストボトル１０は、従来のガラスビン製のレジストボト
ルと比べると軽量であるため、搬送その他の取扱い、特
に上記図１に示されるように、その出口部１０ｂを下に
向けて逆さに吊設する際の取扱いが容易になると共に、
不注意によって落としても割れたりする恐れがなくな
る。更に、使い切ったパック式レジストボトル１０の処
理においても、焼却等によって簡単に処理することが可
能になる。

【００４２】また、このパック式レジストボトル１０
は、その本体部１０ａが可塑性の合成樹脂で作られてい
るため、内部のレジスト液１２が減少していくにつれて
本体部１０ａが潰れていき、内部のレジスト液１２を完
全に使い切った状態では、図２（ｂ）に示されるよう
に、ぺしゃんこに潰れてしまう。従って、従来のガラス
ビン製のレジストボトルのように内部に加圧用Ｎ₂ ガス
を導入するためのガス導入管を挿入する必要もない。

【００４３】なお、上記実施形態に係るレジストコーテ
ィング装置においては、パック式レジストボトル１０を
交換する際に、レジスト配管１４ａと一体成形されてい
るパック式レジストボトル１０及びレジスト配管１４ａ
とレジスト配管１４ｂとを接続する接続カプラ２０を用
いて、このレジスト配管１４ａと接続カプラ２０との着
脱をワンタッチで行っているが、こうした方法の代わり
に、図４に示されるような方法を用いてパック式レジス
トボトルの交換を行ってもよい。即ち、この場合に使用
するパック式レジストボトル５０は、レジスト液を充填
する本体部と口とを有し、この口に蓋５２を強く押し当
ててはめ込むようになっている。また、この蓋５２に
は、他端をポンプ２２に接続するレジスト配管５４と一
体成形されている。

【００４４】このパック式レジストボトル５０内のレジ
スト液１２を使い切った場合、内部が空になったパック
式レジストボトル５０の口から蓋５２を取り外して、パ
ック式レジストボトル５０とレジスト配管５４とを分離
した後、図４（ａ）に示されるように、レジスト配管５
４と一体成形されている蓋５２を、内部にレジスト液１
２が充填されている新しいパック式レジストボトル５０
の口に強く押し当ててはめ込む。こうして、図４（ｂ）
に示されるように、レジスト配管５４と一体成形されて
いる蓋５２をパック式レジストボトル５０に取り付け、
この蓋５２を介してパック式レジストボトル５０とレジ
スト配管５４とを接続し、パック式レジストボトル５０
の交換を完了する。

【００４５】この場合においても、レジスト配管５４と
一体成形されている蓋５２をワンタッチでパック式レジ
ストボトル５０に取り付けることが可能なため、上記実
施形態の場合と同様の効果を奏することができる。

【００４６】また、上記実施形態に係るレジストコーテ
ィング装置において逆さに吊設されているパック式レジ
ストボトル１０は、その本体部１０ａが可塑性の合成樹
脂で作られ、その出口部１０ｂが硬化性の合成樹脂で作
られているが、この代わりに、本体部を含めて全体が硬
化性の合成樹脂、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフロロエ
チレン）やＰＰ（ポリプロピレン）等で作られているパ
ック式レジストボトルを用いてもよい。この場合におい
ても、パック式レジストボトルが逆さに吊設されている
ことは上記実施形態の場合と同様であるため、レジスト
液を安定的に供給しつつ、パック式レジストボトル内の
レジスト液を余すことなく全て使い切ることが可能とな
り、レジスト液の使用量を低減して、コストの低減を実
現することができる。

【００４７】但し、上記実施形態の場合のように内部の
レジスト液１２が減少していくにつれて可塑性の合成樹
脂で作られている本体部が潰れていくことはないため、
全体が硬化性の合成樹脂で作られているパック式レジス
トボトルの例えば出口部に常圧のＮ₂ ガスを導入するた
めのガス導入管を挿入したりする必要が生じる。

【００４８】更に、全体が硬化性の合成樹脂で作られて
いるパック式レジストボトルの代わりに、上記図５に示
した従来のガラスビン製のレジストボトルを用い、この
ガラスビン製のレジストボトルを逆さに吊設してもよ
い。この場合も、全体が硬化性の合成樹脂で作られてい
るパック式レジストボトルが逆さに吊設されている場合
と同様の効果を奏することができる。

【００４９】但し、全体が硬化性の合成樹脂で作られて
いるパック式レジストボトルの場合と同様に、例えば出
口部に常圧のＮ₂ ガスを導入するためのガス導入管を挿
入したりする必要が生じるだけでなく、合成樹脂で作ら
れているパック式レジストボトルと比べると遥に重くな
るため、搬送その他の取扱い、特にその出口部を下に向
けて逆さに吊設する際の取扱いが容易でなくなると共
に、不注意によって落としたときに割れたりする恐れが
ある。

【００５０】

【発明の効果】以上、詳細に説明した通り、本発明に係
るレジストボトル及びレジストコーティング装置によれ
ば、次のような効果を奏することができる。即ち、請求
項１に係るレジストボトルによれば、レジストコーティ
ング装置に使用されるレジスト液を充填するレジストボ
トルが合成樹脂からなるパック式レジストボトルである
ことにより、製造後にその内部を洗浄しなければならな
い従来のガラスビン製のレジストボトルと異なり、その
製造過程から合成樹脂からなるパック式レジストボトル
をクリーンに保つことが可能になるため、この合成樹脂
からなるパック式レジストボトル内に充填したレジスト
液にダストが混入することを防止することができる。従
って、コーティング不良や現像不良の原因となるダスト
の低減を実現することが可能になり、微細パターンの良
好な形成に寄与することができる。また、この合成樹脂
からなるパック式レジストボトルは、従来のガラスビン
製のレジストボトルと比べると軽量であるため、搬送そ
の他の取扱いが容易になると共に、不注意によって落と
しても割れたりする恐れがなくなる。また、使用後の処
理においても、焼却等によって簡単に処理することが可
能になる。

【００５１】また、請求項２に係るレジストコーティン
グ装置は、レジスト液が充填されたレジストボトルがレ
ジスト液の出口を下向きにして逆さに吊設されている構
成とすることにより、レジスト液を安定的に供給しつ
つ、レジストボトル内のレジスト液を余すことなく全て
使い切ることが可能となり、コストの低減を実現するこ
とができる。また、レジストボトルを交換する際に、た
とえレジスト配管中に空気が混入しても、その空気はレ
ジスト配管を通ってレジストボトル内の上方に上昇して
いくため、空気抜き作業が不必要となり、交換作業の煩
雑化を防止することができるばかりでなく、空気が混入
したレジスト液を無駄に捨ててしまうこともなくなり、
コストの低減を実現することができる。

【００５２】また、請求項３に係るレジストコーティン
グ装置は、レジストボトルを交換する際に、このレジス
トボトルと配管とがワンタッチで着脱される構成とする
ことにより、従来のように蓋を貫通している状態でレジ
スト配管をレジストボトル内に差し込み、続いてこの蓋
をレジストボトルの口に螺合する場合と比較すると、レ
ジストボトルの交換作業を簡単かつ容易にすることがで
きると共に、誤ってレジスト配管をレジストボトルその
他に接触させて付着したダストをレジスト液中に持ち込
む恐れもなくなり、ダストの低減を実現することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るレジストコーティン
グ装置を示す概略図である。

【図２】（ａ）は図１のレジストコーティング装置のパ
ック式レジストボトルを側面から見た図、図２（ｂ）は
図２（ａ）のパック式レジストボトル内のレジスト液を
使い切った状態を示す図である。

【図３】図１のレジストコーティング装置のパック式レ
ジストボトルの交換を説明するための図である。

【図４】図１のレジストコーティング装置のパック式レ
ジストボトルの他の方法による交換を説明するための図
である。

【図５】従来の標準的なレジストコーティング装置を示
す概略図である。

【図６】図５のレジストコーティング装置のパック式レ
ジストボトルの交換を説明するための図である。

【符号の説明】

１０…パック式レジストボトル、１０ａ…本体部、１０
ｂ…出口部、１２…レジスト液、１４ａ、１４ｂ、１４
ｃ、１４ｄ、１４ｅ…レジスト配管、１６…重量セン
サ、１８…静電容量センサ、２０…接続カプラ、２２…
ポンプ、２４…レジストフィルタ、２６…レジスト温調
器、２８…レジストノズル、３０…ウェーハ、３２…ス
テージ、３４…スピンモータ、３６…コータカップ、３
８…開口部、４０ａ、４０ｂ…押圧部、４２ａ、４２ｂ
…締め付け部、５０…パック式レジストボトル、５２…
蓋、５４…レジスト配管、６０…ガラスビン製のレジス
トボトル、６２…レジスト液、６４…重量センサ、６６
…蓋、６８…ガス導入管、７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７
０ｄ…レジスト配管、７２…ポンプ、７４…レジストフ
ィルタ、７６…レジスト温調器、７８…レジストノズ
ル、８０…ウェーハ、８２…ステージ、８４…スピンモ
ータ、８６…コータカップ、８８…開口部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レジストコーティング装置に使用される
   レジスト液を充填するレジストボトルであって、 前記レジストボトルが、合成樹脂からなるパック式レジ
   ストボトルであることを特徴とするレジストボトル。
2. 【請求項２】 レジスト液が充填されているレジストボ
   トルと、前記レジストボトルからレジスト配管を経て供
   給された前記レジスト液を回転するウェーハ上に吐出す
   るレジストノズルとを有するレジストコーティング装置
   であって、 前記レジストボトルが、前記レジスト液の出口を下向き
   にして逆さに吊設されていることを特徴とするレジスト
   コーティング装置。
3. 【請求項３】 レジスト液が充填されたレジストボトル
   と、前記レジストボトルからレジスト配管を経て供給さ
   れた前記レジスト液を回転するウェーハ上に吐出するレ
   ジストノズルとを有するレジストコーティング装置であ
   って、 前記レジストボトルを交換する際に、前記レジストボト
   ルと前記レジスト配管とがワンタッチで着脱されること
   を特徴とするレジストコーティング装置。