JPH08135899A - 危険物液体分配システムおよび方法 - Google Patents
危険物液体分配システムおよび方法Info
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- JPH08135899A JPH08135899A JP7275025A JP27502595A JPH08135899A JP H08135899 A JPH08135899 A JP H08135899A JP 7275025 A JP7275025 A JP 7275025A JP 27502595 A JP27502595 A JP 27502595A JP H08135899 A JPH08135899 A JP H08135899A
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- B01D53/14—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by absorption
- B01D53/18—Absorbing units; Liquid distributors therefor
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B67D7/0238—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T137/3109—Liquid filling by evacuating container
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Pipeline Systems (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 供給容器を交換する間もプロセス・ツールを
連続的に運転することができ、通気を必要としない、危
険物液体分配システムおよび方法を提供する。 【解決手段】 不通気危険物液体分配システム（２５）
は、ガス源（１）に結合された着脱可能な供給容器
（７）と、永久緩衝容器（１１）とを含む。永久緩衝容
器（１１）は、更に吸引ポンプ（１４）を介して着脱可
能供給容器（７）にも結合されている。吸引ポンプ（１
４）は永久供給容器（１１）から圧力を吸引し、その圧
力を着脱可能供給容器（７）に移送する。圧力の移送に
よって、危険物液体（３４）が着脱可能供給容器（７）
から永久緩衝容器（１１）に引き込まれる。永久緩衝容
器（１１）は危険物液体（３４）をプロセス・ツールに
分配する。
連続的に運転することができ、通気を必要としない、危
険物液体分配システムおよび方法を提供する。 【解決手段】 不通気危険物液体分配システム（２５）
は、ガス源（１）に結合された着脱可能な供給容器
（７）と、永久緩衝容器（１１）とを含む。永久緩衝容
器（１１）は、更に吸引ポンプ（１４）を介して着脱可
能供給容器（７）にも結合されている。吸引ポンプ（１
４）は永久供給容器（１１）から圧力を吸引し、その圧
力を着脱可能供給容器（７）に移送する。圧力の移送に
よって、危険物液体（３４）が着脱可能供給容器（７）
から永久緩衝容器（１１）に引き込まれる。永久緩衝容
器（１１）は危険物液体（３４）をプロセス・ツールに
分配する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的に液体分配シス
テム(liquid dispensing system)に関し、更に特定すれ
ば、無通気(non-venting)危険物液体分配システムに関
するものである。
テム(liquid dispensing system)に関し、更に特定すれ
ば、無通気(non-venting)危険物液体分配システムに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体処理産業およびその他の産業は、
危険物の取り扱いに関して、衛生および環境上の規定に
対する問題に常に直面している。例えば、１９９０年の
Federal Clean Air Actは、揮発性有機化合物(VOC)の排
出制御について、厳しい要件を定めている。通常、VOC
を発生する製造施設(manufacturing location)に変更を
加える場合、国または州当局から許可を得なければなら
ない。更に、炭化水素VOCの排出を減少させるために設
置される溶剤熱分解装置(solvent thermal decompositi
on unit)は高価であり、毎分１立方フィートの容量当た
り約１，０００ドルかかる。連邦および州の規定に加え
て、製造者は、半導体製造工場からの臭いや煙の分解(d
estruction)に対する地域社会(local community)や近隣
からの要求にも敏感でなければならない。
危険物の取り扱いに関して、衛生および環境上の規定に
対する問題に常に直面している。例えば、１９９０年の
Federal Clean Air Actは、揮発性有機化合物(VOC)の排
出制御について、厳しい要件を定めている。通常、VOC
を発生する製造施設(manufacturing location)に変更を
加える場合、国または州当局から許可を得なければなら
ない。更に、炭化水素VOCの排出を減少させるために設
置される溶剤熱分解装置(solvent thermal decompositi
on unit)は高価であり、毎分１立方フィートの容量当た
り約１，０００ドルかかる。連邦および州の規定に加え
て、製造者は、半導体製造工場からの臭いや煙の分解(d
estruction)に対する地域社会(local community)や近隣
からの要求にも敏感でなければならない。
【０００３】今日の連邦および州の規定の下では、危険
物を伴う機器の設置や場所の移転のためには、費用のか
かる許可が必要となっている。コストには、許可のコス
トだけでなく、システムを特定し量を決めるために必要
な専門家の設計時間と共に、応諾申込および様式(compl
iance applications and forms)を用意するコストも含
まれる。これ以外にコストに含まれるものに、業務の損
失のような、許可が発行されるまで待っている間の何ヵ
月もの遅れによって生じるコストも含まれる。
物を伴う機器の設置や場所の移転のためには、費用のか
かる許可が必要となっている。コストには、許可のコス
トだけでなく、システムを特定し量を決めるために必要
な専門家の設計時間と共に、応諾申込および様式(compl
iance applications and forms)を用意するコストも含
まれる。これ以外にコストに含まれるものに、業務の損
失のような、許可が発行されるまで待っている間の何ヵ
月もの遅れによって生じるコストも含まれる。
【０００４】過去においては、ガロン単位で供給する瓶
を用いて、VOC溶剤状物質のような危険物液でプロセス
・ツール(process tool)を満たしていた。しかしなが
ら、ガロン単位の供給瓶は多くの問題の原因となる。例
えば、瓶が空になった後でも、これらの瓶自体を廃棄す
るには、入念な環境に安全な方法を用いなければならな
い。加えて、大気に開放されている供給瓶を用いてツー
ルを満たす場合は、生産現場に蒸気や臭いが発生し、こ
れが歩留まりに影響を及ぼし得る。
を用いて、VOC溶剤状物質のような危険物液でプロセス
・ツール(process tool)を満たしていた。しかしなが
ら、ガロン単位の供給瓶は多くの問題の原因となる。例
えば、瓶が空になった後でも、これらの瓶自体を廃棄す
るには、入念な環境に安全な方法を用いなければならな
い。加えて、大気に開放されている供給瓶を用いてツー
ルを満たす場合は、生産現場に蒸気や臭いが発生し、こ
れが歩留まりに影響を及ぼし得る。
【０００５】大気に開放されているガロン瓶の代替物と
して、再充填可能な容器(vessel)を、ツールの液体供給
線と調和した瞬間切断部(quick disconnect)と共に、単
一容器として生産プロセスのツールに用いている。これ
らの容器を除去するには、プロセス・ツールを遮断しな
ければならず、プロセス・ツールの生産性をかなり低下
させることになる。更に、従来の再充填可能容器の用法
では、容器が空になる前に、システム内で容器を交換し
なければ成らず、薬品が浪費されることになる。あるい
は、容器が空になった後にその容器を交換することもで
きるが、薬品を駆動するために用いられるガスを最初に
一掃浄化しなければならない。浄化の際には必ず通気し
なければならず、許可となんらかの手段による環境への
排出の低減(environmental abatement)とが必要とな
る。ポンプを使用する場合、容器を交換する間ツールを
遮断しなければならず、浄化処理を再度行わなければな
らない。
して、再充填可能な容器(vessel)を、ツールの液体供給
線と調和した瞬間切断部(quick disconnect)と共に、単
一容器として生産プロセスのツールに用いている。これ
らの容器を除去するには、プロセス・ツールを遮断しな
ければならず、プロセス・ツールの生産性をかなり低下
させることになる。更に、従来の再充填可能容器の用法
では、容器が空になる前に、システム内で容器を交換し
なければ成らず、薬品が浪費されることになる。あるい
は、容器が空になった後にその容器を交換することもで
きるが、薬品を駆動するために用いられるガスを最初に
一掃浄化しなければならない。浄化の際には必ず通気し
なければならず、許可となんらかの手段による環境への
排出の低減(environmental abatement)とが必要とな
る。ポンプを使用する場合、容器を交換する間ツールを
遮断しなければならず、浄化処理を再度行わなければな
らない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】したがって、供給容器
の交換(changeouts)を行う間半導体処理ツールを連続的
に運転することができる、無通気自動液体移送システム
が必要とされている。また、環境排気許可(environment
al air permits)を必要とせず、従来の方法で発生する
コストや時間遅れを軽減する、無通気システムも必要と
されている。
の交換(changeouts)を行う間半導体処理ツールを連続的
に運転することができる、無通気自動液体移送システム
が必要とされている。また、環境排気許可(environment
al air permits)を必要とせず、従来の方法で発生する
コストや時間遅れを軽減する、無通気システムも必要と
されている。
【０００７】従来の技術の欄で先に論じたように、環境
法が、大気に開放されたガロン瓶を再充填可能な分配容
器に交換する動機を与えることになった。しかしなが
ら、再充填可能な分配容器の現在の使用法には多くの欠
点がある。例えば、プロセス・システムはいつ容器が空
になるかを知らなければならない。しかしながら、液面
検出システムは各容器に設置するには高価であり、しか
も液面検出は液体分配システムの動作を妨害するので、
ある生産状況ではうまく作用しない。
法が、大気に開放されたガロン瓶を再充填可能な分配容
器に交換する動機を与えることになった。しかしなが
ら、再充填可能な分配容器の現在の使用法には多くの欠
点がある。例えば、プロセス・システムはいつ容器が空
になるかを知らなければならない。しかしながら、液面
検出システムは各容器に設置するには高価であり、しか
も液面検出は液体分配システムの動作を妨害するので、
ある生産状況ではうまく作用しない。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によるシステムお
よび方法は、液面検出のために、別の容器を液体分配容
器に直列に配置する。この容器は容器交換の際生産緩衝
(production buffer)として機能し、停止時間(downtim
e)を短縮する。更に、本システムは液体の１００％使用
を可能にするので、常に容器を空にするまで使い切るこ
とができ、最大限に節約できると共に、スループット向
上によってコストを低下させる。容器に液体が残ったま
ま交換されると、これを空にし、更に危険物の廃棄が必
要になるので、サイクル・タイムとコストが増大する。
本システムは、特殊なポンプ構成を内蔵し、これによっ
て緩衝容器内の液面検出をリセットし、環境排気許可(e
nvironmental exhaust air permits)や排出規定(exhaus
t requirement)を必要とする、液体上の蒸気の通気を行
うことなく、他に見られない方法で液面のリセットを可
能にする。
よび方法は、液面検出のために、別の容器を液体分配容
器に直列に配置する。この容器は容器交換の際生産緩衝
(production buffer)として機能し、停止時間(downtim
e)を短縮する。更に、本システムは液体の１００％使用
を可能にするので、常に容器を空にするまで使い切るこ
とができ、最大限に節約できると共に、スループット向
上によってコストを低下させる。容器に液体が残ったま
ま交換されると、これを空にし、更に危険物の廃棄が必
要になるので、サイクル・タイムとコストが増大する。
本システムは、特殊なポンプ構成を内蔵し、これによっ
て緩衝容器内の液面検出をリセットし、環境排気許可(e
nvironmental exhaust air permits)や排出規定(exhaus
t requirement)を必要とする、液体上の蒸気の通気を行
うことなく、他に見られない方法で液面のリセットを可
能にする。
【０００９】
【実施例】まず、システムの概要を説明するために図１
に移ると、危険物液体３４を処理するシステム２５が示
されている。本システムは着脱可能容器７を含む。着脱
可能ガス容器７は、レギュレータ３の出力３３に結合さ
れたガス入力２６を有する。レギュレータ３の入力は不
活性ガス源１に結合されている。また、容器７は着脱可
能容器液体出力口２９も有する。
に移ると、危険物液体３４を処理するシステム２５が示
されている。本システムは着脱可能容器７を含む。着脱
可能ガス容器７は、レギュレータ３の出力３３に結合さ
れたガス入力２６を有する。レギュレータ３の入力は不
活性ガス源１に結合されている。また、容器７は着脱可
能容器液体出力口２９も有する。
【００１０】更に、システム２５は永久容器１１も含
む。永久容器１１の永久容器液体入力３０は着脱可能容
器の液体出力２９に結合されている。また、永久容器１
１は液体分配出力口３１、および移送ポンプ１４の入力
３２に結合されたガス出力口１３も有する。移送ポンプ
１４は、永久容器１１と着脱可能容器７との間の、容器
結合線内にある。移送ポンプ１４の出力３５は、レギュ
レータ３の出力３３に結合されている。
む。永久容器１１の永久容器液体入力３０は着脱可能容
器の液体出力２９に結合されている。また、永久容器１
１は液体分配出力口３１、および移送ポンプ１４の入力
３２に結合されたガス出力口１３も有する。移送ポンプ
１４は、永久容器１１と着脱可能容器７との間の、容器
結合線内にある。移送ポンプ１４の出力３５は、レギュ
レータ３の出力３３に結合されている。
【００１１】更に、液面検出器１２が永久容器１１内に
設置されている。液面検出器１２は、永久容器１１内の
危険物液体３４の液面を検出する。具体的には、液面検
出器１２は、危険物液体３４が低レベル３６より低いと
き、および危険物液体３４が高レベル３７よりも高いと
きを検出することができるものである。
設置されている。液面検出器１２は、永久容器１１内の
危険物液体３４の液面を検出する。具体的には、液面検
出器１２は、危険物液体３４が低レベル３６より低いと
き、および危険物液体３４が高レベル３７よりも高いと
きを検出することができるものである。
【００１２】更に詳しく説明すると、自動無通気液体移
送システム２５の主要構成物には、運搬可能で容易に着
脱可能な供給容器７と、永久緩衝容器１１とが含まれ
る。好適実施例では、容器７，１１は、Alloy Products
Corp.のステンレス鋼で、ASME(American Society of M
echanical Engineers) の定格が１５０psiの防火圧力級
容器(unfired pressure rated vessels with 150 psi r
ating)として一般的に知られているタイプのものであ
る。圧力容器７，１１は、安全性のために、７０psi圧
力放出弁（図示せず）を有する。容器７，１１および図
１に示す他の構成物は、適当な二次的収容キャビネット
（図示せず）内に配置することが好ましい。次に図２を
手短かに参照すると、主制御ボックス４０が、二次的収
容キャビネットの近くに配置され、特定位置に都合がい
いように取り付けられている。好適実施例では、主制御
キャビネットは、約４６cmＸ３０cmＸ１５cmのサイズで
あり、環境およびシステム２５内の液体と適合するよう
に構成されている。具体的には、好適実施例はNema IV
TMとして一般的に知られている箱を採用している。
送システム２５の主要構成物には、運搬可能で容易に着
脱可能な供給容器７と、永久緩衝容器１１とが含まれ
る。好適実施例では、容器７，１１は、Alloy Products
Corp.のステンレス鋼で、ASME(American Society of M
echanical Engineers) の定格が１５０psiの防火圧力級
容器(unfired pressure rated vessels with 150 psi r
ating)として一般的に知られているタイプのものであ
る。圧力容器７，１１は、安全性のために、７０psi圧
力放出弁（図示せず）を有する。容器７，１１および図
１に示す他の構成物は、適当な二次的収容キャビネット
（図示せず）内に配置することが好ましい。次に図２を
手短かに参照すると、主制御ボックス４０が、二次的収
容キャビネットの近くに配置され、特定位置に都合がい
いように取り付けられている。好適実施例では、主制御
キャビネットは、約４６cmＸ３０cmＸ１５cmのサイズで
あり、環境およびシステム２５内の液体と適合するよう
に構成されている。具体的には、好適実施例はNema IV
TMとして一般的に知られている箱を採用している。
【００１３】次に図３を手短かに参照すると、遠隔指示
ボックス６０を用いて、システム２５の状態を通知す
る。遠隔指示ボックス６０は、プロセス・ツール（図示
せず）の近くのような化学薬品使用地点(point of chem
istry usage)に取り付けられ、ツールの操作者に状態情
報を提供する。遠隔指示ボックス６０は約８cmＸ１３cm
Ｘ４cmのサイズであり、ボックスを配置する環境に適合
する物質で作られている。好適実施例では、密閉された
塩化ポリビニル・プラスチック箱が用いられる。
ボックス６０を用いて、システム２５の状態を通知す
る。遠隔指示ボックス６０は、プロセス・ツール（図示
せず）の近くのような化学薬品使用地点(point of chem
istry usage)に取り付けられ、ツールの操作者に状態情
報を提供する。遠隔指示ボックス６０は約８cmＸ１３cm
Ｘ４cmのサイズであり、ボックスを配置する環境に適合
する物質で作られている。好適実施例では、密閉された
塩化ポリビニル・プラスチック箱が用いられる。
【００１４】図１に戻って、液体移送に必要な化学薬品
には不活性なガスが、ガス源１から着脱可能圧力容器７
に供給される。好適実施例では、キシレン、ｎ−ブチル
・アセテート、ニス製造者のペンキ除去剤(paint remov
er)（一般的にVMP a-napthaTMとして知られている）、W
aycoatTMとして一般的に知られている負レジスト現像
液、またはイソプロピル・アルコールのいずれかを移送
するために、３ないし１５psiの窒素が用いてられる。
には不活性なガスが、ガス源１から着脱可能圧力容器７
に供給される。好適実施例では、キシレン、ｎ−ブチル
・アセテート、ニス製造者のペンキ除去剤(paint remov
er)（一般的にVMP a-napthaTMとして知られている）、W
aycoatTMとして一般的に知られている負レジスト現像
液、またはイソプロピル・アルコールのいずれかを移送
するために、３ないし１５psiの窒素が用いてられる。
【００１５】不活性ガスは、チェック・バルブ２を通じ
て、出力圧力を設定するためのゲージ４を備えたレギュ
レータ３に供給される。圧力は、化学的性質に適合した
ステンレス鋼製の可撓性編上げホース５、および瞬間切
断器６を通じて、圧力容器７の気相即ち圧力容器７内の
供給液体の上部空間４５（液面より上の空間）に供給さ
れる。好適実施例は、QTシリーズSwagelockTMとして一
般的に知られている、二重遮断瞬間切断器を採用してい
る。これは、ステンレス鋼製の二重遮断瞬間切断器であ
る。瞬間切断器６はバネ負荷型遮断弁を有し、いかなる
液体の流れおよび漏れも十分に遮断し、重大な火災危険
の可能性を全て根絶する。
て、出力圧力を設定するためのゲージ４を備えたレギュ
レータ３に供給される。圧力は、化学的性質に適合した
ステンレス鋼製の可撓性編上げホース５、および瞬間切
断器６を通じて、圧力容器７の気相即ち圧力容器７内の
供給液体の上部空間４５（液面より上の空間）に供給さ
れる。好適実施例は、QTシリーズSwagelockTMとして一
般的に知られている、二重遮断瞬間切断器を採用してい
る。これは、ステンレス鋼製の二重遮断瞬間切断器であ
る。瞬間切断器６はバネ負荷型遮断弁を有し、いかなる
液体の流れおよび漏れも十分に遮断し、重大な火災危険
の可能性を全て根絶する。
【００１６】圧力容器７は、化学薬品（有害物質液体３
４）を運ぶために薬品供給者によって再使用される供給
容器である。圧力容器７の液体出力口２９は、容器の底
面まで達するステンレス鋼製ディップ・チューブ８を有
する。ディップ・チューブ８は供給薬品３４を抜くため
のものである。供給側圧力容器７は、瞬間切断器９（上
述の切断器６と同一機種であることが好ましい）を通じ
て、永久緩衝容器１１の液体入力３０に接続された、ス
テンレス鋼製編上げ可撓性ホース１０に液体３４を分配
する。
４）を運ぶために薬品供給者によって再使用される供給
容器である。圧力容器７の液体出力口２９は、容器の底
面まで達するステンレス鋼製ディップ・チューブ８を有
する。ディップ・チューブ８は供給薬品３４を抜くため
のものである。供給側圧力容器７は、瞬間切断器９（上
述の切断器６と同一機種であることが好ましい）を通じ
て、永久緩衝容器１１の液体入力３０に接続された、ス
テンレス鋼製編上げ可撓性ホース１０に液体３４を分配
する。
【００１７】圧力容器の瞬間切断器６，９は、以下のよ
うに、不活性ガス送出側２６および液体出力側２９にキ
ー締めにする(key)ことが好ましい。全ての不活性ガス
送出側の瞬間切断器６は同一であり唯一である。液体出
力側の各圧力容器瞬間切断器９もキー締めにされ、各特
定化学薬品タイプに固有とし、異なる薬品が偶然に相互
交換されないようにする。
うに、不活性ガス送出側２６および液体出力側２９にキ
ー締めにする(key)ことが好ましい。全ての不活性ガス
送出側の瞬間切断器６は同一であり唯一である。液体出
力側の各圧力容器瞬間切断器９もキー締めにされ、各特
定化学薬品タイプに固有とし、異なる薬品が偶然に相互
交換されないようにする。
【００１８】永久緩衝容器１１は、高および低レベル３
７，３６に対して、電磁リード・スイッチ・レベル制御
部１２を有し、線４６を通じて図２の主制御ボックス４
０内またはその近くに設けられている主制御器に、信号
出力を与える。吸引出力１３は、ステンレス鋼管および
結合線３８を通じて圧力移送ポンプ１４の入力３２に堅
固に鉛工接続(hard plumbed)されている。好ましくは、
圧力移送ポンプ１４は、Wildenという製造者から一般的
に入手可能な、ステンレス鋼製筐体のダイアフラム・ポ
ンプである。ポンプ１４内部に取り付けられている湿性
ダイアフラム(wettable diaphragm)は、TeflonTMとして
一般的に知られている耐久性のある物質で作られる。ま
た、ポンプ１４は、圧力を設定し、空気を濾過し、潤滑
油を追加してポンプ１４が良好に動作し続けるようにす
る、レギュレータ−フィルタ−潤滑器１７を介して、清
浄な乾燥空気によって、空気圧作動(air-operated)され
る。ソレノイド１６が線内に配され、圧力移送ポンプ１
４をオン／オフ制御する。
７，３６に対して、電磁リード・スイッチ・レベル制御
部１２を有し、線４６を通じて図２の主制御ボックス４
０内またはその近くに設けられている主制御器に、信号
出力を与える。吸引出力１３は、ステンレス鋼管および
結合線３８を通じて圧力移送ポンプ１４の入力３２に堅
固に鉛工接続(hard plumbed)されている。好ましくは、
圧力移送ポンプ１４は、Wildenという製造者から一般的
に入手可能な、ステンレス鋼製筐体のダイアフラム・ポ
ンプである。ポンプ１４内部に取り付けられている湿性
ダイアフラム(wettable diaphragm)は、TeflonTMとして
一般的に知られている耐久性のある物質で作られる。ま
た、ポンプ１４は、圧力を設定し、空気を濾過し、潤滑
油を追加してポンプ１４が良好に動作し続けるようにす
る、レギュレータ−フィルタ−潤滑器１７を介して、清
浄な乾燥空気によって、空気圧作動(air-operated)され
る。ソレノイド１６が線内に配され、圧力移送ポンプ１
４をオン／オフ制御する。
【００１９】ポンプ１４の出力３５は堅固な配管で接続
され、結合線３８（好ましくはステンレス鋼製管）、チ
ェック・バルブ１５を介して、圧力供給容器７に供給を
行うステンレス鋼製編上げ線５に達する。緩衝容器１１
の液体分配出力３１は、ステンレス鋼製ディップ・チュ
ーブ１８から、ステンレス鋼管１９の堅固に鉛工接続さ
れた出力線を通じてフィルタ２０に供給される。フィル
タ２０は半導体処理ツールの使用地点（図示せず）に結
合される。好適実施例では、フィルタは、定格０．２ミ
クロンで、ステンレス鋼製カートリッジ筐体に収容され
たTeflonTMカートリッジ・フィルタである。
され、結合線３８（好ましくはステンレス鋼製管）、チ
ェック・バルブ１５を介して、圧力供給容器７に供給を
行うステンレス鋼製編上げ線５に達する。緩衝容器１１
の液体分配出力３１は、ステンレス鋼製ディップ・チュ
ーブ１８から、ステンレス鋼管１９の堅固に鉛工接続さ
れた出力線を通じてフィルタ２０に供給される。フィル
タ２０は半導体処理ツールの使用地点（図示せず）に結
合される。好適実施例では、フィルタは、定格０．２ミ
クロンで、ステンレス鋼製カートリッジ筐体に収容され
たTeflonTMカートリッジ・フィルタである。
【００２０】本発明によるシステムは、全体として以下
のように動作する。図１を参照して、危険物液体３４を
含む液体供給容器７は、線１０を介して緩衝容器１１、
および線５を介して不活性ガス源１に結合されている。
機械式ポンプ１４によって、線３８を通じて緩衝容器１
１に吸引力が印加され、ポンプ出力３５を介して、容器
１１から供給容器７に圧力を移送する。この圧力の吸引
および移送によって、液体供給容器７から線１０を通じ
て緩衝容器１１に危険物液体３４を引き込む。危険物液
体３４が緩衝容器１１内の高レベル３７に達し、緩衝容
器１１内で自動液面検出器１２によって高レベルが検出
されるまで、吸引は続けられる。
のように動作する。図１を参照して、危険物液体３４を
含む液体供給容器７は、線１０を介して緩衝容器１１、
および線５を介して不活性ガス源１に結合されている。
機械式ポンプ１４によって、線３８を通じて緩衝容器１
１に吸引力が印加され、ポンプ出力３５を介して、容器
１１から供給容器７に圧力を移送する。この圧力の吸引
および移送によって、液体供給容器７から線１０を通じ
て緩衝容器１１に危険物液体３４を引き込む。危険物液
体３４が緩衝容器１１内の高レベル３７に達し、緩衝容
器１１内で自動液面検出器１２によって高レベルが検出
されるまで、吸引は続けられる。
【００２１】一旦高レベル３７に達したなら、ポンプ１
４からの吸引は中断される（高レベル３７が検出され、
ポンプが停止される）。危険物液体３４が、出力３１お
よびフィルタ２０を通じてプロセス・ツール（図示せ
ず）に分配され、この分配によって、危険物液体３４が
更に液体供給容器７から線１０を通じて引き出されるこ
とになる。このように液体３４が更に引き出されると、
元来実際のポンプ動作と上述の吸引とによって確立され
る平衡によって、緩衝容器１１内の液体３４の液面は高
レベル３７に自然に維持される。
４からの吸引は中断される（高レベル３７が検出され、
ポンプが停止される）。危険物液体３４が、出力３１お
よびフィルタ２０を通じてプロセス・ツール（図示せ
ず）に分配され、この分配によって、危険物液体３４が
更に液体供給容器７から線１０を通じて引き出されるこ
とになる。このように液体３４が更に引き出されると、
元来実際のポンプ動作と上述の吸引とによって確立され
る平衡によって、緩衝容器１１内の液体３４の液面は高
レベル３７に自然に維持される。
【００２２】その内、危険物液体３４は全て液体供給容
器７から徐々に排出される。しかしながら、一旦供給容
器７が空になっても、緩衝容器１１が危険物液体３４を
分配し続ける。この時点で、緩衝容器１１内の液面は低
下し始める。ここで、新たな供給容器７を接続しなけれ
ばならない。緩衝容器１１の液面がレベル３６に到達し
たなら、新しい供給容器７が接続されるまで、システム
は一時的に停止する。
器７から徐々に排出される。しかしながら、一旦供給容
器７が空になっても、緩衝容器１１が危険物液体３４を
分配し続ける。この時点で、緩衝容器１１内の液面は低
下し始める。ここで、新たな供給容器７を接続しなけれ
ばならない。緩衝容器１１の液面がレベル３６に到達し
たなら、新しい供給容器７が接続されるまで、システム
は一時的に停止する。
【００２３】必要に応じて図１、図２および図３を参照
しながら、更に詳しく説明する。主制御ボックス４０
（システム２５の近くに配置されている）および遠隔指
示ボックス６０（ツールの近くに配置されている）は各
々、２つの別個の分配システム２５に対して出力ランプ
を有する。一例として、一方のシステムの容器サイクル
の流れを説明する。
しながら、更に詳しく説明する。主制御ボックス４０
（システム２５の近くに配置されている）および遠隔指
示ボックス６０（ツールの近くに配置されている）は各
々、２つの別個の分配システム２５に対して出力ランプ
を有する。一例として、一方のシステムの容器サイクル
の流れを説明する。
【００２４】液面検出器１２上で緩衝容器１１内の液体
が高レベル３７より低い場合、遠隔指示状態ボックス６
０は、容器交換指示ランプ６２を照らす。主制御ボック
ス４０上の容器交換ランプ６４も点火され、主制御ボッ
クス４０上の警報停止ボタン(alarm silence)６８が押
されて可聴警報部６６を停止させるまで、可聴警報６６
が可聴ノイズを発生する。可聴警報部６６が停止されて
も、しかしながら、容器交換ランプ６４（主制御ボック
ス４０上），６２（遠隔ボックス６０上）は点火された
ままである。
が高レベル３７より低い場合、遠隔指示状態ボックス６
０は、容器交換指示ランプ６２を照らす。主制御ボック
ス４０上の容器交換ランプ６４も点火され、主制御ボッ
クス４０上の警報停止ボタン(alarm silence)６８が押
されて可聴警報部６６を停止させるまで、可聴警報６６
が可聴ノイズを発生する。可聴警報部６６が停止されて
も、しかしながら、容器交換ランプ６４（主制御ボック
ス４０上），６２（遠隔ボックス６０上）は点火された
ままである。
【００２５】システムの操作者が、プロセス・ツールが
緩衝容器１１内の液面を低レベル３６より下まで低下さ
せる位の時間にわたって、システムを放置した場合、シ
ステム２５およびプロセス・ツールの遮断が発生する。
緩衝容器１１内の液面を低レベル３６より下まで低下さ
せる位の時間にわたって、システムを放置した場合、シ
ステム２５およびプロセス・ツールの遮断が発生する。
【００２６】容器交換ランプおよび警報、またはシステ
ムの遮断のいずれかに続いて、操作者は供給容器７を交
換する。不活性ガス６および出力液９の瞬間切断器が切
断される。緩衝容器１１内の液面が低レベル指示器３６
より高い場合、液体３４の上にある不活性ガスの圧力
（一旦容器７から液体３４がなくなったなら、不活性ガ
スは容器７から抜かれる）のために、供給容器７を交換
している間も、プロセス・ツールは運転し続けることが
できる。その結果、供給容器７の交換の間も生産は中断
されない。新たな満杯の供給容器７は、システムに対応
付けられた液体化学薬品で満たされており、不活性ガス
切断部６および出力側切断部９を容器７に係合すること
によって接続される。
ムの遮断のいずれかに続いて、操作者は供給容器７を交
換する。不活性ガス６および出力液９の瞬間切断器が切
断される。緩衝容器１１内の液面が低レベル指示器３６
より高い場合、液体３４の上にある不活性ガスの圧力
（一旦容器７から液体３４がなくなったなら、不活性ガ
スは容器７から抜かれる）のために、供給容器７を交換
している間も、プロセス・ツールは運転し続けることが
できる。その結果、供給容器７の交換の間も生産は中断
されない。新たな満杯の供給容器７は、システムに対応
付けられた液体化学薬品で満たされており、不活性ガス
切断部６および出力側切断部９を容器７に係合すること
によって接続される。
【００２７】続いて、操作者は主制御ボックス４０の移
送開始プッシュ・スイッチ７０を押す。この操作によっ
て、圧力移送ポンプ１４が起動する。ポンプ１４は緩衝
容器１１上部の圧力を吸引し、供給容器７にこの圧力を
移送する。圧力の移送によって、供給容器７は液体３４
を緩衝容器１１に移送することができる。移送に要する
時間は、好適実施例では、通常１５ないし６０秒であ
る。
送開始プッシュ・スイッチ７０を押す。この操作によっ
て、圧力移送ポンプ１４が起動する。ポンプ１４は緩衝
容器１１上部の圧力を吸引し、供給容器７にこの圧力を
移送する。圧力の移送によって、供給容器７は液体３４
を緩衝容器１１に移送することができる。移送に要する
時間は、好適実施例では、通常１５ないし６０秒であ
る。
【００２８】供給液３４を移送すると、緩衝容器１１内
の液体の水位が検出器１２上の高レベル３７より高くな
り、これによって自動的に移送ポンプ１４が停止し、不
活性ガスの気相を緩衝容器１１から圧力供給容器７に逆
移送する。移送ポンプ１４を停止すると、チェック・バ
ルブ１５が閉じ、不活性ガスが緩衝容器１１に侵入する
のが防止される。緩衝容器１１から気相が除去されたの
で、システム２５が運転されている間は、供給容器７内
に残った供給液３４は緩衝容器１１に流入し続ける。こ
こで、システム２５から、緩衝容器１１上部のガスが一
掃される。サイクル自体が繰り返され、緩衝容器１１内
の液体の水位が液面検出器１２上の高レベル３７より下
に低下する程にプロセス・ツールが液体３４を消費する
まで、システム２５は遠隔指示ランプが点火されること
なく機能し続ける。
の液体の水位が検出器１２上の高レベル３７より高くな
り、これによって自動的に移送ポンプ１４が停止し、不
活性ガスの気相を緩衝容器１１から圧力供給容器７に逆
移送する。移送ポンプ１４を停止すると、チェック・バ
ルブ１５が閉じ、不活性ガスが緩衝容器１１に侵入する
のが防止される。緩衝容器１１から気相が除去されたの
で、システム２５が運転されている間は、供給容器７内
に残った供給液３４は緩衝容器１１に流入し続ける。こ
こで、システム２５から、緩衝容器１１上部のガスが一
掃される。サイクル自体が繰り返され、緩衝容器１１内
の液体の水位が液面検出器１２上の高レベル３７より下
に低下する程にプロセス・ツールが液体３４を消費する
まで、システム２５は遠隔指示ランプが点火されること
なく機能し続ける。
【００２９】以上本発明の特定実施例について示しかつ
説明したが、これ以外の変更や改善も当業者には想起さ
れよう。また、本発明はここに示した特定形状に限定さ
れる訳ではないことは理解されよう。更に、本発明の精
神および範囲から逸脱しない全ての変更は、特許請求の
範囲の記載に該当することを意図するものである。
説明したが、これ以外の変更や改善も当業者には想起さ
れよう。また、本発明はここに示した特定形状に限定さ
れる訳ではないことは理解されよう。更に、本発明の精
神および範囲から逸脱しない全ての変更は、特許請求の
範囲の記載に該当することを意図するものである。
【図１】危険物液体分配システムの構成図。
【図２】図１に示したシステムのための主制御ボックス
を示す簡略正面図。
を示す簡略正面図。
【図３】図１に示したシステムのための遠隔指示ボック
スを示す簡略正面図。
スを示す簡略正面図。
１ 不活性ガス源 ３ レギュレータ ６，９ 瞬間切断器 ７ 着脱可能容器 ８ ディップ・チューブ １１ 永久容器 １２ 液面検出器 １４ 移送ポンプ ２５ システム ３４ 危険物液体 ３６ 低レベル ３７ 高レベル ４０ 主制御ボックス ６０ 遠隔指示状態ボックス ６２ 容器交換指示ランプ ６６ 可聴警報 ６８ 警報停止ボタン ７０ 移送開始プッシュ・スイッチ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ケビン・ラック アメリカ合衆国アリゾナ州スコッツデー ル、ノース・56ス・プレース17620
Claims (2)
- 【請求項１】危険物液体（３４）を分配する方法であっ
て：前記有害物質液体（３４）を含む液体供給容器
（７）を緩衝容器（１１）に結合する段階；吸引力を前
記緩衝容器（１１）に印加することによって、前記液体
供給容器（７）から前記緩衝容器（１１）に前記危険物
液体（３４）を移動させる段階；前記危険物液体（３
４）が前記緩衝容器（１１）内の高レベル（３７）に到
達するまで、前記緩衝容器（１１）に吸引力を印加し続
ける段階；および前記危険物液体（３４）を前記緩衝容
器（１１）から分配し、かかる分配によって前記液体供
給容器（７）から更に前記危険物液体（３４）を引き出
させる段階；から成ることを特徴とする方法。 - 【請求項２】危険物液体（３４）を分配する装置（２
５）であって：着脱可能容器（７）であって：入力が不
活性ガス源（１）に結合されたレギュレータ（３）の出
力（３３）に結合されたガス入力口（２６）、および着
脱可能容器の液体出力（２９）；を含む前記着脱可能容
器（７）；ならびに永久容器（１１）であって：前記着
脱可能容器の液体出力（２９）に結合された永久容器液
体入力（３０）、液体分配出力（３１）、出力（３５）
が前記レギュレータ（３）の出力（３３）に結合された
移送ポンプ（１４）の入力（３２）に結合されたガス出
力（１３）、および前記永久容器（１１）内の前記危険
物液体（３４）の液面を検出する液面検出器（１２）；
を含む前記永久容器（１１）；から成ることを特徴とす
る装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/332,228 US5607000A (en) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | Hazardous material liquid dispensing system and method |
| US332228 | 1994-10-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08135899A true JPH08135899A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=23297295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7275025A Pending JPH08135899A (ja) | 1994-10-31 | 1995-09-29 | 危険物液体分配システムおよび方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5607000A (ja) |
| JP (1) | JPH08135899A (ja) |
| KR (1) | KR100376022B1 (ja) |
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- 1995-09-28 KR KR1019950033804A patent/KR100376022B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-09-29 JP JP7275025A patent/JPH08135899A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5607000A (en) | 1997-03-04 |
| KR960013431A (ko) | 1996-05-22 |
| KR100376022B1 (ko) | 2003-06-11 |
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