JP2005534484A - 超高純度のまたは汚染感受性の化学物質の自動補充システム - Google Patents
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Abstract
Description
水素搬送ガスの飽和度、および使用される搬送ガスの量の関数である。代表的な搬送ガスは、窒素、アルゴンまたはヘリウムであるが、PMO CVDにとって好ましいガスは超高純度水素である。バブラーにおいて利用されるいくつかの代表的な化学物質は、トリメチルガリウム(TMG)、トリエチルガリウム(TEG)、トリメチルアルミニウム(TMA)、並びにジメチル亜鉛(DMZ)およびジエチル亜鉛(DEZ)のようなドーパント化学物質である。バブラー内の化学物質が空になったときには、バブラーを温度浴から取り出し、遠隔位置で補充しなければならない。
・真空ポンプでは、ポンプの作業面および可動部分に堆積物が形成されることにより化学物質が腐食し、分解するのを避けるために、揮発性化学物質がポンプに到達する前にこれを凝縮し、それによって揮発性化学物質を取り出すのにトラップを使用する必要がある。
・真空ポンプはシステムの温度制御を妨げ得る熱を発生させる。
・真空ポンプおよび付随する部品(支持体およびトラップ)は作業領域にスペースを必要とする。
・真空ポンプは高価な機器であり、定期的な保守を必要とする。真空ポンプのトラップは、定期的な点検、低温冷却剤の交換、並びに凝縮された危険なPMO化学物質の定期的な取り出しおよび廃棄を必要とする。それに加えて、上述したトラップにもかかわらず、
そのものが決して100%の効率ではないので、真空ポンプは、排オイル内へのPMOの蓄積ゆえに排オイルの定期的な交換が必要である。
・ベンチュリはその動作のための可動部分をいっさい必要とせず、したがって、揮発性の化学物質がベンチュリに到達する前に化学物質を取り出すようにトラップをすえ付ける必要がない。本発明でベンチュリによって処理される揮発性の化学物質は、ベンチュリを通って直接排出され、MOCVDツールからの通常の排出での廃棄と一緒にされる。
・ベンチュリを作動させるために窒素のような不活性ガスを使用することにより、反応性の高い化学物質蒸気が化学ラインまたは排出ラインにおいて分解することがなく、また、これらの反応性蒸気が最初に機械的なポンプを通ることなく軽減システムへ直接安全に排出され得るということが確実になる。
・ベンチュリはほとんど熱を発生させないので、本発明の温度制御システムに対する影響が全くない。
・ベンチュリはシステム・キャビネット内のごくわずかなスペースしか必要としない。ベンチュリが小型であるということにより、接続ラインの短い長さの中に含まれるガス量を減らすことになり、さらに効率を上げることができる。
・ベンチュリは、非常に単純な装置であり、すえ付けに費用がかからず、ほとんど保守を必要としない。
らの任意の組み合わせからなる群から選ばれた1つまたはそれ以上のセンサを使用して、一次および二次化学物質リザーバ内の化学物質の量をモニタするように作動できる。好ましくは、ボリューム・センサは、一次および二次化学物質リザーバに入れたガラス・ロッドを利用する光学センサ、または一次および二次化学物質リザーバに入れたサーミスタを利用する熱コンダクタンス・センサである。
図2は、バブラー・セクションにおける4つのユースポイントを有する生産ラインの処
理ステーション内へ超高純度または汚染感受性化学物質を分配する本発明のシステムの概略図である。
図3は、8つのユースポイントを有する生産ラインの処理ステーション内へ超高純度または汚染感受性化学物質を分配する本発明のシステムの概略図である。
図4は、4つのユースポイントを有する生産ラインの処理ステーション内へ直接的に超高純度または汚染感受性化学物質を分配する本発明のシステムの概略図である。
図5は、本発明のシステムを作動させるのに用いるキャビネット内の電気セクションおよび化学物質セクションのブロック図である。
上の出口通路へ化学物質を移送する弁操作手順の説明である。ここで、システムがシャトル/シャトル・モードにおいて、対応する弁を操作することによって用いられる場合、化学物質をタンク52から出口通路60、62、64または66へ同様に移送できることは了解されたい。上記したように、弁DV2およびDV3は、システムの通常作動中には開いた状態に維持される。弁V1、V2、V3またはV4のうち1つまたはそれ以上の弁が、弁V5、V9と共に開放されることになる。弁CV1およびCV2は、ガス源にガスが逆流するのを防ぐ逆止め弁である。残りの弁のすべては、DV6、DV7を除いて、閉じている。弁V9を開くと、ガス源からの加圧ガスをタンク50に流入させ、このタンクを充分に加圧してチューブ51を通して化学物質を管路68へ送り、開いた出口通路を通して排出させる。化学物質は、管路46を通してバブラー・アンプル4へ移送され、この管路は、システム通常動作中に常に開いたままとなっている弁45を経て延長チューブ41と接続している。移送された化学物質は、チューブ41の開放端を通してアンプル4に入る。アンプル内で適切な充填レベルが検出されたとき、コントローラは、開いている出口弁と共に弁V5、V9を自動的に閉じる。上記したように、秤54がタンク50内に残っている化学物質の量をモニタしており、化学物質量が所定の最小量に達したとき、システムがシャトル/シャトル・システムである場合には、コントローラは、システム操作者に、タンクをキャビネットから取り出さなければならないという信号を与えることになる。
、
1)交換されるべきバルク容器と関連したマニホルドの管路をブローアウトし、
2)交換されるべきバルク容器と関連したマニホルドの管路をパージし、
3)接続管路を空のバルク容器から遮断し、これらの接続管路を不活性ガスでフラッシングし、次いで、新しいバルク容器を再接続し、
4)管路を再びパージし、
5)接続部に漏れがないかどうか点検する。
解されたい。
コントローラはアナログ/デジタル・コントローラボードに接続されており、これは弁マニホルドにある電磁弁の作動を制御するインターフェース・ボードからアナログ信号を受け取り、アナログ信号をコントローラ・コンピュータのためのデジタル信号に変換する。インターフェース・ボードは、また、バルク・タンク秤または重量センサの両方;管路を介してのアンプル充満レベル・センサ;および圧力計P1、P2、にも接続してあってこれらから信号を受け取る。電磁弁マニホルドは、管路から圧縮空気を受け取り、個々の管状接続部を経て、マニホルド組立体に収容されている上記の空気圧弁に圧縮空気を選択的に供給する。こうして、1つの電磁弁が、マニホルド内の空気圧弁のそれぞれと使用可能な状態で対となっている。開始/停止信号、重量秤および圧力計から受け取った入力ならびにキーボードまたはマウスからの操作者入力に応じて、コントローラは、マニホルドにおける電磁弁、したがって、マニホルド内の空気圧弁V1〜V15の作動を命令する。コントローラは、また、手動で実施しなければならない作業に関してモニタを経てシステム操作者に信号を送り、それを教える。
た、バルク容器は、ヘリウム漏洩検出器を使用できるように装備してある。このようにして、本システムは、大気汚染を回避し、バルク・シリンダの交換後に製品純度を維持できる。化学物質を補充するためにMOCVD機の液体温度浴から超高純度PMO化学物質バブラーを取り出す必要もないし、新しいバブラーを所定位置に設置する必要性もない。その結果、対応するMOCVD機の作動が自動補充作業中に影響を受けることがなく、偶発的な発火の機会を大きく減らす。
Claims (44)
- (a)少なくとも1つの一次液体化学物質リザーバ、
(b)少なくとも1つの二次液体化学物質リザーバ、
(c)化学物質補充システムに搬送ガスを供給する分配手段、
(d)上記の搬送ガスを供給する手段、一次液体化学物質リザーバおよび二次液体化学物質リザーバを接続する導管、
(e)ガス入口、ガス出口および排ガス出口を含む少なくとも1つのベンチュリであって、上記搬送ガスを供給する上記分配手段と上記一次および二次液体化学物質リザーバとの間に配置されているベンチュリ、および
(f)光学センサ、熱コンダクタンス・センサ、静電容量センサ、重量秤、音響センサ、窒素背圧センサ、静電荷センサ、フロート・センサおよびこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される少なくとも1つのボリューム・センサであって、上記一次および二次化学物質リザーバに残っている化学物質の量をモニタすることができるボリューム・センサ、
を含む化学物質補充システム。 - 排ガス出口が少なくとも1つの弁を有し、この弁が化学物質補充システム内への酸素または任意の汚染物質の拡散を防ぐ、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- 一次化学物質リザーバがバルク化学物質補給タンクである、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- 少なくとも1つの二次化学物質リザーバが、アンプルであり、少なくとも1つの一次化学物質リザーバから化学物質を受け取り、化学物質を使用する手段に化学物質を供給する、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- 導管が化学物質を使用する手段に化学物質補充システムを接続する、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- 導管が複数の移送管路と複数の弁とを含む、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- 少なくとも1つのボリューム・センサが、一次および二次化学物質リザーバに入っているガラス・ロッドを利用する光学センサである、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- 少なくとも1つのボリューム・センサが、少なくとも1つの一次および二次化学物質リザーバに入っているサーミスタを利用する熱コンダクタンス・センサである、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- 少なくとも1つの一次および二次化学物質リザーバの各々が、さらに、液体温度センサを含む、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- 化学物質補充システムが、さらに、化学物質補充システムを選択的に作動させるマイクロプロセッサ・コントローラ手段を含む、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- マイクロプロセッサ・コントローラ手段がプログラム可能論理コントローラである、請求項10に記載の化学物質補充システム。
- 2つの一次化学物質リザーバと2つの二次化学物質リザーバとを含む、請求項1に記載
の化学物質補充システム。 - さらに、少なくとも2つの逆止め弁を含み、これらの逆止め弁が2つの一次化学物質リザーバの各々の間で導管を制御する、請求項12に記載の化学物質補充システム。
- 化学物質補充システムが、さらに、固定一次化学物質リザーバとシャトル一次化学物質リザーバとを使用する固定/シャトル・モードまたは複数のシャトル一次化学物質リザーバを使用するシャトル/シャトル・モードで該システムを選択的に作動させるマイクロプロセッサ・コントローラ手段を含む、請求項12に記載の化学物質補充システム。
- 化学物質が自然発火性化学物質である、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- 化学物質が液体自然発火性有機金属化学物質である、請求項15に記載の化学物質補充システム。
- 搬送ガスが不活性ガスである、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- 搬送ガスが窒素である、請求項1に記載の化学物質補充システム。
- (a)(i)少なくとも1つの一次液体化学物質リザーバ、
(ii)少なくとも1つの二次液体化学物質リザーバ、
(iii)化学物質補充システムに搬送ガスを供給する分配手段、
(iv)搬送ガスを供給する上記手段、上記一次液体化学物質リザーバおよび上記二次液体化学物質リザーバを接続する導管、
(v)ガス入口、ガス出口および排ガス出口を含む少なくとも1つのベンチュリであって、上記搬送ガスを供給する上記分配手段と上記一次および二次液体化学物質リザーバとの間に配置されているベンチュリ、
(vi)光学センサ、熱コンダクタンス・センサ、静電容量センサ、重量秤、音響センサ、窒素背圧センサ、静電荷センサ、フロート・センサおよびそれらの任意の組み合わせからなる群から選択される少なくとも1つのボリューム・センサであって、上記一次および二次化学物質リザーバに残っている化学物質の量をモニタすることができるボリューム・センサ、および
(vii)複数の独立して作動するマイクロプロセッサ制御式モジュールを含み、ここで各モジュールは各一次化学物質リザーバに電気的に整合させてあって、各対応する一次化学物質リザーバの補充作業を制御するようにプログラムされている、マイクロプロセッサ・コントローラ手段、
を含む化学物質補充システムを使用し、
(b) 各一次化学物質リザーバ内の化学物質の量をモニタし、ここでそれぞれ独立して作動するマイクロプロセッサ制御式モジュールは、他のマイクロプロセッサ制御式モジュールおよびそれらの対応する一次化学物質リザーバの動作を中断することなく上記マイクロプロセッサ・コントローラから取り外すことが可能であり、
(c)警報状態について少なくとも1つのボリューム・センサをモニタし、そして、
(d)一次化学物質リザーバを補充するか、または、自動補充管路を停止すること
からなる、化学物質補充システム内で化学物質を移送する方法。 - 一次化学物質リザーバの各々にある少なくとも1つのボリューム・センサから
低レベルまたは低圧警報状態を検知した際に、マイクロプロセッサ制御式モジュールが、該一次化学物質リザーバの各々の動作を停止するように同期作用する、請求項19の方法。 - (a)(i)少なくとも1つの一次液体化学物質リザーバ、
(ii)少なくとも1つの二次液体化学物質リザーバ、
(iii)化学物質補充システムに搬送ガスを供給する分配手段、
(iv)搬送ガスを供給する上記手段、上記一次液体化学物質リザーバおよび上記二次液体化学物質リザーバを接続する導管、
(v)ガス入口、ガス出口および排ガス出口を含む少なくとも1つのベンチュリであって、上記搬送ガスを供給する上記分配手段と上記一次および二次液体化学物質リザーバとの間に配置されているベンチュリ、および
(vi)光学センサ、熱コンダクタンス・センサ、静電容量センサ、重量秤、音響センサ、窒素背圧センサ、静電荷センサ、フロート・センサおよびそれらの任意の組み合わせからなる群から選択される少なくとも1つのボリューム・センサであって、上記一次および二次化学物質リザーバに残っている化学物質の量をモニタすることができるボリューム・センサ
を含む、化学物質補充システムを用意し、
(b)少なくとも1つの一次液体化学物質リザーバを上記搬送ガスで加圧し、そして
(c)少なくとも1つの一次液体化学物質リザーバ内に収容されている液体化学物質を圧力下に上記導管手段を通して送り、少なくとも1つの二次液体化学物質リザーバを該液体化学物質で満たすこと
からなる、液体化学物質を移送する方法。 - (a)少なくとも1つの一次液体化学物質リザーバと、
(b)処理ステーション内に設置した少なくとも1つの二次液体化学物質リザーバと、
(c)化学物質補充システムに搬送ガスを供給する分配手段と、
(d)搬送ガスを供給する上記分配手段、上記一次液体化学物質リザーバおよび上記二次液体化学物質リザーバを接続する導管と、
(e)ガス入口、ガス出口および排ガス出口を含む少なくとも1つのベンチュリであって、上記搬送ガスを供給する上記分配手段と上記一次および二次液体化学物質リザーバとの間に配置されているベンチュリ、
とを含む化学物質補充システム。 - 排ガス出口が少なくとも1つの弁を有し、この弁が、システム内への酸素または全ての汚染物質の拡散を防ぐ、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- 一次化学物質リザーバがバルク化学物質補給タンクである、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- 少なくとも1つの二次化学物質リザーバが、少なくとも1つの一次化学物質リザーバから化学物質を受け取り、処理ステーションにおける該化学物質を使用する手段に該化学物質を直接送る、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- 導管が化学物質を使用する手段に化学物質補充システムを接続している、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- 導管が複数の移送管路と複数の弁とを含む、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- さらに、少なくとも1つの一次化学物質リザーバおよび少なくとも1つの二次化学物質リザーバに残っている化学物質の量をモニタすることができる少なくとも1つのボリューム・センサを含む、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- 少なくとも1つのボリューム・センサが、光学センサ、熱コンダクタンス・センサ、静電容量センサ、重量秤、音響センサ、窒素背圧センサ、静電荷センサ、フロート・センサおよびそれらの任意の組み合わせからなる群から選択された少なくとも1つである、請求項28に記載の化学物質補充システム。
- 少なくとも1つのボリューム・センサが、少なくとも1つの一次化学物質リザーバおよび少なくとも1つの二次化学物質リザーバに入っているガラス・ロッドを利用する光学センサである、請求項29に記載の化学物質補充システム。
- 少なくとも1つのボリューム・センサが、少なくとも1つの一次化学物質リザーバおよび少なくとも1つの二次化学物質リザーバに入っているサーミスタを利用する熱コンダクタンス・センサである、請求項29に記載の化学物質補充システム。
- 少なくとも1つの一次化学物質リザーバおよび少なくとも1つの二次化学物質リザーバの各々が、さらに液体温度センサを含む、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- さらに、化学物質補充システムを選択的に作動させるマイクロプロセッサ・コントローラ手段を含む、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- マイクロプロセッサ・コントローラ手段がプログラム可能論理コントローラである、請求項33に記載の化学物質補充システム。
- 2つの一次化学物質リザーバと2つの二次化学物質リザーバとを含む、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- さらに、少なくとも2つの逆止め弁を含み、これらの逆止め弁が2つの一次化学物質リザーバの各々の間で導管を制御する、請求項35に記載の化学物質補充システム。
- さらに、固定一次化学物質リザーバとシャトル一次化学物質リザーバとを使用する固定/シャトル・モードまたは複数のシャトル一次化学物質リザーバを使用するシャトル/シャトル・モードでシステムを選択的に作動させるマイクロプロセッサ・コントローラ手段を含む、請求項35に記載の化学物質補充システム。
- 化学物質が自然発火性化学物質である、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- 化学物質が液体自然発火性有機金属化学物質である、請求項38に記載の化学物質補充システム。
- 搬送ガスが不活性ガスである、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- 搬送ガスが窒素である、請求項22に記載の化学物質補充システム。
- (a)(i)少なくとも1つの一次液体化学物質リザーバ、
(ii)処理ステーション内に位置する少なくとも1つの二次液体化学物質リザーバ、
(iii)化学物質補充システムに搬送ガスを供給する分配手段、
(iv)搬送ガスを供給する上記分配手段、上記一次液体化学物質リザーバおよび上記二次液体化学物質リザーバを接続する導管、
(v)ガス入口、ガス出口および排ガス出口を含む少なくとも1つのベンチュリであって、上記搬送ガスを供給する上記分配手段と上記一次および二次液体化学物質リザーバとの間に配置されているベンチュリ、および
(vi)複数の独立して作動するマイクロプロセッサ制御式モジュールを含み、ここで、各モジュールは各一次化学物質リザーバに電気的に整合させてあって、各対応する一次化学物質リザーバの補充作業を制御するようにプログラムされている、マイクロプロセッサ・コントローラ手段、
を含む化学物質補充システムを用意し、
(b)各一次化学物質リザーバ内の化学物質の量をモニタし、ここでそれぞれ独立して作動するマイクロプロセッサ制御式モジュールは、他のマイクロプロセッサ制御式モジュールおよびそれらの対応する一次化学物質リザーバの動作を中断することなく上記マイクロプロセッサ・コントローラから取り外すことが可能であり、
(c)警報状態について少なくとも1つのボリューム・センサをモニタし、そして、
(d)一次化学物質リザーバを補充するか、または、自動補充管路を停止すること
からなる、化学物質を移送するための方法。 - 一次化学物質リザーバの各々にある少なくとも1つのボリューム・センサから低レベルまたは低圧警報状態を検知した際に、マイクロプロセッサ制御式モジュールが、該一次化学物質リザーバの各々の動作を停止するように同期作用する、請求項42の方法。
- (a)(i)少なくとも1つの一次液体化学物質リザーバ、
(ii)処理ステーション内に位置する少なくとも1つの二次液体化学物質リザーバ、
(iii)化学物質補充システムに搬送ガスを供給する分配手段、
(iv)搬送ガスを供給する上記分配手段、上記一次液体化学物質リザーバおよび上記二次液体化学物質リザーバを接続する導管、および
(v)ガス入口、ガス出口および排ガス出口を含む少なくとも1つのベンチュリであって、上記搬送ガスを供給する上記分配手段と上記一次および二次液体化学物質リザーバとの間に配置されているベンチュリ、
を含む化学物質補充システムを使用し、
(b)少なくとも1つの一次液体化学物質リザーバを上記搬送ガスで加圧し、
(c)少なくとも1つの一次液体化学物質リザーバ内に収容されている液体化学物質を圧力の下に上記導管手段を通して送り、上記少なくとも1つの二次液体化学物質リザーバを上記液体化学物質で満たす
ことからなる、液体化学物質を移送する方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007043174A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Samsung Electronics Co Ltd | 化学液体の供給装置及び化学液体の供給方法 |
JP2011068920A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Nakata Coating Co Ltd | 表面改質装置及び表面改質方法 |
JP2015177186A (ja) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 江蘇南大光電材料股▲ふん▼有限公司 | 液体有機金属化合物の供給システム |
JP2020524403A (ja) * | 2017-06-15 | 2020-08-13 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | ガス供給装置 |
KR102399396B1 (ko) * | 2021-09-27 | 2022-05-18 | 최용태 | 반도체 제조설비용 가스공급장치 |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005131632A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-05-26 | Adeka Engineering & Consutruction Co Ltd | 流体供給装置 |
US20060121192A1 (en) * | 2004-12-02 | 2006-06-08 | Jurcik Benjamin J | Liquid precursor refill system |
US7810516B2 (en) * | 2005-03-04 | 2010-10-12 | Air Liquide Electronics U.S. Lp | Control of fluid conditions in bulk fluid distribution systems |
CN101193815B (zh) * | 2005-03-04 | 2012-03-28 | 液化空气电子美国有限公司 | 容积流体输送系统中的流体状态的控制 |
US8322571B2 (en) | 2005-04-25 | 2012-12-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability |
SG162759A1 (en) | 2005-06-06 | 2010-07-29 | Advanced Tech Materials | Fluid storage and dispensing systems and processes |
US8037894B1 (en) * | 2007-12-27 | 2011-10-18 | Intermolecular, Inc. | Maintaining flow rate of a fluid |
US20090214777A1 (en) * | 2008-02-22 | 2009-08-27 | Demetrius Sarigiannis | Multiple ampoule delivery systems |
US9284523B2 (en) | 2008-10-27 | 2016-03-15 | Terumo Bct, Inc. | Premounted fluid conveyance assembly for cell expansion system and method of use associated therewith |
US8375999B2 (en) * | 2009-08-31 | 2013-02-19 | GM Global Technology Operations LLC | Offboard heat management during compressed gas filling of vehicular hydrogen storage tanks |
JP5438439B2 (ja) * | 2009-09-04 | 2014-03-12 | 東洋炭素株式会社 | 気体供給システム |
DE102010011051A1 (de) * | 2010-03-11 | 2011-09-15 | Linde Aktiengesellschaft | Druckgasflasche |
EP2556141B1 (en) * | 2010-04-09 | 2019-05-01 | Terumo BCT, Inc. | Air removal chamber for a cell expansion system and method of use associated therewith |
TWI396952B (zh) * | 2010-09-14 | 2013-05-21 | Neng Kuei Ye | 連續計量輸出製造自動化生產系統及其方法 |
WO2012048275A2 (en) | 2010-10-08 | 2012-04-12 | Caridianbct, Inc. | Configurable methods and systems of growing and harvesting cells in a hollow fiber bioreactor system |
FR2969994B1 (fr) * | 2011-01-05 | 2013-02-08 | Hypred | Dispositif de raccordement d'une cuve de stockage a une alimentation et procede de gestion d'un tel raccordement |
US9347616B2 (en) * | 2011-05-28 | 2016-05-24 | Entegris, Inc. | Refillable ampoule with purge capability |
US9212673B2 (en) * | 2011-09-30 | 2015-12-15 | Carefusion 207, Inc. | Maintaining a water level in a humidification component |
US10168046B2 (en) | 2011-09-30 | 2019-01-01 | Carefusion 207, Inc. | Non-metallic humidification component |
US9238865B2 (en) | 2012-02-06 | 2016-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Multiple vapor sources for vapor deposition |
US10006557B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-06-26 | Asco, L.P. | Valve manifold circuit board with serial communication and control circuit line |
US9856985B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-01-02 | Numatics, Incorporated | Valve manifold circuit board with serial communication circuit line |
JP5859586B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2016-02-10 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム、半導体装置の製造方法および記録媒体 |
DE102014106129A1 (de) * | 2014-04-30 | 2015-11-05 | Thyssenkrupp Ag | Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Präkursorzuführung |
CN106715676A (zh) | 2014-09-26 | 2017-05-24 | 泰尔茂比司特公司 | 按计划供养 |
JP2016134569A (ja) * | 2015-01-21 | 2016-07-25 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置 |
US11965175B2 (en) | 2016-05-25 | 2024-04-23 | Terumo Bct, Inc. | Cell expansion |
US11624046B2 (en) | 2017-03-31 | 2023-04-11 | Terumo Bct, Inc. | Cell expansion |
CN110612344B (zh) | 2017-03-31 | 2023-09-12 | 泰尔茂比司特公司 | 细胞扩增 |
US11788190B2 (en) | 2019-07-05 | 2023-10-17 | Asm Ip Holding B.V. | Liquid vaporizer |
US11946136B2 (en) | 2019-09-20 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing device |
RU2761758C1 (ru) * | 2020-12-31 | 2021-12-13 | Осаюхинг Омникомм | Система мониторинга расхода жидкости, содержащая несколько емкостных датчиков уровня границы раздела сред |
CN112880759A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-06-01 | 中国核动力研究设计院 | 一种核电烟囱超声波式气体流量检测装置 |
KR102373773B1 (ko) * | 2021-10-16 | 2022-03-14 | 엔비스아나(주) | 케미컬 내압용기 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4766731A (en) * | 1987-09-01 | 1988-08-30 | Union Carbide Corporation | Method to deliver ultra high purity helium gas to a use point |
US4979545A (en) | 1988-10-31 | 1990-12-25 | Olin Corporation | Bubbler container automatic refill system |
US4909436A (en) | 1988-12-12 | 1990-03-20 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Wet atmosphere generation apparatus |
JP2614338B2 (ja) | 1990-01-11 | 1997-05-28 | 株式会社東芝 | 液体ソース容器 |
US5316181A (en) | 1990-01-29 | 1994-05-31 | Integrated Designs, Inc. | Liquid dispensing system |
US5038840A (en) | 1990-07-31 | 1991-08-13 | Olin Corporation | Bubbler container automatic refill system |
US5370269A (en) | 1990-09-17 | 1994-12-06 | Applied Chemical Solutions | Process and apparatus for precise volumetric diluting/mixing of chemicals |
US5148945B1 (en) | 1990-09-17 | 1996-07-02 | Applied Chemical Solutions | Apparatus and method for the transfer and delivery of high purity chemicals |
JPH0692558A (ja) | 1990-09-28 | 1994-04-05 | Otis Elevator Co | 発進時の揺れ及び過剰加速を低減するエレベータの発進制御装置 |
US5222529A (en) * | 1990-12-21 | 1993-06-29 | American Cyanamid Company | Filling apparatus |
DE59402232D1 (de) * | 1993-01-23 | 1997-04-30 | Helmut Schiwek | Sicherheitsbehälter für explosions- und/oder umweltgefährdende stoffe |
US5964254A (en) * | 1997-07-11 | 1999-10-12 | Advanced Delivery & Chemical Systems, Ltd. | Delivery system and manifold |
US5950693A (en) * | 1993-04-28 | 1999-09-14 | Advanced Delivery & Chemical Systems, Ltd. | Bulk chemical delivery system |
US5878793A (en) | 1993-04-28 | 1999-03-09 | Siegele; Stephen H. | Refillable ampule and method re same |
US5607002A (en) | 1993-04-28 | 1997-03-04 | Advanced Delivery & Chemical Systems, Inc. | Chemical refill system for high purity chemicals |
US5465766A (en) | 1993-04-28 | 1995-11-14 | Advanced Delivery & Chemical Systems, Inc. | Chemical refill system for high purity chemicals |
JP3244381B2 (ja) * | 1994-05-11 | 2002-01-07 | 昭和炭酸株式会社 | 弁装置 |
US5549142A (en) | 1994-05-27 | 1996-08-27 | Jeffrey P. Beale | Dispensing system for refueling transport containers with cryogenic liquids |
US5551309A (en) * | 1995-01-17 | 1996-09-03 | Olin Corporation | Computer-controlled chemical dispensing with alternative operating modes |
US5609191A (en) | 1995-02-06 | 1997-03-11 | Henkel Corporation | Liquid transfer apparatus |
US6296026B1 (en) * | 1997-06-26 | 2001-10-02 | Advanced Technology Materials, Inc. | Chemical delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques |
US6296025B1 (en) * | 1997-07-11 | 2001-10-02 | Advanced Technology Materials, Inc. | Chemical delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques |
US6245553B1 (en) * | 1999-08-05 | 2001-06-12 | Gene E. Keyser | Method and apparatus for limiting emissions from a contained vessel |
-
2002
- 2002-08-02 US US10/211,940 patent/US6604555B2/en not_active Expired - Fee Related
-
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007043174A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Samsung Electronics Co Ltd | 化学液体の供給装置及び化学液体の供給方法 |
JP2011068920A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Nakata Coating Co Ltd | 表面改質装置及び表面改質方法 |
JP2015177186A (ja) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 江蘇南大光電材料股▲ふん▼有限公司 | 液体有機金属化合物の供給システム |
JP2020524403A (ja) * | 2017-06-15 | 2020-08-13 | バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー | ガス供給装置 |
KR102399396B1 (ko) * | 2021-09-27 | 2022-05-18 | 최용태 | 반도체 제조설비용 가스공급장치 |
Also Published As
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