JP2003192100A - 薬液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薬液が入れられる瓶を薬液供給管に着脱する
際の操作性を向上させるとともに、瓶内の気密を保持
し、かつ、薬液中へのダストの混入を防ぐ。 【解決手段】 瓶１の口部１ｃに被せられるキャップ１
５は、内面にネジ部を設けず、瓶１を回すことなく被せ
ることができる。薬液供給管２とエアー供給管７はこの
キャップ１５に取り付けられる。ホルダー１６はキャッ
プ１５を口部１ｃに対して押さえ付ける押圧部１７と瓶
１に係止する係止部１８とを備える。係止部１８は、瓶
１の首部１ｂに形成されるフランジ部１ｅに着脱自在に
係止され、口部１ｃに被せられたキャップ１５を、この
フランジ部１ｅに係止された係止部１８と押圧部１７の
間で保持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は容器に入れられた薬
液を供給する薬液供給装置に関する。詳しくは、薬液の
供給管を有して容器の口に被せられるキャップと、この
キャップを容器に対して押圧する着脱自在なホルダーと
を備えることで、供給管に対する容器の着脱を容易なも
のとし、かつ、容器内の気密を保ち、さらに、容器内へ
のダストの混入を防ぐようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造設備等においては、容器の一
例としての瓶に入れられた薬液をこの瓶から製造設備へ
と供給するための薬液供給装置が設けられている。図９
はこのような薬液供給装置における供給経路の概要を示
す説明図である。

【０００３】瓶１には薬液供給管２が接続され、瓶１内
の薬液はこの薬液供給管２により外部へと送り出され
る。薬液供給管２はトラップタンク３に接続される。こ
のトラップタンク３は、薬液供給管２内にできるエアー
溜まりを追い出すために設けられ、トラップタンク３に
はエアーを排気するための排気管４と、薬液を図示しな
い半導体製造設備等に供給する供給管５が接続される。
また、排気管４にはエアー抜きバルブ４ａが設けられ、
このエアー抜きバルブ４ａの開閉により、エアーの追い
出しを行う。さらに、トラップタンク３には薬液検知セ
ンサー６が設けられ、トラップタンク３内の薬液の有無
を検知することで、瓶１内の薬液の有無を検知する。

【０００４】薬液供給管２内のエアー溜まりは、瓶１内
を加圧することでトラップタンク３に追い出される。こ
のため、瓶１にはエアー供給管７が接続される。このエ
アー供給管７には、図示しないエアーの供給装置からの
配管８が接続される。エアー供給管７と配管８の接続は
着脱自在なカプラ９により行われ、例えば、エアー供給
管７には雌カプラ９ａが取り付けられ、配管８には雄カ
プラ９ｂが取り付けられる。

【０００５】さて、瓶１は、例えば円筒形状の胴体部１
ａの上側に、この胴体部１ａより径を絞ってなる首部１
ｂを設けた形状で、この首部１ｂの上端が開口して口部
１ｃとなっている。また、首部１ｂの外周面には雄ネジ
部１ｄが設けられ、薬液の保管時等には、図示しない蓋
がこの雄ネジ部１ｄにねじ込まれる。

【０００６】そして、瓶１に薬液供給管２およびエアー
供給管７を装着するため、従来は瓶１の雄ネジ部１ｄを
利用して固定されるキャップ１０を用いていた。すなわ
ち、図１０は従来の薬液供給装置の要部構成を示す断面
図である。

【０００７】キャップ１０は、瓶１の口部１ｃを塞ぐ天
井部１０ａと瓶１の雄ネジ部１ｄの少なくとも一部を覆
う側壁部１０ｂとから構成される。この側壁部１０ｂの
内周面には、瓶１の雄ネジ部１ｄとかみ合う雌ネジ部１
０ｃが設けられる。

【０００８】キャップ１０の天井部１０ａの内側にはパ
ッキンとなるゴム材１１が取り付けられている。このゴ
ム材１１は例えばリング状であって、キャップ１０を首
部１ｂにねじ込むと、口部１ｃの外周の全面に当接す
る。

【０００９】薬液供給管２とエアー供給管７は、キャッ
プ１０の天井部１０ａを貫通して設けられる。薬液供給
管２は、瓶１内の薬液１２に入り、瓶１内の底に到達す
る長さを有する。これに対して、エアー供給管７は、瓶
１内の薬液１２の液面１２ａと口部１ｃの間に形成され
る空間１３に入る長さを有する。

【００１０】以下に、従来の薬液供給装置における瓶１
の交換動作について説明する。瓶１内の薬液１２の有無
の検知はトラップタンク３に設けた薬液検知センサー６
により行われるもので、薬液検知センサー６が接続され
ている図示しない制御装置が薬液検知センサー６の出力
より薬液１２が無くなったことを検知すると、オペレー
タに薬液の補充を促す旨を通知するオペレーターコール
を発する。

【００１１】オペレーターは、このオペレーターコール
を受け、瓶１の交換を行う。まず、オペレーターは空に
なった瓶１を取り外す。瓶１は、首部１ｂの雄ネジ部１
ｄをキャップ１０の雌ネジ部１０ｃにねじ込んで固定し
ているので、空になった瓶１をネジを緩める方向に回す
ことで、瓶１はキャップ１０から外れる。

【００１２】次に、図示しない蓋が開けられている薬液
１２の入った瓶１に薬液供給管２を入れ、キャップ１０
の雌ネジ部１０ｃに瓶１の雄ネジ部１ｄをかみ合わせ、
瓶１をネジを締める方向に回して瓶１をキャップ１０に
ねじ込んでいく。キャップ１０に対して瓶１を最後まで
ねじ込むと、キャップ１０のゴム材１１が瓶１の口部１
ｃの外周に当接し、気密が保たれるようになるととも
に、キャップ１０に対して瓶１が固定される。

【００１３】そして、瓶１の交換時に薬液供給管２内に
できるエアー溜まりを追い出すため、エアー供給管７と
配管８をカプラ９で接続し、瓶１内にエアを送り込む。
これにより、瓶１内の液面１２ａが矢印ａ方向に押され
ることで、薬液１２は薬液供給管２からトラップタンク
３へと送り出される。この時、薬液供給管２内のエアー
溜まりもトラップタンク３へと送り出される。

【００１４】このエアー追い出し時は、トラップタンク
３に接続される排気管４のエアー抜きバルブ４ａを開放
しておくことで、トラップタンク３に送り込まれたエア
ーは排気管４より排出される。

【００１５】そして、薬液供給管２内の全てのエアーの
追い出しが終了すると、カプラ９を外すとともに、エア
ー抜きバルブ４ａを閉じる。なお、薬液供給管２内の薬
液は、半導体製造設備内の図示しない駆動ポンプにより
使用用途別に供給される。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
は、瓶１を交換する際に瓶１を回転させながらキャップ
１０に対して着脱を行うので、操作性が悪いという問題
があった。また、薬液１２の入った瓶１を回転させる
と、薬液中に気泡が混入してしまい、この薬液中の気泡
が薬液の供給不良につながるという問題があった。

【００１７】図１１は従来のその他の問題点を示す説明
図である。瓶１をキャップ１０に対して回して着脱して
いると、薬液がキャップ１０内のゴム材１１等、キャッ
プ１０の内側に付着し、これが硬化して固形物１４等が
発生する。

【００１８】そして、瓶１の交換着脱時にキャップ１０
に対して瓶１を回転させることで、この固形物１４に対
して瓶１が回転しながら接触することになり、キャップ
１０の内側から固形物１４が剥離する。このキャップ１
０から剥離した固形物１４は瓶１内に落下して液中ダス
トとなり、このような液中ダストを含む薬液が半導体製
造設備に供給されると、例えばウエハーにダストが付着
するような事態が発生するので、製品の歩留り悪化の要
因の一つとなっていた。

【００１９】また、瓶１の交換着脱時にキャップ１０に
対して瓶１を回転させるので、着脱を繰り返していく
と、キャップ１０の雌ネジ部１０ｃが劣化磨耗する。キ
ャップ１０の雌ネジ部１０ｃが磨耗すると、キャップ１
０と瓶１との間の締め付け力が低下して気密性が悪くな
る。

【００２０】このため、エアー供給管７により瓶１内に
エアーを供給しても、エアーが瓶１とキャップ１０の間
から漏れてしまい、液面１２ａにエアー抜きに必要な圧
力が掛からない。よって、エアー溜まりを薬液供給管２
から十分に追い出すことができず、薬液供給不良に至
る。すなわち、薬液供給管２および図９に示す供給管５
にエアーが混入していると、半導体製造設備内の図示し
ない駆動ポンプにより薬液を供給しようとしても、薬液
を瓶１内から吸引できなくなる場合があり、これによ
り、例えばウェハーへの薬液塗布ムラや薬液の塗布が行
われない等の事態が発生するので、製品の歩留りの悪化
の要因の一つとなっていた。

【００２１】本発明は、このような課題を解決するため
になされたもので、瓶の着脱の際の操作性が良く、か
つ、瓶内の気密を保ち、ダストの混入も防ぐことができ
る薬液供給装置を提供することを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係る薬液供給装置は、薬液が入れられる
容器の開口した口部に被せられ、薬液を供給する供給管
を少なくとも有するとともに、容器に被せられる内周面
が平滑なキャップと、容器に係止する係止部およびキャ
ップを口部に対して押さえ付ける押圧部を有する容器に
対して着脱自在なホルダーとを備えたものである。

【００２３】上述した本発明に係る薬液供給装置では、
容器の口部にキャップを被せるとともに、容器にホルダ
ーを装着する。これにより、キャップは容器の口部に押
圧され、気密を保つことができる。

【００２４】ここで、キャップは容器に被せるだけであ
るので、キャップを被せる際に、容器を回す必要がな
い。よって、容器を着脱する際の操作性が向上するとと
もに、薬液中への気泡の混入を防ぐことができる。

【００２５】また、キャップを容器の口部に被せる際
に、キャップと口部がこすれあう動作を最低限に抑える
ことができるので、キャップ内に付着した薬液の固形物
等の剥離が防止され、ダストの薬液中への混入を防ぐこ
とができる。

【００２６】さらに、キャップのねじ込みによる固定で
はなく、ホルダーでキャップを容器に対して押圧するの
で、締め込み不足等によって容器内の気密が保てないこ
とによる薬液の供給不良等を防ぐことができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の薬
液供給装置の実施の形態を説明する。すなわち、図１は
本実施の形態の薬液供給装置の要部構成を示す断面図
で、本実施の形態の薬液供給装置は、瓶１の首部１ｂに
被せたキャップ１５を、この首部１ｂに設けられるフラ
ンジ部１ｅを利用して、ホルダー１６により瓶１に保持
することで、瓶１の雄ネジ部１ｄを利用することなくキ
ャップ１５を固定可能としたものである。なお、図１で
は、キャップ１５と瓶１を断面図で示している。

【００２８】瓶１は、図９に示すように円筒形状の胴体
部１ａの上側に、この胴体部１ａより径を絞ってなる首
部１ｂを設けた形状で、この首部１ｂの上端が開口して
口部１ｃとなっている。また、首部１ｂの外周面には雄
ネジ部１ｄが設けられるとともに、この雄ネジ部１ｄの
下端には、円周方向に亘ってリング状に突出しているフ
ランジ部１ｅが形成されている。

【００２９】キャップ１５は、瓶１の口部１ｃを塞ぐ天
井部１５ａと雄ネジ部１ｄの一部を覆う側壁部１５ｂと
から構成される。この側壁部１５ｂの内周面の径は、瓶
１の雄ネジ部１ｄの部分に被せられる径を有し、またこ
の内周面は平滑でネジ山は設けられていない。

【００３０】キャップ１５の天井部１５ａの内側にはパ
ッキンとなるゴム材１５ｃが取り付けられている。この
ゴム材１５ｃは例えばリング状であって、キャップ１５
を首部１ｂに被せると、口部１ｃの外周の全面に当接す
る。

【００３１】このキャップ１５には、図９で説明した薬
液供給管２とエアー供給管７が天井部１５ａを貫通して
設けられる。後述するようにキャップ１５を瓶１の首部
１ｂに固定したとき、薬液供給管２は、瓶１内の薬液１
２に入り、瓶１内の底に到達する長さを有する。これに
対して、エアー供給管７は、瓶１内の薬液１２の液面１
２ａと口部１ｃの間に形成される空間１３に入る長さを
有する。また、エアー供給管７には雌カプラ９ａが取り
付けられている。

【００３２】ホルダー１６は、キャップ１５を押える押
圧部１７と、瓶１のフランジ部１ｅに係止する係止部１
８と、押圧部１７と係止部１８を連結する連結部１９と
から構成される。図２〜図４は第１の実施の形態におけ
るホルダー１６の詳細を示しており、図２は第１の実施
の形態のホルダー１６の斜視図、図３はホルダー１６の
一部破断正面図、図４はホルダー１６の構成および動作
を示す側断面図である。

【００３３】ホルダー１６は、図２に示すように、押圧
部１７と係止部１８の間が連結部１９でつながれて、押
圧部１７と係止部１８が所定の間隔を開けて対向するコ
の字形状を有する。なお、ホルダー１６は、例えばアル
ミニウム材で押圧部１７と係止部１８と連結部１９とを
一体に形成するものである。

【００３４】押圧部１７には、図１に示す薬液供給管２
およびエアー供給管７を退避するためＵ字形状の溝部１
７ａが設けられている。また、係止部１８には、図１に
示す瓶１の首部１ｂを退避するためＵ字形状の溝部１８
ａが設けられている。なお、図１に示すように瓶１の首
部１ｂは胴体部１ａに向かうに従い徐々に径が太くなる
ので、溝部１８ａの対向する側面は、この対向する２側
面の間隔が、上方より下方の方が広がるような傾斜を持
たせて、首部１ｂを退避できるような形状とする。

【００３５】また、押圧部１７には、キャップ１５を押
圧する力を調整するための押圧機構としてボールプラン
ジャー２０が設けられる。このボールプランジャー２０
は、図３に示すように、外周面に図示しない雄ネジ部を
有するスリーブ２０ａの下端にコイルスプリング２０ｂ
により付勢されるボール２０ｃを備えるものである。そ
して、押圧部１７を貫通する図示しないネジ穴にこのボ
ールプランジャー２０がねじ込まれている。これによ
り、ボールプランジャー２０を回転させることで、押圧
部１７の下面からのボールプランジャー２０の突出量が
変化する。

【００３６】ホルダー１６にはイジェクトレバー２１が
設けられる。イジェクトレバー２１は、図４に示すよう
に、シャフト２２を回転軸とするレバー部２１ａと、こ
のレバー部２１ａを回転させるハンドル部２１ｂとから
構成される。また、レバー部２１ａの下端にはボールベ
アリング等で構成されるローラ２１ｃが回転可能に設け
られる。なお、レバー部２１ａの回転軸となるシャフト
２２とローラ２１ｃの回転軸は平行となるように設けら
れる。

【００３７】ホルダー１６の押圧部１７と連結部１９に
は、このイジェクトレバー２１のレバー部２１ａが入る
溝部２３が設けられており、イジェクトレバー２１のレ
バー部２１ａは、図４（ａ）に示すように連結部１９内
に退避する位置から、ハンドル部２１ｂの操作によって
シャフト２２を回転軸として回転し、図４（ｂ）に示す
ようにローラ２１ｃが連結部１９から突出する位置まで
回転する。

【００３８】以下に第１の実施の形態のホルダー１６を
用いた薬液供給装置における瓶１の着脱動作について説
明する。まず、瓶１を取り付ける場合の動作から説明す
ると、瓶１に図１に示す薬液供給管２を入れながら首部
１ｂにキャップ１５を被せる。

【００３９】次に、押圧部１７と係止部１８の間にキャ
ップ１５が入り、かつ、係止部１８の溝部１８ａに瓶１
のフランジ部１ｅが載るようにして、図４（ａ）に矢印
ｂで示す方向にホルダー１６を瓶１の首部１ｂに横から
差し込んでいく。

【００４０】このようにキャップ１５を瓶１に被せてホ
ルダー１６を取り付けると、係止部１８の溝部１８ａが
フランジ部１ｅに引っかかり、このフランジ部１ｅによ
り位置決めがなされる係止部１８と押圧部１７の間にキ
ャップ１５が保持される。これにより、図１に示すよう
に、キャップ１５が押圧部１７により瓶１の口部１ｃに
押し付けられる矢印ｃ方向に押圧されることで、ゴム材
１５ｃが口部１ｃの外周に押し付けられ、瓶１内の気密
が保持されるようになる。

【００４１】ここで、押圧部１７でキャップ１５を押圧
する力は、ボールプランジャー２０により調整できる。
すなわち、ボールプランジャー２０を所定の工具を用い
て回転させることで、押圧部１７の下面からの突出量を
変化させることができ、例えば、ボールプランジャー２
０をネジを締め込む方向に回転させていくと、このボー
ルプランジャー２０の押圧部１７の下面からの突出量が
多くなるので、押圧力を強くすることができる。

【００４２】ホルダー１６は、押圧部１７と係止部１８
とが一体に形成された構成とされているので、構成が簡
単となるが、成形時の形状の誤差が押圧力の変化につな
がる。そこで、ボールプランジャー２０を設けて押圧力
を調整可能とすることで、成形時の誤差を吸収して必要
とされる押圧力を得ることができる。

【００４３】そして、瓶１の交換時に薬液供給管２内に
できるエアー溜まりを追い出すため、図９で説明したよ
うにエアー供給管７と配管８をカプラ９で接続し、瓶１
内にエアを送り込む。これにより、瓶１内の液面１２ａ
が矢印ａ方向に押されることで、薬液１２は薬液供給管
２からトラップタンク３へと送り出される。この時、薬
液供給管２内のエアー溜まりもトラップタンク３へと送
り出される。

【００４４】このエアー追い出し時は、トラップタンク
３に接続される排気管４のエアー抜きバルブ４ａを開放
しておくことで、トラップタンク３に送り込まれたエア
ーは排気管４より排出される。そして、薬液供給管２内
の全てのエアーの追い出しが終了すると、カプラ９を外
すとともに、エアー抜きバルブ４ａを閉じる。

【００４５】このエアー抜きを行う際、キャップ１５と
瓶１との間の気密が十分に保たれていないと、エアーが
キャップ１５と瓶１の間から漏れてしまい、薬液１２の
液面１２ａに十分な加圧が掛からなくなるので、薬液供
給管２内のエアーの追い出しができない。

【００４６】上述した本実施の形態の薬液供給装置で
は、キャップ１５をホルダー１６で押圧した状態で瓶１
に固定できるので、キャップ１５のゴム材１５ｃが瓶１
の口部１ｃに十分な力で押し付けられ、キャップ１５の
部分での気密が十分に保たれる。これにより、エアー抜
きを行う際、エアーがキャップ１５と瓶１の間から漏れ
ることがなく、薬液１２の液面１２ａに十分な加圧が掛
かり、薬液供給管２内に溜まったエアーの確実な追い出
しができる。

【００４７】また、キャップ１５の側壁部１５ｂにはネ
ジが切られていないので薬液が付着しにくく、さらに、
キャップ１５に対して瓶１を回転させることがないの
で、薬液がキャップ１５に付着してこれが固形物となっ
たとしても、キャップ１５から剥離して瓶１内に落下し
ない。

【００４８】瓶１内の薬液１２の有無の検知は図９で説
明したようにトラップタンク３に設けた薬液検知センサ
ー６により行われるもので、薬液検知センサー６が接続
されている図示しない制御装置が薬液検知センサー６の
出力より薬液１２が無くなったことを検知すると、オペ
レータに薬液の補充を促す旨を通知するオペレーターコ
ールを発する。

【００４９】オペレーターは、このオペレーターコール
を受け、瓶１の交換を行う。瓶１を取り外す場合は、イ
ジェクトレバー２１のハンドル部２１ｂを矢印ｄ方向に
押し下げる。これにより、図４（ｂ）に示すようにレバ
ー部２１ａはシャフト２２を回転軸として矢印ｄ方向に
回転し、ローラ２１ｃがキャップ１５を矢印ｅ方向に押
す。

【００５０】キャップ１５を矢印ｅ方向に押すことで、
ホルダー１６はその反対の矢印ｆ方向に移動することに
なり、瓶１から取り外すことができる。ホルダー１６
は、キャップ１５を押圧した状態で瓶１に取り付けられ
ているが、ハンドル部２１ｂによってイジェクトレバー
２１を回転させることで、キャップ１５を押圧する力に
抗する力を軽い力で発生させることができ、ホルダー１
６の取り外しが容易に行える。また、ホルダー１６の着
脱時はボールプランジャー２０を調整して押圧力を弱く
すれば、ホルダー１６の着脱がより容易になる。

【００５１】そしてホルダー１６を取り外すことで、瓶
１をキャップ１５から取り外すことができる。ここで、
キャップ１５にはネジが切られていないので、瓶１を回
すことなく、キャップ１５から瓶１を取り外すことがで
きる。このため、オペレータは、瓶１を回しながらこの
瓶１の落下を押える動作を行う必要がなくなり、瓶１の
落下等を防ぐことができる。また、上述したように瓶１
を取り付ける際にも、瓶１を回す必要はない。これによ
り、瓶１の着脱を行う際の操作性が向上する。

【００５２】次に、キャップ１５を瓶１に固定するため
のホルダーの第２の実施の形態について説明する。すな
わち、図５および図６は第２の実施の形態のホルダーの
斜視図、図７は第２の実施の形態のホルダーの構成およ
び動作を示す側面図である。なお、この第２の実施の形
態のホルダー２４で固定するキャップ１５は、図１で説
明したものと同じであり、キャップ１５は、瓶１の口部
１ｃを塞ぐ天井部１５ａと雄ネジ部１ｄの一部を覆う側
壁部１５ｂとから構成される。この側壁部１５ｂの内周
面の径は、瓶１の雄ネジ部１ｄの部分に被せられる径を
有し、ネジ山は設けられていない。

【００５３】キャップ１５の天井部１５ａの内側にはパ
ッキンとなるゴム材１５ｃが取り付けられている。この
ゴム材１５ｃは例えばリング状であって、キャップ１５
を首部１ｂに被せると、口部１ｃの外周の全面に当接す
る。

【００５４】このキャップ１５には、図９で説明した薬
液供給管２とエアー供給管７が天井部１５ａを貫通して
設けられる。後述するようにキャップ１５を瓶１の首部
１ｂに固定したとき、薬液供給管２は、瓶１内の薬液１
２に入り、瓶１内の底に到達する長さを有する。これに
対して、エアー供給管７は、瓶１内の薬液１２の液面１
２ａと口部１ｃの間に形成される空間１３に入る長さを
有する。また、エアー供給管７には雌カプラ９ａが取り
付けられている。

【００５５】ホルダー２４は、この図１に示すキャップ
１５を押える押圧部２５と、瓶１のフランジ部１ｅに係
止する係止部２６と、押圧部２５と係止部２６を連結す
る連結部２７とから構成される。

【００５６】押圧部２５には、図１に示す薬液供給管２
およびエアー供給管７を退避するためＵ字形状の溝部２
５ａが設けられている。また、係止部２６には、図１に
示す瓶１の首部１ｂを退避するためＵ字形状の溝部２６
ａが設けられている。なお、図１に示すように瓶１の首
部１ｂは胴体部１ａに向かうに従い徐々に径が太くなる
ので、溝部２６ａの対向する側面は、この対向する２側
面の間隔が、上方より下方の方が広がるような傾斜を持
たせて、首部１ｂを退避できるような形状とする。

【００５７】連結部２７は、図５に示すように、押圧部
２５において溝部２５ａの開口している側の端部と係止
部２６において溝部２６ａの開口している側の端部との
間を連結するため、二分割された形状となっている。連
結部２７には調整機構を構成する長穴２７ａが設けられ
るとともに、係止部２６の端部にはこの長穴２７ａに対
向して図示しないネジ穴が設けられ、この長穴２７ａを
通してネジ２８を締めることで、連結部２７は係止部２
６にこのネジ２８により固定される。

【００５８】押圧部２５と連結部２７の間は開閉機構を
構成するシャフト２９により接続され、押圧部２５は連
結部２７に対してシャフト２９を回転軸として開閉可能
に取り付けられる。ここで、ネジ２８は長穴２７ａに通
されているので、ネジ２８を緩めて係止部２６に対する
連結部２７の位置を変更することで、押圧部２５と係止
部２６の間隔を変更できる。

【００５９】なお、図２に示す第１の実施の形態のホル
ダー１６において、例えば、係止部１８と連結部１９を
別体として構成し、第２の実施の形態のホルダー２４と
同様に、連結部１９に長穴を設け、この長穴を利用して
係止部１８と連結部１９をネジ止めする構成とすること
もできる。これにより、第１の実施の形態のホルダー１
６においても押圧部１７と係止部１８の間隔を調整可能
とでき、例えば瓶１のサイズの違いに対応できるように
なる。

【００６０】押圧部２５と係止部２６の連結部２７で連
結されていない側である開放端側には、図６に示すよう
にロック機構３０が設けられる。このロック機構３０
は、シャフト３１を回転軸とするレバー３０ａと、この
レバー３０ａに回転自在に取り付けられるリング３０ｂ
と、このリング３０ｂが引っ掛けられるフック部３０ｃ
等から構成される。レバー部３０ａは押圧部２５に取り
付けられるともに、フック部３０ｃは係止部２６に取り
付けられ、リング３０ｂをフック部３０ｃに引っ掛け、
レバー３０ａを所定の位置とすることで、押圧部２５を
係止部２６に対して閉状態で保持できる。

【００６１】また、レバー３０ａをシャフト３１を回転
軸として回転させることで、リング３０ｂをフック部３
０ｃから外すことができ、これにより、押圧部２５を係
止部２６に対して開閉自在とできる。なお、押圧部２５
と係止部２６の間隔が調整可能となっているので、図示
しないが、レバー部３０ａの押圧部２５に対する取り付
け位置、あるいはフック部３０ｃの係止部２６に対する
取り付け位置を調整できるようにするとよい。例えば、
フック部３０ｃをネジにより係止部２６に取り付ける構
成とし、かつ、フック部３０ｃにはこのネジが入る長穴
を設ける構成とする。

【００６２】以下に第２の実施の形態のホルダー２４を
用いた薬液供給装置における瓶１の着脱動作について説
明する。まず、瓶１を取り付ける場合の動作から説明す
ると、瓶１に図１に示す薬液供給管２を入れながら首部
１ｂにキャップ１５を被せる。

【００６３】次に、ロック機構３０を解放状態、すなわ
ち、リング３０ｂをフック部３０ｃから外して押圧部２
５を開閉自在な状態として、係止部２６の溝部２６ａに
瓶１のフランジ部１ｅを載せながら、図７（ａ）に矢印
ｇで示す方向にホルダー２４を瓶１の首部１ｂに横から
差し込んでいく。

【００６４】ホルダー２４を瓶１に対して所定位置まで
差し込んだ後、押圧部２５をシャフト２９を回転軸とし
て矢印ｈ方向に閉じていく。そして、ロック機構３０の
レバー３０ａを、図７（ｂ）に破線で示すように倒して
リング３０ｂをフック部３０ｃに引っ掛け、レバー３０
ａをシャフト３１を回転軸として矢印ｉ方向に回転さ
せ、実線で示すように起す。

【００６５】レバー３０ａに対するリング３０ｂの回転
中心の位置と、レバー３０ａの回転軸となるシャフト３
１の位置関係から、図７（ｂ）に破線で示すように倒れ
ているレバー３０ａを実線で示すように起していくと、
リング３０ｂが引き上げられる。

【００６６】図８は瓶１に取り付けられた状態のホルダ
ー２４の正面図で、ホルダー２４を瓶１に取り付ける
と、係止部２６が瓶１のフランジ部１ｅに引っかかり、
その位置が規制される。よって、図７（ｂ）に示すリン
グ３０ｂを引き上げようとする動作で、押圧部２５がシ
ャフト２９を回転軸として係止部２６に近づく方向に回
転しようとする。

【００６７】これにより、押圧部２５はキャップ１５を
矢印ｃ方向に押圧する。よって、図１に示すように、ゴ
ム材１５ｃが口部１ｃの外周に押し付けられ、瓶１内の
気密が保持されるようになる。なお、図８に示すよう
に、連結部２７の間隔をキャップ１５の直径より大きく
しておくことで、図７（ａ）に示すように、キャップ１
５を被せた状態の瓶１にホルダー２４を横方向から差し
込むことができる。

【００６８】以降、図１および図９等を用いて説明した
ように、瓶１内にエアーを供給して、瓶１の交換時に薬
液供給管２内にできるエアー溜まりを追い出した後、薬
液の供給を行う。

【００６９】また、図９に示す薬液検知センサー６の出
力より薬液１２が無くなったことが検知され、オペレー
タに薬液の補充を促す旨を通知するオペレーターコール
が発せられると、瓶１を交換するため、オペレータは、
図７（ｂ）に示すようにロック機構３０のレバー３０ａ
を矢印ｊ方向に倒す。すると、図７（ｂ）に破線で示す
ようにリング３０ｂが下降し、フック部３０ｃから外れ
る。これにより、押圧部２５は開閉可能となるので、押
圧部２５をシャフト２９を回転軸に矢印ｋ方向に回転さ
せ、図７（ａ）に示すようにホルダー２４全体を矢印ｍ
で示す横方向にずらすことで、ホルダー２４が瓶１から
外れる。そして、ホルダー２４を取り外すことで、瓶１
をキャップ１５から取り外すことができる。

【００７０】この第２の実施の形態のホルダー２４にお
いて押圧部２５でキャップ１５を押圧する力は、押圧部
２５と係止部２６の間隔を調整することで行える。すな
わち、ネジ２８を緩めることで長穴２７ａの範囲で連結
部２７の位置を移動させることができ、これにより、押
圧部２５と係止部２６の距離を変化させることができ
る。そして、押圧部２５と係止部２６の間隔を狭くする
と、押圧力は強くなる。

【００７１】このように、押圧部２５でキャップ１５を
押圧する力を強くすると、瓶１内にエアを供給する際、
エアーの圧力を高めることができる。すなわち、図１に
示すように瓶１内を加圧すると、キャップ１５を押し上
げようとする力も生じる。押圧部２５による押圧力を強
くすると、エアーの圧力を高くしても、キャップ１５を
押し上げようとする力に抗して瓶１内の気密を保つこと
ができる。

【００７２】さらに、第２の実施の形態のホルダー２４
は、瓶１への着脱時は、押圧部２５を開いて行うので、
押圧部２５でキャップ１５を押圧した状態でホルダー２
４の着脱を行う必要がない。よって、押圧部２５でキャ
ップ１５を押圧する力を強くしても、ホルダー２４の着
脱は軽い力で行える。

【００７３】さて、高粘度の薬液を供給する場合は、エ
アー溜まりを追い出す際、瓶１内に供給するエアーの圧
力を高くする必要がある。このため、第２の実施の形態
のホルダー２４は、気密性をより高くできるので、高粘
度の薬液を使用する場合に用いる。これに対して、第１
の実施の形態のホルダー１６は、低粘度の薬液を使用す
る場合に用いる。このように、薬液の粘度に応じて、第
１の実施の形態のホルダー１６と第２の実施の形態のホ
ルダー２４を使い分ける。

【００７４】例えば、薬液の粘度が約５０ｃＰ（センチ
ポアズ）以下の場合は、第１の実施の形態のホルダー１
６を用いる。これに対して、薬液の粘度が約５０ｃＰ以
上の場合は、薬液の粘度に応じてエアーの圧力を高くす
ることに合わせてキャップ１５を押圧する力を強くして
いくと、このキャップ１５を押圧する力に抗してホルダ
ーの着脱を行うのが困難になってくるので、押圧部２５
を開閉できる第２の実施の形態のホルダー２４を用い
る。

【００７５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、薬液が
入れられる容器の開口した口部に被せられ、薬液を供給
する供給管を少なくとも有するとともに、容器に被せら
れる内周面が平滑なキャップと、容器に係止する係止部
およびキャップを口部に対して押さえ付ける押圧部を有
する容器に対して着脱自在なホルダーとを備えた薬液供
給装置である。

【００７６】したがって、キャップは容器に被せるだけ
であるので、キャップを被せる際に、容器を回す必要が
ない。よって、容器を着脱する際の操作性が向上する。
また、容器に回転動作をかけないので、薬液中の気泡の
混入を抑えることができる。

【００７７】さらに、キャップを容器の口部に被せる際
に、キャップと口部がこすれあう動作を最低限に抑える
ことができるので、キャップ内に付着した薬液の固形物
等の剥離が防止され、ダストの薬液中への混入を防ぐこ
とができる。また、キャップと口部がこすれあう動作を
最低限に抑えることができることから、キャップの内面
が摩耗することがなく、劣化による交換を無くすことが
できる。さらに、キャップのねじ込みによる固定ではな
いので、締め込み不足等によって容器内の気密が保てな
いことによる薬液の供給不良等を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態の薬液供給装置の要部構成を示す
断面図である。

【図２】第１の実施の形態のホルダーの斜視図である。

【図３】第１の実施の形態のホルダーの一部破断正面図
である。

【図４】第１の実施の形態のホルダーの構成および動作
を示す側断面図である。

【図５】第２の実施の形態のホルダーの斜視図である。

【図６】第２の実施の形態のホルダーの斜視図である。

【図７】第２の実施の形態のホルダーの構成および動作
を示す側面図である。

【図８】瓶に取り付けられた状態のホルダーの正面図で
ある。

【図９】薬液供給装置における供給経路の概要を示す説
明図である。

【図１０】従来の薬液供給装置の要部構成を示す断面図
である。

【図１１】従来の問題点を示す説明図である。

【符号の説明】

１・・・瓶、１ｂ・・・首部、１ｃ・・・口部、１ｅ・
・・フランジ部、２・・・薬液供給管、３・・・トラッ
プタンク、７・・・エアー供給管、１２・・・薬液、１
２ａ・・・液面、１３・・・空間、１５・・・キャッ
プ、１５ａ・・・天井部、１５ｂ・・・側壁部、１６・
・・ホルダー、１７・・・押圧部、１７ａ・・・溝部、
１８・・・係止部、１８ａ・・・溝部、１９・・・連結
部、２０・・・ボールプランジャー、２１・・・イジェ
クトレバー、２１ａ・・・レバー部、２１ｂ・・・ハン
ドル部、２１ｃ・・・ローラー、２２・・・シャフト、
２３・・・溝部、２４・・・ホルダー、２５・・・押圧
部、２５ａ・・・溝部、２６・・・係止部、２６ａ・・
・溝部、２７・・・連結部、２７ａ・・・長穴、２８・
・・ネジ、２９・・・シャフト、３０・・・ロック機
構、３０ａ・・・レバー、３０ｂ・・・リング、３０ｃ
・・・フック部、３１・・・シャフト

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薬液が入れられる容器の開口した口部に
   被せられ、前記薬液を供給する供給管を少なくとも有す
   るとともに、前記容器に被せられる内周面が平滑なキャ
   ップと、 前記容器に係止する係止部および前記キャップを前記口
   部に対して押さえ付ける押圧部を有する前記容器に対し
   て着脱自在なホルダーとを備えたことを特徴とする薬液
   供給装置。
2. 【請求項２】 前記ホルダーは、前記押圧部と前記係止
   部が一体に形成されたことを特徴とする請求項１記載の
   薬液供給装置。
3. 【請求項３】 前記ホルダーに、前記押圧部が前記キャ
   ップを押圧する力を調整する押圧機構を備えたことを特
   徴とする請求項２記載の薬液供給装置。
4. 【請求項４】 前記ホルダーに、前記係止部に対して前
   記押圧部を開閉可能に支持する開閉機構と、 前記押圧部を前記係止部に閉状態で固定するロック機構
   とを備えたことを特徴とする請求項１記載の薬液供給装
   置。
5. 【請求項５】 前記ホルダーに、前記押圧部と前記係止
   部の間隔を任意の間隔で固定する調整機構を備えたこと
   を特徴とする請求項４記載の薬液供給装置。
6. 【請求項６】 前記ホルダーに、該ホルダーを前記容器
   から外す力を発生するイジェクトレバーを備えたことを
   特徴とする請求項１記載の薬液供給装置。
7. 【請求項７】 前記容器は、前記口部の近傍にフランジ
   部が突出形成される瓶であり、 前記ホルダーは、前記係止部が前記フランジ部に係止す
   る形状を有し、前記キャップ部を前記フランジ部に係止
   される前記係止部と前記押圧部との間で保持することを
   特徴とする請求項１記載の薬液供給装置。
8. 【請求項８】 前記ホルダーとして、前記押圧部と前記
   係止部を一体に形成した第１のホルダーと、前記係止部
   に対して前記押圧部を開閉可能に支持する開閉機構と前
   記押圧部を前記係止部に閉状態で固定するロック機構と
   を有する第２のホルダーとを備え、 前記薬液の粘度に応じて前記第１のホルダーと前記第２
   のホルダーを使い分けることを特徴とする請求項１記載
   の薬液供給装置。