JP2008229421A - 液状物質滴下装置及び液状物質滴下方法 - Google Patents

Abstract

【課題】滴下（供給）した液晶剤の重量を正確に、かつ容易に検出できる液状物質滴下装置、及び液状物質滴下方法を提供すること。
【解決手段】第１の発明は、液状物質を滴下させる液状物質滴下装置であり、前記液状物質を収容し、収容された該液状物質の重量を計測する計量容器と、該計量容器と送液管を介して連結し、該計量容器に収容されている前記液状物質を滴下させる滴下機構を備え、前記送液管の流入側開口端を、該送液管を前記計量容器に接触させることなく、該計量容器に収容されている前記液状物質内に差し入れたことを特徴として液状物質滴下装置を構成した。これにより、滴下した液状物質の量を正確に計測することができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液晶剤などの液状物質の滴下量を、正確に計測できる液状物質滴下装置、及び液状物質滴下方法に関する。

液晶表示パネルは、２枚の基板を所定の間隙をもって対向させ、その基板の間に液晶剤が封入されている。基板を設計どおりの間隔で対向させるためには、所定量の液晶剤が基板間に封入されることが必要である。したがって液晶表示パネルの製造工程においては、基板上に供給する液晶剤の量を正確に制御する必要がある。

そこで、特許文献１である特開平６−１４８６５７号公報に記載されているように、液晶剤を塗布した後の基板重量を計測し、計測した値と、塗布前の基板重量とを比較し、塗布された液晶剤の重量を検出する発明が知られている。
特開平６−１４８６５７号公報

しかしながら、実際は、基板の重量に対する液晶剤の重量は非常に小さく、例えば基板の重量が数千グラムに対して塗布する液晶剤の重量は１グラム程度である。したがって、基板に対する液晶剤の塗布量の誤差をその塗布量全体に対して1パーセント以下にするには、０．１ｍｇの単位で液晶剤の重量を検出する必要があり、上述したように数千グラムの重量の基板を計量する規模の計量装置では、かかる微小な重量を計測することは実用上無理がある。

また、液晶剤を塗布するテーブル上では基板重量を検出することはできず、液晶剤を塗布した後基板を計測装置に移動させる必要があり、作業に手間が掛かる。また液晶剤の重量を計測した結果、仮に液晶剤の塗布量が不足しているときは、再び塗布用テーブルに戻す必要があり、更に作業に手間がかかることとなる。

本発明は、滴下（供給）した液状物質の重量を正確に、かつ容易に検出できる液状物質滴下装置、及び液状物質滴下方法を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するため、液状物質滴下装置、及び液状物質滴下方法を次のように構成した。

１、 液状物質を基板に滴下する液状物質滴下装置において、前記液状物質を収容する計量容器を有し、該計量容器に収容された前記液状物質の重量を計測する計量器と、送液管を介して前記計量容器と連結され前記計量容器に収容されている前記液状物質を滴下させる滴下機構を備え、前記送液管は、その前記計量容器側の端部が、前記計量容器に接触することなく、前記計量容器内の前記液状物質に浸漬されて配置されることとして液状物質滴下装置を構成した。

２、 １に記載の液状物質滴下装置において、前記計量容器に補充管を介して連結され前記液状物質を収容する補充用容器を備え、前記補充管は、その計量容器側の端部が、前記計量容器に接触することなく、前記計量容器内の前記液状物質に浸漬されて配置されることとした。

３、 ２に記載の液状物質滴下装置において、前記計量容器に、前記液状物質の液面を検出する液面検出手段を非接触の状態で設けたこととした。

４、 ２または３に記載の液状物質滴下装置において、前記補充用容器から前記計量容器に前記液状物質を、前記滴下機構による前記基板への前記液状物質の滴下を停止させている間に補充する制御手段を備えたこととした。

５、 １〜４のいずれかに記載の液状物質滴下装置において、前記計量器による計測結果に基づいて、前記基板に対する前記液状物質の滴下量が所定の滴下量に対する許容範囲内にあるか否かを判定する制御手段を備えたこととした。

６、 ５に記載の液状物質滴下装置において、前記制御手段により、前記基板に対する前記液状物質の滴下量が所定の滴下量に対する許容範囲から外れていると判定されたときに、そのことを報知する報知手段を備えた。

７、 ５に記載の液状物質滴下装置において、前記制御手段は、前記基板に対する前記液状物質の滴下量が所定の滴下量に対する許容範囲よりも少ないときに、前記液状物質の不足量を補う分の液状物質を滴下するように前記滴下機構を制御することした。

８、 １〜４のいずれかに記載の液状物質滴下装置において、前記計量器による計測結果に基づいて、前記基板に対して前記液状物質が、所定の滴下量で滴下されたと判明した時点で、前記滴下機構による前記液状物質の滴下を終了させる制御手段を備えたこととした。

９、 液状物質を滴下させる液状物質滴下方法であり、前記液状物質を収容した計量容器から、該計量容器に接触することなく前記液状物質を取り出し滴下機構で滴下させ、滴下した前記液状物質を前記計量容器で計量することとして液状物質滴下方法を構成した。

１０、 ９に記載の液状物質滴下方法において、前記液状物質滴下方法は、基板上に液晶剤を塗布する滴下方法であり、前記基板上に塗布された液晶剤の滴下量を前記計量容器による計測値から求めることとした。

本発明の液状物質滴下装置、及び液状物質滴下方法によれば、滴下機構から滴下（供給）した液状物質の量が計量器により正確に計測できる。したがって、基板上に滴下した液状物質の量を正確に計測でき、液状物質の滴下量の過不足に起因する不良品の発生を確実に防止し、製品歩留まりを向上させることができる。

図１に、液状物質滴下装置としての液晶剤滴下装置１０を示す。液晶剤滴下装置１０は、基台１２と、滴下ユニット１４と、基板１６を載せる移動テーブル１８と、制御手段としての制御部１９などから構成され、液状物質としての液晶剤を基板に滴下する。

基台１２は、図２に示すように門型に形成してあり、中段に搬送レール２０が水平に設けてある。搬送レール２０には、滴下ユニット１４が複数、移動可能に取り付けてある。移動テーブル１８は、水平面内を２軸方向に移動するとともに、垂直軸を中心に回動可能に構成されている。

滴下ユニット１４は、搬送装置２２と、液晶剤を滴下する滴下機構２３と、液晶剤の計量に用いる計量容器３０と、滴下機構２３と計量容器３０とを接続する送液管２７と、液晶剤を貯留する貯留容器４０などから構成されている。

搬送装置２２は、搬送レール２０上に往復動自在に組み付けた移動台２５を備え、移動台２５に縦部材２６を垂直に取り付け、更に縦部材２６に上水平台２８及び下水平台３２を水平に取り付けた構成である。

上水平台２８には、補充用容器としての貯留容器４０が取り付けてある。貯留容器４０は、密閉構造の容器であり、計量容器３０に補充するに十分な量の液晶剤を収容する容積を有している。例えば、滴下作業を数時間の単位で連続して行っても、貯留容器４０への液晶剤の補給を必要としない量を収容できる容積が好ましい。

貯留容器４０には、圧力調整手段としての窒素ガス供給装置（図示せず）から延びるガス管５２が接続してある。窒素ガス供給機構は窒素ガスを供給し、これにより貯留容器４０は内部が正圧に保持されている。ガス管５２は、摺動機構５０により搬送装置２２の移動に追従可能に構成されている。尚、不活性ガスであれば、窒素ガスでなくともよく、要は、液晶剤との間で化学反応を起こしにくいガスであればよい。また貯留容器４０には、補充管４４が取り付けてあり、補充管４４はバルブ４２を介して計量容器３０に延びている。補充管４４は、上水平台２８に取り付けてあり、補充管４４のいずれの部分も計量容器３０に接していない。

下水平台３２には、計量容器３０と、滴下機構２３などが設けられている。計量容器３０は、ガラス、あるいは樹脂などからなる液晶剤を収容する容器であり、計量器３４に載せてある。尚、計量容器３０の材質は特に問わない。

計量容器３０は、できる限り軽量であることが好ましく、かつ基板１６の全体に塗布（供給）するに必要な量の液晶剤を収容できる容積を有している。例えば計量容器３０は、連続して液晶剤を基板１６へ塗布させる工程の１単位分、つまり表示領域毎、あるいは基板毎に必要とされる量の液晶剤が、少なくとも収容できる大きさである。

計量器３４は、例えば電子秤であり、計量容器３０に収容されている液晶剤の重量を、計量容器３０の重量とともに正確に計測し、計測した値を制御部１９に送出する。すなわち計量器３４は、液晶剤が正しく滴下されたか否かの検査に必要とされる精度、例えば０．１ｍｇ単位で計量容器３０全体の重量を計測する機能を有している。尚、計測する単位はこれに限るものではない。

また下水平台３２には、計量容器３０の液面検出機構３６が取り付けてある。液面検出機構３６は、液面検出センサ３８が、計量容器３０の液面の上限付近と下限付近に設置してあり、液面検出センサ３８からの出力により計量容器３０に収容されている液晶剤の液面の変化を検出し、検出した値を制御部１９に送出する。検出された液面の値に基づき、制御部１９によりバルブ４２が開閉され、貯留容器４０から液晶剤が計量容器３０に適宜流入する。液面検出センサ３８は、光学的でなく、他の手段を用いたものでもよい。

滴下機構２３は、送液管２７を介して計量容器３０に接続している。滴下機構２３を図３に示す。滴下機構２３は、駆動モータ２４と、ポンプ部６０から構成されている。駆動モータ２４は、適宜の回転数で回転軸を回転させる。

ポンプ部６０は、円筒状の外枠６２と、外枠６２の内部に設けられた回転部６４から構成されている。外枠６２は、下水平台３２に固定してあり、上部内面にカム６６を有し、下部に吐出部６８を備えている。カム６６は、円周方向にカム山を形成する凹凸面が形成してある。

吐出部６８は、円板状で、下方に開口した滴下口７０と、側方に開口した吸引口７２が形成してある。吸引口７２には、送液管２７の一端が接続してある。また滴下口７０と吸引口７２は、吐出部６８内に通路を有し、各通路は、吐出部６８の上面に開口している。

回転部６４は、一対のプランジャー機構７６と、吐出部６８に対して回動自在の回転板７８と、案内片８０とを有している。回転板７８と案内片８０は、駆動モータ２４の回転軸に固定してある。駆動モータ２４は、支持具（図示せず）に固定される。

プランジャー機構７６は、回転板７８に設けられた筒８２内にプランジャー７７が摺動自在に組み付けてある。プランジャー７７は、案内片８０に形成された保持孔内に、軸方向に摺動自在に保持されている。またプランジャー７７は、バネ８４により上方に付勢されており、これによりプランジャー７７の上端が常にカム６６に接する。各プランジャー機構７６は、回転部６４が１８０度回転する毎に、上記通路とそれぞれが連通する。

すなわち駆動モータ２４により回転部６４が回転されると、プランジャー機構７６は回転しながら、カム６６に従って筒８２内を往復動し、液晶剤を滴下口７０から滴下（吐出）する。具体的にはプランジャー機構７６が吸引口７２に通じる通路と接続するとカム６６によりプランジャー機構７６が拡張し、送液管２７を通して液晶剤を計量容器３０から吸引する。液晶剤を吸引したプランジャー機構７６は、回転部６４が回転すると、回転板７８とともに拡張状態を保持した状態で回転する。そして、１８０度回転してかかるプランジャー機構７６が滴下口７０に通じる通路に連通すると、プランジャー機構７６がカム６６により押圧され、液晶剤を滴下口７０から押し出す。これにより、回転部６４が１回転される毎に滴下口７０から液晶剤が所定量滴下される。

送液管２７は、計量容器３０と滴下機構２３を接続している。送液管２７は、一端が滴下機構２３に接続し、他端が計量容器３０内に差し入れてあり、上部が、上水平台２８に固定された支持部材９０に支持されている。送液管２７の他端は、計量容器３０に直接接触することなく、計量容器３０に収容されている液晶剤内に上方から挿入してある。すなわち送液管２７は、計量器３４による計量容器３０の計測値に何ら影響を与えることなく、計量容器３０内に差し入れられている。制御部１９は、液晶剤滴下装置１０全体の制御を行う。

次に、液晶剤滴下装置１０、および滴下ユニット１４の作用について説明する。

まず、液晶剤を滴下するにあたり、所定量の液晶剤を計量容器３０に収容する。収容する量は、基板１６に滴下するに要する液晶剤の量より少し多い量で、かつ、計量器３４で正確に、必要とされる単位まで計量できる量である。

滴下機構２３の内部に液晶剤が充填されていないときは、駆動モータ２４を初期作動させ、滴下機構２３の滴下口７０から液晶剤が滴下されるのを確認する。

かかる状態で、計量容器３０の重量を計量器３４で計測し、制御部１９に内蔵された記憶部（図示せず）に滴下前の計量容器３０の重量としてその値を記憶させる。また、基板１６へ滴下する液晶剤の量、滴下する位置（以下「滴下位置」）、滴下する順路（以下「滴下順路」）等を制御部１９に入力する。一滴あたりの液晶剤の量は、基板１６に滴下させる液晶剤の総量を、滴下位置の数で除算して求める。これらは、作業者の操作によって行われる。全ての数値が得られ、また制御部１９に入力し終えたら、液晶剤滴下装置１０を作動させる。

なお、この例では、１枚の基板に１つの表示領域が形成されていているものとする。移動テーブル１８に基板１６が供給されると、制御部１９の制御に従って搬送装置２２と移動テーブル１８が作動し、基板１６上に設定された滴下位置上を滴下機構２３の滴下口７０が設定された滴下順路で通過するように、滴下機構２３と基板１６とが水平方向に相対的に移動される。そして、この相対移動中、制御部１９は、滴下口７０が基板１６上の各滴下位置上を通過するタイミングに合わせて滴下機構２３の駆動モータ２４を駆動させ液晶剤を滴下する。駆動モータ２４が駆動されて滴下口７０から液晶剤が滴下されると、滴下によって減少した分だけ液晶剤が送液管２７を通り、計量容器３０から滴下機構２３に送り込まれる。これに伴い、計量容器３０内の液晶剤の量は減少する。制御部１９は、滴下機構２３の滴下口７０が設定された滴下順路に従って最後の滴下位置に到達し、最後の滴下位置に液晶剤を滴下させたならば、その基板１６に対する液晶剤の滴下動作を終了させる。次いで、制御部１９は、計量器３４より送られる計量容器３０の重量の計測値から、計量容器３０の重量を検出する。制御部１９は、検出した計量容器３０の重量と滴下開始前に記憶した計量容器３０の重量とを比較し、その差が基板１６に滴下すべき液晶剤の総量の許容範囲内、例えば、±０．１ｍｇの範囲内であるか否かを判定する。すなわち、滴下動作の前後での計量容器３０の重量差は、今回の基板１６に対する滴下動作によって消費された液贔剤の量、つまり、基板１６に滴下された液晶剤の量であるから、この値と基板１６に滴下すべき液晶剤の総量とを比較することで、基板１６に必要量の液晶剤が正常に滴下されたか否かを判定することができる。

制御部１９は、判定の結果、許容範囲内であった場合には、その基板１６を貼り合わせ工程などの後工程へと搬送する。また、許容範囲を外れていた場合には、その基板１６を後工程へ搬送することはせずに処理工程から取り除く。なお、判定の結果、滴下された液晶剤の量が不足していた場合には、その基板１６に不足分の液晶剤を改めて滴下するようにしても良い。その場合、基板１６上において液晶剤の分布の偏りが生じることを防ぐため、改めて滴下する液晶剤の滴下位置を基板１６の中央に設定したリ、或いは、基板１６の４隅付近に均等に振り分けて設定したりすると良い。また、判定の結果、滴下された液晶剤の量が許容範囲を外れていた場合に、それ以降の滴下動作を中断するとともに、滴下された液晶剤の量が許容範囲を外れていた旨を表示器に表示するなどして作業者に報知し、滴下機構２３の調整を促すようにしても良い。滴下動作を終了した時点で、下限に設置された液面検出センサ３８の出力信号がＯＦＦ、つまり、液晶剤の液面が下限以下であった場合、制御部１９はバルブ４２を開いて貯留容器４０から計量容器３０に液晶剤を補充する。すなわち、液晶の滴下動作中、滴下機構２３による液晶剤の滴下によって計量容器３０内の液晶剤が消費されて液晶剤の液面が下降する。そして、滴下動作中に、液晶剤の液面が下限以下となったときには、今回の滴下動作が終了した時点で、計量容器３０への液晶剤の補充を行う。そこで、下限側の液面検出センサ３８の位置は、液晶剤の液面が下限以下となっても、１回分の滴下動作に要する量の液晶剤が計量容器３０内に残るように設定すると良い。液晶剤の補充によって、計量容器３０内の液晶剤の液面が上昇し、上限に設置された液面検出センサ３８の出力信号がＯＮしたら、制御部１９はバルブ４２を閉じて液晶剤の補充を停止させる。補充が完了した後、次に液晶剤を滴下する基板１６がある場合、今回液晶剤が滴下された基板１６を移動テーブル１８から搬出し、次に液晶剤を滴下する基板１６を移動テーブル１８に供給して、上述した動作を行う。なお、次に液晶剤を滴下するときには、計量容器３０の重量を計量器３４で計測し、前回の滴下動作に先立って制御部１９の記憶部に記憶させておいた計量容器３０の重量を、今回計測した重量に更新する。このような動作を繰り返すことで、順次基板１６に対する液晶剤の滴下を行う。上記実施の形態において、計量容器３０には、基板１６に塗布するに足りる少量の液晶剤が収容してあり、かつ計量容器３０が小さい容量の容器であることから、計量器３４は、液晶剤を含んだ計量容器３０全体の重量を、計測に必要とされる小さい単位まで正確に計量できる。しかも、計量容器３０は、送液管２７等と直接的な接触がなく、液晶剤等の重量を計測するにあたり、送液管２７等から影響を受けることがない。

したがって、制御部１９は、滴下機構２３から基板１６上に滴下した液晶剤の量を正確に検出することができ、かかる値を用いて基板１６に液晶剤が正常に滴下されたか否かを確実に判定できる。液晶剤が正常に滴下できた場合には、基板１６を次の貼り合わせ工程などへ搬送する。一方計測した結果、滴下量が過剰であることが判明した場合には、基板１６は、処理工程から取り除かれる。また、液晶剤の滴下量が不足していることが判明した場合には、不足分の液晶剤を改めて滴下する。このため、液晶剤が正常に滴下されていない基板が、貼り合わせ工程などの後工程に送られることが防止できるので、製造される液晶表示パネルの品質を向上させることができる。

また滴下ユニット１４は、貯留容器４０の内部に不活性ガスとしての窒素ガスを充填して内部を正圧に設定したので、窒素ガスにより液晶剤の酸化を防止でき、かつ窒素ガスの圧力を利用して円滑に液晶剤を計量容器３０に送出できる。

また、滴下機構２３から液晶剤が滴下され、計量容器３０内の液晶剤の量が減少すると、液面検出機構３６が液晶剤の液面の低下を感知し、制御部１９に送る。制御部１９は、バルブ４２を開き、計量容器３０内の液晶剤の液面が所定の高さになるまで、貯留容器４０から計量容器３０に補充管４４を通して液晶剤を補充する。

これにより滴下ユニット１４は、計量容器３０に収容されている液晶剤の量が少なくとも、基板１６への液晶剤の塗布を中断させることなく継続して行うことができる。しかも、計量容器３０に液晶剤を補充する貯留容器４０の補充管４４は、上水平台２８に固定され、計量容器３０と直接接触しないように配置されている。また、液面検出機構３６も計量容器３０とは直接接触しないように配置されている。そのため、計量器３４による液晶剤の量の計測結果が、補充管４４や液面検出機構３６の影響を受けることを防止でき、基板１６に滴下された液晶剤の量を正確に検出することができる。また、計量容器３０への液晶剤の補充を、今回の基板１６に対する滴下動作が終了した後で次の基板１６に対する滴下動作を行なう前である、滴下動作を停止させている間に行うようにした。そのため、滴下動作中に計量容器３０中の液晶剤が増加することがないので、今回の基板１６に対する滴下動作中に消費された液晶剤の量を容易に検出することができる。また、基板１６に液晶剤が正常に滴下されなかったときに、それ以降の滴下動作を中断するとともに、滴下された液晶剤の量が許容範囲を外れていた旨を表示器に表示するなどして作業者に報知した場含には、作業者が滴下機構２３の調整を行うなどして、液晶剤の滴下量が許容範囲から外れた要因を取り除くことができる。その場合には、滴下動作を再開した後において、液晶剤の滴下量が許容範囲から外れる頻度を低減させることができる。また、基板１６に滴下された液晶剤の量が不足していたときに、その基板１６に不足分の液晶剤を滴下した場合には、基板１６に対する液晶剤の滴下量を正常化することができるので、その基板１６を貼り合わせ工程などの後工程へ供給することができる。そのため、生産性の向上、歩留りの向上を図ることができる。

次に、滴下ユニット１４の他の例について説明する。

上記例では、基板１６へ液晶剤を滴下した後計量容器３０の重量を計量器３４で計測することとしたが、滴下機構２３による液晶剤の滴下中に計量容器３０の重量を計測してもよい。すると、基板１６に必要とされる量の滴下が終了した時点が確認できる。このとき滴下順路の途中で液晶剤の滴下を中断することとなるが、かかる場合、滴下順路の途中で滴下動作が中断されることが判明した時点において、それ以降の滴下位置を設定しなおすようにするとよい。すなわち、まず、滴下すべき残りの液晶剤の総量を一滴あたりの液晶剤の量で除算して残リの滴下回数を求める。求めた回数分の液滴が残りの滴下順路上において均等に配置されるように、残りの滴下順路上に新たな滴下位置を設定する。また、今回の基板１６における全ての滴下位置に対する液晶剤の滴下が終了した時点で、基板１６に対する液晶剤の滴下量が必要な滴下量に達していなかった場含には、上述の第１の実施の形態において説明したように、不足分の液晶剤を改めて滴下するようにしてもよい。

また、液晶剤を滴下する順路を基板１６の周囲から開始し、徐々に基板１６の中央に移動させるように設定する。貼り合わせ工程において、液晶剤が滴下された基板１６に他の基板が貼り合わされ、これらの２枚の基板間で液晶剤が押し広げられるとき、基板の中央側の方が周辺部に比べて液晶剤が広がりやすい傾向にある。そのため、滴下順路の終端を基板１６の中央に設定した方が、滴下順路の途中で滴下動作が終了された場合であっても、貼り合わされた基板間での液晶剤の広がりムラが防止でき、製造される液晶表示パネルの品質低下が防止できる。

更に、滴下機構２３を複数配置した場合には、共通の計量容器３０を設け、各滴下機構２３に共通の計量容器３０から送液管２７を配管しても、それぞれの滴下機構２３に個別に計量容器３０を設けてもよい。それぞれの滴下機構２３に個別に計量容器３０を設けた場合、貯留容器４０は共通として、それぞれの計量容器３０の液面の変動に応じて貯留容器４０から液晶剤を補充するのが好ましい。

また計量容器３０に液晶剤を補充するには、１枚の基板１６への塗布が終了する毎におこなっても、基板１６に区画された各表示領域への塗布が終了することを単位に補充を行ってもよい。一枚の基板に大きさの異なる複数の表示領域が形成されて成る多面取りの基板に液晶剤を滴下する場合など、滴下ユニット１４ごとに滴下する液晶剤の量が異なるときには、滴下ユニット１４ごとに異なる滴下量で判定を行うようにしてもよい。また、一枚の基板に複数の表示領域が形成されて成る多面取りの基板に液晶剤を滴下する場合、液晶剤を滴下した表示領域の位置とその表示領域に対して滴下された液晶剤の滴下量とを記憶し、後工程において、基板１６が個々の表示領域に分断された段階で、記憶した情報に従って液晶剤の滴下量が許容範囲から外れている表示領域を備えた液晶表示パネルを取り除くようにしてもよい。

尚上記例では、液晶剤を基板上に滴下させることとしたが本発明は、液状物質であればよく液晶剤を基板に滴下させる場合に限るものではない。また滴下としたが、吐出、噴霧、流出等、液状物質を供給する形式は問わない。

また滴下機構２３を、カム機構を備え、駆動モータでプランジャーを作動させるものとしたが、本発明では、液晶剤を適宜吐出する機構であればよく、特に構成は問わない。滴下機構２３は、計量容器３０から液晶剤を吸引する機構としたが、計量容器３０等の内部に正圧を付与し、滴下機構２３は、滴下口に開閉機構を有し、計量容器３０側から圧送されてきた液晶剤を滴下機構２３の開閉機構で制御する方式でもよい。

計量容器３０は、滴下機構２３が基板１６へ液晶剤を滴下している作業中に滴下機構２３とともに移動しても、あるいは所定位置に固定してあり、滴下機構２３のみが移動するように構成してもよい。滴下機構２３が計量容器３０と別に移動する場合、送液管２７を、例えばフレキシブルチューブなどで形成する。

また計量器３４に計量容器３０を載せたが、計量器３４と計量容器３０を一体に構成してもよい。また、滴下機構２３から滴下された液晶剤の量に応じて、液晶剤を貯留容器４０から計量容器３０に補充するようにしてもよい。また、計量器３４が計測した液晶剤の値に基いて、貯留容器４０から液晶剤を計量容器３０に補充してもよい。更に貯留容器４０に液面検出機構を設置してもよい。

本発明にかかる液状物質滴下装置の一実施形態を示す側面断面図。 図１に示す液状物質滴下装置を示す正面図。 滴下機構を示す断面図。

符号の説明

１４…滴下ユニット、１６…基板、１９…制御部、２３…滴下機構、２７…送液管、３０…計量容器、３４…計量器、３６…液面検出装置、４０…貯蔵容器、

Claims (10)

1. 液状物質を基板に滴下する液状物質滴下装置において、
   前記液状物質を収容する計量容器を有し、該計量容器に収容された前記液状物質の重量を計測する計量器と、
   送液管を介して前記計量容器と連結され前記計量容器に収容されている前記液状物質を滴下させる滴下機構を備え、
   前記送液管は、その前記計量容器側の端部が、前記計量容器に接触することなく、前記計量容器内の前記液状物質に浸漬されて配置されることを特徴とする液状物質滴下装置。
2. 前記計量容器に補充管を介して連結され前記液状物質を収容する補充用容器を備え、前記補充管は、その計量容器側の端部が、前記計量容器に接触することなく、前記計量容器内の前記液状物質に浸漬されて配置されることを特徴とした請求項１に記載の液状物質滴下装置。
3. 前記計量容器に、前記液状物質の液面を検出する液面検出手段を非接触の状態で設けたことを特徴とする請求項２に記載の液状物質滴下装置。
4. 前記補充用容器から前記計量容器に前記液状物質を、前記滴下機構による前記基板への前記液状物質の滴下を停止させている間に補充する制御手段を備えたことを特徴とした請求項２または３に記載の液状物質滴下装置。
5. 前記計量器による計測結果に基づいて、前記基板に対する前記液状物質の滴下量が所定の滴下量に対する許容範囲内にあるか否かを判定する制御手段を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液状物質滴下装置。
6. 前記制御手段により、前記基板に対する前記液状物質の滴下量が所定の滴下量に対する許容範囲から外れていると判定されたときに、そのことを報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項５に記載の液状物質滴下装置。
7. 前記制御手段は、前記基板に対する前記液状物質の滴下量が所定の滴下量に対する許容範囲よりも少ないときに、前記液状物質の不足量を補う分の液状物質を滴下するように前記滴下機構を制御することを特徴とする請求項５に記載の液状物質滴下装置。
8. 前記計量器による計測結果に基づいて、前記基板に対して前記液状物質が、所定の滴下量で滴下されたと判明した時点で、前記滴下機構による前記液状物質の滴下を終了させる制御手段を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液状物質滴下装置。
9. 液状物質を滴下させる液状物質滴下方法であり、
   前記液状物質を収容した計量容器から、該計量容器に接触することなく前記液状物質を取り出し滴下機構で滴下させ、滴下した前記液状物質を前記計量容器で計量することを特徴とした液状物質滴下方法。
10. 前記液状物質滴下方法は、基板上に液晶剤を塗布する滴下方法であり、
    前記基板上に塗布された液晶剤の滴下量を前記計量容器による計測値から求めることとした請求項９に記載の液状物質滴下方法。

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